JPS621332B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS621332B2 JPS621332B2 JP55037425A JP3742580A JPS621332B2 JP S621332 B2 JPS621332 B2 JP S621332B2 JP 55037425 A JP55037425 A JP 55037425A JP 3742580 A JP3742580 A JP 3742580A JP S621332 B2 JPS621332 B2 JP S621332B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- pressure
- exhaust
- reaction vessel
- flow rate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
従来の光フアイバ母材の製造方法を第１図に示
す。これは火炎加水分解バーナ１でガラス微粒子
を含んだ火炎５を発生させ、これを矢印８方向に
回転しながら矢印７方向へ移動するターゲツト４
に吹付けてロツド状の多孔質ガラス母材２を成長
させる。その後加熱源３で焼結して透明な光フア
イバ母材にする方法である。そして光フアイバ母
材の屈折率分布および外径の変動を抑制するため
に、反応容器６内の圧力を圧力検出装置１５で検
出し、その出力信号を制御部１８を通してバルブ
開閉装置１６にフイードバツクさせて排気量を制
御する構成になつている。ところがこの方法につ
いて検討した結果、次のような問題点があること
がわかつた。
す。これは火炎加水分解バーナ１でガラス微粒子
を含んだ火炎５を発生させ、これを矢印８方向に
回転しながら矢印７方向へ移動するターゲツト４
に吹付けてロツド状の多孔質ガラス母材２を成長
させる。その後加熱源３で焼結して透明な光フア
イバ母材にする方法である。そして光フアイバ母
材の屈折率分布および外径の変動を抑制するため
に、反応容器６内の圧力を圧力検出装置１５で検
出し、その出力信号を制御部１８を通してバルブ
開閉装置１６にフイードバツクさせて排気量を制
御する構成になつている。ところがこの方法につ
いて検討した結果、次のような問題点があること
がわかつた。
(1) バルブ開閉装置１６にはバタフライバルブを
用いているが、排気ガス１４にはガラス微粒子
が多く含まれているためにバルブに付着して開
閉量が変化し易い。
用いているが、排気ガス１４にはガラス微粒子
が多く含まれているためにバルブに付着して開
閉量が変化し易い。
(2) 排気ガスは塩素ガスなどの腐蝕性ガスを含
み、かつ高温（100℃以上）であるためにバタ
フライバルブにはステンレス製のものを用いて
いる。しかし、ステンレス製のものでも長時間
使用していると腐蝕し易い。またステンレス製
のためにバルブの重量が重くなり、イナーシヤ
の影響が生じ、圧力変動に対するバルブの応答
性が悪い。
み、かつ高温（100℃以上）であるためにバタ
フライバルブにはステンレス製のものを用いて
いる。しかし、ステンレス製のものでも長時間
使用していると腐蝕し易い。またステンレス製
のためにバルブの重量が重くなり、イナーシヤ
の影響が生じ、圧力変動に対するバルブの応答
性が悪い。
(3) 排気ガスが高温のためにバルブ開閉装置の動
作が劣化し易い。特にモータでバルブの開閉を
駆動させる場合にはモータ駆動部に冷却装置を
用いなければならず、装置上極めて複雑とな
る。
作が劣化し易い。特にモータでバルブの開閉を
駆動させる場合にはモータ駆動部に冷却装置を
用いなければならず、装置上極めて複雑とな
る。
本発明の方法は上記従来方法の問題点を解決さ
せる方法を提供することにある。すなわち、反応
容器内の圧力を調節、制御するバルブ開閉装置１
６の代わりに、排気ガスの流れ方向に沿つてバイ
アス用のガスが流れるガス供給管を設け、そのガ
ス流量を調節することによつて反応容器内の圧力
を制御する方法である。
せる方法を提供することにある。すなわち、反応
容器内の圧力を調節、制御するバルブ開閉装置１
６の代わりに、排気ガスの流れ方向に沿つてバイ
アス用のガスが流れるガス供給管を設け、そのガ
ス流量を調節することによつて反応容器内の圧力
を制御する方法である。
以下に図面を用いて本発明の方法を説明する。
第２図は本発明の光フアイバ母材の製造方法の
一実施例を示したものである。排気管１３内を流
れる排気ガス１４に沿つてガスが流れるようにガ
ス供給管２０を設け、矢印２１方向からガス供給
調節装置１９を通して矢印２１′方向に流れて排
気ガス１４と合流させるようにしてある。矢印２
