JPS6140125B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6140125B2 JPS6140125B2 JP54155860A JP15586079A JPS6140125B2 JP S6140125 B2 JPS6140125 B2 JP S6140125B2 JP 54155860 A JP54155860 A JP 54155860A JP 15586079 A JP15586079 A JP 15586079A JP S6140125 B2 JPS6140125 B2 JP S6140125B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- photoelectric conversion
- inner tube
- conversion device
- bellows
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/60—Arrangements for cooling, heating, ventilating or compensating for temperature fluctuations
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は冷却型光電変換装置の改良に関し、と
くに2重管構造の気密容器の熱伝導による熱負荷
を減少させるため、内管を伸縮可能な金属からな
るベローズ構成とした冷却型光電変換装置に関す
るものである。
くに2重管構造の気密容器の熱伝導による熱負荷
を減少させるため、内管を伸縮可能な金属からな
るベローズ構成とした冷却型光電変換装置に関す
るものである。
従来の冷却型光電変換装置は金属たとえばステ
ンレス等からなる2重管構造の気密容器で、外管
の1部に透過窓を設け該透過窓に対向した内管の
真空側管壁に光電変換素子(レーザ素子または赤
外線検知素子)を配設した構成をそなえている。
第1図はそのような従来の構成を示しており、図
において1はたとえばステンレス製からなる外
管、2は内管であつて、これら2つのステンレス
筒体でデユウ構造の気密容器を構成している。3
は前記外管1の外側に設けた透過窓、4は前記透
過窓3に対向する内管2の上部に配設したクーリ
ングボトムで、該クーリングボトム4にはたとえ
ば赤外線検知素子5が半田付けしてある。前記赤
外線検知素子5はリード端子6よりリード線7を
介して電圧が印加される。8は輻射熱を遮蔽する
ためのシールドで、9は前記クーリングボトム4
に接して冷却器10の寒冷発生部に連なるクーリ
ングヘツドである。
ンレス等からなる2重管構造の気密容器で、外管
の1部に透過窓を設け該透過窓に対向した内管の
真空側管壁に光電変換素子(レーザ素子または赤
外線検知素子)を配設した構成をそなえている。
第1図はそのような従来の構成を示しており、図
において1はたとえばステンレス製からなる外
管、2は内管であつて、これら2つのステンレス
筒体でデユウ構造の気密容器を構成している。3
は前記外管1の外側に設けた透過窓、4は前記透
過窓3に対向する内管2の上部に配設したクーリ
ングボトムで、該クーリングボトム4にはたとえ
ば赤外線検知素子5が半田付けしてある。前記赤
外線検知素子5はリード端子6よりリード線7を
介して電圧が印加される。8は輻射熱を遮蔽する
ためのシールドで、9は前記クーリングボトム4
に接して冷却器10の寒冷発生部に連なるクーリ
ングヘツドである。
ここで赤外線検知素子5は入射光量に対応した
出力を生ずるので、これを用いた赤外線検知器は
光量子型検知器と呼ばれていて反応速度の早い長
所があるが、その反面常温よりはるかに低い温度
に冷却しないと良好に動作しない性質がある。し
かし第1図のような検知素子が上向きの構成では
液体窒素等で冷却できないので、外部からの冷却
手段として、赤外線検知素子5を半田付けしたク
ーリングボトム4に冷却器10の寒冷発生部に連
なるたとえば銅等からなるクーリングヘツド9を
押接して、前記クーリングボトム4を介して赤外
線検知素子5を冷却する構造となつているが、冷
却器10によつてクーリングヘツド9を急冷する
とクーリングヘツド9の膨張係数が大きいため、
その収縮が大きく、前記クーリングボトム4から
クーリングヘツド9が離れる状態となつて熱伝導
が悪くなり、赤外線検知器を十分冷却できず、そ
の性能を低下させる欠点があつた。
出力を生ずるので、これを用いた赤外線検知器は
光量子型検知器と呼ばれていて反応速度の早い長
所があるが、その反面常温よりはるかに低い温度
に冷却しないと良好に動作しない性質がある。し
かし第1図のような検知素子が上向きの構成では
液体窒素等で冷却できないので、外部からの冷却
手段として、赤外線検知素子5を半田付けしたク
ーリングボトム4に冷却器10の寒冷発生部に連
なるたとえば銅等からなるクーリングヘツド9を
押接して、前記クーリングボトム4を介して赤外
線検知素子5を冷却する構造となつているが、冷
却器10によつてクーリングヘツド9を急冷する
とクーリングヘツド9の膨張係数が大きいため、
その収縮が大きく、前記クーリングボトム4から
クーリングヘツド9が離れる状態となつて熱伝導
が悪くなり、赤外線検知器を十分冷却できず、そ
