JPS6130278B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6130278B2 JPS6130278B2 JP56171123A JP17112381A JPS6130278B2 JP S6130278 B2 JPS6130278 B2 JP S6130278B2 JP 56171123 A JP56171123 A JP 56171123A JP 17112381 A JP17112381 A JP 17112381A JP S6130278 B2 JPS6130278 B2 JP S6130278B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- mim
- electrodes
- display
- crystal drive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は液晶を用いた表示装置に関する。更に
詳しくは、マトリツクス配列された液晶表示体の
各々の表示画素に結合されるMIM素子の欠陥修
正が可能な構造及びその方法に関する。
詳しくは、マトリツクス配列された液晶表示体の
各々の表示画素に結合されるMIM素子の欠陥修
正が可能な構造及びその方法に関する。
液晶表示装置の大容量化に伴い、マトリクス表
示方式が実用期に入つている。このマトリクス表
示方式は、X、Y方向に配置した多数の電極の交
点でキヤラクタを表示しようというものであり、
XまたはY方向のラインを順次走査し時分割駆動
をする。任意のタイミングラインが選択された時
に、タイミングラインに接続されている電極上の
データラインに接続される全電極に同時に表示画
素をオンまたはオフするための信号が加えられ
る。この時、交点に加えられた電圧の実効電圧
が、液晶のVthより充分大きくなればオンし、逆
の場合はオフする。しかし、選択時(オン)と非
選択時(オフ)の実効電圧の比は、タイミングラ
イン数を増やせば増やす程、選択期間に対する非
選択期間の割合が増え、小さくなる。したがつて
駆動電圧が一定ならばオンレベルが低くなり充分
なコントラストがとれなくなる。液晶の種類にも
よるが、デユーテイ16分の1位が実用的限界であ
る。デユーテイを大きくする為に従来は非線形素
子と表示画素とを結合させた。第1図はその等価
回路であり、図中タイミングライン101、デー
タライン102、表示画素103及び非線形素子
(MIM素子)104である。表示画素の一方の電
極がタイミングラインに接続する電極であり、
MIM素子104の一方の電極がデータラインに
接続する電極である。次にMIM素子のスタテイ
ツク特性を第2図に示す。この電流−電圧特性に
よると電圧の絶対値が小さければ、MIM間のイ
ンピーダンスは大変大きいが、電圧の絶対値が増
加する。従つて前記インピーダンスは指数関数的
に減少する。
示方式が実用期に入つている。このマトリクス表
示方式は、X、Y方向に配置した多数の電極の交
点でキヤラクタを表示しようというものであり、
XまたはY方向のラインを順次走査し時分割駆動
をする。任意のタイミングラインが選択された時
に、タイミングラインに接続されている電極上の
データラインに接続される全電極に同時に表示画
素をオンまたはオフするための信号が加えられ
る。この時、交点に加えられた電圧の実効電圧
が、液晶のVthより充分大きくなればオンし、逆
の場合はオフする。しかし、選択時(オン)と非
選択時(オフ)の実効電圧の比は、タイミングラ
イン数を増やせば増やす程、選択期間に対する非
選択期間の割合が増え、小さくなる。したがつて
駆動電圧が一定ならばオンレベルが低くなり充分
なコントラストがとれなくなる。液晶の種類にも
よるが、デユーテイ16分の1位が実用的限界であ
る。デユーテイを大きくする為に従来は非線形素
子と表示画素とを結合させた。第1図はその等価
回路であり、図中タイミングライン101、デー
タライン102、表示画素103及び非線形素子
(MIM素子)104である。表示画素の一方の電
極がタイミングラインに接続する電極であり、
MIM素子104の一方の電極がデータラインに
接続する電極である。次にMIM素子のスタテイ
ツク特性を第2図に示す。この電流−電圧特性に
よると電圧の絶対値が小さければ、MIM間のイ
ンピーダンスは大変大きいが、電圧の絶対値が増
加する。従つて前記インピーダンスは指数関数的
に減少する。
基本的な動作を簡単に説明するとタイミングラ
インを一定の周期で走査することにより、順次タ
イミングラインに接続する電極には、選択または
非選択の電圧が印加される。任意のタイミングラ
インが選択された時に、該ライン(液晶側)に対
応するデータライン(MIM素子側)には、液晶
のオンまたはオフ状態を選ぶための信号が全ライ
