JPS6143559B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6143559B2 JPS6143559B2 JP56196794A JP19679481A JPS6143559B2 JP S6143559 B2 JPS6143559 B2 JP S6143559B2 JP 56196794 A JP56196794 A JP 56196794A JP 19679481 A JP19679481 A JP 19679481A JP S6143559 B2 JPS6143559 B2 JP S6143559B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- stator
- blades
- stator member
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
- F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
- F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/542—Bladed diffusers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、真空ポンプの一種である、分子ポン
プにおけるステータ（静翼）の構造に関するもの
である。
プにおけるステータ（静翼）の構造に関するもの
である。
従来のステータの構造を第１図ないし第４図に
より説明する。第１図は縦型分子ポンプの縦断面
図、第２図は組合せ翼の断面図、第３図および第
４図は翼形状による最大排気速度効率および最大
圧縮比の関係を示すグラフ、第５図は従来のステ
ータの一例を示す平面図、第６図は第５図のＡ部
から見た斜視図、第７図は第５図のＢ視図であ
る。第１図において、分子ポンプの構造は、ロー
タ２（回転翼）およびモータ５で駆動部を構成
し、該ロータ２の翼間にステータ３（静翼）を挿
入し、該ステータ３の固定用としてスペーサーリ
ング４を設け、該スペーサーリング４の外側に外
筒ケース１を設け全体を固定している。流体は上
方より侵入し下方に排気される。次に第２図にお
いて、ロータ２とステータ３の関係は、それぞれ
の翼の角度が互いに逆になるように交互に設けて
ある。そして、分子ポンプの性能は、ピツチコー
ド比S0＝ａ／ｂ、と翼角αの関係で決定される。
したがつて、分子ポンプの翼の設計法としては、
数段の翼列を設ける場合、吸気口側では排気速度
効率を大きくとり分子の通り抜けを良くし、排気
口側では排気速度効率よりも圧縮比を大きくし真
空度を上げるようにするのが普通である。このた
め、第３図および第４図に示すように排気速度効
率を良くするにはS0＝1.0付近を選定し、圧縮比
を良くするにはS0＝0.5付近を選定すれば良いこ
とがわかる。また、翼角度としては、排気速度効
率を大きくするにはα＝30〜40゜、圧縮比を大き
くするにはα＝10〜20゜とするのが有効であるな
ど周知の事実となつている。したがつて、翼の配
列は吸気口側S0＝1.0、翼角α＝30〜40゜から
除々に形状を変化させ、排気口側S0＝0.5、翼角
α＝10〜20゜にする方が効果的である。第４図に
一般的なステータの形状を示しているが、これ
は、ステータ部材である一枚円板に切れ目を入れ
これを曲げて翼を形成しているものである。機械
加工で行なえば自由なピツチコード比S0、翼角α
にて製作することができる。しかし、前記ステー
タ３においては、板厚が薄く、翼枚数が多いた
め、ピツチコード比S0および翼角αを変化させな
がら加工する場合、作業が困難であり、かつ、多
大な時間を要し、高価なものとなる。したがつ
て、板を曲げて製作するのが良好な手段である
が、前述の如くS0およびαを除々に変化させてい
た場合、１枚板からの形成であるためどうしても
限界があり、最終的なS0＝0.5、α＝10〜20゜と
いう値のものを製作するのは不可能であるという
欠点があつた。また、翼枚数を多くとる場合、ピ
ツチコード比S0、翼角αに関係なく作業的に困難
であるという欠点があつた。
より説明する。第１図は縦型分子ポンプの縦断面
図、第２図は組合せ翼の断面図、第３図および第
４図は翼形状による最大排気速度効率および最大
圧縮比の関係を示すグラフ、第５図は従来のステ
ータの一例を示す平面図、第６図は第５図のＡ部
から見た斜視図、第７図は第５図のＢ視図であ
る。第１図において、分子ポンプの構造は、ロー
タ２（回転翼）およびモータ５で駆動部を構成
し、該ロータ２の翼間にステータ３（静翼）を挿
入し、該ステータ３の固定用としてスペーサーリ
ング４を設け、該スペーサーリング４の外側に外
筒ケース１を設け全体を固定している。流体は上
方より侵入し下方に排気される。次に第２図にお
いて、ロータ２とステータ３の関係は、それぞれ
の翼の角度が互いに逆になるように交互に設けて
ある。そして、分子ポンプの性能は、ピツチコー
ド比S0＝ａ／ｂ、と翼角αの関係で決定される。
したがつて、分子ポンプの翼の設計法としては、
数段の翼列を設ける場合、吸気口側では排気速度
効率を大きくとり分子の通り抜けを良くし、排気
口側では排気速度効率よりも圧縮比を大きくし真
空度を上げるようにするのが普通である。このた
め、第３図および第４図に示すように排気速度効
率を良くするにはS0＝1.0付近を選定し、圧縮比
を良くするにはS0＝0.5付近を選定すれば良いこ
とがわかる。また、翼角度としては、排気速度効
率を大きくするにはα＝30〜40゜、圧縮比を大き
くするにはα＝10〜20゜とするのが有効であるな
ど周知の事実となつている。したがつて、翼の配
列は吸気口側S0＝1.0、翼角α＝30〜40゜から
除々に形状を変化させ、排気口側S0＝0.5、翼角