の性能を低下させる欠点があつた。
本発明は、前記の欠点を解消すべくなされたも
ので、金属からなる2重構造の内管を伸縮可能な
ベローズとして、常時クーリングボトムとクーリ
ングヘツドを温度変化に関係なく押接させること
に着目したものである。簡単に述べると、本発明
は透過窓を設けた外管と、光電変換素子を配設し
た内管とからなる2重管構造の冷却型光電変換装
置において、前記光電変換素子を配設した気密容
器の内管をベローズで形成するとともに、この内
管の内側に前記クーリングボトムと押圧接触し、
かつ冷却器に連なるクーリングヘツドを配置した
ことを特徴とするものである。以下図面を参照し
ながら本発明に係る冷却型光電変換装置の実施例
について詳細に説明する。
ので、金属からなる2重構造の内管を伸縮可能な
ベローズとして、常時クーリングボトムとクーリ
ングヘツドを温度変化に関係なく押接させること
に着目したものである。簡単に述べると、本発明
は透過窓を設けた外管と、光電変換素子を配設し
た内管とからなる2重管構造の冷却型光電変換装
置において、前記光電変換素子を配設した気密容
器の内管をベローズで形成するとともに、この内
管の内側に前記クーリングボトムと押圧接触し、
かつ冷却器に連なるクーリングヘツドを配置した
ことを特徴とするものである。以下図面を参照し
ながら本発明に係る冷却型光電変換装置の実施例
について詳細に説明する。
第2図は、本発明に係る一実施例を示す側断面
図で、前図と同等の部分については同一符号が付
してある。11はステンレス等からなるベローズ
で形成した内管で、12は冷却型光電変換装置と
冷却器10を止める止めねじである。
図で、前図と同等の部分については同一符号が付
してある。11はステンレス等からなるベローズ
で形成した内管で、12は冷却型光電変換装置と
冷却器10を止める止めねじである。
このような構成において、冷却器10を冷却型
光電変換装置に取り付けたときに、クーリングヘ
ツド9とクーリングボトム4を接触させた状態で
ベローズからなる内管11が伸びた状態となるよ
う固定すれば、ある程度の温度変化による伸縮が
あつても、前記ベローズ11の伸縮がこれをカバ
ーする。したがつて前記クーリングボトム4とク
ーリングヘツド9の接触面が常時密着した状態を
保持するので、熱伝導度が良好となり、さらに内
管をベローズで形成することによつて、前記ベロ
ーズで形成された内管の表面長さが従来の内管の
表面長さにくらべて3〜6倍となるのでクーリン
グヘツド9へ流入するときの熱抵抗が大きくな
り、冷却器の熱負荷すなわち冷凍容量を減少させ
ることは明白である。
光電変換装置に取り付けたときに、クーリングヘ
ツド9とクーリングボトム4を接触させた状態で
ベローズからなる内管11が伸びた状態となるよ
う固定すれば、ある程度の温度変化による伸縮が
あつても、前記ベローズ11の伸縮がこれをカバ
ーする。したがつて前記クーリングボトム4とク
ーリングヘツド9の接触面が常時密着した状態を
保持するので、熱伝導度が良好となり、さらに内
管をベローズで形成することによつて、前記ベロ
ーズで形成された内管の表面長さが従来の内管の
表面長さにくらべて3〜6倍となるのでクーリン
グヘツド9へ流入するときの熱抵抗が大きくな
り、冷却器の熱負荷すなわち冷凍容量を減少させ
ることは明白である。
一方、クーリングボトム4とクーリングヘツド
9の接触面の仕上げ精度を高めることはいうまで
もなく、またクーリングボトム4とクーリングヘ
ツド9の材料を低温において熱伝導の大きい材料
を選び、さらにベローズ材料はクーリングヘツド
9より熱収縮係数の大きい材料を使用することが
好ましい。
9の接触面の仕上げ精度を高めることはいうまで
もなく、またクーリングボトム4とクーリングヘ
ツド9の材料を低温において熱伝導の大きい材料
を選び、さらにベローズ材料はクーリングヘツド
9より熱収縮係数の大きい材料を使用することが
好ましい。
第3図は、本発明に係る冷却型光電変換装置の
クーリングボトムとクーリングヘツドの接触面形
状の他の実施例を示す要部断面図で、前図と同等
の部分については同一符号が付してある。
クーリングボトムとクーリングヘツドの接触面形
状の他の実施例を示す要部断面図で、前図と同等
の部分については同一符号が付してある。
図中aおよびbはクーリングボトム4とクーリ
ングヘツド9の接触面Sの形状を凹凸としたもの
であり、このような形状とすることによつて接触
面が大きくなることは周知である。cはクーリン
グヘツド9の頭部の円周方向に沿つて複数の突起
を形成し、クーリングボトム4の素子を取り付け
た裏面に前記クーリングヘツド9の突起に合致す
る切欠きを円周に沿つて形成したもので、クーリ
ングヘツド9をクーリングボトム4に差し込み円
周方向に90゜以下回転してかみ合うようにしたも
のである。このようにかみ合わせるとベローズで
形成した内管に双方が圧接するように引つ張られ
る状態にあるので、接触面が増大して素子5の冷
却を速めるとともに振動、衝撃に対し離れること
が防止できる。
ングヘツド9の接触面Sの形状を凹凸としたもの
であり、このような形状とすることによつて接触
面が大きくなることは周知である。cはクーリン
グヘツド9の頭部の円周方向に沿つて複数の突起
を形成し、クーリングボトム4の素子を取り付け
た裏面に前記クーリングヘツド9の突起に合致す