ン同時に印加される。この時に該信号のレベルの
大小によつて液晶のオンオフの状態が決まり、
MIM素子から電荷が液晶にチヤージされる。該
タイミングラインが非選択になるとMIM素子の
インピーダンスが増加し、蓄えられた電荷のデイ
スチヤージは減少しデータは保持される。液晶が
オンの状態で実効電圧が液晶のVsat位まで低下
するまでデユーテイを上げることができる。
インを一定の周期で走査することにより、順次タ
イミングラインに接続する電極には、選択または
非選択の電圧が印加される。任意のタイミングラ
インが選択された時に、該ライン(液晶側)に対
応するデータライン(MIM素子側)には、液晶
のオンまたはオフ状態を選ぶための信号が全ライ
ン同時に印加される。この時に該信号のレベルの
大小によつて液晶のオンオフの状態が決まり、
MIM素子から電荷が液晶にチヤージされる。該
タイミングラインが非選択になるとMIM素子の
インピーダンスが増加し、蓄えられた電荷のデイ
スチヤージは減少しデータは保持される。液晶が
オンの状態で実効電圧が液晶のVsat位まで低下
するまでデユーテイを上げることができる。
前記説明した液晶表示装置はドツトマトリクス
デイスプレイであるから、表示に寄与しない
MIM素子の面積を、非常に小さくすることと、
液晶層との容量比及び、前記電流−電圧特性の改
善等によりMIM素子の性能を上げる為に、絶縁
体である五酸化タンタル膜を非常に薄くすること
が要求される。デイスプレイの容量やサイズ及び
分解能によつて多少異なるが、MIM素子のサイ
ズは数ミクロンメートル口である。このような小
さな素子をガラス基板等に形成する為にフオトリ
ソ工程を用いるが、線幅数ミクロンメートルを残
して他の部分をエツチングすることは非常に困難
である。更にデイスプレイ全体が数センチ口から
十数センチ口と面積が大きい為に均一にエツチン
グすることが困難である。また五酸化タンタル膜
が数百ミクロンメートルの厚さしかなくピンホー
ルの発生、異物の付着及びキズなどで容易に
MIM素子がシヨート及び断線する。前記の欠陥
やプロセスの欠点による画素欠陥が一枚のパネル
には普通数箇所は必ず発生する為に、発生した欠
陥を修正できる構造のMIM素子と、簡単な修正
方法が望まれる。
デイスプレイであるから、表示に寄与しない
MIM素子の面積を、非常に小さくすることと、
液晶層との容量比及び、前記電流−電圧特性の改
善等によりMIM素子の性能を上げる為に、絶縁
体である五酸化タンタル膜を非常に薄くすること
が要求される。デイスプレイの容量やサイズ及び
分解能によつて多少異なるが、MIM素子のサイ
ズは数ミクロンメートル口である。このような小
さな素子をガラス基板等に形成する為にフオトリ
ソ工程を用いるが、線幅数ミクロンメートルを残
して他の部分をエツチングすることは非常に困難
である。更にデイスプレイ全体が数センチ口から
十数センチ口と面積が大きい為に均一にエツチン
グすることが困難である。また五酸化タンタル膜
が数百ミクロンメートルの厚さしかなくピンホー
ルの発生、異物の付着及びキズなどで容易に
MIM素子がシヨート及び断線する。前記の欠陥
やプロセスの欠点による画素欠陥が一枚のパネル
には普通数箇所は必ず発生する為に、発生した欠
陥を修正できる構造のMIM素子と、簡単な修正
方法が望まれる。
本発明は前記の欠点を除去したもので、その目
的は、発生した欠陥を修正することが可能な構造
を提供することと、更にその修正方法を提供する
ことである。
的は、発生した欠陥を修正することが可能な構造
を提供することと、更にその修正方法を提供する
ことである。
以下本発明を実施例に基づいて詳しく説明す
る。
る。
第3図は本発明による実施例を実現する為の等
価回路である。図中301〜304は第1図と同
様で省略する。図中305は303と同じサイズ
の表示画素であり、306は304と同じサイズ
のMIM素子である。
価回路である。図中301〜304は第1図と同
様で省略する。図中305は303と同じサイズ
の表示画素であり、306は304と同じサイズ
のMIM素子である。
第4図は本発明による第1の実施例の外観図で
ある。図中、401はタイミングライン(電極)
であり、点線で描かれている部分であり基板の一
方に列方向に形成される。一方、各一列に対して
各行方向には、データライン402、2つの
MIM素子(非線型スイツチング素子)403及
び2つの液晶駆動電極401が、基板の他方に形
成される。任意の1タイミングライン(電極)上
に2個MIM素子が形成されており、液晶駆動電
極が2等分されて該MIM素子各々に結合されて
いる。該2個のMIM素子は同じデータラインに
接続されており、1つの液晶表示体が表示画素と
2つのMIM素子により構成されている。液晶駆
動電極を形成してから、データラインと、1個の
MIM素子に接続する液晶駆動電極の電流−電圧
