Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JPS6159837B2 - - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JPS6159837B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6159837B2
JPS6159837B2 JP59148612A JP14861284A JPS6159837B2 JP S6159837 B2 JPS6159837 B2 JP S6159837B2 JP 59148612 A JP59148612 A JP 59148612A JP 14861284 A JP14861284 A JP 14861284A JP S6159837 B2 JPS6159837 B2 JP S6159837B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser beam
temperature
spot
heat treatment
workpiece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP59148612A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6046892A (ja
Inventor
Katsuyuki Kakizaki
Hideo Fujita
Tadashi Takahashi
Takashi Takaoka
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority to JP59148612A priority Critical patent/JPS6046892A/ja
Publication of JPS6046892A publication Critical patent/JPS6046892A/ja
Publication of JPS6159837B2 publication Critical patent/JPS6159837B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/073Shaping the laser spot

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はレーザ光照射方法に関する。
例えば凸レンズを用いてレーザ光を集光して加
工物に照射した場合、加工物に照射されたスポツ
トの強度分布はレーザ発振器から放出されたとき
と同様の分布になつている。すなわち、上記スポ
ツトの強度分布はその中心部が高く周辺部が低い
つり鐘状になつている。このようなエネルギ分布
をもつレーザ光では熱処理の場合次のような不具
合がある。周知のように熱処理は加工金属の変態
点を越えた特定の温度で行うものであるが、上記
スポツトの熱処理幅を広げると、上記スポツトに
おいて変態点温度境界部と中心部との温度差が大
きくなり、上記中心部では溶融温度となつて熱処
理に不適当となる。また、上記中心部の温度を変
態点温度に近づければ、つり鐘状エネルギ分布の
性質から有効な熱処理幅は狭くなる。さらに、熱
処理においては、照射を受けた加工物からの熱拡
散があり、このため、周辺部の強度が弱い上記の
ようなレーザ光では熱処理部とそうでない部分の
境界が判然としない不都合があつた。
この発明は上記欠点を解消するためになされた
もので、リング状モードのレーザ光を偏平に圧縮
したスポツトにすることにより、熱処理等のレー
ザ加工に良好な強度分布を得るようにしたもので
ある。
以下、この発明を実施例を参照して説明する。
第1図はこの発明を実施するのに適した装置の
構成を示すもので、例えば不安定形共振器で得ら
れるリング状モードのレーザ光1を発振する発振
器2を有し、この発振器2より発振された上記レ
ーザ光1を集光する集光レンズ3よりなる。上記
集光レンズ3は円柱材を縦断した半円柱状のいわ
ゆる円筒レンズである。
上記装置でリング状モードのレーザ光1は集光
レンズ3で細長い形状のスポツト4に集光され、
その強度分布は第2図に示すような外側にピーク
をもつ鞍状になる。このスポツト4を加工物5に
照射すると、スポツト4の照射区域外の熱拡散の
ため、加工物5の表面の温度分布は第3図の実線
bで示される均一な温度分布を示す台状形となつ
て、最高温度幅が極めて拡散される。前記従来技
術ではその照射スポツトは第3図の破線aで示さ
れる温度分布になつている。したがつて、上記二
つの温度分布において第3図の一点鎖線cを加工
物の変態点とすると、温度分布bは同じくaに比
べて熱処理加工範囲が広くなるとともに、加工物
表面の照射点中央と上記変態点との温度差が小さ
いので、安定した熱処理が行える。更にこの発明
では熱処理された部分と熱処理されない部分の境
界をはつきりさせシヤープな熱処理が行える。
なお上記実施例では円筒レンズを用いたが、こ
の円筒レンズと同様の機能を有する光学系又は反
射鏡を用いても上記と同様の効果を得ることがで
きる。
更に、この発明は熱処理加工だけでなく、レー
ザ発振器の出力を大にすることにより、穴あけ、
溝切り、切断等の加工に応用できることは言うま
でもない。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明を実施するに適する装置の要
部概略図、第2図は上記装置によつて集光された
レーザ光のエネルギ分布図、第3図は加工物表面
に照射されたレーザスポツトの温度分布図であ
る。 1……レーザ光、2……レーザ発振器、3……
円筒レンズ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 リングモードのレーザ光を一方向に圧縮する
    光学系によつて光束断面が長円もしくは線状にな
    る偏平な光束にしこの光束の断面における長軸方
    向を照射幅としこれと直交する方向に被加工物を
    相対的に移動して照射することを特徴とするレー
    ザ光照射方法。
JP59148612A 1984-07-19 1984-07-19 レ−ザ−光照射方法 Granted JPS6046892A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59148612A JPS6046892A (ja) 1984-07-19 1984-07-19 レ−ザ−光照射方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59148612A JPS6046892A (ja) 1984-07-19 1984-07-19 レ−ザ−光照射方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6046892A JPS6046892A (ja) 1985-03-13
JPS6159837B2 true JPS6159837B2 (ja) 1986-12-18