る切欠きを円周に沿つて形成したもので、クーリ
ングヘツド9をクーリングボトム4に差し込み円
周方向に90゜以下回転してかみ合うようにしたも
のである。このようにかみ合わせるとベローズで
形成した内管に双方が圧接するように引つ張られ
る状態にあるので、接触面が増大して素子5の冷
却を速めるとともに振動、衝撃に対し離れること
が防止できる。
なお、本実施例では赤外線検知素子について詳
述したが、赤外線検知素子に限らずレーザ素子等
低温の保持を必要とする気密容器全搬に適用が可
能である。
述したが、赤外線検知素子に限らずレーザ素子等
低温の保持を必要とする気密容器全搬に適用が可
能である。
以上説明したように、本発明を適用した冷却型
光電変換装置によれば、気密容器の内管を金属か
らなるベローズで構成することにより、熱負荷を
減少し、クーリングボトムとクーリングヘツド間
の熱伝導を良くさせるとともに、耐振動性、耐衝
撃性を向上させることが可能となるので、高品質
の冷却型光電変換装置を提供することが期待でき
る。
光電変換装置によれば、気密容器の内管を金属か
らなるベローズで構成することにより、熱負荷を
減少し、クーリングボトムとクーリングヘツド間
の熱伝導を良くさせるとともに、耐振動性、耐衝
撃性を向上させることが可能となるので、高品質
の冷却型光電変換装置を提供することが期待でき
る。
第1図は従来の冷却型光電変換装置の側断面
図、第2図は本発明に係る冷却型光電変換装置の
一実施例を示す側断面図、第3図は本発明に係る
冷却型光電変換装置のクーリングボトムとクーリ
ングヘツドの接触面形状の他の実施例を示す要部
断面図である。 1:外管、2:内管、3:透過窓、4:クーリ
ングボトム、5:赤外線検知素子、6:リード端
子、7:リード線、8:シールド、9:クーリン
グヘツド、10:冷却器、11:ベローズで形成
した内管、12:止めねじ。
図、第2図は本発明に係る冷却型光電変換装置の
一実施例を示す側断面図、第3図は本発明に係る
冷却型光電変換装置のクーリングボトムとクーリ
ングヘツドの接触面形状の他の実施例を示す要部
断面図である。 1:外管、2:内管、3:透過窓、4:クーリ
ングボトム、5:赤外線検知素子、6:リード端
子、7:リード線、8:シールド、9:クーリン
グヘツド、10:冷却器、11:ベローズで形成
した内管、12:止めねじ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 光電変換素子を取りつけたクーリングボトム
を有する内管と、前記光電変換素子に対向する位
置に透過窓を設けた外管とからなる2重管構造の
冷却型光電変換装置において、 前記内管は伸縮性を有するベローズで構成され
るとともに、該内管の内側に前記クーリングボト
ムと押圧接触し、かつ冷却器に連なるクーリング
ヘツドが配置されてなることを特徴とする冷却型
光電変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15586079A JPS5679478A (en) | 1979-11-30 | 1979-11-30 | Cooling type photoelectric conversion device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15586079A JPS5679478A (en) | 1979-11-30 | 1979-11-30 | Cooling type photoelectric conversion device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5679478A JPS5679478A (en) | 1981-06-30 |
| JPS6140125B2 true JPS6140125B2 (ja) | 1986-09-08 |
Family
ID=15615080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15586079A Granted JPS5679478A (en) | 1979-11-30 | 1979-11-30 | Cooling type photoelectric conversion device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5679478A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5952649U (ja) * | 1982-09-29 | 1984-04-06 | 富士通株式会社 | 光電変換装置 |
| JPH0650994Y2 (ja) * | 1987-08-28 | 1994-12-21 | 富士通株式会社 | 冷却型光電変換装置 |
-
1979
- 1979-11-30 JP JP15586079A patent/JPS5679478A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5679478A (en) | 1981-06-30 |
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