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JPS6136161B2 - - Google Patents
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JPS6136161B2 - - Google Patents

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Publication number
JPS6136161B2
JPS6136161B2 JP15431477A JP15431477A JPS6136161B2 JP S6136161 B2 JPS6136161 B2 JP S6136161B2 JP 15431477 A JP15431477 A JP 15431477A JP 15431477 A JP15431477 A JP 15431477A JP S6136161 B2 JPS6136161 B2 JP S6136161B2
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JP
Japan
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array
photoelectric
output
optical image
light
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Application number
JP15431477A
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Japanese (ja)
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JPS5487250A (en
Inventor
Takeshi Utagawa
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Nikon Corp
Original Assignee
Nippon Kogaku KK
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Publication date
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Priority to FR7831915A priority patent/FR2408840A1/en
Priority to DE2848874A priority patent/DE2848874C2/en
Priority to DE19782857899 priority patent/DE2857899A1/de
Priority to US05/959,918 priority patent/US4218623A/en
Publication of JPS5487250A publication Critical patent/JPS5487250A/en
Publication of JPS6136161B2 publication Critical patent/JPS6136161B2/ja
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、複数個の光電素子から成る光電素子
アレイ上に光像を形成しこの光像を光電変換して
光像の情報を検出する光像検出装置に係り、特に
光電素子アレイ上での光像の相対的変位を検出す
る光像変位検出装置に好適のものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an optical image detection device that forms an optical image on a photoelectric element array consisting of a plurality of photoelectric elements, and detects information of the optical image by photoelectrically converting the optical image. In particular, it is suitable for an optical image displacement detection device that detects the relative displacement of an optical image on a photoelectric element array.

光電素子アレイ上に形成された光像をそのアレ
イからのイメージ出力により検出する装置は、カ
メラ等の自動焦点検出装置を含めて種々の分野に
おいて多数提案されている。ところがこのような
光像検出装置は、振動等を受けてアレイとその上
の光像とが相対的に変位し、それまでアレイ外に
位置していた光像の部分がアレイ内に進入し、こ
れに伴いアレイ内の光像の一部がアレイ外に退出
するという事態が生ずる。
2. Description of the Related Art Many devices for detecting an optical image formed on a photoelectric element array using image output from the array have been proposed in various fields, including automatic focus detection devices for cameras and the like. However, in such an optical image detection device, the array and the optical image thereon are displaced relative to each other due to vibrations, etc., and a portion of the optical image that was previously located outside the array enters the array. This causes a situation in which a portion of the optical image within the array exits outside the array.

このようにアレイ内又は外に夫々進入又は退出
した光像部分がアレイ上の光像部分に比べて例え
ば極めて高輝度である場合には、上記進入、退出
光像部分は一般に光像検出結果に大きく影響を及
ぼし検出精度の低下を招来する。
If the light image portions entering or leaving the array are, for example, extremely bright compared to the light image portions on the array, the entering and exiting light image portions will generally not be reflected in the light image detection results. This greatly affects the detection accuracy and causes a decrease in detection accuracy.

そこで本発明の目的は、光電素子アレイの端部
に進入・退出する光像部分による影響を小さくで
きる光像検出装置を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide an optical image detection device that can reduce the influence of the optical image portion entering and exiting the end of a photoelectric element array.

本発明による光像検出装置は、 光学系によつて形成される光像を光電変換する
ために、上記光学系の結像面又はその近傍に配置
された複数個の光電素子からなる光電素子アレイ
と、 上記複数の光電素子の光電素子出力を処理して
光像に関する検出出力を作成する処理回路と、 上記アレイの端部からの光電素子出力が上記検
出出力に寄与する程度を上記アレイの中央部から
の光電素子出力が上記検出出力に寄与する程度よ
りも低下させる低減手段と、 を具備するものである。
The optical image detection device according to the present invention includes a photoelectric element array consisting of a plurality of photoelectric elements arranged at or near the image forming plane of the optical system, in order to photoelectrically convert the optical image formed by the optical system. a processing circuit that processes the photoelectric element outputs of the plurality of photoelectric elements to create a detection output related to an optical image; and reducing means for reducing the photoelectric element output from the section to a level lower than the extent that it contributes to the detection output.

以下に本発明の一実施例を図面に参照して説明
する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は実施例の原理的構成を示すもので、空
間的に一次元に配列された12個の光電素子P1
P12からなる光電素子アレイ2が図示なき光学系
の焦点面又はその近傍に配置されている。このア
レイ2にこの光学系により、或る輝度分布の光像
が結像されると、各素子Pn(n=1………12)
は、自身への入射光強度に関連した電気出力f
を発生する。今便宜上このアレイ2の光電素子P1
〜P12を3群に分割する。即、素子P1〜P4で、P5
〜P8でそして、P9〜P12で夫々第1群、第2群そ
して第3群を構成する。第m群の左からn番目の
光電素子への入射光強度を 、そしてその素子
の出力をf と表わす。各光電素子Pの出力f
後述の感度低減手段4を介して、4つの加算器6
a,6b,6c,6dからなる加算手段6に送ら
れる。6aは各素子群の最初に位置する素子P1
P5,P9の出力f ,f 、f を6bは各素子群

第2番目の素子P2,P6,P10の出力を以下同様に
6c,6dは夫々第3番目、第4番目の素子出力
を夫々加算する。ベクトル化手段8は、6a,6
b,6c,6dの出力に順次2π×1/4ずつ位相
のずれたベクトル量e2×(1/4)i、e2×(2/4)
、e2×(3/4)i、e2×(4/4)iを掛けるベクト
ル化回路8a,8b,8c,8dを有する。従つ
て、各素子群の第1番目の素子出力f ,f ,f
にはベクトル量e2×(1/4)iが第2番目の素子
出力f ,f ,f にはe2×(2/4)iが、そ
して第
3番目、第4番目の素子出力f ,f ,f