Family

ID=15456673

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59148612A Granted JPS6046892A (ja) 1984-07-19 1984-07-19 レ−ザ−光照射方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6046892A (ja)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4713518A (en) * 1984-06-08 1987-12-15 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Electronic device manufacturing methods
FR2654842B1 (fr) * 1989-11-23 1993-03-26 Commissariat Energie Atomique Dispositif de diminution de la divergence d'un faisceau lumineux.
RU2024441C1 (ru) * 1992-04-02 1994-12-15 Владимир Степанович Кондратенко Способ резки неметаллических материалов
MY120533A (en) * 1997-04-14 2005-11-30 Schott Ag Method and apparatus for cutting through a flat workpiece made of brittle material, especially glass.
JP3895179B2 (ja) 1999-11-24 2007-03-22 アプライド・フォトニクス・インコーポレーテッド 非金属基板を分離する方法及び装置
CN1302156C (zh) * 2002-04-15 2007-02-28 西门子公司 制造单晶结构的方法
JP4740556B2 (ja) * 2004-06-17 2011-08-03 三星ダイヤモンド工業株式会社 レーザ光によるライン加工方法およびレーザ加工装置。
JP4652929B2 (ja) * 2005-08-18 2011-03-16 船井電機株式会社 インクジェットプリンタ
US10618131B2 (en) 2014-06-05 2020-04-14 Nlight, Inc. Laser patterning skew correction
CN108367389B (zh) 2015-11-23 2020-07-28 恩耐公司 激光加工方法和装置
US11179807B2 (en) 2015-11-23 2021-11-23 Nlight, Inc. Fine-scale temporal control for laser material processing
US10730785B2 (en) 2016-09-29 2020-08-04 Nlight, Inc. Optical fiber bending mechanisms
WO2018063452A1 (en) * 2016-09-29 2018-04-05 Nlight, Inc. Adjustable beam characteristics
KR102611837B1 (ko) 2017-04-04 2023-12-07 엔라이트 인크. 검류계 스캐너 보정을 위한 광학 기준 생성

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6046892A (ja) 1985-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4692583A (en) Surface heat treating apparatus
JPS6159837B2 (ja)
US5012066A (en) Method of and apparatus for manufacturing eyeless suture needle
US4475027A (en) Optical beam homogenizer
DE4331389A1 (de) Festkörperlaservorrichtung und Laserbearbeitungsvorrichtung
JPH0436794B2 (ja)
JPS57183023A (en) Laser annealing
JPS62263869A (ja) ア−ク溶接方法
JPS6054151B2 (ja) レ−ザ切断方法
JPH0332484A (ja) レーザ加工装置
JPH02284782A (ja) 波長の異なるレーザの集光方法
JPS61186186A (ja) レ−ザ光集光装置
JP4340945B2 (ja) レーザ加工機
JPS5829447Y2 (ja) シユウコウソウチ
JP2000288766A (ja) レーザ加工装置
JP2551253B2 (ja) レーザビームによる物体の切断方法
JPH079177A (ja) レーザービーム成形装置
JPH09189881A (ja) レーザ装置における光学系
JPS5817718B2 (ja) レ−ザニヨル アナアケ カコウホウホウ
JPS63273589A (ja) レ−ザ溶接方法
JPH0455785B2 (ja)
JP2501594B2 (ja) レ―ザ加工機の焦点位置調整方法
JPH01271084A (ja) ガラスのレーザ切断方法
JPS62154402U (ja)
RU99123141A (ru) Способ лечения эндотелиально-эпителиальной дистрофии роговицы глаз