JPS6149916B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6149916B2 JPS6149916B2 JP54008232A JP823279A JPS6149916B2 JP S6149916 B2 JPS6149916 B2 JP S6149916B2 JP 54008232 A JP54008232 A JP 54008232A JP 823279 A JP823279 A JP 823279A JP S6149916 B2 JPS6149916 B2 JP S6149916B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- motor
- slow
- stage
- drive system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Program-control systems
- G05B19/02—Program-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form
- G05B19/416—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by control of velocity, acceleration or deceleration
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S388/00—Electricity: motor control systems
- Y10S388/90—Specific system operational feature
- Y10S388/904—Stored velocity profile
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S388/00—Electricity: motor control systems
- Y10S388/907—Specific control circuit element or device
- Y10S388/908—Frequency to voltage converter
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S388/00—Electricity: motor control systems
- Y10S388/907—Specific control circuit element or device
- Y10S388/912—Pulse or frequency counter
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S388/00—Electricity: motor control systems
- Y10S388/907—Specific control circuit element or device
- Y10S388/916—Threshold circuit
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Control Of Electric Motors In General (AREA)
- Control Of Stepping Motors (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子線描画装置等において用いられ
る試料（マスクまたはウエハ）を塔載するステー
ジを高速かつ迅速に所定の位置に位置決め（移
動）させるためのモータ駆動方式に関する。
る試料（マスクまたはウエハ）を塔載するステー
ジを高速かつ迅速に所定の位置に位置決め（移
動）させるためのモータ駆動方式に関する。
短時間にステージを移動させるためにはパルス
モータドライバに高速パルスを送り込めばよい。
しかしながら、いきなりそのパルスモータの自起
動周波数以上の高速パルスを与えると、負荷トル
クの関係からモータはパルス電流を注入している
にもかかわらず周期が乱れ脱調を起こしてしまい
回転しない。そこで起動時と停止時、除々に速度
の上昇、下降を行う、いわゆるスローアツプ・ス
ローダウン方式を採用するのが一般的である。従
来はこのスローアツプ、スローダウンに直線的な
関数を与えて速度制御を行つていた。しかし、直
線的な関数は、移動機構（モータを含めて）に最
適な形状とはいえないことが経験的に知られてお
り、また、直線関数を与えたとしても、パルスモ
ータ自体の起動特性と負荷トルクの大きさ等から
限界があり、脱調を起こす速度以上の傾斜は与え
られない等、ステージ移動の高速化に逆行してし
