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JPS6138638B2 - - Google Patents
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JPS6138638B2 - - Google Patents

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JPS6138638B2
JPS6138638B2 JP6583077A JP6583077A JPS6138638B2 JP S6138638 B2 JPS6138638 B2 JP S6138638B2 JP 6583077 A JP6583077 A JP 6583077A JP 6583077 A JP6583077 A JP 6583077A JP S6138638 B2 JPS6138638 B2 JP S6138638B2
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JP
Japan
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substrate
conductor
metal layer
board
circuit pattern
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JP6583077A
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Japanese (ja)
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Inventor
Ichiro Shibazaki
Kaoru Oomura
Takeo Kimura
Hidehiko Kobayashi
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Asahi Chemical Industry Co Ltd
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Asahi Chemical Industry Co Ltd
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  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は窓あけを有する印刷回路板の新規な製
造法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a new method for manufacturing printed circuit boards with apertures.

最近有望な印刷回路基板の製造法として注目さ
れ開発が各方面で積極的に行なわれているものに
アデイテイブ法と呼ばれている方法がある。この
方法は、基板上へ導体を無電解メツキにより所要
の部分のみ付着する方法であり、又、スルーホー
ル製作も容易であり、更に、エツチング法にみら
れるアンダーカツト等もなく、好ましい特徴を有
している。しかし、最近とみにその必要が要求さ
れている集積回路のチツプを直接ボンデイングす
ることが出来る印刷回路板は、このアデイテイブ
法では作ることが出来ない。集積回路チツプを直
接接続出来る印刷回路は、いわゆる窓あけを有す
るものである。第1図に、窓あけを有する印刷回
路基板の断面図を示した。基板1上の導体2が、
基板にあけられた穴の上部に張り出しており、こ
の部分は窓と呼ばれている。第2図に示されてい
るように、集積回路のチツプ3は窓の部分で導体
2と接続される。
A method called the additive method has recently attracted attention as a promising printed circuit board manufacturing method and is being actively developed in various fields. This method is a method in which the conductor is attached only to the required portions on the substrate by electroless plating, and it is also easy to fabricate through-holes, and it also has favorable features since it does not cause undercuts that occur with the etching method. are doing. However, printed circuit boards to which integrated circuit chips can be directly bonded, as is increasingly required, cannot be produced using this additive method. Printed circuits to which integrated circuit chips can be directly connected are those with so-called apertures. FIG. 1 shows a cross-sectional view of a printed circuit board with a window opening. The conductor 2 on the substrate 1 is
It protrudes from the top of a hole drilled in the board, and this part is called a window. As shown in FIG. 2, the integrated circuit chip 3 is connected to the conductor 2 at the window.

このような、窓あけを有する印刷回路板をアデ
イテイブ法によつて製作することは、この方法の
最大の課題であつた。
Producing such a printed circuit board with apertures by the additive method was the biggest challenge of this method.

発明者等は、金属の層上に良導電性の金属から
成る導体回路パターンが形成されているキヤリヤ
ー基板、または所要の部分に窓あけされた、フイ
ルムまたは積層板から選ばれた基板上に、熱硬化
性接着剤を塗布し乾燥させたのち、キヤリヤー基
板の導体回路パターンを基板上に接着転写し、つ
いで金属層を溶解除法することによつて、初めて
上述の窓あけを有する印刷回路板をアデイテイブ
法によつて製作可能ならしめる道を開いた。
The inventors have proposed a carrier substrate on which a conductive circuit pattern made of a highly conductive metal is formed on a metal layer, or a substrate selected from a film or a laminate with windows in the required areas. After applying a thermosetting adhesive and drying it, the conductor circuit pattern of the carrier board was adhesively transferred onto the board, and then the metal layer was melted and released, thereby creating the printed circuit board with the above-mentioned apertures for the first time. This paved the way for production using additive methods.