α＝10〜20゜にする方が効果的である。第４図に
一般的なステータの形状を示しているが、これ
は、ステータ部材である一枚円板に切れ目を入れ
これを曲げて翼を形成しているものである。機械
加工で行なえば自由なピツチコード比S0、翼角α
にて製作することができる。しかし、前記ステー
タ３においては、板厚が薄く、翼枚数が多いた
め、ピツチコード比S0および翼角αを変化させな
がら加工する場合、作業が困難であり、かつ、多
大な時間を要し、高価なものとなる。したがつ
て、板を曲げて製作するのが良好な手段である
が、前述の如くS0およびαを除々に変化させてい
た場合、１枚板からの形成であるためどうしても
限界があり、最終的なS0＝0.5、α＝10〜20゜と
いう値のものを製作するのは不可能であるという
欠点があつた。また、翼枚数を多くとる場合、ピ
ツチコード比S0、翼角αに関係なく作業的に困難
であるという欠点があつた。
上記の点に鑑み本発明は、板曲げ作業で製作す
るステータ翼において、所定のピツチコード比S0
および翼角αが容易に形成できるステータの構造
とすることを目的としたものである。
るステータ翼において、所定のピツチコード比S0
および翼角αが容易に形成できるステータの構造
とすることを目的としたものである。
本発明は、分子ポンプのステータを、一方のス
テータ部材に同一翼角並びに翼間隔で一方の翼を
曲げ成形し、他方のステータ部材に一方のステー
タ部材の一方の翼と同一翼角並びに翼間隔で他方
の翼を曲げ成形し、一方のステータ部材の一方の
翼の間に他方のステータ部材の他方の翼を配設し
て構成したことで、分子ポンプのステータの製作
時における所定のピツチコード比及び翼角を容易
に形成できるようにしたものである。
テータ部材に同一翼角並びに翼間隔で一方の翼を
曲げ成形し、他方のステータ部材に一方のステー
タ部材の一方の翼と同一翼角並びに翼間隔で他方
の翼を曲げ成形し、一方のステータ部材の一方の
翼の間に他方のステータ部材の他方の翼を配設し
て構成したことで、分子ポンプのステータの製作
時における所定のピツチコード比及び翼角を容易
に形成できるようにしたものである。
以下、本発明による一実施例を第８図ないし第
１２図により説明する。第８図および第９図に示
すように、まず、母材となる円板に翼の切欠きを
入れる。すなわち、対応する円板で翼の根元とな
る位置に互いに反対方向となるように斜線で示す
ような切欠きを入れ、第５図に示すステータと同
様に、同一方向に板曲げを行ない翼形状を構成し
た一方のステータ部材６および他方のステータ部
材７を製作する。即ち、一方のステータ部材６に
おいて、同一翼角並びに翼間隔で一方の翼が曲げ
成形され、他方のステータ部材７において、一方
のステータ部材６での一方の翼と同一翼角並びに
翼間隔で他方の翼が曲げ形成されている。次に第
１０図に示すように、一方のステータ部材６およ
び他方のステータ部材７を根元の切欠きが向い合
うように重ね合せ、一方のステータ部材６および
他方のステータ部材７を互いに回転させて、第１
１図および第１２図に示すように組合せステータ
を形成する。この場合、一方のステータ部材６の
一方の翼の間に他方のステータ部材７の他方の翼
が配設される。本実施例のようにすることによ
り、一方のステータ部材６の一方の翼と該翼と相
隣り合う他方のステータ部材７の他方の翼との間
隔つまり翼ピツチ２を従来の１枚ものの半分にす
ることができるため、圧縮比を高めるために必要
な理論的なピツチコード比S0の値も簡単に得るこ
とが出来る。また、ステータ部材６，７も組合せ
ステータを形成することにより、ステータ部材１
枚毎の翼枚数も従来のものに比較し少なくなるた
めに、板曲げ作業も容易となるという効果があ
る。また、翼の根元に切欠きを入れることによる
強度低下については、本品は静翼であるため強度
的には全く問題とならない。
１２図により説明する。第８図および第９図に示
すように、まず、母材となる円板に翼の切欠きを
入れる。すなわち、対応する円板で翼の根元とな
る位置に互いに反対方向となるように斜線で示す
ような切欠きを入れ、第５図に示すステータと同
様に、同一方向に板曲げを行ない翼形状を構成し
た一方のステータ部材６および他方のステータ部
材７を製作する。即ち、一方のステータ部材６に
おいて、同一翼角並びに翼間隔で一方の翼が曲げ
成形され、他方のステータ部材７において、一方
のステータ部材６での一方の翼と同一翼角並びに
翼間隔で他方の翼が曲げ形成されている。次に第
１０図に示すように、一方のステータ部材６およ
び他方のステータ部材７を根元の切欠きが向い合
うように重ね合せ、一方のステータ部材６および
他方のステータ部材７を互いに回転させて、第１
１図および第１２図に示すように組合せステータ
を形成する。この場合、一方のステータ部材６の
一方の翼の間に他方のステータ部材７の他方の翼
が配設される。本実施例のようにすることによ
り、一方のステータ部材６の一方の翼と該翼と相
隣り合う他方のステータ部材７の他方の翼との間
隔つまり翼ピツチ２を従来の１枚ものの半分にす
ることができるため、圧縮比を高めるために必要
な理論的なピツチコード比S0の値も簡単に得るこ
とが出来る。また、ステータ部材６，７も組合せ
ステータを形成することにより、ステータ部材１
枚毎の翼枚数も従来のものに比較し少なくなるた
めに、板曲げ作業も容易となるという効果があ
る。また、翼の根元に切欠きを入れることによる
強度低下については、本品は静翼であるため強度
的には全く問題とならない。
以上、本発明によれば、各ステータ部材での翼
の枚数が少なくなるとともにその間隔を広いた
め、製作が容易となり、所定のピツチコード比お
よび翼角を形成できる。
の枚数が少なくなるとともにその間隔を広いた
め、製作が容易となり、所定のピツチコード比お
よび翼角を形成できる。
第１図は縦型分子ポンプの縦断面図、第２図は