,f ,f にはe2×(3/4)i及びe2×
(4/4)i

が夫々掛けられる。加算器10は8a〜8dの出
力を合計する。
FIG. 1 shows the basic configuration of the embodiment, in which 12 photoelectric elements P 1 to 1 are spatially arranged one-dimensionally.
A photoelectric element array 2 consisting of P 12 is arranged at or near the focal plane of an optical system (not shown). When an optical image with a certain brightness distribution is formed on this array 2 by this optical system, each element Pn (n=1...12)
is the electrical output f related to the intensity of the incident light on itself
occurs. For convenience, photoelectric element P 1 of this array 2
~ Divide P 12 into 3 groups. That is, in elements P 1 to P 4 , P 5
.about.P 8 and P 9 to P 12 constitute a first group, a second group, and a third group, respectively. The intensity of light incident on the n-th photoelectric element from the left in the m-th group is expressed as m o , and the output of that element is expressed as f m o . The output f m o of each photoelectric element P is sent to four adders 6 via a sensitivity reduction means 4 to be described later.
It is sent to addition means 6 consisting of a, 6b, 6c, and 6d. 6a is the element P 1 located at the beginning of each element group,
6b is the output of the second element P 2 , P 6 , P 10 of each element group, and 6c and 6d are the outputs of the second element P 2 , P 6 , and P 10 of each element group. Add the third and fourth element outputs, respectively. The vectorization means 8 includes 6a, 6
Vector quantities e 2 〓 × (1/4)i , e 2 〓 × ( 2/4 ) whose phases are sequentially shifted by 2π × 1/4 in the outputs of b, 6c , and 6d.
It has vectorization circuits 8a, 8b, 8c, and 8d that multiply by i , e 2×(3/4)i , and e 2×(4/4)i . Therefore, the first element outputs f 1 1 , f 2 1 , f of each element group
3 1 has the vector quantity e 2×(1/4)i , the second element output f 1 2 , f 2 2 , f 3 2 has the vector quantity e 2×(2/4)i , and the second The third and fourth element outputs f 1 3 , f 2 3 , f 3 3 ,
For f 1 4 , f 2 4 , f 3 4 , e 2×(3/4)i and e 2×
(4/4)i

are multiplied respectively. Adder 10 sums the outputs of 8a-8d.

従つて、加算器10の出力Iは となる。 Therefore, the output I of the adder 10 is becomes.

以上の例は群の数が3、各群内の光電素子数が
4の場合であつたので、これを群数M各群内の素
子数Nと一般化すると、上記出力Iは となる。
The above example was for a case where the number of groups was 3 and the number of photoelectric elements in each group was 4, so if we generalize this to the number of groups M and the number of elements in each group N, the above output I is becomes.

この式から分る様に出力Iは素子アレイ2上の
像の輝度分布のフーリエ成分、即ち、各素子群の
空間的長さをdmmとすると、光像中の1/d本/
mmの空間周波数成分である。
As can be seen from this equation, the output I is the Fourier component of the brightness distribution of the image on the element array 2, that is, if the spatial length of each element group is dmm, the output I is the Fourier component of the luminance distribution of the image on the element array 2.
It is a spatial frequency component of mm.

このように、素子アレイ2の光電素子を複数の
素子群に分け、各群相互については、各群で同一
位置に属する各素子出力例えば、f ,f ,f

には同一位相のベクトル量例えば、e2×(1/4)i
が、かつ各群内については、その群内の各素子の
出力にはその素子の配列順に、位相が順次増加す
るベクトル量が掛けられるように、アレイ2の全
素子出力に、所定のベクトル量を乗ずることによ
り、アレイ上に結像した光像中から、特定のフー
リエ成分、即ち、素子群の長さdの逆数の空間周
波数成分を加算器10の出力Iとして抽出でき
る。、 次に素子アレイ上の光像が第1図で左方に光電
素子1個分だけ変位した場合の加算器10の出力
の変化を考察する。左に1素子分だけ光像が変位
したので、f の大きさの光電素子出力には、変
位前より1/Nだけ位相のずれたベクトル量e2
×〓〓が乗ぜられ、このときの加算器10の出
力I′は以下のようになる。
In this way, the photoelectric elements of the element array 2 are divided into a plurality of element groups, and for each group, the outputs of the elements belonging to the same position in each group are, for example, f 1 1 , f 2 1 , f 3
1
For example, e 2×(1/4)i
, and within each group, the outputs of all elements in array 2 are multiplied by a predetermined vector quantity so that the output of each element in that group is multiplied by a vector quantity whose phase increases sequentially in the order in which the elements are arranged. By multiplying by , a specific Fourier component, that is, a spatial frequency component that is the reciprocal of the length d of the element group, can be extracted as the output I of the adder 10 from the optical image formed on the array. Next, consider the change in the output of the adder 10 when the optical image on the element array is displaced by one photoelectric element to the left in FIG. Since the optical image is displaced by one element to the left, the photoelectric element output of magnitude f m o has a vector quantity e 2 whose phase is shifted by 1/N from before the displacement.
× 〓〓 i is multiplied, and the output I' of the adder 10 at this time is as follows.

ここで、右辺の第2項の−f 2×(O/N)i
は、光像の変位前にアレイの左端の素子P1に入射
していた光 が、その変位後、アレイ外に位置
するので、この分を考慮したものであり、また第
3項は変位によりアレイの右端の光電素子P12
新たに入射した光M+1 によるP12の出力fM+1

考慮したものである。式を整理すると、 となる。この式において{ }内の第2項は、像
の変位によつてアレイ内に入つて来た像の部分と
そこから出ていつた像の部分による影響を示すも
ので、この項が第1項に比べて十分小さく無視し
得るならば、この第1項は変位前の出力Iそのも
のなので変位前と後の加算器10の出力IとI′と
の相違はe2×(1/N)iが出力I′に付加されている
点のみである。このことは、像が丁度1素子の幅
だけ横ずれした場合、加算器10の出力の位相が
横ずれの方向に応じて2π/Nだけ増加又は減少
することを示している。上例では、1素子分の光
像の変位を考察したが、もちろん、2素子又は3
素子分の変位であつた場合には、4素子又は6素
子の出力が上述の′式の{ }内の第2項以後
に現われるので、これが第1項に無視できる程小
さければ、変位後の出力I′は2π×2/N又は2
π×3/Nだけ位相が変化することになる。
Here, the second term on the right side is −f 1 1 e 2×(O/N)i
The light 11 that was incident on the leftmost element P1 of the array before the displacement of the optical image is located outside the array after the displacement, so this is taken into consideration, and the third term is Due to the displacement, light M + 1 newly enters the photoelectric element P 12 at the right end of the array. Output f of P 12 due to 1 M+1
1
was taken into consideration. Arranging the formula, becomes. In this equation, the second term in { } indicates the influence of the part of the image that entered the array and the part of the image that went out from there due to the displacement of the image, and this term is the first term. If it is sufficiently small compared to , and can be ignored, this first term is the output I itself before displacement, so the difference between the outputs I and I' of the adder 10 before and after displacement is e 2× (1/N) The only point is that i is added to the output I'. This shows that when the image is laterally shifted by exactly one element width, the phase of the output of the adder 10 increases or decreases by 2π/N depending on the direction of the lateral shift. In the above example, the displacement of the optical image for one element was considered, but of course, the displacement of the optical image for two elements or three elements was considered.
If the displacement is for an element, the output of 4 or 6 elements will appear after the second term in { } of the above equation, so if this is so small that it can be ignored in the first term, the output after the displacement will be Output I′ is 2π×2/N or 2
The phase will change by π×3/N.