第3図は、本発明で用いるキヤリヤー基板の断
面図である。薄い金属層4の上に、導体回路パタ
ーン2が形成されている構造をもち、又、薄い金
属層は、下地基板5の上に形成されて強度的な補
強がなされている。この下地基板はキヤリヤー基
板を製造するときには存在することが好ましい
が、キヤリヤー基板としてはこの基板がなくとも
よい。この場合、薄い金属層の材料としては、
A1,Cu、Ni、Sn、等が好ましく用いられる。金
属層の厚みは、後述の除去法により除去され得る
厚みであればよく、好ましくは、1.2〜50μであ
る。また導体回路パターンの材料としては、同じ
くA1、Cu、Ni、Sn、Au、Ag、等が好ましく用
いられる。導体の材料と金属層の材料は、同一の
ものでも、又、異つたものが用いられてもよい。
導体の材料と金属の材料が同一の場合は、導体の
厚さは、金属の厚さより少くとも2倍以上必要で
ある。導体の材料と金属層の材料がちがつた金属
の場合このような条件はないが、金属層の厚さは
以下に述べる転写にたえる十分な強度をもつ限り
に於いてうすく出来る。
FIG. 3 is a cross-sectional view of a carrier substrate used in the present invention. It has a structure in which a conductive circuit pattern 2 is formed on a thin metal layer 4, and the thin metal layer is formed on a base substrate 5 to provide strength reinforcement. Although this base substrate is preferably present when manufacturing the carrier substrate, this substrate may not be present as a carrier substrate. In this case, the material for the thin metal layer is
A1, Cu, Ni, Sn, etc. are preferably used. The thickness of the metal layer may be any thickness that can be removed by the removal method described below, and is preferably 1.2 to 50 μm. Further, as the material for the conductive circuit pattern, A1, Cu, Ni, Sn, Au, Ag, etc. are preferably used. The conductor material and the metal layer material may be the same or different.
When the material of the conductor and the material of the metal are the same, the thickness of the conductor needs to be at least twice the thickness of the metal. In the case of metals in which the material of the conductor and the material of the metal layer are different, this condition does not exist, but the thickness of the metal layer can be made thin as long as it has sufficient strength to withstand the transfer described below.

下地基板としては、ポリエステルフイルム、ポ
リイミドフイルム、テフロンフイルム等が好まし
く用いられるがこれらに限らず広くポリマーフイ
ルムを用いることが出来ることはもちろんであ
る。
As the base substrate, polyester film, polyimide film, Teflon film, etc. are preferably used, but it is needless to say that the base substrate is not limited to these, and a wide variety of polymer films can be used.

下地基板は表面に更に熱可塑性の接着剤やエポ
キシ系の接着剤から成るポリマーのコーテイング
層を有する場合もあり、又無電解メツキにより表
面に金属層を付着形成せしめるための触媒が付与
される場合もある。
The base substrate may further have a polymer coating layer on its surface, consisting of a thermoplastic adhesive or an epoxy adhesive, or may be provided with a catalyst for depositing a metal layer on the surface by electroless plating. There is also.

第4図は、本発明で用いるキヤリヤー基板の別
の例であり、薄い金属フイルム4′の上面に導体
回路パターン2が形成されて成るものである。
FIG. 4 shows another example of the carrier substrate used in the present invention, in which a conductor circuit pattern 2 is formed on the upper surface of a thin metal film 4'.

本発明に於いて第3図の例に於ける金属層は、
下地基板上にメツキされた金属層であつても、蒸
着、スパツタリング等によつて形成されてもよ
く、又、うすい金属箔を接着したものであつても
よい。第4図の例に於ける金属層としてはうすい
Cu、A1、Sn等の金属フイルムが好ましく用いら
れる。
In the present invention, the metal layer in the example of FIG.
The metal layer may be plated on the base substrate, or may be formed by vapor deposition, sputtering, or the like, or may be formed by adhering a thin metal foil. The metal layer in the example in Figure 4 is thin.
Metal films such as Cu, A1, Sn, etc. are preferably used.

金属層上に形成される導体回路パターンは、メ
ツキレジストを該金属層上に、スクリーン印刷等
の方法で導体回路パターン部のみ残して塗布する
か或いはフオトレジストを塗布して回路パターン
を露光ついで現像した後、無電解メツキ又は、該
金属層を電極として電気メツキして所望の厚さま
で金属が付着せられて形成され、キヤリヤー基板
が製作される。例えば、銅の電解メツキを行ない
導体回路パターンを形成する場合、ピロリン酸銅
浴、硫酸銅浴、シアン化銅浴は好ましく用いる例
である。
The conductor circuit pattern formed on the metal layer can be formed by applying a plating resist onto the metal layer by a method such as screen printing, leaving only the conductor circuit pattern, or by applying a photoresist, exposing the circuit pattern, and then developing it. Thereafter, metal is deposited to a desired thickness by electroless plating or electroplating using the metal layer as an electrode, thereby producing a carrier substrate. For example, when electrolytically plating copper to form a conductor circuit pattern, a copper pyrophosphate bath, a copper sulfate bath, and a copper cyanide bath are preferably used.