１方向から供給、あるいは吸入されるガス流量は
反応容器６内の圧力変動を十分に制御できるだけ
のガス流量を流しておく。このガス流量は排気ガ
ス１４の流量、排気管１３の断面積、排気装置１
７の排気速度、制御部１８であらかじめ定める基
準の圧力設定値などによつてかわるが、通常、数
／minから数10／minの範囲から選定する。
ガスの種類は不活性ガス（N2、Ar、He、Neな
ど）、酸化性ガス、空気、あるいは上記混合ガス
でもよい。そして圧力検出装置１５で反応容器６
内の圧力Ｐiを検出し、制御部１８であらかじめ
設定しておいた基準の圧力設定値Ｐrと比較され
Ｐi≠Ｐrを生じた場合には制御部の出力端に出力
信号が発生してガス供給調節装置１９にフイード
バツクされる。その結果、Ｐi＝Ｐrとなるように
矢印２１′方向へ流れるガス流量が制御される。
ここで、Ｐi＞Ｐrの場合には矢印２１′方向へ流
れるガス流量を増大させるように、逆にＰi＜Ｐr
の場合には矢印２１′方向へ流れるガス流量を減
少させるように制御部１８、ガス供給調節装置１
９は構成されている。以上の説明から明らかなよ
うに、本発明の方法では排気ガス１４の流れる通
路にバルブ開閉装置を設けてその開閉量を圧力変
動に応じて制御する方法ではないので、前記(1)、
(2)、(3)のような問題点がまつたく生じない。ガス
供給調節装置１９は排気ガス１４によつて腐蝕さ
れることもなく、また高温に熱せられることもな
いので、応答の速いバルブ開閉装置を用いること
ができ、またモータ（たとえばDCモータ、パル
スモータなど）などの駆動装置でバルブを開閉さ
せることができる。さらに、矢印２１方向から矢
印２１′方向へ吸入される空気の流量を制御する
ようなバタフライバルブを用いてもよい。
一実施例を示したものである。排気管１３内を流
れる排気ガス１４に沿つてガスが流れるようにガ
ス供給管２０を設け、矢印２１方向からガス供給
調節装置１９を通して矢印２１′方向に流れて排
気ガス１４と合流させるようにしてある。矢印２
１方向から供給、あるいは吸入されるガス流量は
反応容器６内の圧力変動を十分に制御できるだけ
のガス流量を流しておく。このガス流量は排気ガ
ス１４の流量、排気管１３の断面積、排気装置１
７の排気速度、制御部１８であらかじめ定める基
準の圧力設定値などによつてかわるが、通常、数
／minから数10／minの範囲から選定する。
ガスの種類は不活性ガス（N2、Ar、He、Neな
ど）、酸化性ガス、空気、あるいは上記混合ガス
でもよい。そして圧力検出装置１５で反応容器６
内の圧力Ｐiを検出し、制御部１８であらかじめ
設定しておいた基準の圧力設定値Ｐrと比較され
Ｐi≠Ｐrを生じた場合には制御部の出力端に出力
信号が発生してガス供給調節装置１９にフイード
バツクされる。その結果、Ｐi＝Ｐrとなるように
矢印２１′方向へ流れるガス流量が制御される。
ここで、Ｐi＞Ｐrの場合には矢印２１′方向へ流
れるガス流量を増大させるように、逆にＰi＜Ｐr
の場合には矢印２１′方向へ流れるガス流量を減
少させるように制御部１８、ガス供給調節装置１
９は構成されている。以上の説明から明らかなよ
うに、本発明の方法では排気ガス１４の流れる通
路にバルブ開閉装置を設けてその開閉量を圧力変
動に応じて制御する方法ではないので、前記(1)、
(2)、(3)のような問題点がまつたく生じない。ガス
供給調節装置１９は排気ガス１４によつて腐蝕さ
れることもなく、また高温に熱せられることもな
いので、応答の速いバルブ開閉装置を用いること
ができ、またモータ（たとえばDCモータ、パル
スモータなど）などの駆動装置でバルブを開閉さ
せることができる。さらに、矢印２１方向から矢
印２１′方向へ吸入される空気の流量を制御する
ようなバタフライバルブを用いてもよい。
第３図は本発明の別の実施例を示したものであ
る。これは圧力検出装置１５で反応容器６内の圧
力を検出し、その検出信号を制御部１８を通して
ガス供給調節装置１９にフイードバツクさせ、バ
ーナの外周に沿つて流している火炎保護用のガス
（矢印２１′で示す方向のガス流れ）を調節するこ
とによつて圧力を制御する方法である。２２，２
２′，２２″，２２はバーナの火炎保護用の円筒
状の保護管（ガラス製）であり、各保護管内には
矢印２１′，２３，２３′，２３″，２３のごと
くガスが流してある。この実施例では火炎を出来
る限り乱さないようにさせるために、矢印２１′
方向に流すガス流量にフイードバツクさせて圧力
制御を行なつているが、矢印２３，２３′，２
３″，２３にいずれにフイードバツクさせても
制御可能である。
る。これは圧力検出装置１５で反応容器６内の圧