まう欠点を持つていた。
モータドライバに高速パルスを送り込めばよい。
しかしながら、いきなりそのパルスモータの自起
動周波数以上の高速パルスを与えると、負荷トル
クの関係からモータはパルス電流を注入している
にもかかわらず周期が乱れ脱調を起こしてしまい
回転しない。そこで起動時と停止時、除々に速度
の上昇、下降を行う、いわゆるスローアツプ・ス
ローダウン方式を採用するのが一般的である。従
来はこのスローアツプ、スローダウンに直線的な
関数を与えて速度制御を行つていた。しかし、直
線的な関数は、移動機構（モータを含めて）に最
適な形状とはいえないことが経験的に知られてお
り、また、直線関数を与えたとしても、パルスモ
ータ自体の起動特性と負荷トルクの大きさ等から
限界があり、脱調を起こす速度以上の傾斜は与え
られない等、ステージ移動の高速化に逆行してし
まう欠点を持つていた。
本発明は、上記の点に着目してなされたもので
あり、上述したスローアツプ、スローダウンを任
意形状の関数で与え、ステージ移動の高速化を可
能にしたモータ駆動方式を提供するものである。
あり、上述したスローアツプ、スローダウンを任
意形状の関数で与え、ステージ移動の高速化を可
能にしたモータ駆動方式を提供するものである。
以下、本発明を実施例を参照して説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロツク
図、第２図は各箇所での信号波形を示すものであ
る。図において、クロツク信号１（第２図ａの信
号波形）はスローアツプ、スローダウン時間を決
めるためのもので、移動指令信号１２（第２図ｅ
の信号波形）と同期して制御指令信号２（第２図
ｂの信号波形）を作成し、ゲート回路３に加え
る。なお、移動指令信号１２が論理“１”の間モ
ータが作動する。この制御指令信号２は、アツ
プ・ダウン・カウンタ４を論理“１”レベルでア
ツプ（UP）方向、論理“０”レベルでダウン
（DOWN）方向に作動ならしめるようなパルス列
信号をゲート回路３と最大値／最小値検出回路５
で作成する。すなわち、制御指令信号２の論理レ
ベルが“１”となり、アツプ・ダウン・カウンタ
４の内容がオール“１”（最大値）となるまでク
ロツク信号１が計算されて直線的にカウンタの内
容が増大してゆき、最大値に達してしまうと制御
指令信号２の論理レベルが“０”に変化しない限
りこの状態が継続される。次に、移動指令信号２
の論理レベルが“０”になると、アツプ・ダウ
ン・カウンタ４の内容がオール“０”（最小値）
となるまでクロツク信号１を計数し最小値で停止
する。
図、第２図は各箇所での信号波形を示すものであ
る。図において、クロツク信号１（第２図ａの信
号波形）はスローアツプ、スローダウン時間を決
めるためのもので、移動指令信号１２（第２図ｅ
の信号波形）と同期して制御指令信号２（第２図
ｂの信号波形）を作成し、ゲート回路３に加え
る。なお、移動指令信号１２が論理“１”の間モ
ータが作動する。この制御指令信号２は、アツ
プ・ダウン・カウンタ４を論理“１”レベルでア
ツプ（UP）方向、論理“０”レベルでダウン
（DOWN）方向に作動ならしめるようなパルス列
信号をゲート回路３と最大値／最小値検出回路５
で作成する。すなわち、制御指令信号２の論理レ
ベルが“１”となり、アツプ・ダウン・カウンタ
４の内容がオール“１”（最大値）となるまでク
ロツク信号１が計算されて直線的にカウンタの内
容が増大してゆき、最大値に達してしまうと制御
指令信号２の論理レベルが“０”に変化しない限
りこの状態が継続される。次に、移動指令信号２
の論理レベルが“０”になると、アツプ・ダウ
ン・カウンタ４の内容がオール“０”（最小値）
となるまでクロツク信号１を計数し最小値で停止
する。
そこで任意関数の速度制御を行うため、アツ
プ・ダウン・カウンタの出力信号を一坦読出し専
用メモリーROM（Read Only MemOry）６のア
ドレス情報として与え、そのアドレスに対応した
関数データを取り出し、Ｄ―Ａ変換器７でアナロ
グ信号化（第２図ｃの信号波形）する。そして、
この信号を直線性の優れたＶ／ｆ変換器（電圧→
周波数変換器）８でパルス列信号（第２図ｄの信
号波形）に変換し、ゲート回路９で移動指令信号
１２と論理積演算を行い、得られる出力信号（第
２図ｆの信号波形）でパルスモータドライバ１０
を介してパルスモータ１１駆動する。
プ・ダウン・カウンタの出力信号を一坦読出し専
用メモリーROM（Read Only MemOry）６のア
ドレス情報として与え、そのアドレスに対応した
関数データを取り出し、Ｄ―Ａ変換器７でアナロ
グ信号化（第２図ｃの信号波形）する。そして、
この信号を直線性の優れたＶ／ｆ変換器（電圧→
周波数変換器）８でパルス列信号（第２図ｄの信
号波形）に変換し、ゲート回路９で移動指令信号