次に、上述のキヤリヤー基板を用いた本発明の
印刷回路板の製造方法についてのべる。キヤリヤ
ー基板上の導体回路パターンのみが以下にのべる
工程で、あらかじめ窓あけされた基板上に接着転
写されて本発明の窓あけを有する印刷回路板が製
作される。
Next, a method of manufacturing a printed circuit board of the present invention using the above-mentioned carrier substrate will be described. Only the conductor circuit pattern on the carrier substrate is adhesively transferred onto the pre-perforated substrate in the steps described below to produce the perforated printed circuit board of the present invention.

所要の部分に窓あけされた基板は、例えば、ポ
リエステル、ポリイミド等のフイルムでも積層板
でもよい。しかし特にフイルムのものが好まし
い。この所要の部分に穴あけされた基板上に、キ
ヤリヤー基板上の導体回路パターンを接着転写す
るために用いられる接着剤としては、基板と導体
回路とを接着剤の流動性がない状態で接着転写し
なければならないため、熱硬化性接着剤、特にエ
ポキシ系接着剤、最適にはフエノール−エポキシ
系接着剤が好ましく用いられる。
The substrate provided with windows in required portions may be, for example, a film or a laminate made of polyester, polyimide, or the like. However, film materials are particularly preferred. The adhesive used to adhesively transfer the conductor circuit pattern on the carrier board onto the board with holes drilled in the required areas is a method that adhesively transfers the board and the conductor circuit in a state where the adhesive has no fluidity. Therefore, a thermosetting adhesive, particularly an epoxy adhesive, most preferably a phenol-epoxy adhesive, is preferably used.

第5図に接着剤6の塗布されたキヤリヤー基板
を示した。
FIG. 5 shows a carrier substrate coated with adhesive 6.

第6図に示されている如く、あらかじめ窓あけ
された基板7上にキヤリヤー基板を接着剤6によ
つて接着する。8で示したのは基板の穴で窓であ
る。第6図では、接着剤6をキヤリヤー基板上に
塗布して接着したが、接着剤は基板7上に塗布し
ておいてもよく、又、キヤリヤー基板面及び基板
7の両者に塗布しておいてもよい。更に、導体2
の上のみに塗布しただけでもよい。又、この接着
は圧着又は加熱圧着等が好ましく用いられる。特
にロール圧着は好ましく用いられる方法である。
このように、導体2が窓あけされた基板上に強固
に接着されたのち、キヤリヤー基板の下地基板5
は例えば、ひきはがすことにより、除去される。
次に金属層4のみが例えば、エツチングにより、
導体2のみを残して除去される。又、窓の部分の
不要な接着剤もこのとき除去されることはもちろ
んである。第4図に示されたキヤリヤー基板を用
いた場合には、金属フイルム4′を例えばエツチ
ングで除去するのみでよい。金属はこの他に強力
な輻射エネルギー電子ビームの照射によつても分
散除去することができる。
As shown in FIG. 6, a carrier substrate is bonded with adhesive 6 onto a substrate 7 with a pre-opened window. The hole shown at 8 is a window in the board. In FIG. 6, the adhesive 6 is applied to the carrier substrate for bonding, but the adhesive may also be applied to the substrate 7, or it may be applied to both the carrier substrate surface and the substrate 7. You can stay there. Furthermore, conductor 2
It is also possible to apply it only on top of the . Further, for this adhesion, compression bonding, heat compression bonding, or the like is preferably used. In particular, roll crimping is a preferred method.
In this way, after the conductor 2 is firmly bonded onto the perforated substrate, the base substrate 5 of the carrier substrate is bonded.
is removed, for example, by tearing it off.
Next, only the metal layer 4 is etched, for example.
It is removed leaving only conductor 2. It goes without saying that unnecessary adhesive on the window portion is also removed at this time. If the carrier substrate shown in FIG. 4 is used, it is only necessary to remove the metal film 4', for example by etching. Metals can also be dispersed and removed by irradiation with a powerful radiant energy electron beam.

このようにして、導電性金属から成る導体回路
パターン2は、第7図に示された如く、窓あけさ
れた基板7上に転写接着されて、窓あけを有する
本発明の印刷回路が製造される。
In this way, the conductive circuit pattern 2 made of conductive metal is transfer-adhered onto the windowed substrate 7, as shown in FIG. 7, and the printed circuit of the present invention having the windowed openings is manufactured. Ru.