力を検出し、その検出信号を制御部１８を通して
ガス供給調節装置１９にフイードバツクさせ、バ
ーナの外周に沿つて流している火炎保護用のガス
（矢印２１′で示す方向のガス流れ）を調節するこ
とによつて圧力を制御する方法である。２２，２
２′，２２″，２２はバーナの火炎保護用の円筒
状の保護管（ガラス製）であり、各保護管内には
矢印２１′，２３，２３′，２３″，２３のごと
くガスが流してある。この実施例では火炎を出来
る限り乱さないようにさせるために、矢印２１′
方向に流すガス流量にフイードバツクさせて圧力
制御を行なつているが、矢印２３，２３′，２
３″，２３にいずれにフイードバツクさせても
制御可能である。
次に本発明の具体的実施例について述べる。
第３図において、圧力検出装置１５に空気圧作
動式微差圧検出装置（米国ブラント社製、製品名
パイバルブ、差圧測定範囲０〜2.5mmAq）を用い
た。これは供給空気（1.4Kg／cm2±0.14Kg／cm2）
で作動し、2.5mmAqに対し、空気電気変換出力と
して1Vの出力が生じるように設定した。そし
て、制御部１８として第４図に示す回路を用い
た。この回路において、Ｖiは圧力検出装置の出
力信号であり、Ｖrは基準設定差圧に相当する電
圧、Ｖpは制御部の出力電圧であり、ＶiとＶrの大
小関係によつて正負の出力が生じるように構成さ
れている。１９にはバルブ開閉装置のバルブ開閉
軸にモータを直結させたものを使用した。そして
制御部の出力信号Ｖpの正、負電圧により矢印２
１′方向へ流すガス流量を増減させるようになつ
ている。排気装置１７には排気速度140／min
となるようなポンプを用いて排気した。保護管２
２′〜２２には数／minから10数／min（ガ
スはO2）流すように設定し、矢印２１′方向には
最初15／minのガス（N2ガス）を流し、Ｖr＝
0.8Vとなるようにしてガラス多孔質母材２を堆
積させた。ただし、反応容器は外径178mmφ、長
さ600mmのパイレツクスガラス管を用いた。そし
て、Ｖi＞Ｖrの場合には矢印２１′方向へ流すガ
ス流量を増やすように、逆にＶi＜Ｖrの場合には
矢印２１′方向へ流すガス流量を減らすように構
成させて堆積を行なつた。その結果、前記従来方
法の問題点を解決し、しかも極めて応答性速く
（２〜３秒）圧力変動を制御できることが明らか
となつた。約５時間の堆積時間に対し、多孔質母
材の外径75mmφ、長さ450mm、堆積重量142ｇを得
た。多孔質母材の外径変動は１％以下であり、差
圧は±２％以下に制御することができ、従来に比
し外径変動、差圧変動を1/2以下にすることがで
きた。
動式微差圧検出装置（米国ブラント社製、製品名
パイバルブ、差圧測定範囲０〜2.5mmAq）を用い
た。これは供給空気（1.4Kg／cm2±0.14Kg／cm2）
で作動し、2.5mmAqに対し、空気電気変換出力と
して1Vの出力が生じるように設定した。そし
て、制御部１８として第４図に示す回路を用い
た。この回路において、Ｖiは圧力検出装置の出
力信号であり、Ｖrは基準設定差圧に相当する電
圧、Ｖpは制御部の出力電圧であり、ＶiとＶrの大
小関係によつて正負の出力が生じるように構成さ
れている。１９にはバルブ開閉装置のバルブ開閉
軸にモータを直結させたものを使用した。そして
制御部の出力信号Ｖpの正、負電圧により矢印２
１′方向へ流すガス流量を増減させるようになつ
ている。排気装置１７には排気速度140／min
となるようなポンプを用いて排気した。保護管２
２′〜２２には数／minから10数／min（ガ
スはO2）流すように設定し、矢印２１′方向には
最初15／minのガス（N2ガス）を流し、Ｖr＝
0.8Vとなるようにしてガラス多孔質母材２を堆
積させた。ただし、反応容器は外径178mmφ、長
さ600mmのパイレツクスガラス管を用いた。そし
て、Ｖi＞Ｖrの場合には矢印２１′方向へ流すガ
ス流量を増やすように、逆にＶi＜Ｖrの場合には
矢印２１′方向へ流すガス流量を減らすように構
成させて堆積を行なつた。その結果、前記従来方
法の問題点を解決し、しかも極めて応答性速く
（２〜３秒）圧力変動を制御できることが明らか
となつた。約５時間の堆積時間に対し、多孔質母
材の外径75mmφ、長さ450mm、堆積重量142ｇを得
た。多孔質母材の外径変動は１％以下であり、差
圧は±２％以下に制御することができ、従来に比
し外径変動、差圧変動を1/2以下にすることがで
きた。
次に本発明の別の実施例について説明する。
第５図は圧力検出器１５を反応容器６内、ある
いは反応容器のすぐ近くに設けた場合である。反
応容器６の直径は178mm、長さ500mmで、排気管１