１２と論理積演算を行い、得られる出力信号（第
２図ｆの信号波形）でパルスモータドライバ１０
を介してパルスモータ１１駆動する。
第２図は、本発明の他の実施例を示すブロツク
図である。まず、初期の停止状態においては、制
御指令信号は“０”となつており、従つてインバ
ータ１３の出力は“１”となるため、ゲート３″
が開いてクロツクパルスをダウン方向に計数す
る。そして、アツプ・ダウン・カウンタ４の出力
がすべて“０”になると、オール“０”検出回路
（または最小値検出回路）５″の出力が“１”にな
り、インバータ１５の出力が“０”となるからゲ
ート３″は閉じる。
図である。まず、初期の停止状態においては、制
御指令信号は“０”となつており、従つてインバ
ータ１３の出力は“１”となるため、ゲート３″
が開いてクロツクパルスをダウン方向に計数す
る。そして、アツプ・ダウン・カウンタ４の出力
がすべて“０”になると、オール“０”検出回路
（または最小値検出回路）５″の出力が“１”にな
り、インバータ１５の出力が“０”となるからゲ
ート３″は閉じる。
このような停止状態において、移動指令信号１
２（この信号が論理“１”の間モータが作動す
る）に比べて最高速度から停止状態までに到達す
る時間分だけ短かい制御指令信号２を受け取る
と、ゲート３′が開き（この時、ゲート３″は閉じ
る）、クロツクパルスを計数してアツプ・ダウ
ン・カウンタ４がアツプ方向に直線的に増大して
いく。そして、オール“１”検出回路（最大値検
出回路）５′の出力が“１”になると、インバー
タ１４の出力が“０”となつてゲート３′を閉じ
てしまう。すなわち、アツプ・ダウン・カウンタ
の内容は最大値を示して停止している。この状態
すなわちステージが最高速度で移動する状態は制
御指令信号２が“０”レベルにならない限り継続
される。
２（この信号が論理“１”の間モータが作動す
る）に比べて最高速度から停止状態までに到達す
る時間分だけ短かい制御指令信号２を受け取る
と、ゲート３′が開き（この時、ゲート３″は閉じ
る）、クロツクパルスを計数してアツプ・ダウ
ン・カウンタ４がアツプ方向に直線的に増大して
いく。そして、オール“１”検出回路（最大値検
出回路）５′の出力が“１”になると、インバー
タ１４の出力が“０”となつてゲート３′を閉じ
てしまう。すなわち、アツプ・ダウン・カウンタ
の内容は最大値を示して停止している。この状態
すなわちステージが最高速度で移動する状態は制
御指令信号２が“０”レベルにならない限り継続
される。
次に、ステージが目標値近傍に近づくと、あら
かじめスロウダウン時間だけ少なく設定してある
制御指令信号２がリセツトされ“０”レベルにな
る（この時、移動指令信号１２はまだ“１”レベ
ルの状態にある）。その結果、インバータ１３の
出力が“１”レベルになりゲート３″が開いて
（この場合、インバータ１５の出力はオール
“０”検出回路の出力が“１”にならない限り
“１”レベルである）、アツプ・ダウン・カウンタ
４がダウン方向に直線的に減少していき、オール
“０”検出回路の出力が“１”すなわちアツプ・
ダウン・カウンタ４の出力がすべて“０”になる
とゲート３″も閉じる。
かじめスロウダウン時間だけ少なく設定してある
制御指令信号２がリセツトされ“０”レベルにな
る（この時、移動指令信号１２はまだ“１”レベ
ルの状態にある）。その結果、インバータ１３の
出力が“１”レベルになりゲート３″が開いて
（この場合、インバータ１５の出力はオール
“０”検出回路の出力が“１”にならない限り
“１”レベルである）、アツプ・ダウン・カウンタ
４がダウン方向に直線的に減少していき、オール
“０”検出回路の出力が“１”すなわちアツプ・
ダウン・カウンタ４の出力がすべて“０”になる
とゲート３″も閉じる。
そこで、任意関数の速度制御を行なうため、ア
ツプ・ダウン・カウンタ４の出力をROM６のア
ドレス情報として与え、そのアドレスに対応した
関数データを取り出してＤ―Ａ変換器７でＤ―Ａ
変換する。なお、アドレスに対応した関数データ
は、、あらかじめ設定し、ROM６に格納してお
く。そして、アナログ化された信号を直線性のす
ぐれたＶ／ｆ変換器（電圧→周波数変換器）８に
入力してパルス列信号を作成し、この信号をゲー
ト９の一方に入力する。ゲート９の他一方の端子
に移動指令信号１２を加えると、第２図ｆに示す
ようなパルスモータ・ドライブ信号が得られる。
ツプ・ダウン・カウンタ４の出力をROM６のア
ドレス情報として与え、そのアドレスに対応した
関数データを取り出してＤ―Ａ変換器７でＤ―Ａ
変換する。なお、アドレスに対応した関数データ
は、、あらかじめ設定し、ROM６に格納してお
く。そして、アナログ化された信号を直線性のす
ぐれたＶ／ｆ変換器（電圧→周波数変換器）８に
入力してパルス列信号を作成し、この信号をゲー
