JPS6124691B2 - - Google Patents
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- JPS6124691B2 JPS6124691B2 JP15378077A JP15378077A JPS6124691B2 JP S6124691 B2 JPS6124691 B2 JP S6124691B2 JP 15378077 A JP15378077 A JP 15378077A JP 15378077 A JP15378077 A JP 15378077A JP S6124691 B2 JPS6124691 B2 JP S6124691B2
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Description
この発明は、１個の超音波光偏向素子を用い
て、１本の入力ビームを複数本の出力ビームに分
割すると共に、それぞれの出力ビームの強度を変
調するようにした多ビーム光変調器および可変調
型多ビーム光偏向器（以下では多ビーム光変調・
偏向器とする）に関するものである。
１個の超音波光偏向素子（以下Ａ−Ｏ素子とす
る）を、複数個の高周波信号で駆動することによ
り、１本の入力ビームに対して複数本の出力ビー
ムを取出し得ること自身については従来から知ら
れている。第１図はこの従来の技術を説明するた
めの図である。第１図において、１はＡ−Ｏ素子
で、これを高周波の駆動信号２で駆動したとき、
適切な入射角で入射したビームは駆動信号の周波
数に比例した回折角だけ偏向され、また回折され
た出力ビームの強度は駆動信号の振巾で制御され
る。また回折されなかつた光は直進し、非回折光
として出力される。Ａ−Ｏ素子はこの性質を利用
して光偏向器（振巾一定で周波数可変）や光変調
器（振巾可変で周波数一定）としてしばしば利用
されるものである。さて、第１図において、駆動
信号２として、周波数がf1，f2，…………，fnで
振巾がそれぞれA1，A2，…………，Anであるｎ
個の成分をもつ高周波信号を印加した場合には、
高次回折を生じない程度の駆動振巾内において、
個々の成分信号に対して回折が起る。すなわち、
１本の入力ビーム３は、それぞれの回折角φｋ
が、各成分の周波数fkに比例したｎ本の回折光
（出力光ビーム）４と非回折光５とに分割され
る。かつ、各出力ビームの強度Ikは、それぞれの
成分の振巾Akで制御される。
このように、Ａ−Ｏ素子を複数の周波数成分を
もつ駆動信号で駆動することにより、１本の入力
ビームに対してそれぞれの偏向角ならびに強度を
制御可能な複数本の出力ビームを同時に発生でき
るので、たとえばレーザビームを偏向する形式の
表示装置やプリンタを高速化する上での有効な手
段を提供するものと考えられていた。しかし、実
際には各出力ビームの強度はそれぞれの成分信号
の振巾のみできまらず、他の信号の存否、大きさ
によつて変わるという欠点を有している。すなわ
ち、Ａ−Ｏ素子による回折について、非回折光の
強度をIoとして、近似的に
Ik＝KA〓ｋIo（ｋ、αは素子による定数）
となる性質があり、またＡ−Ｏ素子に出入する光
束について、入力ビームの強度をＩとして
なる関係がある。したがつて各出力ビームの強度
は
で与えられることになる。すなわち、各出力ビー
ムの強度はそれぞれの成分信号の振巾Akのみで
きまらず、他の信号の存否、大きさによつても変
わるという重大な欠点がある。この欠点のため
に、上記のすぐれた能力にもかかわらず、Ａ−Ｏ
素子による多ビーム変調・偏向器を実用に供する
のは困難であつた。
この発明は、上記の欠点を除くためになされた
もので、必要なｎ本の出力ビームの他に補償用の
出力ビームを発生させ、非回折光あるいは基準回
折光の強度が入力信号の変化によらず一定となる
ように、補償用出力ビームの強度を制御すること
により、必要なｎ本の出力ビームの強度が、他の
入力信号の存否、大きさに無関係に、それぞれの
入力信号の大きさできまるようにしたものであ
る。以下実施例により本発明の内容を説明する。
第２図にこの発明による多ビーム光変調・偏向
器の第１の実施例を示す。図において、１はＡ−
Ｏ素子、２はＡ−Ｏ素子を駆動する高周波駆動信
号である。６は入力端子群で、端子（６−ｋ）に
は入力信号ekが印加される。この実施例におい
てはek（０）は第ｋ番目の出力ビームの強度
Ikをきめるアナログ電圧である。７は発振器群で
それぞれの発振器の周波数は各々異る値をもち発
振器（７−ｋ）の周波数をfkとする。８は変調器
群で、変調器（８−ｋ）は発振器（７−ｋ）の出
力を入力信号ekで振巾変調する。変調された各
信号は加算器９で加算され、増巾器１０で電力増
巾された後、駆動信号２としてＡ−Ｏ素子１に印
加される。増巾器１０の出力での各成分の振巾を
Akとする。また、変調器８、加算器９および増
巾器１０の縦続回路の利得を１に正規化して考
え、Ak＝ekとする。１２は補正系で、この実施
例の主要部をなすものである。１３は光検出器、
１４はプリアンプで、非回折光５を受光してその
強度Ioに比例した電圧K1Ioを発生する。１５は大
きい電圧利得K2をもつ増巾器、１６は基準電圧
入力で基準電圧ｅBが印加されている。１７は補
正信号で、周波数fsの発振器１８の出力を変調器
１９により振巾変調する。変調器１９の出力は前
出の加算器９に印加されている。このように構成
すれば、Ａ−Ｏ素子１は前記f1〜fkの他に、この
fsなる周波数の駆動信号でも駆動されている。こ
の周波数fsの成分の振巾をAsとし、Akの場合と
同じくAs＝esとする。
したがつて、Ａ−Ｏ素子１は
The present invention relates to a multi-beam optical modulator that uses one ultrasonic optical deflection element to split one input beam into a plurality of output beams, and modulates the intensity of each output beam. Variable-tunable multi-beam optical deflector (hereinafter referred to as multi-beam optical modulator)