上述の第2項の無視は像の変位によりアレイ2
の一端に入り込んで来る光の強度と、他端から出
て行く光の強度とがほぼ等しい様な輝度分布の光
像の場合に成り立つが、そうでない光像の場合に
は成立しない。
Neglecting the second term above is due to the displacement of the image.
This is true in the case of an optical image with a brightness distribution such that the intensity of light entering one end is almost equal to the intensity of light exiting from the other end, but it is not true in the case of an optical image in which this is not the case.

そこで、本発明は、いかなる輝度分布の光像で
あつてもその光像と素子アレイとの相対的変位が
出力Iの位相の変位として表われることを保障す
る為に、前述の感度低減手段を設けている。
Therefore, the present invention employs the above-mentioned sensitivity reduction means in order to ensure that the relative displacement between the optical image and the element array is expressed as a phase displacement of the output I, regardless of the luminance distribution of the optical image. It is set up.

この感度低減手段4の働きは、′式の{ }
内の第1項以外の項を十分小さくすることで直接
的には、像変位によつて、アレイの一端に入り込
みそして他端から出ていつた光の強度に関連した
素子出力を十分小さくし、又、間接的には、上記
関連素子出力に電気的に係数を乗じたりすること
によつて、加算器出力I中における上記関連出力
の影響を十分小さくすることである。
The function of this sensitivity reduction means 4 is as follows:
By making the terms other than the first term sufficiently small, the element output related to the intensity of light entering one end of the array and exiting from the other end due to image displacement can be made sufficiently small. Also, indirectly, by electrically multiplying the related element output by a coefficient, the effect of the related output on the adder output I can be made sufficiently small.

従つて、この感度低減手段4の第1図の装置中
における位置は、図示位置に限るものでなく、後
述の実施例に示す如く、例えば素子2やベクトル
手段8自体に組み込まれたりするものである。
Therefore, the position of the sensitivity reducing means 4 in the apparatus shown in FIG. 1 is not limited to the illustrated position, but may be incorporated, for example, in the element 2 or the vector means 8 itself, as shown in the embodiments described later. be.

次に本発明の第1実施例を第2図により説明す
る。第2図において、正弦波交流電圧供給回路1
2はその4個の出力端子12a,12b,12
c,12d、に第3図a,b,c,dに夫々示す
如く、等しい角周波数ωを有するが、位相が順
次2π/4ずつ遅れた正弦波電圧を発生する。出
力端子12aは素子アレイ2の各群の最初に位置
する光導電素子P1,P5,P9の一方の端子と接続さ
れ、また他の出力端子12b,12c,12dも
同様に各群の配列順的に対応する光導電素子P2
P6,P10、P3,P7,P11、P4,P8,P12に夫々接続
されている。これにより、各光導電素子の出力電
流はそこに入射した光強度と、印加交流電圧に比
例したものとなる。即ち、光強度に比例した各素
子の出力電流が印加交流電圧で変調されたことに
なる。前記出力端子12a〜12dと接続されて
いない方の各光導電素子の端子は、導線13によ
つてすべて、互に一緒に接続され、演算増幅器か
らなる電流電圧変換回路14に接続されている。
従つて、各光導電素子の出力電流はすべて加算さ
れ変換回路14に入力される。この加算された加
算出力電流は第4図aに示す如く、ωの角周波
数を持ち光像の1/d本/mmの空間周波数成分の
情報を有する。この加算出力電流は変換回路、1
4により電圧に変換され、角周波数ωのバンド
パスフイルタ16により第4図bに示す交流成分
が抽出される。この交流の振幅が、所望の1/d
本/mmの空間周波数成分の大きさに比例してい
る。バンドパスフイルタ16の出力と、正弦波電
圧供給回路12の4個の出力端子のいずれか1つ
の端子(第2図では12dとした)からの出力と
の位相差を位相差測定回路18により求めると、
所望の空間周波数成分についての位相情報が得ら
れ、これにより光像の変位を検出できる。
Next, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 2, a sine wave AC voltage supply circuit 1
2 are its four output terminals 12a, 12b, 12
As shown in FIGS. 3a, 12d, and 12d, sine wave voltages having the same angular frequency ω 0 but sequentially delayed in phase by 2π/4 are generated. The output terminal 12a is connected to one terminal of the first photoconductive element P 1 , P 5 , P 9 in each group of the element array 2, and the other output terminals 12b, 12c, 12d are similarly connected to one terminal of the first photoconductive element P 1 , P 5 , P 9 in each group. Photoconductive elements P 2 corresponding to the arrangement order,
They are connected to P 6 , P 10 , P 3 , P 7 , P 11 , P 4 , P 8 , and P 12 , respectively. As a result, the output current of each photoconductive element becomes proportional to the intensity of light incident thereon and the applied alternating current voltage. That is, the output current of each element, which is proportional to the light intensity, is modulated by the applied AC voltage. The terminals of each photoconductive element that are not connected to the output terminals 12a to 12d are all connected together by a conductive wire 13 and connected to a current-voltage conversion circuit 14 comprising an operational amplifier.
Therefore, the output currents of each photoconductive element are all added together and input to the conversion circuit 14. As shown in FIG. 4a, this added output current has an angular frequency of ω 0 and has information of a spatial frequency component of 1/d lines/mm of the optical image. This addition output current is the converter circuit, 1
4 is converted into a voltage, and the AC component shown in FIG. 4b is extracted by a bandpass filter 16 with an angular frequency ω 0 . The amplitude of this alternating current is the desired 1/d
It is proportional to the size of the spatial frequency component in lines/mm. The phase difference between the output of the bandpass filter 16 and the output from any one of the four output terminals (12d in FIG. 2) of the sine wave voltage supply circuit 12 is determined by the phase difference measuring circuit 18. and,
Phase information about a desired spatial frequency component can be obtained, which allows the displacement of the optical image to be detected.

