JPS6148264B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の良否を判定するために使
用するハンドリング装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第２図イに示すように、折り曲げられた半導体
装置１のリード２の折曲角度が規格値θの範囲内
にあるかどうかを検査して半導体装置の良否を判
定し、良品と不良品とを選別するために、従来
は、作業者が半導体装置を１個ずつ目視にて行つ
ていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕 このように半導体装置の良否の判断とその選別
を作業者の手作業によつて行うときにはその作業
に多大の手数と時間を要するほか、判断基準の個
人差、判断ミスなどが原因となつて不良品がその
まま次工程に流され、又はそのまま出荷されると
いう問題が生ずる。

本発明の目的は上記問題点を解消し、半導体装
置の良，不良を機械的に判定して不良品を自動的
に排除する装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は半導体装置の搬送路を形成するレール
間に、正規の形状の半導体装置を通過させる通路
を備えたトンネルゲージを回動可能に配設し、該
トンネルゲージにレールと同一方向の姿勢と下傾
姿勢との２つの位置をとらせる姿勢変換制御機構
を設け、該トンネルゲージの入口側及び出口側に
それぞれレール上を搬送される半導体装置の通過
を検知するセンサと、下傾したトンネルゲージの
通路の延長方向上方に設置され、トンネルゲージ
の通路内から不良品の半導体装置を強制的に押し
出す押出し機構と、両センサの検出信号が設定時
間内に得られない場合に姿勢変換制御機構を動作
させてトンネルゲージをレールと同一方向の姿勢
から下傾方向に転換させるとともに押出し機構を
作動させる駆動機構とを備えたことを特徴とする
ハンドリング装置である。

〔実施例〕

以下に本発明の実施例を図によつて説明する。

第１図イにおいて、半導体装置１の搬送路を形
成する一定角度に傾斜させたレール前後の８，８
間に字状の通路３ａを内部に備えたトンネルゲ
ージ３を回動可能に枢支させ、該トンネルゲージ
３にこれをレール８と同一方向の姿勢と、下傾姿
勢とに姿勢転換させる姿勢転換制御用シリンダ９
を連結する。

トンネルゲージ３の入口及び出口側にはそれぞ
れレール８上を通過する半導体装置１の有無を検
知するセンサ５，６を設置する。

実施例ではセンサとして発光素子と受光素子と
の組合せを用い、両素子をレール８の搬送面にあ
けられた小孔をはさんで向き合せに設置した例を
示している。トンネルゲージ３に下傾姿勢をとら
せたときに上向きとなる出口側開口部と向き合せ
て不良半導体装置の押出し用シリンダ７を配置す
る。

第１図イ中、１０は前記姿勢転換制御用シリン
ダ９および不良半導体装置の押出し用シリンダ７
の動作時機と動作方向を制御する駆動機構であ
る。

駆動機構１０は両センサ５，６による半導体装
置の検知信号によつて制御される。すなわち、ト
ンネルゲージ３の入口側センサ５が半導体装置の
通過を検知した後、一定時間経過後においても出
口側センサ６に半導体装置の検知信号が得られな
いときに駆動機構１０より両シリンダ９，７に逐
次動作指令が発せられるものである。トンネルゲ
ージ３の通路３ａは第２図ハに示すように、その
リード２の折曲角度が許容範囲内にあれば、半導
体装置１を通過させるように、リード２に対応す
る部分に余裕をもたせている。また、入口側の通
路３ａの開口部形状に許容形状よりさらに広く余
裕をもたせておくことにより、リード２の折曲角
度が極端に不正なもの以外は許容範囲外のもので
あつてもトンネルゲージ３内に受け入れられる。

次に本発明の動作を説明する。第１図イにおい
て、半導体装置１はリード２を上方に向けてレー
ル８上を自重で滑走してくる。

まず、トンネルゲージ３の直前に設置されたセ
ンサ５により半導体装置１が検知される。次いで
半導体装置がトンネルゲージ３を通過した後、出
口側のセンサ６にて検知されるが、本発明では一
方のセンサ５にて検知された後他方のセンサ６に
て検知されるまでに要する時間があらかじめ設定
した時間内であるかどうかによつてリード２の良
否の判定を行うものである。リード２が正規の場
合、すなわち、折り曲げ角が許容範囲にあれば第
１図ロに示すようにトンネルゲージ３内の通過に
障害とならず、そのままスムーズに通過し、入口
側センサ５にて検知されて、一定時間後、出口側
センサ６によつて検知される。トンネルゲージ３
を通過するに要する時間を半導体装置の良否を判
定するための設定時間として定めておく。