(deflector). Regarding the fact that multiple output beams can be extracted from one input beam by driving one ultrasonic optical deflection element (hereinafter referred to as A-O element) with multiple high-frequency signals, it is possible to extract multiple output beams from one input beam. It has been known for a long time. FIG. 1 is a diagram for explaining this conventional technique. In FIG. 1, 1 is an A-O element, and when this is driven with a high frequency drive signal 2,
A beam incident at an appropriate angle of incidence is deflected by a diffraction angle proportional to the frequency of the drive signal, and the intensity of the diffracted output beam is controlled by the amplitude of the drive signal. Furthermore, the light that has not been diffracted travels straight and is output as undiffracted light. Taking advantage of this property, the AO element is often used as an optical deflector (constant amplitude, variable frequency) or an optical modulator (variable amplitude, constant frequency). Now, in Fig. 1, as the drive signal 2, the frequencies are f 1 , f 2 , ......, fn and the amplitudes are A 1 , A 2 , ......, An, respectively.
When a high frequency signal with components is applied,
Within the drive amplitude that does not cause higher order diffraction,
Diffraction occurs for each component signal. That is,
One input beam 3 has a respective diffraction angle φk
is divided into n diffracted lights (output light beams) 4 and undiffracted lights 5 proportional to the frequency fk of each component. In addition, the intensity Ik of each output beam is controlled by the amplitude Ak of each component. In this way, by driving the A-O element with a drive signal that has multiple frequency components, it is possible to simultaneously generate multiple output beams whose deflection angle and intensity can be controlled for one input beam. Therefore, it was thought that it would provide an effective means for increasing the speed of display devices and printers that deflect laser beams, for example. However, in reality, the intensity of each output beam does not depend only on the amplitude of each component signal, but has the drawback that it varies depending on the presence or absence and magnitude of other signals. In other words, regarding diffraction by the A-O element, if the intensity of undiffracted light is Io, there is a property that approximately Ik = KA 〓 k Io (k, α are constants depending on the element). For the luminous flux, let the intensity of the input beam be I. There is a relationship. Therefore the intensity of each output beam is It will be given by That is, there is a serious drawback that the intensity of each output beam depends not only on the amplitude Ak of each component signal, but also on the presence or absence and magnitude of other signals. Due to this shortcoming, despite the above-mentioned superior ability, A-O