尚、この第1実施例の構成要素と第1図のそれ
とを較べると、正弦波電圧供給回路12がベクト
ル化手段8に相当し、また、各光導電素子の他端
子同士を接続している導線13が加算手段6及び
10に、そして、光導電素子2の受光面の形状が
感度低減手段4に相当している。
Comparing the components of this first embodiment with those shown in FIG. 1, the sine wave voltage supply circuit 12 corresponds to the vectorization means 8, and the other terminals of each photoconductive element are connected to each other. The conducting wires 13 correspond to the adding means 6 and 10, and the shape of the light receiving surface of the photoconductive element 2 corresponds to the sensitivity reducing means 4.

次にこの素子アレイ形状を詳述すると、アレイ
の配列方向における各光電素子の最大長さをすべ
て等しく保ち、そして第2群の光電素子P5〜P8
受光面積をすべて等しく、第1群、第2群の光電
素子P1〜P4,P9〜P12の受光面積を夫々、アレイ
の端に近い素子程、徐々に減少する様に構成して
ある。アレイの両端付近の光電素子の受光面積
を、アレイの各端へ向つて減少させているので、
両端付近の素子出力は、中央付近の素子出力に較
べ、最終出力Iに対する影響が小さくなり、かつ
減少の仕方が滑らかであるので、像の変位に対す
る出力Iの位相の変化も滑らかにできる。
Next, to explain the shape of this element array in detail, the maximum length of each photoelectric element in the arrangement direction of the array is kept equal, the light receiving areas of the photoelectric elements P 5 to P 8 of the second group are all equal, and the photoelectric elements of the first group are , the light-receiving areas of the second group of photoelectric elements P 1 to P 4 and P 9 to P 12 are configured to gradually decrease as the elements are closer to the ends of the array. Since the light-receiving area of the photoelectric elements near both ends of the array is decreased toward each end of the array,
The element outputs near both ends have less influence on the final output I than the element outputs near the center, and decrease smoothly, so that the change in phase of the output I with respect to image displacement can be made smooth.

この受光面面積の滑らかな減少は本実施例の如
く、一つの素子自体についてもアレイの配列方向
に垂直な方向の長さをアレイ端部に向つて滑らか
に減少させることによつて一層効果的となる。
This smooth reduction in the light-receiving surface area can be made even more effective by smoothly reducing the length of each element in the direction perpendicular to the array arrangement direction toward the end of the array, as in this example. becomes.

特に、アレイの両端に位置する素子P1,P12
形状を配列方向に一点に収れんする形状、即ち、
三角形状にすることは、この両端素子の影響が特
に大きいので、大切である。
In particular, a shape that converges the shapes of elements P 1 and P 12 located at both ends of the array to one point in the arrangement direction, that is,
The triangular shape is important because the influence of the elements at both ends is particularly large.

尚上例では、アレイ2の中央付近の素子の受光
面積を互に等しくし、両端付近の素子の受光面を
直線的に変化させたが、もちろん第5図に示すよ
うに、アレイ2を構成する素子全体について、そ
の中央から両端に向つて滑らかに各素子の受光面
積が減少する様に、それらの受光面形状を曲線的
に変化させてもよい。
In the above example, the light-receiving areas of the elements near the center of the array 2 were made equal to each other, and the light-receiving areas of the elements near both ends were changed linearly, but of course the array 2 could be configured as shown in FIG. The shape of the light-receiving surface of the entire element may be changed in a curved manner so that the light-receiving area of each element decreases smoothly from the center toward both ends.

また、第2図又は第3図の様に、素子の受光面
面積を変化させる場合には、同一位相のベクトル
量が乗ぜられる出力を発する素子の組P1,P5
P9、P2,P6,P10、P3,P7,P11及びP4,P8,P12
の夫々の組の受光面面積の和が等しくなる様に即
ち、素子Pnの受光面面積をPnsとしたとき、P1s
+P5s+P9s=P2s+P6s+P10s=P3s+P7s+P1
1s=P4s+P8s+P12sとなる様に定めるとよい。
この理由は、アレイの受光面全体に揮度分布の一
様な像が結像されたとき、回路14の出力が零に
する為である。
In addition, as shown in FIG. 2 or 3, when changing the light-receiving surface area of the elements, a set of elements P 1 , P 5 ,
P9 , P2 , P6 , P10 , P3 , P7 , P11 and P4 , P8 , P12
In other words, when the light-receiving surface area of element Pn is Pns, P 1s
+P 5s +P 9s =P 2s +P 6s +P 10s =P 3s +P 7s +P 1
It is preferable to set it so that 1s = P 4s + P 8s + P 12s .
The reason for this is that when an image with a uniform volatility distribution is formed over the entire light-receiving surface of the array, the output of the circuit 14 becomes zero.

