JPS6131960B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6131960B2 JPS6131960B2 JP56199555A JP19955581A JPS6131960B2 JP S6131960 B2 JPS6131960 B2 JP S6131960B2 JP 56199555 A JP56199555 A JP 56199555A JP 19955581 A JP19955581 A JP 19955581A JP S6131960 B2 JPS6131960 B2 JP S6131960B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- ruo
- tio
- particle size
- composite powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Conductive Materials (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
この発明は、均一微細な粒径を有し、かつ導電
性にもすぐれた複合粉末に関するものである。 一般に、例えば厚膜集積回路の製造に際して
は、抵抗体ペーストをアルミナ基板上に塗布した
後、600〜800℃の温度で焼成を行なつて厚膜抵抗
体とする工程がとられ、これらの抵抗体ペースト
としては、主成分がAg粉末と、ガラス粉末と、
少量の有機樹脂溶媒からなるものや、酸化ルテニ
ウム（以下RuO2で示す）粉末と、ガラス粉末
と、少量の有機樹脂溶媒とからなるものなどが使
用されている。しかし、前者の抵抗体ペーストを
用いた場合には抵抗体の温度変化が300ppm／℃
以上と大きくなるのに対して、後者のRuO2粉末
含有の抵抗体ペーストを用いた場合には、抵抗体
の温度変化が100ppm／℃以下と少ないばかりで
なく、ノイズの発生も少なく、かつその配合割合
を調整することによつて表面抵抗を１Ω／□／
1M／□まで変化させることができることから、
前者に比して後者の抵抗体ペーストの方が広く実
用に供されているのが現状である。 また、このようにRuO2粉末は厚膜抵抗体の製
造に用いられているほか、芳香族化合物の水素化
や、ケトンおよびアルデヒドのカルボニル基の水
素化などに触媒としても使用されている。 従来、上記のような分野で使用されている
RuO2粉末は、通常、 (a) 金属Ruを粉砕し、これを酸化する方法。 (b) 塩化ルテニウムを加熱分解する方法。 (c) 塩化ルテニウムにアルカリを加え、この結果
生成した水酸化ルテニウムを加熱分解せしめる
方法。 などの方法によつて製造されているが、上記(a)お
よび(b)方法によつて製造されたRuO2粉末は、相
対的にその粒径が大きく、このため例えば上記の
抵抗体ペーストに用いた場合、分散性が悪く、均
質なペーストとすることは難しく、一方上記(c)方
法によつて製造されたRuO2粉末は、その粒径が
微細なものとなるが、粒径が不揃いであるなどの
問題点があり、さらにいずれの方法によつて製造
されたRuO2粉末もきわめてコストの高いものと
なるなどの欠点を有するものであつた。 そこで、本発明者等は、上述のような観点か
ら、微細にして均一な粒径を有し、かつ従来
RuO2粉末と同等にきわめてすぐれた導電性を有
する粉末をコスト安く製造すべく研究を行なつた
結果、微細化並びに整粒化が容易な酸化チタン
（以下TiO2で示す）粉末を担体として用い、この
TiO2粉末の表面に、RuO2を、RuO2／（RuO2＋
TiO2）の重量割合で15〜50％の量被覆せしめる
と、この結果の複合粉末は、前記TiO2粉末によ
つて微細にして粒径な均一なものとなり、かつ被
覆層を形成するRuO2によつてすぐれた導電性を
もつようになり、しかもコストの高いRuO2の量
が相対的に少ないのでコストの安いものとなると
いう知見を得たのである。 この発明は、上記知見にもとづいてなされたも
のであつて、RuO2の重量割合を15〜50％と限定
したのは、その割合が15重量％未満では所望の導
電性を確保することができず、複合粉末の比抵抗
が10-1Ω・cm以上となり（はお、比抵抗は、複合
粉末を1ton／cm2の圧力で成形してペレツト状とな
し、このペレツト状成形体を四端子法で測定して
求めた）、この結果低抵抗の厚膜抵抗体を形成す
ることが困難になり、一方その割合を50重量％を
越えて多くしてもより一層の導電性向上効果は得
られず、コスト高ともなるという理由によるもの
である。 また、この発明の複合粉末は、一般に顔料とし
て用いられているTiO2粉末と同等の平均粒径、
すなわち0.1〜1.0μｍの平均粒径、あるいはこれ
以下の平均粒径を有するTiO2粉末を、温度：90
〜100℃の加熱水中に懸濁させた状態で、これに
塩化ルテニウムをゆつくり滴下して加水分解を行
なわしめ、この場合加水分解を完全に行なわしめ
るために、必要に応じてアルカリを滴下して、前
記TiO2粉末の表面にRuO2を被覆析出せしめるこ
とによつて製造されるが、そのRuO2被覆層中に
は少量の水酸化ルテニウムを含有するので、約
600℃の温度で焼成して、これをRuO2にする必要