It has been difficult to put a multi-beam modulator/deflector using elements into practical use. This invention was made to eliminate the above-mentioned drawbacks, and it generates a compensating output beam in addition to the n necessary output beams, so that the intensity of the undiffracted light or the reference diffracted light changes depending on the change in the input signal. By controlling the intensity of the compensation output beam so that it remains constant regardless of the presence or absence of other input signals, the intensity of the n output beams remains constant regardless of the presence or absence of other input signals. It is designed to fit perfectly. The contents of the present invention will be explained below with reference to Examples. FIG. 2 shows a first embodiment of a multi-beam optical modulator/deflector according to the present invention. In the figure, 1 is A-
O element 2 is a high frequency drive signal that drives the A-O element. 6 is a group of input terminals, and an input signal ek is applied to the terminal (6-k). In this example, ek(0) is the intensity of the kth output beam
This is an analog voltage that determines Ik. 7 is an oscillator group, and the frequency of each oscillator has a different value, and the frequency of the oscillator (7-k) is fk. 8 is a modulator group, and the modulator (8-k) amplitude-modulates the output of the oscillator (7-k) using the input signal ek. The modulated signals are added together by an adder 9, amplified in power by an amplifier 10, and then applied to the A-O element 1 as a drive signal 2. The amplitude of each component at the output of the amplifier 10 is
Let's say Ak. Also, consider normalizing the gain of the cascade circuit of modulator 8, adder 9, and amplifier 10 to 1, and assume that Ak=ek. Reference numeral 12 denotes a correction system, which constitutes the main part of this embodiment. 13 is a photodetector;
A preamplifier 14 receives the undiffracted light 5 and generates a voltage K 1 Io proportional to its intensity Io. 15 is an amplifier with a large voltage gain K 2 , and 16 is a reference voltage input to which a reference voltage e B is applied. Reference numeral 17 denotes a correction signal whose amplitude is modulated by a modulator 19 on the output of the oscillator 18 having a frequency fs. The output of the modulator 19 is applied to the adder 9 mentioned above. With this configuration, the A-O element 1 has these functions in addition to the f 1 to fk described above.
It is also driven by a drive signal with a frequency of fs. Let As be the amplitude of this frequency fs component, and let As=es as in the case of Ak. Therefore, the A-O element 1 is