次に、本発明の第2実施例を第6図により説明
する。本実施例に使用する素子アレイの光導素子
としては、光強度をそれにほぼ比例する電気信号
に変換する素子であれば、いかなる種類のもので
もよい。従つてCdSの如き光導電素子、シリコン
光電池の如き光起電素子やフオトダイオード等を
用いることができる。第6図において素子アレイ
2の各光電素子には、一定電圧+Vが印加される
ので各光電素子は光強度にのみほぼ比例した直流
電流を出力する。各群の第1番目の素子P1,P5
P9の出力端子はともにアレイ2の出力端子2aに
接続されており従つて、それらの3つの素子の出
力は加算される。同様に、対応素子P2,P6
P10、P3,P7,P11及びP4,P8,P12は夫々出力端
子2b,2c,2dに接続され、各出力はそこで
加算される。こうして、3出力を夫々加算した4
つの加算出力電流は夫々電流電圧変換回路22
a,22b,22c,22dで直流電圧に変換さ
れる。この直流電圧を第7図a,b,c,dに示
す。即ち、第7図a,b,c,dの直流電圧は
夫々光電素子P1,P5,P9の光強度の合計P2,P6
P10の光強度の合計P3,P7,P11の光強度の合計そ
してP4,P8,P12の光強度の合計に比例した値を
持つ。変調回路24は第7図a,b,c,dの直
流電圧を、第8図a,b,c,dの交流電圧に
夫々変調する。これらの交流電圧はともに等しい
角周波数ωを有するが、それらの振幅は夫々第
7図の直流電圧に比例し、かつそれらの位相は90
゜ずつ遅れている。加算回路26は変調回路24
の4つの出力を加算し、第9図に示す角周波数ω
の交流出力を発する。この交流出力の振幅1/
d本/mmの空間周波数成分の大きさに比例してお
り、第1実施例の第4図aの出力に対応する。そ
の後この加算回路26の出力を、第1実施例と同
様にバンドパスフイルタ16と位相差測定器18
を通すことにより所望の情報を得られる。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The light guide elements of the element array used in this embodiment may be any type of element as long as it converts light intensity into an electrical signal approximately proportional to the light intensity. Therefore, photoconductive elements such as CdS, photovoltaic elements such as silicon photovoltaic cells, photodiodes, etc. can be used. In FIG. 6, a constant voltage +V is applied to each photoelectric element of the element array 2, so that each photoelectric element outputs a direct current approximately proportional only to the light intensity. The first element of each group P 1 , P 5 ,
The output terminals of P 9 are both connected to the output terminal 2a of array 2, so the outputs of those three elements are summed. Similarly, the corresponding elements P 2 , P 6 ,
P 10 , P 3 , P 7 , P 11 and P 4 , P 8 , P 12 are connected to output terminals 2b, 2c, 2d, respectively, and the respective outputs are added there. In this way, the sum of the three outputs is 4
The two summed output currents are each output from the current-voltage conversion circuit 22.
It is converted into a DC voltage by a, 22b, 22c, and 22d. This DC voltage is shown in FIGS. 7a, b, c, and d. That is, the DC voltages in Figure 7 a, b, c , and d are the sum of the light intensities P 2 , P 6 ,
It has a value proportional to the total light intensity of P10 , the total light intensity of P3 , P7 , and P11 , and the total light intensity of P4 , P8 , and P12 . The modulation circuit 24 modulates the DC voltages a, b, c, d in FIG. 7 into AC voltages a, b, c, d in FIG. 8, respectively. These alternating voltages both have the same angular frequency ω 0 , but their amplitudes are each proportional to the direct voltage in FIG. 7, and their phases are 90
It is delayed by ゜. The adder circuit 26 is the modulator circuit 24
The angular frequency ω shown in Fig. 9 is obtained by adding the four outputs of
It emits an AC output of 0 . The amplitude of this AC output is 1/
It is proportional to the magnitude of the spatial frequency component of d lines/mm, and corresponds to the output of FIG. 4a of the first embodiment. Thereafter, the output of this adder circuit 26 is transferred to the bandpass filter 16 and the phase difference measuring device 18 as in the first embodiment.
The desired information can be obtained by passing the .

この第2実施例では感度低減手段4として、素
子アレイ2の受光面全体を覆う濃度フイルタ28
を用いる。このフイルタ28は、縦軸に透過率T
を横軸に光電素子位置をとつた第10図に示す如
く、アレイの両端付近における光透過率がその各
端に向つて滑らかに減少する透過率分布特性を有
する。もちろんこのフイルタも、輝度分布が一様
な像がアレイ2全体に結像されたときは加算器2
6の出力が零となるようにその透過率特性を定め
るとよい。
In this second embodiment, a density filter 28 that covers the entire light-receiving surface of the element array 2 is used as the sensitivity reduction means 4.
Use. This filter 28 has a transmittance T on the vertical axis.
As shown in FIG. 10, in which the photoelectric element position is plotted on the horizontal axis, the array has a transmittance distribution characteristic in which the light transmittance near both ends of the array decreases smoothly toward each end. Of course, this filter also applies to the adder 2 when an image with uniform luminance distribution is formed on the entire array 2.
It is preferable to determine the transmittance characteristics so that the output of 6 becomes zero.

尚、この様な透過率分布特性を有するフイルタ
をアレイ2の受光面上に蒸着等の手法によつて一
層又は多層膜として形成し、かつその膜を反射防
止膜の構成にすると更に好ましい。
Further, it is more preferable to form a filter having such a transmittance distribution characteristic as a single layer or multilayer film on the light receiving surface of the array 2 by a method such as vapor deposition, and to configure the film as an antireflection film.

第11図に変調回路24の具体的一例を示す。
正弦波電圧供給回路24Sは第2図の電圧供給回
路12と同一のもので、その4つの出力端子は
夫々第3図a,b,c,dの如く2π/4ずつ位
相の遅れた角周波数ωの交流電圧を発生する。
掛算器24a,24b,24c,24dは、夫々
電流電圧変換回路22a,22b,22c,22
dの出力電圧と、電圧源24Sの順次2π/4ず
つ遅れた出力電圧とを掛け算する。
FIG. 11 shows a specific example of the modulation circuit 24.
The sine wave voltage supply circuit 24S is the same as the voltage supply circuit 12 shown in FIG. 2, and its four output terminals each have an angular frequency whose phase is delayed by 2π/4 as shown in FIG. 3 a, b, c, and d. Generates an alternating current voltage of ω 0 .
Multipliers 24a, 24b, 24c, 24d are current-voltage conversion circuits 22a, 22b, 22c, 22, respectively.
The output voltage of d is multiplied by the output voltage of the voltage source 24S that is sequentially delayed by 2π/4.

上述の2実施例では、光強度に関連した光電素
子出力を交流信号で変調して、所望の空間周波数
成分を抽出する例であつたが、次にそれとは異な
つた方法の第3実施例を第12図により説明す
る。
In the above two embodiments, the photoelectric element output related to light intensity was modulated with an AC signal to extract a desired spatial frequency component.Next, we will explain a third embodiment using a different method. This will be explained with reference to FIG.