３の直径は50mmである。２８のバタフライバルブ
は反応容器６内の圧力を粗調節するものでDCモ
ータ２７、ポテンシヨメータ２６で設定する。２
９はバツフアータンクで排気装置１７の排気速度
変動を抑制するものである。２４は圧力変換器の
出力電圧を所望の値にまで増幅する増幅器であ
り、２５はあらかじめ設定しておいた反応容器内
圧設定回路である。次に第５図の実施例について
述べる。第６図は矢印２１方向から流す内圧制御
用ガス流量と反応容器６内の内圧との関係を示し
たものである。ここで内圧とは大気圧との差圧で
あり、通常のストレンゲージ型圧力変換器１５を
用いて測定したものである。矢印２１方向に流す
内圧制御用ガスとしては本実施例ではN2ガスを
用いた（空気、Ar、O2、などでもよい）。第６図
の結果は内圧制御用ガス流量をN2＝15／minに
した状態で反応容器内の内圧をそれぞれ、0.5mm
Aq、1.0mmAq、1.5mmAqとなるようにバタフライ
バルブ２８で設定しておき、その状態で内圧制御
用ガス流量を０から30／minまで変えたときの
内圧測定結果を示したものである。内圧制御用ガ
ス流量によつて内圧を直線性よく制御できること
を示している。次に増幅器２４の出力に内圧0.5
mmAqに対して1Vの出力が出るようにし、Ｖr＝−
1V（すなわち内圧設定値0.5mmAq）として第４図
の制御回路を用いた。制御回路の出力にDCモー
タを接続した。このDCモータの軸はガス流量調
節装置１９のバルブ開閉部に直結させてある。
DCモータに印加される正負の電圧によつて矢印
２１′方向へ流れるガス流量が増減されるように
なつている。このような装置構成で多孔質ガラス
母材２を約７時間堆積させたが、内圧の変動は
0.5mmAq±0.01mmAq以下であつた。
いは反応容器のすぐ近くに設けた場合である。反
応容器６の直径は178mm、長さ500mmで、排気管１
３の直径は50mmである。２８のバタフライバルブ
は反応容器６内の圧力を粗調節するものでDCモ
ータ２７、ポテンシヨメータ２６で設定する。２
９はバツフアータンクで排気装置１７の排気速度
変動を抑制するものである。２４は圧力変換器の
出力電圧を所望の値にまで増幅する増幅器であ
り、２５はあらかじめ設定しておいた反応容器内
圧設定回路である。次に第５図の実施例について
述べる。第６図は矢印２１方向から流す内圧制御
用ガス流量と反応容器６内の内圧との関係を示し
たものである。ここで内圧とは大気圧との差圧で
あり、通常のストレンゲージ型圧力変換器１５を
用いて測定したものである。矢印２１方向に流す
内圧制御用ガスとしては本実施例ではN2ガスを
用いた（空気、Ar、O2、などでもよい）。第６図
の結果は内圧制御用ガス流量をN2＝15／minに
した状態で反応容器内の内圧をそれぞれ、0.5mm
Aq、1.0mmAq、1.5mmAqとなるようにバタフライ
バルブ２８で設定しておき、その状態で内圧制御
用ガス流量を０から30／minまで変えたときの
内圧測定結果を示したものである。内圧制御用ガ
ス流量によつて内圧を直線性よく制御できること
を示している。次に増幅器２４の出力に内圧0.5
mmAqに対して1Vの出力が出るようにし、Ｖr＝−
1V（すなわち内圧設定値0.5mmAq）として第４図
の制御回路を用いた。制御回路の出力にDCモー
タを接続した。このDCモータの軸はガス流量調
節装置１９のバルブ開閉部に直結させてある。
DCモータに印加される正負の電圧によつて矢印
２１′方向へ流れるガス流量が増減されるように
なつている。このような装置構成で多孔質ガラス
母材２を約７時間堆積させたが、内圧の変動は
0.5mmAq±0.01mmAq以下であつた。
本発明は上記実施例に限定されない。たとえば
ガス管３０へは内圧制御用ガスを強制的に導入し
てそのガス流量を１９で制御してもよく、また強
制的に導入するのではなく大気中の空気が排気装
置１７によつて３０から吸い込まれるようにし、
その吸い込まれる流量を１９で制御するようにし
てもよい。排気ガスに沿つて流す調節用ガスは１
カ所ではなく複数個所から流し、１カ所のみを調
節、フイードバツク用とし、他のものをバイアス
用ガスとして流せば、供給ガス流量の速度と排気
速度の比を広範囲に変えることができ、外乱抑制
効果を上げることができる。また第２図の方法と
第３図の方法を組み合せた方法を用いてもよい。
ガス管３０へは内圧制御用ガスを強制的に導入し
てそのガス流量を１９で制御してもよく、また強
制的に導入するのではなく大気中の空気が排気装
置１７によつて３０から吸い込まれるようにし、
その吸い込まれる流量を１９で制御するようにし
てもよい。排気ガスに沿つて流す調節用ガスは１