本発明のキヤリヤー基板を用いた転写方法によ
れば、薄い金属層を引きはがしによらないで、除
去することが出来、そのため、窓あけされた印刷
回路板を極めて容易にかつ安定に製造出来る。従
つて、本発明は、アデイテイブ法による印刷回路
製作に於ける新規技術として、本方法の大巾な進
歩をもたらすとともに、アデイテイブ法の特徴を
生かした、低コストの、しかも、精度のすぐれた
窓あけを有する印刷回路板の製造方法を提供する
もので、その有用性は極めて大である。
According to the transfer method using the carrier substrate of the present invention, it is possible to remove the thin metal layer without peeling it off, and therefore, a printed circuit board with a window can be produced extremely easily and stably. Therefore, the present invention, as a new technology in the production of printed circuits using the additive method, brings about a significant advance in this method, and also provides a low-cost, high-precision window that takes advantage of the features of the additive method. The present invention provides a method for manufacturing a printed circuit board having an opening, and its usefulness is extremely large.

次に本発明を実施例にもとずいて述べるが、本
発明はこの実施例によつて限定されるものでなく
種々の変形が可能である。
Next, the present invention will be described based on examples, but the present invention is not limited to these examples and can be modified in various ways.

実施例 1 厚さ0.2mmのポリエステルフイルム上に、10μ
の厚さの熱可塑性の接着剤として熱可塑性のウレ
タン系接着剤を塗布して下地基板をつくつた。こ
のため下地基板の表面に銅の無電解メツキをする
ため塩化第一スズの塩酸酸性溶液につけ感応性を
付与し更に、塩化パラジウムの塩酸酸性溶液で塗
布層の表面を活性化した。次にシツプレー社製、
cp―70無電解メツキ液を用いて温度50℃で2時
間メツキし表面に10μの銅層を形成した。次に、
スクリーン印刷により、メツキレジストを、所望
の導体回路パターン状に残して銅層の上に塗布し
た。次に、ピロリン酸銅メツキ浴を用い、導体回
路パターン部に厚さ35μの電解銅を析出させ、導
体を形成した。キヤリヤー基板はメツキ液を十分
水洗し、表面を乾燥させたのち、ボスチツク社製
の銅張り用フエノールエポキシ樹脂を厚さ20μ塗
布し、30分間乾燥して溶液を蒸発させあらかじめ
所定の位置に穴あけしておいたポリイミドフイル
ムの厚さ75μの窓あけ基板上に160℃、30分で、
加熱圧着をした。しかるのち、ポリエステルフイ
ルムをひきはがしたのち塩化第二鉄から成る銅の
エツチング液に5分間全体を浸漬し、銅導体部の
みを残して、銅の無電解メツキにより形成された
金属層部分を溶解除去し、電気メツキによる導体
回路パターンのみが接着転写された窓あけを有す
る本発明の印刷回路板を製作した。この印刷回路
板は、集積回路(I.C.)の直接ボンデイングが出
来たことはもちろんであり、本発明の方法の極め
て有用なることを実証することが出来た。
Example 1 10μ on a 0.2mm thick polyester film
A base substrate was prepared by applying a thermoplastic urethane adhesive to a thickness of . Therefore, in order to perform electroless plating of copper on the surface of the underlying substrate, the surface of the coated layer was sensitized by dipping it in an acidic solution of stannous chloride in hydrochloric acid, and then activating the surface of the coated layer with an acidic solution of palladium chloride in hydrochloric acid. Next, manufactured by Situpre,
Using CP-70 electroless plating solution, plating was performed at a temperature of 50°C for 2 hours to form a 10μ thick copper layer on the surface. next,
A plating resist was applied over the copper layer by screen printing leaving the desired conductor circuit pattern. Next, using a copper pyrophosphate plating bath, electrolytic copper with a thickness of 35 μm was deposited on the conductor circuit pattern portion to form a conductor. After thoroughly washing the plating solution with water and drying the surface of the carrier board, apply Bostik's phenol epoxy resin for copper plating to a thickness of 20 μm, dry for 30 minutes, allow the solution to evaporate, and pre-drill holes in the predetermined positions. The polyimide film was placed on a 75μ thick window board at 160℃ for 30 minutes.
I did heat compression bonding. After that, the polyester film was peeled off and the whole was immersed in a copper etching solution made of ferric chloride for 5 minutes to remove the metal layer formed by electroless copper plating, leaving only the copper conductor part. A printed circuit board of the present invention having a window opening in which only the conductor circuit pattern by electroplating was adhesively transferred was produced by dissolving and removing the board. This printed circuit board not only allowed direct bonding of integrated circuits (ICs), but also demonstrated the great utility of the method of the present invention.