【表】
なる（ｎ＋１）個の成分をもつ駆動信号で駆動さ
れる。その結果、第１図について説明したと同
様、入力光ビーム３はそれぞれの回折角φｋが周
波数f1〜fkおよびfsにそれぞれ比例する（ｎ＋
１）本の出力ビーム４と非回折光５とに分割され
る。この内（４−ｓ）がfsによる補償用出力ビー
ムである。なお、この補償用出力ビーム（４−
ｓ）は変調器出力としては不要であるからストツ
パ１１で遮へいする。
さて、補正系１２の動作は次のものである。今
入力信号の変化によつて非回折光５の強度が減少
したものとすると、光検出器１３への入力が減少
するしたがつて、この補正信号esにひとしい振巾
で駆動されている補償用出力ビーム（４−ｓ）の
強度が減少する。この系においては入力ビーム３
の強度は一定であるから、補償用出力ビームの強
度が減少すれば非回折光５の強度が増すことにな
る。つまり、この補正系１２は、一つの負帰還系
を構成しており、補償用出力ビームを制御するこ
とにより非回折光強度を一定に保つ。すなわち、
入力信号e1〜enの変化によつて各出力ビームの強
度が増減しても、非回折光の強度が一定に保たれ
る。一方、Ａ−Ｏ素子による回折について、回折
の大きさを表わす係数ξｋ、回折光強度をIk、非
回折光強度をIoとして
Ik＝ξｋ Io (2)
のように定義すると、近似的に、
ξｋ＝KA〓k（ｋ、αは素子による定数） (3)
となる性質がある。したがつて上記のようにして
非回折光強度Ioを一定にすれば、回折によつて発
生した各出力ビームの強度Ikは、他の駆動信号の
存否、大きさに関係なくそれ自身の駆動信号の振
巾Akできまるようにできる。これがこの発明の
特長である。
補正系１２の動作を更に明確にするために、動
作を定量的に説明する。補正信号esは前述した構
成から
es＝K2（ｅBＢ−K1Io）＝K1K2（ＩB−Io）
である。ただしＩB＝ｅB／K1とした。
また(2)式、(3)式から
Is／Io＝KA〓ｓ＝Ke〓ｓ＝Ｋ（K1K2）〓（ＩB−Io）〓
である。一方、Ａ−Ｏ素子１の入出力の光束につ
いて
の関係が成立つているから、この両式を組合わせ
て
なる関係が得られる。したがつて、K1、K2を十
分大きく選んで、(4)式の右辺がIoにくらべて十分
小さくなるようにすれば、近似的に
Io＝ＩB (5)
となる。すなわち、非回折光の強度Ioを基準電圧
ｅBできまる一定値ＩBに保つことができる。した
がつて各出力ビームの強度は(2)式、(3)式および(5)
式から
Ik＝Ke〓ｋIB （ｋ＝１、２、………、
ｎ） (6)
で与えられることになり、他の入力信号の存否大
きさに関係せず、それぞれの入力信号ekでのみ
きめることができるのである。
すなわちこの実施例のごとく、ｎ本の出力ビー
ムの他に、補償用の出力ビームを発生せしめ、非
回折光強度が一定となるようにこの補償用出力ビ
ームの強度を制御することにより、各出力ビーム
の強度がそれぞれの入力信号でのみきまるように
することができる。
また、基準電圧ｅBは次のようにしてきめれば
よい。すなわち、
であるが、各出力ビームが規定の最大値をとると
きに補償ビームIsが零となるように動作状態をき
めるものとする。このときの変調器の効率は
であるからこのηMを用いて
ＩB（１−ηM）Ｉ
なるようにｅBをきめればよいのである。
次に第２の実施例を第３図により説明する。こ
の実施例は前の実施例の補償用ビームの他に、更
に回折強度の基準となる基準出力ビームを説け、
この基準出力ビームの強度が一定となるように補
償用ビームの強度を制御するようにしたものであ
る。
第３図の実施例においては、補正系１２中に電
圧erの基準信号２０、周波数frの発振器２１、お
よび変調器３３が追加されており、また光検出器
１３は周波数frによる基準の回折光（４−ｒ）の
強度を検出するよう配置してある。他の構成は第
１の実施例と同じである。
さて補正系１２の動作は次のようになる。第２
図の場合と同じく補正信号１７は、基準出力ビー
ムの強度をIrとして
es＝K2（ｅB−K1Ir）＝K1K2（ＩB−Ir）
となる。ただしＩB＝ｅB／K1とおいた。
また、(2)式、(3)式から
Ｉｓ／Ｉｏ＝Ke〓ｓ＝Ｋ（K1K2）〓（ＩB−Ir）〓
である。一方、Ａ−Ｏ素子に出入する光束につい
て
の関係が成立つているから、この両式を組合わせ
て
ＩB−Ir＝１／Ｋ１Ｋ２〔Ｉ／Ｉｏ−（１＋ξｒ＋Σξｋ）／Ｋ〕1/〓 (4)′
なる関係が得られる。したがつて、K1K2を十分
大きくして、(4)′式の右辺がIrにくらべて十分小
さくなるようにすれば、
Ir＝ＩB
となる。すなわち、基準回折光の強度Irを基準電
圧ｅBできまる一定値ＩBに保つことができる。
ところで、基準回折光強度Irについて(3)式から
Ir＝Ke〓ｒIo
なる関係があり、今の場合基準信号erは一定値に
保たれている。それ故、非回折光Ioも基準回折光
Irを媒介として一定に保たれている。すなわち第
３図の補正系は、Irを媒介として非回折光の強度
Ioを
Io＝ＩB／Ke〓ｒ
なる値に一定に保つように動作しているのであ
る。したがつて、各出力ビームの強度は
Ik＝Ke〓ｋIo＝（ek／er）〓ＩB、Ｋ＝１、２、………、ｎ (7)
で与えられることになり、各出力ビームの強度Ik
を、他の入力の存否、大きさに無関係にそれぞれ
の入力信号ekのみできめることができる。ま
た、この実施例においては、Ikは入力信号ekと
基準信号erとの比できまるようにできるので、増
巾器１０やＡ−Ｏ素子１の特性変化の影響を少な
くすることができるという利点を併わせ得られ
る。
以上詳述したように、この発明になる多ビーム
光変調・偏向器においては、複数本発生させた各
出力ビームの強度を、他の入力信号の存否、大き
さに無関係に、それぞれの入力信号でのみきめ得
るので、１個のＡ−Ｏ素子を用いた多ビーム光変
調・偏向器を実際の装置に適用して十分にその特
長を発揮せしめ得るという利点が得られる。[Table] Driven with a drive signal having (n+1) components. As a result, as explained with reference to FIG.