がある。また、この結果得られた複合粉末におい
ては、TiO2粉末とRuO2被覆層とは化学結合して
いるので、通常の粉末処理作業で前記RuO2被覆
層が剥れることはない。 つぎに、この発明の複合粉末を実施例により具
体的に説明する。 実施例 平均粒径：0.2μｍを有するTiO2粉末：10ｇを
水：100ｇ中に懸濁させ、これを90〜100℃の温度
に加熱し、これに撹拌を加えながら、それぞれ第
１表に示される量の塩化ルテニウム（Ru：34重
量％含有）を水：200ccに溶解したものからなる
塩化ルテニウム水溶液を、１時間かけてゆつくり
と滴下し、この場合前記反応液のPHを約２に保つ
ようにカ性ソーダ水溶液を同時に滴下し、反応終
了時に同PHが５となる条件で反応を行なわしめ、
ついでこの結果の反応生成物を別し、洗浄し、
乾燥した後、温度：600℃で焼成することによつ
て、それぞれ第１表に示される量のRuO2で被覆
された本発明複合粉末１〜４および比較複合粉末
を製造した。この結果得られた複合粉末の比抵抗
を第１表に示した。 第１表に示される結果から、本発明複合粉末１
〜４は、いずれもRuO2粉末のもつ比抵抗：２×
10-2Ω・cmとほぼ同等の比抵抗、すなわちRuO2
粉末と同等のすぐれた導電性を有するのに対し
て、比較複合粉末に見られるように、RuO2の被
覆量がこの発明の範囲から外れると急激な比抵抗
の増大をもたらすことが明らかである。
性にもすぐれた複合粉末に関するものである。 一般に、例えば厚膜集積回路の製造に際して
は、抵抗体ペーストをアルミナ基板上に塗布した
後、600〜800℃の温度で焼成を行なつて厚膜抵抗
体とする工程がとられ、これらの抵抗体ペースト
としては、主成分がAg粉末と、ガラス粉末と、
少量の有機樹脂溶媒からなるものや、酸化ルテニ
ウム（以下RuO2で示す）粉末と、ガラス粉末
と、少量の有機樹脂溶媒とからなるものなどが使
用されている。しかし、前者の抵抗体ペーストを
用いた場合には抵抗体の温度変化が300ppm／℃
以上と大きくなるのに対して、後者のRuO2粉末
含有の抵抗体ペーストを用いた場合には、抵抗体
の温度変化が100ppm／℃以下と少ないばかりで
なく、ノイズの発生も少なく、かつその配合割合
を調整することによつて表面抵抗を１Ω／□／
1M／□まで変化させることができることから、
前者に比して後者の抵抗体ペーストの方が広く実
用に供されているのが現状である。 また、このようにRuO2粉末は厚膜抵抗体の製
造に用いられているほか、芳香族化合物の水素化
や、ケトンおよびアルデヒドのカルボニル基の水
素化などに触媒としても使用されている。 従来、上記のような分野で使用されている
RuO2粉末は、通常、 (a) 金属Ruを粉砕し、これを酸化する方法。 (b) 塩化ルテニウムを加熱分解する方法。 (c) 塩化ルテニウムにアルカリを加え、この結果
生成した水酸化ルテニウムを加熱分解せしめる
方法。 などの方法によつて製造されているが、上記(a)お
よび(b)方法によつて製造されたRuO2粉末は、相
対的にその粒径が大きく、このため例えば上記の
抵抗体ペーストに用いた場合、分散性が悪く、均
質なペーストとすることは難しく、一方上記(c)方
法によつて製造されたRuO2粉末は、その粒径が
微細なものとなるが、粒径が不揃いであるなどの
問題点があり、さらにいずれの方法によつて製造
されたRuO2粉末もきわめてコストの高いものと
なるなどの欠点を有するものであつた。 そこで、本発明者等は、上述のような観点か
ら、微細にして均一な粒径を有し、かつ従来
RuO2粉末と同等にきわめてすぐれた導電性を有
する粉末をコスト安く製造すべく研究を行なつた
結果、微細化並びに整粒化が容易な酸化チタン
（以下TiO2で示す）粉末を担体として用い、この
TiO2粉末の表面に、RuO2を、RuO2／（RuO2＋
TiO2）の重量割合で15〜50％の量被覆せしめる
と、この結果の複合粉末は、前記TiO2粉末によ
つて微細にして粒径な均一なものとなり、かつ被
覆層を形成するRuO2によつてすぐれた導電性を
もつようになり、しかもコストの高いRuO2の量
が相対的に少ないのでコストの安いものとなると
いう知見を得たのである。 この発明は、上記知見にもとづいてなされたも
のであつて、RuO2の重量割合を15〜50％と限定
したのは、その割合が15重量％未満では所望の導
電性を確保することができず、複合粉末の比抵抗
が10-1Ω・cm以上となり（はお、比抵抗は、複合
粉末を1ton／cm2の圧力で成形してペレツト状とな
し、このペレツト状成形体を四端子法で測定して
求めた）、この結果低抵抗の厚膜抵抗体を形成す
ることが困難になり、一方その割合を50重量％を
越えて多くしてもより一層の導電性向上効果は得
られず、コスト高ともなるという理由によるもの
である。 また、この発明の複合粉末は、一般に顔料とし
て用いられているTiO2粉末と同等の平均粒径、
すなわち0.1〜1.0μｍの平均粒径、あるいはこれ
以下の平均粒径を有するTiO2粉末を、温度：90
〜100℃の加熱水中に懸濁させた状態で、これに
塩化ルテニウムをゆつくり滴下して加水分解を行
なわしめ、この場合加水分解を完全に行なわしめ
るために、必要に応じてアルカリを滴下して、前