ト９の一方に入力する。ゲート９の他一方の端子
に移動指令信号１２を加えると、第２図ｆに示す
ようなパルスモータ・ドライブ信号が得られる。
第４図は、上述の実施例におけるスローアツ
プ、スローダウンの任意形状の関数の一例を示す
ものである。前述したように、一般にパルスモー
タの場合は自起動周波数以下の駆動周波数でなけ
れば脱調を起こし、起動しない。そして、この自
起動周波数を横切る時の時間的変化（速度変化）
の割合が脱調を起こす主たる要因であり、傾斜速
度を支配する。この点、従来は前述したようにま
た第４図のａで示すように、直線関数であるから
脱調を生起させない傾斜速度を実験によつて求
め、この傾斜で最高周波数（最高速度）まで到達
せしめていた。これに対して、本発明によれば、
例えば図のｂに示すような形状の関数をスローア
ツプ、スローダウン時に与えることで最高速度に
到達するまでの時間を従来に比べて大幅に短縮す
ることを可能にした。
プ、スローダウンの任意形状の関数の一例を示す
ものである。前述したように、一般にパルスモー
タの場合は自起動周波数以下の駆動周波数でなけ
れば脱調を起こし、起動しない。そして、この自
起動周波数を横切る時の時間的変化（速度変化）
の割合が脱調を起こす主たる要因であり、傾斜速
度を支配する。この点、従来は前述したようにま
た第４図のａで示すように、直線関数であるから
脱調を生起させない傾斜速度を実験によつて求
め、この傾斜で最高周波数（最高速度）まで到達
せしめていた。これに対して、本発明によれば、
例えば図のｂに示すような形状の関数をスローア
ツプ、スローダウン時に与えることで最高速度に
到達するまでの時間を従来に比べて大幅に短縮す
ることを可能にした。
図は、一例としてスローアツプ時の曲線を与え
るものであるが、スローダウン時においても同様
である。以下、スローアツプ時を例にとつて説明
する。
るものであるが、スローダウン時においても同様
である。以下、スローアツプ時を例にとつて説明
する。
図において、起動指令により自起動周波数（通
常、高速パルスモータで2KPPS（Kilo―
pulseper second））の20〜30％手前まで急峻に
立上げ、その後、自起動周波数を横切り20〜30％
越えた時点まではゆるやかな形状を与え確実に脱
調を防止し、その後再び急峻な立上りを与え、速
やかに最高速度まで到達するプロフイールにして
いる。また、最高刺波数（例えば、上記実施例で
は10kpps）の近傍においても、従来のような急
激な速度変化をとらず、図のようなゆるやかな速
度変化を与えて、ステージの振動を減少させ、ス
ムーズな移動を可能にした。この例では、起動か
ら最高周波数に達するまでの時間は、本発明の場
合によれば30ms（＝T1）であり、従来の80ms
（＝T2）に比較して大幅な時間の短縮すなわちス
テージ移動の高速化が可能となつた。
常、高速パルスモータで2KPPS（Kilo―
pulseper second））の20〜30％手前まで急峻に
立上げ、その後、自起動周波数を横切り20〜30％
越えた時点まではゆるやかな形状を与え確実に脱
調を防止し、その後再び急峻な立上りを与え、速
やかに最高速度まで到達するプロフイールにして
いる。また、最高刺波数（例えば、上記実施例で
は10kpps）の近傍においても、従来のような急
激な速度変化をとらず、図のようなゆるやかな速
度変化を与えて、ステージの振動を減少させ、ス
ムーズな移動を可能にした。この例では、起動か
ら最高周波数に達するまでの時間は、本発明の場
合によれば30ms（＝T1）であり、従来の80ms
（＝T2）に比較して大幅な時間の短縮すなわちス
テージ移動の高速化が可能となつた。
以上の説明において用いた本発明におけるスロ
ーアツプ、スローダウン時の曲線および数値は、
上述した例に限定されるものではなく、適宜選択
可能である。
ーアツプ、スローダウン時の曲線および数値は、
上述した例に限定されるものではなく、適宜選択
可能である。
このように、スローアツプ、スローダウンの最
適曲線およびスローダウン開始点は、駆動側の機
構部の構造、負荷特性、モータおよびドライバの
電気的特性等により大きく異なつてくるが、本発
明によれば、ROMの内容を適当な形状の関数に
書き換えるのみで、ステージの位置決め時間（移
動時間）の増大をきたすことなく、当然脱調もな
いパルスモータ駆動が簡単構成でかつ安価に実現
できると共に、パルスモータのみならず、各種の
モータにも応用できるなど、実用に供してその効
果は大きい。
適曲線およびスローダウン開始点は、駆動側の機
構部の構造、負荷特性、モータおよびドライバの
電気的特性等により大きく異なつてくるが、本発
明によれば、ROMの内容を適当な形状の関数に
書き換えるのみで、ステージの位置決め時間（移
動時間）の増大をきたすことなく、当然脱調もな
