JPS6158941B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6158941B2 JPS6158941B2 JP54021944A JP2194479A JPS6158941B2 JP S6158941 B2 JPS6158941 B2 JP S6158941B2 JP 54021944 A JP54021944 A JP 54021944A JP 2194479 A JP2194479 A JP 2194479A JP S6158941 B2 JPS6158941 B2 JP S6158941B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- ion
- electrode
- sample holder
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、試料を微動して試料面の分析を行う
イオンマイクロアナライザに係り、特に試料微動
時に二次イオン引出し効率の変化のないイオンマ
イクロアナライザに関する。
イオンマイクロアナライザに係り、特に試料微動
時に二次イオン引出し効率の変化のないイオンマ
イクロアナライザに関する。
第１図は従来のイオンマイクロアナライザの要
部概略図である。図において試料ホルダ４の上に
は、１個または複数個の試料３がマウントされ、
一次イオンビーム１が照射される。一次イオン照
射によつて試料３より放出される正の二次イオン
６は、試料電位より低電位の引出し電極５により
方向付されて質量分析計（図示せず）へ導かれ
る。また試料ホルダ４は、一次イオン入射および
二次イオン引出し部の開孔２Ａ，２Ｂを有し、か
つ試料電位に保たれた補助電極２によつて囲まれ
ている。補助電極２は半球状のメツシユ電極であ
るのが好ましく、二次イオンの引出し効率を上げ
るのみならず、負の一次イオンを絶縁物試料に照
射した時の試料上でのチヤージアツプ防止の役割
をするものである。
部概略図である。図において試料ホルダ４の上に
は、１個または複数個の試料３がマウントされ、
一次イオンビーム１が照射される。一次イオン照
射によつて試料３より放出される正の二次イオン
６は、試料電位より低電位の引出し電極５により
方向付されて質量分析計（図示せず）へ導かれ
る。また試料ホルダ４は、一次イオン入射および
二次イオン引出し部の開孔２Ａ，２Ｂを有し、か
つ試料電位に保たれた補助電極２によつて囲まれ
ている。補助電極２は半球状のメツシユ電極であ
るのが好ましく、二次イオンの引出し効率を上げ
るのみならず、負の一次イオンを絶縁物試料に照
射した時の試料上でのチヤージアツプ防止の役割
をするものである。
これらの従来装置においては、試料微動を行つ
た場合、第２図Ａに示す如く試料ホルダ４を引出
電極５に近づけた場合と、同図Ｂのように遠ざけ
た場合とで、試料ホルダ４と引出電極５間の距離
が大巾に変り、このため両者間の電界が変化して
二次イオンの引出し効率が大巾に変る欠点を有し
ている。
た場合、第２図Ａに示す如く試料ホルダ４を引出
電極５に近づけた場合と、同図Ｂのように遠ざけ
た場合とで、試料ホルダ４と引出電極５間の距離
が大巾に変り、このため両者間の電界が変化して
二次イオンの引出し効率が大巾に変る欠点を有し
ている。
本発明は、試料ホルダと補助電極間に試料ホル
ダの試料取付面とほぼ同一面をなすように試料と
ほぼ同電位の補正電極を配置することにより、前
記欠点を改善したものである。
ダの試料取付面とほぼ同一面をなすように試料と
ほぼ同電位の補正電極を配置することにより、前
記欠点を改善したものである。
第３図は本発明の１実施例の概略図で、７は試
料ホルダの試料３取付面と同一面上に取付けら
れ、かつ試料電位に保たれた補正電極である。補
正電極７は金属板でもメツシユ板でもよく、また
試料ホルダ４、補助（メツシユ）電極２またはそ
の他の適宜のホルダに取付けられる。
料ホルダの試料３取付面と同一面上に取付けら
れ、かつ試料電位に保たれた補正電極である。補
正電極７は金属板でもメツシユ板でもよく、また
試料ホルダ４、補助（メツシユ）電極２またはそ
の他の適宜のホルダに取付けられる。
本発明のイオンマイクロアナライザは前述のよ
うな補正電極７を備えるので、第３図のように試
料ホルダ４を引出し電極から一番遠ざけた状態で
も、試料ホルダ４と引出し電極５間の空間が試料
電位に保たれる。このため両極間の電界は試料位
置による変化がなくなり、二次イオン引出し効率
の変化を抑えることができる。
うな補正電極７を備えるので、第３図のように試
料ホルダ４を引出し電極から一番遠ざけた状態で
も、試料ホルダ４と引出し電極５間の空間が試料
電位に保たれる。このため両極間の電界は試料位
置による変化がなくなり、二次イオン引出し効率
の変化を抑えることができる。
第４Ａ図は従来装置における試料位置と二次イ
オン強度の関係を示したもの、第４図Ｂは本発明
の装置における同じ関係を示したもので、試料位
置Ａ，Ｂは第２図のＡ，Ｂにそれぞれ対応してい
る。これらの結果から、本発明によれば試料位置
による二次イオン引出効率の変化を防止出来るこ
とがわかる。
オン強度の関係を示したもの、第４図Ｂは本発明
の装置における同じ関係を示したもので、試料位
置Ａ，Ｂは第２図のＡ，Ｂにそれぞれ対応してい
る。これらの結果から、本発明によれば試料位置
による二次イオン引出効率の変化を防止出来るこ
とがわかる。
第１図は従来のイオンマイクロアナライザの要
部概略図、第２図Ａ，Ｂは第１図における試料微
動時の状態を示す図、第３図は本発明の１実施例
の概略図、第４図Ａ，Ｂは試料位置と二次イオン
強度の関係を示す図表である。 ２…補助電極、４…試料ホルダ、５…引出し電
極、７…補助電極。
部概略図、第２図Ａ，Ｂは第１図における試料微
動時の状態を示す図、第３図は本発明の１実施例
の概略図、第４図Ａ，Ｂは試料位置と二次イオン
強度の関係を示す図表である。 ２…補助電極、４…試料ホルダ、５…引出し電
極、７…補助電極。
Claims (1)
- １ 試料に一次イオンビームを照射し、試料から
発生する二次イオンを質量分析計へ導いて分析す
るイオンマイクロアナライザにおいて、試料ホル
ダと、試料ホルダを覆うように配置され、かつ一
次イオンビームおよび二次イオンビームの通過す
る開孔を有する補助電極と、試料ホルダと補助電
極間に、試料ホルダの試料取付面とほぼ同一面を
なすように配置された、試料とほぼ同電位の補正
電極とを具備した事を特徴とするイオンマイクロ
アナライザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2194479A JPS55115251A (en) | 1979-02-28 | 1979-02-28 | Ion micro analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2194479A JPS55115251A (en) | 1979-02-28 | 1979-02-28 | Ion micro analyzer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55115251A JPS55115251A (en) | 1980-09-05 |
| JPS6158941B2 true JPS6158941B2 (ja) | 1986-12-13 |
Family
ID=12069152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2194479A Granted JPS55115251A (en) | 1979-02-28 | 1979-02-28 | Ion micro analyzer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS55115251A (ja) |
-
1979
- 1979-02-28 JP JP2194479A patent/JPS55115251A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55115251A (en) | 1980-09-05 |
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