特性を測定し、欠陥の有無を調べる。欠陥が有る
場合の修正方法を次に第5図で説明する。
ある。図中、401はタイミングライン(電極)
であり、点線で描かれている部分であり基板の一
方に列方向に形成される。一方、各一列に対して
各行方向には、データライン402、2つの
MIM素子(非線型スイツチング素子)403及
び2つの液晶駆動電極401が、基板の他方に形
成される。任意の1タイミングライン(電極)上
に2個MIM素子が形成されており、液晶駆動電
極が2等分されて該MIM素子各々に結合されて
いる。該2個のMIM素子は同じデータラインに
接続されており、1つの液晶表示体が表示画素と
2つのMIM素子により構成されている。液晶駆
動電極を形成してから、データラインと、1個の
MIM素子に接続する液晶駆動電極の電流−電圧
特性を測定し、欠陥の有無を調べる。欠陥が有る
場合の修正方法を次に第5図で説明する。
第5図は第4図とは異なりタイミング電極がつ
いてない状態で、他は同じ図である。図中丸印で
囲まれている501は、その場所のMIM素子に
欠陥が発生した為に、レーザリペア装置によりデ
ータラインから切断した部分である。次に丸印5
02は、1個の液晶表示体を形成する2個の
MIM素子と各々のMIM素子に接続する液晶駆動
電極の、片方が欠陥の為に、他の良品の液晶駆動
電極に欠陥の液晶駆動電極を接続する。本実施例
では3箇所で接続しているが、それに限るもので
はない。また、1個の液晶表示体を形成する
MIM素子と液晶駆動電極のスペースは狭くし、
他の液晶表示体との前記スペースは広くすること
によりネサ電極の接続が容易になると共に、1組
のMIM素子の区別がつき易くなる。次に、液晶
駆動電極の接続方法を説明するが、これは1つの
方法であり、それに限るものではない。
いてない状態で、他は同じ図である。図中丸印で
囲まれている501は、その場所のMIM素子に
欠陥が発生した為に、レーザリペア装置によりデ
ータラインから切断した部分である。次に丸印5
02は、1個の液晶表示体を形成する2個の
MIM素子と各々のMIM素子に接続する液晶駆動
電極の、片方が欠陥の為に、他の良品の液晶駆動
電極に欠陥の液晶駆動電極を接続する。本実施例
では3箇所で接続しているが、それに限るもので
はない。また、1個の液晶表示体を形成する
MIM素子と液晶駆動電極のスペースは狭くし、
他の液晶表示体との前記スペースは広くすること
によりネサ電極の接続が容易になると共に、1組
のMIM素子の区別がつき易くなる。次に、液晶
駆動電極の接続方法を説明するが、これは1つの
方法であり、それに限るものではない。
第6図は、ガラス基板601に図のようなパタ
ーンの高融点金属(Cr、Ta、Ni、Fe、Mo等)
602を形成したものである。
ーンの高融点金属(Cr、Ta、Ni、Fe、Mo等)
602を形成したものである。
第7図は、接続方法の簡単な概略図であり、図
中701,702は液晶駆動電極、703は第6
図のパターンに形成された高融点金属膜で、70
4はそれぞれのガラス基板である。図のように接
続したい液晶駆動電極上に、高融点金属膜がくる
ように調整してレーザリペア装置のレーザ光線7
05を高融点金属膜の裏側から液晶駆動電極上に
照射すると、高融点金属膜が一瞬にして蒸発し
て、下のネサ電極に蒸着することができる。
MIM素子とデータライン間が断線の場合も、同
様に前記の接続方法を用いることで修正できる。
中701,702は液晶駆動電極、703は第6
図のパターンに形成された高融点金属膜で、70
4はそれぞれのガラス基板である。図のように接
続したい液晶駆動電極上に、高融点金属膜がくる
ように調整してレーザリペア装置のレーザ光線7
05を高融点金属膜の裏側から液晶駆動電極上に
照射すると、高融点金属膜が一瞬にして蒸発し
て、下のネサ電極に蒸着することができる。
MIM素子とデータライン間が断線の場合も、同
様に前記の接続方法を用いることで修正できる。
本発明によつて、MIM素子に欠陥が発生して
も、同一液晶表示体の他のMIM素子を用いて、
液晶を駆動することができる為に、無欠陥液晶表
示装置が容易に実現できる。
も、同一液晶表示体の他のMIM素子を用いて、
液晶を駆動することができる為に、無欠陥液晶表
示装置が容易に実現できる。
上述の如く本発明は、一対の基板内に液晶が封
入されてなり、該基板の一方の基板にはマトリク
ス状に配列された複数の液晶駆動電極、他方の基
板には複数の帯状のタイミング電極が列方向に形
成されてなる液晶表示装置において、該液晶駆動
電極の各々は非線型スイツチング素子を有し、該
帯状タイミング電極の各一列に対応した各行には
複数の液晶駆動電極及び複数の非線型スイツチン
グ素子が配列されてなるから、該複数の非線型ス
イツチング素子のいずれかに欠陥が生じたとして