第12図において、素子アレイ2は一般性をも
たせる為にM個の素子群からなり、各群はN個の
光電素子から構成されているとする。尚、図で
は、第1素子群と第M素子群の夫々3つの光電素
子のみが示されている。各素子の出力は夫々が接
続した増幅器30により増幅される。増幅後の各
出力は、各群の対応位置にある素子毎に加算手段
32により加算される。例えば各群の第1番目の
位置にある素子の出力f ………f は加算手段の
うちの加算器32aにより加算される。同様に例
えば第n番目の素子の出力f ………f は、又第
N番目の素子f ………f は夫々加算器30n,
30Nで加算される。そして、このN個の加算器
30a………30n………30N(図では3個し
か示していない。)の出力に夫々ベクトル化手段
8はベクトル量ei2×1/N………ei2×n/N……
…ei2×N/Nを各ベクトル量のx、y成分の形
で乗ずる。例えば加算器30aの出力に乗算器8
axによりei2×1/Nのx成分であるcos2π×
1/Nを8ayによりそのy成分であるsin2π×
1/Nを乗じ、同様に30nの出力には8nx,
8nyにより夫々cos2π×n/N、sin2π×n/N
をまた30Nの出力には8Nx,8Nyにより夫々
cos2π×N/N、sin2π×N/Nを乗ずる。そし
て加算器34xはx成分を乗じた乗算器8ax…
……8nx………8Nxの出力を又、加算器34y
はy成分の乗算器8ay………8ny………8Nyの
出力を加算する。従つて、34x,34yの出力
を夫々X,Yとすると、 となる。こうして、この出力X,Yにより定まる
ベクトル量Iは、前述同様各素子群の長さをdと
すると、光像の1/d本/mmの空間周波数成分を
表わすことになる。このベクトル量I(X,Y)
の偏角αが光像の変位に伴なつて増減することに
なる。本実施例では、この偏角αの変化に対する
前述したアレイ両端付近の光電素子出力の影響を
小さくする為に、アレイの両端付近の素子の出力
を増幅する増幅器30の増幅率を、アレイの両端
に近い方の素子に関するもの程、徐々に小さくし
ている。即ち、本実施例では増幅器30が感度低
減手段4の働きを果している。次に偏角αの求め
てみる。
In FIG. 12, for generality, it is assumed that the element array 2 is composed of M element groups, and each group is composed of N photoelectric elements. In the figure, only three photoelectric elements in each of the first element group and the M-th element group are shown. The output of each element is amplified by an amplifier 30 connected to each element. The amplified outputs are added by the adding means 32 for each element in the corresponding position of each group. For example, the outputs f 1 1 . . . f M 1 of the elements in the first position of each group are added by the adder 32a of the adding means. Similarly, for example, the output f 1 o ... f M o of the n-th element, and the output f 1 N ... f M N of the n-th element are the adder 30n,
30N is added. Then, the vectorization means 8 applies vector quantities e i2×1/N to the outputs of these N adders 30a...30n...30N (only three are shown in the figure), respectively. i2×n/N ……
...e i2 〓 Multiply ×N/N in the form of x and y components of each vector quantity. For example, the multiplier 8
By ax, e i2x1/N x component cos2π×
1/N is calculated by 8ay to calculate its y component sin2π×
Multiply by 1/N, similarly, the output of 30n is 8nx,
8ny, respectively cos2π×n/N and sin2π×n/N
Also, for the output of 30N, 8Nx and 8Ny are used respectively.
Multiply by cos2π×N/N and sin2π×N/N. Then, the adder 34x multiplies the x component by the multiplier 8ax...
...8nx...The output of 8Nx is also added to the adder 34y.
adds the outputs of the y-component multipliers 8ay...8ny...8Ny. Therefore, if the outputs of 34x and 34y are X and Y, respectively, becomes. In this way, the vector quantity I determined by the outputs X and Y represents a spatial frequency component of 1/d lines/mm of the optical image, assuming that the length of each element group is d as described above. This vector quantity I(X,Y)
The deflection angle α increases or decreases with the displacement of the optical image. In this embodiment, in order to reduce the influence of the output of the photoelectric elements near both ends of the array described above on the change in the deflection angle α, the amplification factor of the amplifier 30 that amplifies the output of the elements near both ends of the array is changed to The smaller the element is, the closer it is to . That is, in this embodiment, the amplifier 30 functions as the sensitivity reduction means 4. Next, let's find the declination angle α.

この出力X,Yは素子アレイに対する光像の輝
度分布のみならず光像の明るさの変化によつて大
きく変化する。そこで、像の明るさによつて変化
するベクトルIの絶対値√22を演算回路3
6によつて算出し、この回路36の出力√2
Y2と回路34xの出力Xとから演算回路38x
によりX/√22=X0を算出する。同様に√
22とYとから演算回路38yによつてY/
22=Y0を算出する。この規格化された値
X0及びY0は光像の明るさに無関係となる。
The outputs X and Y vary greatly not only due to the brightness distribution of the optical image with respect to the element array but also due to changes in the brightness of the optical image. Therefore, the calculation circuit 3 calculates the absolute value √ 2 + 2 of the vector I, which changes depending on the brightness of the image.
6, the output of this circuit 36 is √ 2 +
Arithmetic circuit 38x from Y 2 and output X of circuit 34x
Calculate X/√ 2 + 2 = X 0 . Similarly √
From 2 + 2 and Y, the arithmetic circuit 38y calculates Y/
Calculate √ 2 + 2 = Y 0 . This standardized value
X 0 and Y 0 are unrelated to the brightness of the optical image.

規格化された出力X0とY0からベクトルIの偏
角αを求める方法は、αがX0及びY0の多価関数
となつていることから種々の方法がある。例えば
最も単純には、α=tan- 1Y0/X0を計算すればよ
い。ただしこの方法では一意的に決まる範囲は−
π/2<α<π/2である。本実施例ではこの範
囲よりもつと広い−π<α<πの範囲でαを一意
的に決定する方法を採用している。詳述すると
X0及びY0を入力とし、演算2sin-1{√(1−02
+Y /2}を行う演算回路40と、Y0の正負を
判別する符号判別回路42とを設け、この両回路
40,42の出力から、α算出回路44は、Y0
が正の値であるとき回路42の出力に基づき演算
回路40の出力をそのまま出力し、Y0が負のと
き演算回路40の出力に負符号を付して出力す
る。このαの増減は前述した如く、素子アレイ上
の光像のそのアレイの配列方向への変位量とその
変位方向に対応している。
There are various methods for determining the argument α of the vector I from the normalized outputs X 0 and Y 0 because α is a multivalued function of X 0 and Y 0 . For example, the simplest method is to calculate α=tan 1 Y 0 /X 0 . However, with this method, the range that is uniquely determined is −
π/2<α<π/2. In this embodiment, a method is adopted in which α is uniquely determined within the range -π<α<π, which is wider than this range. To explain in detail
Using X 0 and Y 0 as input, calculate 2sin -1 {√(1− 0 ) 2
+Y 2 0 /2} and a sign determination circuit 42 that determines whether Y 0 is positive or negative. Based on the outputs of both circuits 40 and 42, the α calculation circuit 44 calculates Y 0
When Y 0 is a positive value, the output of the arithmetic circuit 40 is output as is based on the output of the circuit 42, and when Y 0 is negative, the output of the arithmetic circuit 40 is given a negative sign and output. As described above, this increase or decrease in α corresponds to the amount and direction of displacement of the optical image on the element array in the array direction of the array.