組合せ翼の断面図、第３図おび第４図は翼形状に
よる最大排気速度効率および最大圧縮比を示すグ
ラフ、第５図は従来のステータの平面図、第６図
は第５図のＡ部からの斜視図、第７図は第５図の
Ｂ視図、第８図および第９図は本発明によるステ
ータの一実施例を構成する各ステータ部材の平面
図、第１０図は本発明によるステータの一実施例
の部分拡大平面図、第１１図は第１０図のＣ部か
ら斜視図、第１２図は第１０図のＤ視図である。 １…外筒ケース、２…ロータ、３…ステータ、
６…一方のステータ部材、７…他方のステータ部
材、４…スペーサリング、５…モータ。
組合せ翼の断面図、第３図おび第４図は翼形状に
よる最大排気速度効率および最大圧縮比を示すグ
ラフ、第５図は従来のステータの平面図、第６図
は第５図のＡ部からの斜視図、第７図は第５図の
Ｂ視図、第８図および第９図は本発明によるステ
ータの一実施例を構成する各ステータ部材の平面
図、第１０図は本発明によるステータの一実施例
の部分拡大平面図、第１１図は第１０図のＣ部か
ら斜視図、第１２図は第１０図のＤ視図である。 １…外筒ケース、２…ロータ、３…ステータ、
６…一方のステータ部材、７…他方のステータ部
材、４…スペーサリング、５…モータ。
Claims (1)
- １ 一方のステータ部材に同一翼角並びに翼間隔
で一方の翼を曲げ成形し、他方のステータ部材に
前記翼と同一翼角並びに翼間隔で他方の翼を曲げ
成形し、前記一方の翼の間に前記他方の翼を配設
して構成したことを特徴とする分子ポンプのステ
ータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19679481A JPS5898696A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 分子ポンプのステ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19679481A JPS5898696A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 分子ポンプのステ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5898696A JPS5898696A (ja) | 1983-06-11 |
| JPS6143559B2 true JPS6143559B2 (ja) | 1986-09-27 |
Family
ID=16363754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19679481A Granted JPS5898696A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | 分子ポンプのステ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5898696A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02133953U (ja) * | 1989-04-15 | 1990-11-07 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60143192U (ja) * | 1984-03-02 | 1985-09-21 | セイコー精機株式会社 | タ−ボ分子ポンプの翼形状 |
| JPS62258187A (ja) * | 1986-05-02 | 1987-11-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | タ−ボ分子ポンプ用静翼板の成形方法 |
| DE10052637B4 (de) * | 2000-10-24 | 2021-03-11 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 16.02.2001 Scheiben für eine Turbomolekularpumpe |
| DE102004012713A1 (de) * | 2004-03-16 | 2005-10-06 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
| GB2440947A (en) * | 2006-08-16 | 2008-02-20 | Boc Group Plc | A stator blade made of at least two stacked sheets |
| JP6241222B2 (ja) | 2013-01-22 | 2017-12-06 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| JP7052752B2 (ja) * | 2019-01-30 | 2022-04-12 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5849434Y2 (ja) * | 1978-12-28 | 1983-11-11 | 株式会社荏原製作所 | 渦流ポンプ用の羽根車 |
-
1981
- 1981-12-09 JP JP19679481A patent/JPS5898696A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02133953U (ja) * | 1989-04-15 | 1990-11-07 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5898696A (ja) | 1983-06-11 |
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