両センサ５，６からの検知信号に基づいて半導
体装置１がトンネルゲージ３を通過する時間を駆
動機構１０にて割り出す。この場合、割り出した
時間は設定時間に一致することになるから、トン
ネルゲージ３の姿勢が転換されず、また、押出し
用シリンダ７も作動されることがない。ところが
レール８に沿つて、第２図ロに示すようなリード
２の折曲角度が規定値範囲を超えた不良品が供給
されると、まずその存在がトンネルゲージ３の入
口側のセンサ５で検出されることになるが、半導
体装置１がトンネルゲージ３を通過するのにその
リード２が障害となり、トンネルゲージ３を通過
できず、トンネルゲージ３の出口側のセンサ６で
その存在が確認できないこととなる。したがつ
て、設定時間を経過しても両センサ５，６による
検知信号により、半導体装置１がトンネルゲージ
３を通過する時間を駆動機構１０にて割り出すこ
とが不可能となる。この場合には設定時間経過
後、まず、駆動機構１０より発せられた指令を受
けてシリンダ９が動作し、第１図ハに示すように
ロツド９ａが引き込まれてトンネルゲージ３の下
傾姿勢に転換する。次いでシリンダ７が指令をう
けて動作し、そのロツド７ａがトンネルゲージ３
の通路３ａ内に突出し、トンネルゲージ３内から
半導体装置１を不良品４として強制排出させる。

排出後、シリンダ７のロツド７ａを退け、且つ
トンネルゲージ３を再びレール８と同一方向の姿
勢に転換させ、次に供給される半導体装置１の検
査に備える。以上のように動作は自動的に行わ
れ、半導体装置１の検査が順次行われることにな
る。

〔発明の効果〕

以上のように本発明は、半導体装置の搬送路を
形成するレールと同一方向の姿勢にあるトンネル
ゲージに半導体装置を通過させることにより半導
体装置の良品，不良品を選別し、その不良品を、
トンネルゲージを下傾姿勢に転換して自動的に排
出するので、従来のように１個ずつ半導体装置の
より分け作業に比べて作業に費やす時間を大巾に
短縮でき、作業能率を向上できる。

【図面の簡単な説明】

第１図イ，ロ，ハは本発明の一実施例を示すも
ので、第１図イは適正な形状の半導体装置がトン
ネルゲージ内を通過する状況を示す断面図、第１
図ロはイのｂ−ｂ線断面図、ハは不良品を排除す
る場合の状況を示す断面図、第２図イ，ロは半導
体装置のリードの変形状態を示す説明図、ハはト
ンネルゲージと半導体装置との関係を示す説明図
である。 １……半導体装置、３……トンネルゲージ、
５，６……センサ、７……押出し用シリンダ、８
……レール、９……姿勢転換制御用シリンダ、１
０……駆動機構。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 半導体装置の搬送路を形成するレール間に、
   正規の形状の半導体装置を通過させる通路を備え
   たトンネルゲージを回動可能に配設し、該トンネ
   ルゲージにレールと同一方向の姿勢と下傾姿勢と
   の２つの位置をとらせる姿勢変換制御機構を設
   け、該トンネルゲージの入口側及び出口側にそれ
   ぞれレール上を搬送される半導体装置の通過を検
   知するセンサと、下傾したトンネルゲージの通過
   の延長方向上方に設置され、トンネルゲージの通
   路内から不良品の半導体装置を強制的に押し出す
   押出し機構と、両センサの検出信号が設定時間内
   に得られない場合に姿勢変換制御機構を動作させ
   てトンネルゲージをレールと同一方向の姿勢から
   下傾方向に転換させるとともに押出し機構を作動
   させる駆動機構とを備えたことを特徴とするハン
   ドリング装置。