次に第13図に、第12図のブロツク図を具体
化した構成を示す。この具体例ではM=3、N=
8としたので素子アレイ2は24個の光導電素子や
フオトダイオード等の光電素子Pからなり、これ
らの光電素子の一端は共通結線50され、図示な
き電源に接続されており、また他端は8個おきに
互に接続され、夫々対応した8個の出力端子5
1,52,53,54,55,56,57,58
の1つに接続されている。従つてこれらの8個の
出力端子51〜58には、布々8個おきの3つの
素子の出力電流の合計が現われる。各出力電流は
8回路を有する電流電圧変換回路59により出力
電圧に変換される。ベクトル化手段8は光強度に
関連した出力51〜58に順次2π/8ずつ偏角
のずれたベクトルを乗ずる為にこの8個のベクト
ルのx成分、 x1=cos0/8×2π、x2=cos1/82π、 x3=cos2/8×2π、x4=cos3/82π、 x5=cos4/8×2π、x6=cos5/8×2π、 x7=cos6/8×2π、x8=cos7/8×2π そして、そのy成分 y1=sin0/8×2π、y2=sin1/8×2π、 y3=sin2/8×2π、y4=sin3/8×2π、 y5=sin4/8×2π、y6=sin5/8×2π、 y7=sin6/8×2π、y8=sin7/8×2π を乗ずる。出力51〜58にベクトルのx成分x1
〜x8を乗ずる具体的構成としてはこのx成分の絶
対値に反比例する抵抗値を有する抵抗R1〜R8
用意し、出力51に抵抗R1を、出力52に抵抗
R2を、接続する如く各出力51〜58を、対応
する抵抗R1〜R8の一端に接続し、そしてx成分
が正の値のものx1,x2,x8に対応する抵抗R1
R2,R8の他端を加算器60を介して減算器61
の一方の入力端子に、そしてx成分が負の値のも
のx4,x5,x6に対応する抵抗R4,R5,R6の他端
を加算器62を介して減算器61の他方の入力に
接続する。これにより減算器61の出力としてX
が得られる。
Next, FIG. 13 shows a configuration that embodies the block diagram of FIG. 12. In this specific example, M=3, N=
8, the element array 2 consists of 24 photoelectric elements P such as photoconductive elements and photodiodes, and one end of these photoelectric elements is connected to a common wire 50 and connected to a power source (not shown), and the other end is connected to a power source (not shown). 8 output terminals 5 connected to each other every 8 times and corresponding to each other
1, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58
connected to one of the Therefore, the sum of the output currents of every eight elements appears at these eight output terminals 51-58. Each output current is converted into an output voltage by a current-voltage conversion circuit 59 having eight circuits. The vectorization means 8 sequentially multiplies the outputs 51 to 58 related to the light intensity by vectors whose polarization angles are shifted by 2π/8, so the x components of these eight vectors, x 1 =cos0/8×2π, x 2 = cos1/82π, x 3 = cos2/8×2π, x 4 = cos3/82π, x 5 = cos4/8×2π, x 6 = cos5/8×2π, x 7 = cos6/8×2π, x 8 = cos7/8×2π And its y component y 1 = sin0/8×2π, y 2 = sin1/8×2π, y 3 = sin2/8×2π, y 4 = sin3/8×2π, y 5 = Multiply by sin4/8×2π, y 6 = sin5/8×2π, y 7 = sin6/8×2π, y 8 = sin7/8×2π. Outputs 51 to 58 contain the x component of the vector x 1
A specific configuration for multiplying by ~x 8 is to prepare resistors R 1 to R 8 whose resistance values are inversely proportional to the absolute value of this x component, and connect resistor R 1 to output 51 and resistor R 1 to output 52.
Connect each output 51 to 58 to one end of the corresponding resistor R 1 to R 8 such that R 2 is connected, and the resistors R corresponding to those whose x component has a positive value x 1 , x 2 , x 8 1 ,
The other ends of R 2 and R 8 are connected to a subtracter 61 via an adder 60.
and the other ends of resistors R 4 , R 5 , R 6 corresponding to those whose x components have negative values x 4 , x 5 , x 6 are connected to one input terminal of the subtracter 61 via an adder 62 . Connect to the other input. As a result, the output of the subtractor 61 is
is obtained.

尚、x3=x7=0であるからR3とR7との抵抗値
は無限大となるので出力53及び57はx成分に
関するベクトル化回路には接続されない。また出
力51〜58にベクトルのy成分y1〜y8を乗ずる
のも同様の方法により抵抗R1′〜R8′、加算器6
0′,62′及び減算器61′を用いて行う。これ
により減算器61′の出力としてYが得られる。
Note that since x 3 =x 7 =0, the resistance values of R 3 and R 7 are infinite, so the outputs 53 and 57 are not connected to the vectorization circuit regarding the x component. In addition, the outputs 51 to 58 are multiplied by the y components y 1 to y 8 of the vector using the same method using the resistors R 1 ′ to R 8 ′ and the adder 6.
This is done using 0', 62' and a subtracter 61'. As a result, Y is obtained as the output of the subtracter 61'.

以上の説明から明らかなように、本発明による
と光電素子アレイの端部からの光電素子出力が検
出出力に寄与する程度をアレイの中央部からの光
電素子出力が検出出力に寄与する程度よりも低下
させたので、アレイの端部に進入又はそこから退
出する光像の影響を軽減でき検出精度を向上でき
る。
As is clear from the above description, according to the present invention, the extent to which the photoelectric element output from the ends of the photoelectric element array contributes to the detection output is greater than the extent to which the photoelectric element output from the center of the array contributes to the detection output. This reduces the influence of the optical image entering or exiting the edge of the array, thereby improving detection accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明による光学像の変位検出装置を
原理的に示すブロツク図、第2図は第1図に示す
変位検出装置の実施例を示すブロツク図、第3図
および第4図は第2図に示す変位検出装置の説明
に必要な波形図、第5図は第2図に示す光電素子
アレイの他の形状を示す側面図、第6図は本発明
による変位検出装置の第2の実施例を示すブロツ
ク図、第7図ないし第9図は第6図に示す変位検
出装置の説明に必要な波形図、第10図は第6図
に示すフイルタの光透過率分布を示す図、第11
図は第6図に示す変調回路の具体的構成を示すブ
ロツク図、第12図は本発明による変位検出装置
の第3の実施例を示すブロツク図、第13図は第
12図に示す変位検出装置の具体的構成を示す回
路図である。
FIG. 1 is a block diagram showing the principle of an optical image displacement detecting device according to the present invention, FIG. 2 is a block diagram showing an embodiment of the displacement detecting device shown in FIG. 1, and FIGS. FIG. 2 is a waveform diagram necessary for explaining the displacement detection device shown in FIG. 2, FIG. 5 is a side view showing another shape of the photoelectric element array shown in FIG. 2, and FIG. A block diagram showing an embodiment; FIGS. 7 to 9 are waveform diagrams necessary for explaining the displacement detection device shown in FIG. 6; FIG. 10 is a diagram showing the light transmittance distribution of the filter shown in FIG. 6; 11th
The figure is a block diagram showing a specific configuration of the modulation circuit shown in FIG. 6, FIG. 12 is a block diagram showing a third embodiment of the displacement detecting device according to the present invention, and FIG. 13 is a block diagram showing the displacement detecting device shown in FIG. 12. FIG. 2 is a circuit diagram showing a specific configuration of the device.