実施例 2 厚さ30μのアルミニウムの箔の上に、スクリー
ン印刷により所望の導体パターン部のみを残して
レジストを印刷した。次に、このアルミニウム箔
を電極として、導体回路パターン部に、電解メツ
キを行ない厚さ35μの銅の導体パターンを形成し
た。こうしてつくつたキヤリヤ基板上に熱硬化性
の接着剤としてボスチツク社製のフエノールエポ
キシ樹脂を20μ塗布して30分間乾燥し溶媒をとば
した。
Example 2 A resist was printed on an aluminum foil having a thickness of 30 μm by screen printing, leaving only the desired conductor pattern portions. Next, using this aluminum foil as an electrode, electrolytic plating was performed on the conductor circuit pattern portion to form a copper conductor pattern with a thickness of 35 μm. 20 µm of phenol epoxy resin manufactured by Bostik Co., Ltd. was applied as a thermosetting adhesive onto the thus prepared carrier substrate and dried for 30 minutes to evaporate the solvent.

次に、あらかじめ所要の部分に窓あけした厚さ
75μのポリイミドフイルム上に160℃、30分でキ
ヤリヤー基板を接着した。次に、アルミニウムの
選択エツチング液に、上記キヤリヤー基板と窓あ
け基板を接着した状態のものを約10分浸漬し、ア
ルミニウム箔のみを溶解除去し、導体回路パター
ンのみ接着転写された窓あけを有する本発明の印
刷回路を製作することが出来た。この印刷回路板
をI.C.の直接ボンデイングに用いることが出来た
ことはもちろんである。
Next, the thickness is determined by opening windows in the required areas in advance.
A carrier substrate was bonded onto a 75μ polyimide film at 160°C for 30 minutes. Next, the above-mentioned carrier board and window board are immersed in a selective etching solution for aluminum for about 10 minutes to dissolve and remove only the aluminum foil, leaving the window board with only the conductor circuit pattern adhesively transferred. The printed circuit of the present invention could be manufactured. Of course, this printed circuit board could be used for direct bonding of ICs.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は窓あけを有する印刷回路板の断面図で
ある。第2図は、第1図の印刷回路を用いてI.C.
チツプ3をボンデイングした状態の断面図であ
る。第3図と第4図は、本発明のキヤリヤー基板
の横断面図である。第5図は第3図のキヤリヤー
基板上に接着剤を塗布した状態での横断面図であ
る。第6図は、キヤリヤー基板を接着剤6を介し
て窓あけされた基板7上に接着した状態での断面
図を示す。第7図は、本発明で作られた窓あけを
有する印刷回路である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a printed circuit board with an aperture. Figure 2 shows an IC using the printed circuit shown in Figure 1.
FIG. 3 is a cross-sectional view of the chip 3 in a bonded state. 3 and 4 are cross-sectional views of the carrier substrate of the present invention. FIG. 5 is a cross-sectional view of the carrier substrate of FIG. 3 with adhesive applied thereto. FIG. 6 shows a cross-sectional view of a carrier substrate bonded via an adhesive 6 onto a perforated substrate 7. As shown in FIG. FIG. 7 is a printed circuit with apertures made in accordance with the present invention.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 金属の層上に良導電性の金属から成る導体回
路パターンが形成されているキヤリヤー基板、ま
たは所要の部分に窓あけされた、フイルムまたは
積層板から選ばれた基板上に、熱硬化性接着剤を
塗布し乾燥させたのち、キヤリヤー基板の導体回
路パターンを基板上に接着転写し、ついで金属層
を溶解除去することを特徴とする窓あき印刷回路
板の製造方法。
1 A thermosetting adhesive is applied to a carrier substrate on which a conductive circuit pattern made of a highly conductive metal is formed on a metal layer, or a substrate selected from films or laminates with windows in the required areas. A method for producing a printed circuit board with a window, which comprises applying an agent and drying it, adhesively transferring a conductor circuit pattern of a carrier board onto the board, and then dissolving and removing the metal layer.
JP6583077A 1977-06-06 1977-06-06 Method of making print circuit board and carrier plate therefor Granted JPS541880A (en)

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JPS541880A JPS541880A (en) 1979-01-09
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