1) split into a book output beam 4 and a undiffracted beam 5; Of these, (4-s) is an output beam for compensation by fs. Note that this compensation output beam (4-
s) is unnecessary as a modulator output, so it is shielded by a stopper 11. Now, the operation of the correction system 12 is as follows. Assuming that the intensity of the undiffracted light 5 decreases due to a change in the input signal, the input to the photodetector 13 decreases. The intensity of the output beam (4-s) is reduced. In this system, input beam 3
Since the intensity of the undiffracted light 5 is constant, if the intensity of the compensation output beam decreases, the intensity of the undiffracted light 5 increases. In other words, this correction system 12 constitutes one negative feedback system, and maintains the undiffracted light intensity constant by controlling the compensation output beam. That is,
Even if the intensity of each output beam increases or decreases due to changes in the input signals e 1 -en, the intensity of the undiffracted light remains constant. On the other hand, regarding diffraction by the A-O element, if it is defined as Ik = ξk Io (2) where the coefficient ξk represents the magnitude of diffraction, the intensity of diffracted light is Ik, and the intensity of undiffracted light is Io, then approximately, ξk =KA〓 k (k and α are constants depending on the element) (3) There is a property that. Therefore, if the undiffracted light intensity Io is kept constant as described above, the intensity Ik of each output beam generated by diffraction will be the same as that of its own drive signal, regardless of the existence or magnitude of other drive signals. It can be made to be sharp with the swing width Ak. This is the feature of this invention. In order to further clarify the operation of the correction system 12, the operation will be described quantitatively. The correction signal es is es=K 2 (e B B -K 1 Io)=K 1 K 2 (I B -Io) from the above-described configuration. However, I B =e B /K 1 was set. Also, from equations (2) and (3), Is/Io=KA〓 s = Ke〓 s = K(K 1 K 2 )〓(I B -Io)〓. On the other hand, regarding the input and output luminous flux of A-O element 1 Since the relationship is established, combining these two equations, we get The following relationship is obtained. Therefore, if K 1 and K 2 are selected sufficiently large so that the right side of equation (4) is sufficiently smaller than Io, Io=I B (5) approximately. That is, the intensity Io of the undiffracted light can be maintained at a constant value I B determined by the reference voltage e B . Therefore, the intensity of each output beam is expressed by equations (2), (3), and (5).
From the formula, Ik=Ke〓 k I B (k=1, 2, ......,
n) (6), and can be determined only by each input signal ek, regardless of the existence or magnitude of other input signals. That is, as in this embodiment, in addition to the n output beams, a compensating output beam is generated, and by controlling the intensity of the compensating output beam so that the intensity of the undiffracted light is constant, each output beam is The intensity of the beam can be determined only by the respective input signal. Further, the reference voltage e B may be determined as follows. That is, However, the operating state is determined so that the compensation beam Is becomes zero when each output beam takes a prescribed maximum value. The efficiency of the modulator in this case is Therefore, using this η M , e B can be determined so that I B (1−η M )I. Next, a second embodiment will be explained with reference to FIG. In this embodiment, in addition to the compensation beam of the previous embodiment, there is also a reference output beam that serves as a reference for the diffraction intensity.