いパルスモータ駆動が簡単構成でかつ安価に実現
できると共に、パルスモータのみならず、各種の
モータにも応用できるなど、実用に供してその効
果は大きい。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロツク
図、第２図は、その各箇所における信号波形を示
す図、第３図は、本発明の他の実施例に示すブロ
ツク図、および第４図は、ステージ移動のスロー
アツプ時の一例を説明する図である。 図において、１…クロツク信号、２…制御指令
信号、３，９…ゲート回路、４…アツプダウンカ
ウンタ、５…最大値、最小値検出回路、６…
ROM、７…Ｄ―Ａ変換器、８…電圧―周波数変
換器、１０…パルスモータドライバ、１１…モー
タ、１２…移動指令信号。
図、第２図は、その各箇所における信号波形を示
す図、第３図は、本発明の他の実施例に示すブロ
ツク図、および第４図は、ステージ移動のスロー
アツプ時の一例を説明する図である。 図において、１…クロツク信号、２…制御指令
信号、３，９…ゲート回路、４…アツプダウンカ
ウンタ、５…最大値、最小値検出回路、６…
ROM、７…Ｄ―Ａ変換器、８…電圧―周波数変
換器、１０…パルスモータドライバ、１１…モー
タ、１２…移動指令信号。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 試料を塔載するステージをモータの起動時と
停止時にそれぞれ速度のスローアツプ、スローダ
ウンを行なつて所定の位置に位置決め移動せしめ
るステージ移動用モータ駆動方式において、あら
かじめ設定したステージ移動指令信号よりもスロ
ーダウン時間分だけ短かい制御指令信号とスロー
アツプ、スローダウン時間を決めるためのクロツ
ク信号に基づき、アツプダウンカウンタを論理
“１”レベルでアツプ方向に、論理“０”レベル
でダウン方向に作動ならしめるパルス列信号をゲ
ート回路と最大値／最少値検出回路で作成し、該
アツプダウンカウンタの出力信号を読出し専用メ
モリーのアドレス情報として与えてそのアドレス
に対応した任意形状の関数データを取り出し、こ
れをＤ―Ａ変換してアナログ信号化せしめ、該ア
ナログ信号を電圧―周波数変換器でパルス列信号
に変換し、ゲート回路で上記ステージ移動指令信
号と論理積演算を行ない、得られる出力信号でモ
ータを駆動するように構成したことを特徴とする
ステージ移動用モータ駆動方式。 ２ 上記モータが、パルスモータで構成されるこ
とを特徴とする上記特許請求の範囲第１項記載の
ステージ移動用モータ駆動方式。 ３ 上記読出し専用メモリーに格納される上記関
数データが、周波数ゼロ時から上記パルスモータ
の自起動周波数到達前後付近においてゆるやかな
形状を与え、その後再び急峻に立上り、最高周波
数到達前付近でゆるやかな形状を与える如く構成
されていることを特徴とする上記特許請求の範囲
第２項記載のステージ移動用モータ駆動方式。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP823279A JPS55103097A (en) | 1979-01-29 | 1979-01-29 | System for driving motor for moving stage |
| NL7908763A NL7908763A (nl) | 1979-01-29 | 1979-12-04 | Stuurinrichting voor een motor. |
| US06/112,747 US4254368A (en) | 1979-01-29 | 1980-01-17 | Apparatus for driving a motor |
| DE3002501A DE3002501C2 (de) | 1979-01-29 | 1980-01-24 | Steuereinrichtung für Stellmotore |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP823279A JPS55103097A (en) | 1979-01-29 | 1979-01-29 | System for driving motor for moving stage |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55103097A JPS55103097A (en) | 1980-08-06 |
| JPS6149916B2 true JPS6149916B2 (ja) | 1986-10-31 |
Family