記TiO2粉末の表面にRuO2を被覆析出せしめるこ
とによつて製造されるが、そのRuO2被覆層中に
は少量の水酸化ルテニウムを含有するので、約
600℃の温度で焼成して、これをRuO2にする必要
がある。また、この結果得られた複合粉末におい
ては、TiO2粉末とRuO2被覆層とは化学結合して
いるので、通常の粉末処理作業で前記RuO2被覆
層が剥れることはない。 つぎに、この発明の複合粉末を実施例により具
体的に説明する。 実施例 平均粒径：0.2μｍを有するTiO2粉末：10ｇを
水：100ｇ中に懸濁させ、これを90〜100℃の温度
に加熱し、これに撹拌を加えながら、それぞれ第
１表に示される量の塩化ルテニウム（Ru：34重
量％含有）を水：200ccに溶解したものからなる
塩化ルテニウム水溶液を、１時間かけてゆつくり
と滴下し、この場合前記反応液のPHを約２に保つ
ようにカ性ソーダ水溶液を同時に滴下し、反応終
了時に同PHが５となる条件で反応を行なわしめ、
ついでこの結果の反応生成物を別し、洗浄し、
乾燥した後、温度：600℃で焼成することによつ
て、それぞれ第１表に示される量のRuO2で被覆
された本発明複合粉末１〜４および比較複合粉末
を製造した。この結果得られた複合粉末の比抵抗
を第１表に示した。 第１表に示される結果から、本発明複合粉末１
〜４は、いずれもRuO2粉末のもつ比抵抗：２×
10-2Ω・cmとほぼ同等の比抵抗、すなわちRuO2
粉末と同等のすぐれた導電性を有するのに対し
て、比較複合粉末に見られるように、RuO2の被
覆量がこの発明の範囲から外れると急激な比抵抗
の増大をもたらすことが明らかである。
【表】
なお、試みにTiO2粉末に代つて、酸化けい素
粉末、酸化アルミニウム粉末、および酸化ジルコ
ニウム粉末をそれぞれ用い、上記の複合粉末製造
条件と同一の条件で複合粉末を製造すべく試験を
行なつたところ、前記のいずれの粉末の表面にも
RuO2被覆層を形成することができないものであ
つた。 上述のように、この発明の複合粉末は、担体で
あるTiO2粉末によつて微細にして均一な粒径を
有し、かつ被覆層を構成するRuO2によつてすぐ
れた導電性を有するものとなるので、これを例え
ば厚膜集積回路の厚膜抵抗体の製造に用いた場
合、さらに触媒として用いた場合には、RuO2粉
末と同等のすぐれた性能を発揮するのである。
粉末、酸化アルミニウム粉末、および酸化ジルコ
ニウム粉末をそれぞれ用い、上記の複合粉末製造
条件と同一の条件で複合粉末を製造すべく試験を
行なつたところ、前記のいずれの粉末の表面にも
RuO2被覆層を形成することができないものであ
つた。 上述のように、この発明の複合粉末は、担体で
あるTiO2粉末によつて微細にして均一な粒径を
有し、かつ被覆層を構成するRuO2によつてすぐ
れた導電性を有するものとなるので、これを例え
ば厚膜集積回路の厚膜抵抗体の製造に用いた場
合、さらに触媒として用いた場合には、RuO2粉
末と同等のすぐれた性能を発揮するのである。
Claims (1)
- １ 酸化チタン粉末の表面に、酸化ルテニウム
を、酸化ルテニウム／（酸化チタン＋酸化ルテニ
ウム）の重量割合で15〜50％の量被覆してなる均
一微細な粒径を有する導電性複合粉末。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56199555A JPS58104024A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | 均一微細な粒径を有する導電性複合粉末 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56199555A JPS58104024A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | 均一微細な粒径を有する導電性複合粉末 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58104024A JPS58104024A (ja) | 1983-06-21 |
| JPS6131960B2 true JPS6131960B2 (ja) | 1986-07-23 |
Family
ID=16409768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56199555A Granted JPS58104024A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | 均一微細な粒径を有する導電性複合粉末 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58104024A (ja) |
-
1981
- 1981-12-11 JP JP56199555A patent/JPS58104024A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58104024A (ja) | 1983-06-21 |
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