も、欠陥の生じた非線型スイツチング素子を切断
除去し、該複数の液晶駆動電極をを導電材で接続
することにより、画素欠陥の発生を完全に防止す
ることができる効果を有する。
入されてなり、該基板の一方の基板にはマトリク
ス状に配列された複数の液晶駆動電極、他方の基
板には複数の帯状のタイミング電極が列方向に形
成されてなる液晶表示装置において、該液晶駆動
電極の各々は非線型スイツチング素子を有し、該
帯状タイミング電極の各一列に対応した各行には
複数の液晶駆動電極及び複数の非線型スイツチン
グ素子が配列されてなるから、該複数の非線型ス
イツチング素子のいずれかに欠陥が生じたとして
も、欠陥の生じた非線型スイツチング素子を切断
除去し、該複数の液晶駆動電極をを導電材で接続
することにより、画素欠陥の発生を完全に防止す
ることができる効果を有する。
第1図は従来の液晶表示装置の等価回路であ
る。第2図はMIM素子の電流−電圧特性の1例
である。第3図は本発明による実施例の等価回路
である。第4図は本発明による実施例の外観図で
ある。第5図は本発明による実施例の説明図であ
る。第6図はガラス基板に高融点金属膜をパター
ニングした1例の外観図である。第7図は液晶駆
動電極の接続方法の1例の概略図である。
る。第2図はMIM素子の電流−電圧特性の1例
である。第3図は本発明による実施例の等価回路
である。第4図は本発明による実施例の外観図で
ある。第5図は本発明による実施例の説明図であ
る。第6図はガラス基板に高融点金属膜をパター
ニングした1例の外観図である。第7図は液晶駆
動電極の接続方法の1例の概略図である。
Claims (1)
- 1 一対の基板内に液晶が封入されてなり、該基
板の一方の基板にはマトリクス状に配列された複
数の液晶駆動電極、他方の基板には複数の帯状の
タイミング電極が列方向に形成されてなる液晶表
示装置において、該液晶駆動電極の各々は非線型
スイツチング素子を保有し、該帯状タイミング電
極の各一列に対応した各行には複数の液晶駆動電
極及び複数の非線型スイツチング素子が配列され
てなる事を特徴とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56171123A JPS5872183A (ja) | 1981-10-26 | 1981-10-26 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56171123A JPS5872183A (ja) | 1981-10-26 | 1981-10-26 | 液晶表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5872183A JPS5872183A (ja) | 1983-04-30 |
| JPS6130278B2 true JPS6130278B2 (ja) | 1986-07-12 |
Family
ID=15917406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56171123A Granted JPS5872183A (ja) | 1981-10-26 | 1981-10-26 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5872183A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4639087A (en) * | 1984-08-08 | 1987-01-27 | Energy Conversion Devices, Inc. | Displays having pixels with two portions and capacitors |
| JPS6197626A (ja) * | 1984-10-18 | 1986-05-16 | Nec Corp | 液晶マトリツクスパネル |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1121489A (en) * | 1979-05-30 | 1982-04-06 | Northern Telecom Limited | Lcds (liquid crystal displays) controlled by mims (metal-insulator-metal) devices |
-
1981
- 1981-10-26 JP JP56171123A patent/JPS5872183A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5872183A (ja) | 1983-04-30 |
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