【表】 力発生手段
加算手段 10 加算器
[Table] Force generation means addition means 10 Adder

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 光学系によつて形成される光像を光電変換す
るために、該光学系の結像面又はその近傍に配置
された複数個の光電素子からなる光電素子アレイ
と、 前記光電素子の配列順にみた各光電素子出力に
周期的に位相が増加する乗数を夫々乗じる手段
と、前記乗数が乗じられた各光電素子出力を加算
する加算手段とを有し、、該光電素子の光電素子
出力を処理して光像に関する検出出力を作成する
処理回路と、 を具備し、前記素子アレイの両端付近の前記複数
の光電素子の受光面積をアレイの各端部に向つて
徐々に減少させることにより、前記アレイの端部
からの光電素子出力が前記検出出力に寄与する程
度を該アレイの中央部からの光電素子出力が該検
出出力に寄与する程度よりも低下させることを特
徴とする光像検出装置。 2 同一位相の前記乗数が乗ぜられる光電素子ど
うしの受光面積の和をすべて等しくしたことを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の光像検出装
置。 3 配列方向における前記各光電素子の長さを互
いにほぼ等しくし、そして前記両端付近の前記複
数の光電素子について、前記配列方向と垂直方向
の光電素子の長さを素子アレイの各端部に向つて
徐々に減少させることによつて前記受光面積の減
少を行つたことを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載の光像検出装置。 4 前記素子アレイの両端がほぼ1点に収れんす
るようにアレイ両端に位置する光電素子の形状を
定めたことを特徴とする特許請求の範囲第1項な
いし第3項のいずれかに記載の光像検出装置。 5 光学系によつて形成される光像を光電変換す
るために、該光学系の結像面又はその近傍に配置
された複数個の光電素子からなる光電素子アレイ
と、 前記光電素子の配列順にみた各光電素子出力に
周期的に位相が増加する乗数を夫々乗じる手段
と、前記乗数を乗じられた各光電素子出力を加算
する加算手段とを有し、該光電素子の光電素子出
力を処理して光像に関する検出出力を作成する処
理回路と、 前記アレイの端部からの光電素子出力が前記検
出出力に寄与する程度を該アレイの中央部からの
光電素子出力が該検出出力に寄与する程度よりも
低下させる低減手段と、 を具備することを特徴とする光像検出装置。 6 前記低減手段は前記素子アレイの受光面の前
に設けられたフイルタであり、該フイルタの光透
過率分布特性が前記素子アレイの両端に向つて
徐々に低下していることを特徴とする特許請求の
範囲5項記載の光像検出装置。 7 前記低減手段は前記両端付近の複数の光電素
子の出力を夫々増幅するその光電素子数に応じた
数の増幅手段を含み、前記アレイの両端に近い方
の光電素子に対応した増幅手段ほどその増幅率が
低下していることを特徴とする特許請求の範囲第
5項記載の光像検出装置。
[Scope of Claims] 1. A photoelectric element array consisting of a plurality of photoelectric elements disposed on or near the imaging plane of the optical system in order to photoelectrically convert an optical image formed by the optical system; means for multiplying each photoelectric element output viewed in the order of arrangement of the photoelectric elements by a multiplier whose phase increases periodically, and an addition means for adding the outputs of each photoelectric element multiplied by the multiplier, the photoelectric element a processing circuit that processes the output of the photoelectric elements to create a detection output related to an optical image, and gradually increases the light receiving area of the plurality of photoelectric elements near both ends of the element array toward each end of the array. reducing the extent to which photoelectric element outputs from the ends of the array contribute to the detection output than the extent to which photoelectric element outputs from the center of the array contribute to the detection output. Optical image detection device. 2. The optical image detection device according to claim 1, wherein the sum of the light receiving areas of the photoelectric elements to which the multiplier of the same phase is multiplied is all equal. 3. The lengths of each of the photoelectric elements in the array direction are made approximately equal to each other, and for the plurality of photoelectric elements near both ends, the length of the photoelectric elements in the direction perpendicular to the array direction is made to be oriented toward each end of the element array. Claim 1, characterized in that the light-receiving area is reduced by gradually reducing the light-receiving area.
The optical image detection device described in . 4. The light according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the shapes of the photoelectric elements located at both ends of the array are determined so that both ends of the element array converge to approximately one point. Image detection device. 5. A photoelectric element array consisting of a plurality of photoelectric elements disposed on or near the imaging plane of the optical system in order to photoelectrically convert the optical image formed by the optical system; means for multiplying each photoelectric element output by a multiplier whose phase increases periodically, and an addition means for adding the outputs of each photoelectric element multiplied by the multiplier, and processing the photoelectric element output of the photoelectric element. a processing circuit for generating a detection output regarding a light image; An optical image detection device characterized by comprising: a reduction means for reducing the amount by more than . 6. A patent characterized in that the reducing means is a filter provided in front of the light-receiving surface of the element array, and the light transmittance distribution characteristic of the filter gradually decreases toward both ends of the element array. The optical image detection device according to claim 5. 7. The reducing means includes a number of amplifying means corresponding to the number of photoelectric elements that amplify the outputs of the plurality of photoelectric elements near both ends of the array, and the amplifying means corresponding to the photoelectric elements closer to both ends of the array are more amplifying means. The optical image detection device according to claim 5, characterized in that the amplification factor is reduced.
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