ID=11687405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP823279A Granted JPS55103097A (en) | 1979-01-29 | 1979-01-29 | System for driving motor for moving stage |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4254368A (ja) |
| JP (1) | JPS55103097A (ja) |
| DE (1) | DE3002501C2 (ja) |
| NL (1) | NL7908763A (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS584320A (ja) * | 1981-06-25 | 1983-01-11 | Fanuc Ltd | 放電加工機制御方式 |
| JPS584382A (ja) * | 1981-06-26 | 1983-01-11 | ファナック株式会社 | 工業用ロボツトの制御方式 |
| JPS59188396A (ja) * | 1983-04-08 | 1984-10-25 | Tokyo Electric Co Ltd | ステツプモ−タ駆動方法 |
| JPS59197901A (ja) * | 1983-04-25 | 1984-11-09 | Canon Inc | 運動制御装置 |
| JPS6146186A (ja) * | 1984-08-07 | 1986-03-06 | Mitsubishi Electric Corp | 速度制御方法 |
| US4734629A (en) * | 1985-08-09 | 1988-03-29 | Black & Decker Inc. | Variable speed trigger switch |
| JPS63148882A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-21 | Ricoh Co Ltd | モ−タの速度制御装置 |
| JPH02178811A (ja) * | 1988-12-29 | 1990-07-11 | Hitachi Seiko Ltd | サーボ制御装置 |
| US4952857A (en) * | 1989-03-24 | 1990-08-28 | Quanscan, Inc. | Scanning micromechanical probe control system |
| JPH0345197A (ja) * | 1989-07-12 | 1991-02-26 | Canon Inc | パルスモータ駆動装置 |
| US5265188A (en) * | 1990-12-10 | 1993-11-23 | Ricoh Company, Ltd. | Control system for controlling object at constant state |
| FR2819952B1 (fr) * | 2001-01-25 | 2003-04-25 | Valeo Climatisation | Commande optimisee d'actionneur de volet d'une installation de climatisation de vehicule automobile |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5628115B2 (ja) * | 1972-12-29 | 1981-06-29 | ||
| US3838325A (en) * | 1973-08-30 | 1974-09-24 | K Kobayashi | Motor speed acceleration-deceleration control circuit |
| GB1486428A (en) * | 1974-04-11 | 1977-09-21 | Int Computers Ltd | Motor drive control arrangements |
| US3950682A (en) * | 1974-12-19 | 1976-04-13 | International Business Machines Corporation | Digital dc motor velocity control system |
| JPS5185416A (ja) * | 1975-01-24 | 1976-07-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Parusumootakudokairo |
| JPS51120380A (en) * | 1975-04-16 | 1976-10-21 | Toyoda Mach Works Ltd | Servo motor control device |