The intensity of the compensation beam is controlled so that the intensity of this reference output beam is constant. In the embodiment shown in FIG. 3, a reference signal 20 with a voltage er, an oscillator 21 with a frequency fr, and a modulator 33 are added to the correction system 12, and the photodetector 13 has a reference signal 20 with a frequency fr. It is arranged to detect the intensity of (4-r). The other configurations are the same as in the first embodiment. Now, the operation of the correction system 12 is as follows. Second
As in the case shown in the figure, the correction signal 17 is es=K 2 (e B −K 1 Ir)=K 1 K 2 (I B −Ir), where the intensity of the reference output beam is Ir. However, it is assumed that I B =e B /K 1 . Furthermore, from equations (2) and (3), Is/Io=Ke〓 s =K(K 1 K 2 )〓(I B −Ir)〓. On the other hand, regarding the light flux entering and exiting the A-O element Since the relationship holds true, by combining these two equations, the relationship I B -Ir=1/K 1 K 2 [I/Io-(1+ξr+Σξk)/K] 1/ 〓 (4)' can be obtained. Therefore, if K 1 K 2 is made sufficiently large so that the right-hand side of equation (4)' becomes sufficiently smaller than Ir, Ir=I B . That is, the intensity Ir of the reference diffracted light can be maintained at a constant value I B determined by the reference voltage e B . By the way, regarding the reference diffracted light intensity Ir, there is a relationship as follows from equation (3): Ir=Ke〓 r Io, and in this case, the reference signal er is kept at a constant value. Therefore, the undiffracted light Io is also the reference diffracted light
It is kept constant through Ir. In other words, the correction system shown in Figure 3 adjusts the intensity of undiffracted light using Ir as a medium.
It operates to keep Io constant at the value Io=I B /Ke =r . Therefore, the intensity of each output beam is given by Ik=Ke〓 k Io=(ek/er)〓I B , K=1, 2, ......, n (7) The intensity of Ik
can be determined only by each input signal ek, regardless of the existence or magnitude of other inputs. Further, in this embodiment, since Ik can be determined by the ratio of the input signal ek and the reference signal er, the effect of changes in characteristics of the amplifier 10 and the A-O element 1 can be reduced. You can get both. As described in detail above, in the multi-beam optical modulator/deflector according to the present invention, the intensity of each of the plurality of generated output beams can be adjusted to each input signal, regardless of the presence or absence and magnitude of other input signals. Therefore, there is an advantage that a multi-beam optical modulator/deflector using one A-O element can be applied to an actual device and its features can be fully demonstrated.
第１図は従来より知られている多ビーム光変
調・偏向器の説明図、第２図はこの発明の多ビー
ム光変調・偏向器の第１の実施例を示す図、第３
図はこの発明の第２の実施例を示す図である。
図において、１は超音波光偏向素子、２はその
駆動信号、３は入力ビーム、４は回折による出力
ビーム、５は非回折光ビーム、６は信号入力端子
群、７は発振器群、８は変調器群、９は加算器、
１０は増巾器、１１は補償ビームを遮へいするス
トツパ、１２は補正系、１３は光検知器、１４は
プリアンプ、１５は高利得の増巾器、１６は基準
電圧印加端子、１７は補正信号、１８，２１は発
振器、１９，２２は変調器、２０は基準信号であ
る。なお、各図において同一部もしくは相当部分
は各々同一の文字で表わしてある。
FIG. 1 is an explanatory diagram of a conventionally known multi-beam optical modulator/deflector, FIG. 2 is a diagram showing a first embodiment of the multi-beam optical modulator/deflector of the present invention, and FIG.
The figure shows a second embodiment of the invention. In the figure, 1 is an ultrasonic optical deflection element, 2 is its driving signal, 3 is an input beam, 4 is an output beam by diffraction, 5 is a non-diffracted light beam, 6 is a group of signal input terminals, 7 is a group of oscillators, and 8 is a group of oscillators. Modulator group, 9 is an adder,
10 is an amplifier, 11 is a stopper for shielding the compensation beam, 12 is a correction system, 13 is a photodetector, 14 is a preamplifier, 15 is a high gain amplifier, 16 is a reference voltage application terminal, and 17 is a correction signal , 18 and 21 are oscillators, 19 and 22 are modulators, and 20 is a reference signal. In each figure, the same or corresponding parts are represented by the same characters.