| GB1492895A (en) * | 1975-05-17 | 1977-11-23 | Int Computers Ltd | Servo systems |
| JPS5272077A (en) * | 1975-12-05 | 1977-06-16 | Hitachi Ltd | Positioning system |
| JPS53113977A (en) * | 1977-03-15 | 1978-10-04 | Oki Electric Ind Co Ltd | Acceleration and deceleration systems in numerical value control |
-
1979
- 1979-01-29 JP JP823279A patent/JPS55103097A/ja active Granted
- 1979-12-04 NL NL7908763A patent/NL7908763A/nl not_active Application Discontinuation
-
1980
- 1980-01-17 US US06/112,747 patent/US4254368A/en not_active Expired - Lifetime
- 1980-01-24 DE DE3002501A patent/DE3002501C2/de not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NL7908763A (nl) | 1980-07-31 |
| JPS55103097A (en) | 1980-08-06 |
| DE3002501C2 (de) | 1982-04-08 |
| US4254368A (en) | 1981-03-03 |
| DE3002501A1 (de) | 1980-07-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6149916B2 (ja) | ||
| US4072888A (en) | Method of controlling a stepper motor | |
| US6831432B2 (en) | Motor driving device and motor driving method | |
| JPH07503838A (ja) | ステッパモータ駆動回路 | |
| US4477757A (en) | Phase commutator for closed loop control of a stepping motor | |
| US5184049A (en) | Motor brake control circuit for reducing motor stopping time | |
| US3668494A (en) | Constant displacement stopping control | |
| US5231343A (en) | Driving apparatus for stepping motor capable of restraining motor noise | |
| US4417189A (en) | Control circuit for stepper motor | |
| JPH02273098A (ja) | ステッピングモータの駆動方式 | |
| JPS60241797A (ja) | ステツピングモ−タの制御回路 | |
| JPH09103094A (ja) | ステッピングモータの緩起動・緩停止・速度変更方法 | |
| US4151448A (en) | Pulse motor driving system | |
| JPS623680B2 (ja) | ||
| JPH01303679A (ja) | 磁気ディスク装置 | |
| EP0220814A2 (en) | Means and method for stepping motor stabilization | |
| JPH06189598A (ja) | ステッピングモータの駆動制御装置 | |
| JP2852142B2 (ja) | モータ駆動制御回路 | |
| JP3525735B2 (ja) | ステッピングモータ制御装置及びステッピングモータ制御方法 | |
| JPH04150796A (ja) | ステッピングモータの脱調検出方法 | |
| JPS60141197A (ja) | ステツプモ−タ駆動方式 | |
| JP2827601B2 (ja) | 位置決め制御装置 | |
| KR930004032B1 (ko) | 스텝모터의 미세스텝 구동제어시스템 | |
| JPH0112554Y2 (ja) | ||
| JPS6210118B2 (ja) |