Claims (1)
偏向素子を駆動し、上記超音波光偏向素子に入射
した入力ビームに対して複数本の強度変調された
出力ビームを発生するようにしたものにおいて、
上記超音波光偏向素子から非回折光強度を検出
し、この検出値と基準値の差を増巾する増巾器
と、この増巾器から得られる補正信号で上記駆動
信号の各周波数成分と異なる周波数信号を振巾変
調する変調器とを設け、この変調器の出力信号を
上記駆動信号に加算して、上記出力ビームの他に
上記出力ビームの強度を補償する補償ビームを発
生するようにした多ビーム光変調・偏向器。 ２ 複数の周波数成分をもつ駆動信号で超音波光
偏向素子を駆動し、上記超音波光偏向素子に入射
した入力ビームに対して複数本の強度変調された
出力ビームを発生するようにしたものにおいて、
上記駆動信号に基準周波数成分を加算して発生す
る基準回折光強度を検出し、この検出値と基準値
の差を増巾する増巾器と、この増巾器から得られ
る補正信号で上記駆動信号の各周波数成分及び上
記基準周波数成分と異なる周波数信号を振巾変調
する変調器を設け、この変調器の出力信号を上記
駆動信号に加算して、上記出力ビームの他に上記
出力ビームの強度を補償する補償ビームを発生す
るようにした多ビーム光調器・偏向器。[Claims] 1. An ultrasonic optical deflection element is driven by a drive signal having a plurality of frequency components, and a plurality of intensity-modulated output beams are generated with respect to an input beam incident on the ultrasonic optical deflection element. In those that are designed to
An amplifier detects the undiffracted light intensity from the ultrasonic light deflection element and amplifies the difference between the detected value and the reference value, and a correction signal obtained from the amplifier is used to correct each frequency component of the drive signal. A modulator for amplitude modulating different frequency signals is provided, and the output signal of this modulator is added to the drive signal to generate a compensation beam that compensates for the intensity of the output beam in addition to the output beam. Multi-beam optical modulator/deflector. 2. An ultrasonic optical deflection element is driven by a drive signal having a plurality of frequency components, and a plurality of intensity-modulated output beams are generated with respect to an input beam incident on the ultrasonic optical deflection element. ,
An amplifier that detects the reference diffracted light intensity generated by adding a reference frequency component to the drive signal and amplifies the difference between this detected value and the reference value, and a correction signal obtained from this amplifier to drive the above drive signal. A modulator that modulates the amplitude of each frequency component of the signal and a frequency signal different from the reference frequency component is provided, and the output signal of this modulator is added to the drive signal to adjust the intensity of the output beam in addition to the output beam. A multi-beam light modulator/deflector that generates a compensation beam to compensate for the
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15378077A JPS5485744A (en) | 1977-12-20 | 1977-12-20 | Multibeam light modulating deflector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15378077A JPS5485744A (en) | 1977-12-20 | 1977-12-20 | Multibeam light modulating deflector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5485744A JPS5485744A (en) | 1979-07-07 |
| JPS6124691B2 true JPS6124691B2 (en) | 1986-06-12 |
Family
ID=15569968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15378077A Granted JPS5485744A (en) | 1977-12-20 | 1977-12-20 | Multibeam light modulating deflector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5485744A (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5797265A (en) * | 1980-12-08 | 1982-06-16 | Matsushita Graphic Commun Syst Inc | Optical input and output detector for ultrasonic wave optical modulator |
| JPH10154852A (en) * | 1996-09-24 | 1998-06-09 | Minolta Co Ltd | Laminated multi-semiconductor laser element and laser beam scanning optical device using the same |
| US5890789A (en) * | 1996-11-18 | 1999-04-06 | Minolta Co., Ltd. | Multi-beam emitting device having an acoustooptic element |
| US7274718B2 (en) * | 2004-01-20 | 2007-09-25 | Symbol Technologies, Inc. | Electronic alignment of acousto-optic modulator for modulating a laser |
-
1977
- 1977-12-20 JP JP15378077A patent/JPS5485744A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5485744A (en) | 1979-07-07 |
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