カ所ではなく複数個所から流し、１カ所のみを調
節、フイードバツク用とし、他のものをバイアス
用ガスとして流せば、供給ガス流量の速度と排気
速度の比を広範囲に変えることができ、外乱抑制
効果を上げることができる。また第２図の方法と
第３図の方法を組み合せた方法を用いてもよい。
第１図は従来の光フアイバ母材の製造方法で用
いる装置を説明する概略断面図、第２図および第
３図は本発明の実施例において用いた光フアイバ
母材の製造装置を説明する概略断面図、第４図は
本発明の実施例において用いた光フアイバ母材の
製造装置の制御部回路を示す回路図、第５図は本
発明の他の実施例において用いた光フアイバ母材
の製造装置を説明する概略断面図、第６図は反応
容器内圧と内圧制御用ガス流量との関係を示すグ
ラフである。 １……火炎加水分解バーナ、２……多孔質ガラ
ス母材、３……加熱源、４……ターゲツト、５…
…火炎、１３……排気管、１５……圧力検出装
置、１６……バルブ開閉装置、１７……排気装
置、１８……制御部、１９……ガス供給調節装
置、２０……ガス供給管。
いる装置を説明する概略断面図、第２図および第
３図は本発明の実施例において用いた光フアイバ
母材の製造装置を説明する概略断面図、第４図は
本発明の実施例において用いた光フアイバ母材の
製造装置の制御部回路を示す回路図、第５図は本
発明の他の実施例において用いた光フアイバ母材
の製造装置を説明する概略断面図、第６図は反応
容器内圧と内圧制御用ガス流量との関係を示すグ
ラフである。 １……火炎加水分解バーナ、２……多孔質ガラ
ス母材、３……加熱源、４……ターゲツト、５…
…火炎、１３……排気管、１５……圧力検出装
置、１６……バルブ開閉装置、１７……排気装
置、１８……制御部、１９……ガス供給調節装
置、２０……ガス供給管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 排気装置に連接された排気口を有する反応容
器内に出発部材を配置し、火炎加水分解バーナに
よつて合成されたガラス微粒子をこの出発部材に
吹付け、その軸方向に多孔質ガラス母材を成長さ
せる方法において、上記排気口と排気装置との間
で、排気管内を流れる排気ガスの流れ方向に沿つ
てバイアスガスを強制的に供給し、上記反応容器
内の圧力変動に応じて上記バイアスガスの流量を
調節することを特徴とする光フアイバ母材の製造
方法。 ２ 特許請求の範囲第１項において、前記圧力変
動が、前記排気口と排気装置との間に設けた圧力
検出器によつて検出されることを特徴とする光フ
アイバ母材の製造方法。 ３ 特許請求の範囲第１項において、前記圧力変
動が、前記反応容器の内部に設けた圧力検出器に
よつて検出されることを特徴とする光フアイバ母
材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3742580A JPS56134529A (en) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | Preparation of mother material for optical fiber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3742580A JPS56134529A (en) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | Preparation of mother material for optical fiber |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56134529A JPS56134529A (en) | 1981-10-21 |
| JPS621332B2 true JPS621332B2 (ja) | 1987-01-13 |
Family
ID=12497158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3742580A Granted JPS56134529A (en) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | Preparation of mother material for optical fiber |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56134529A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5841062A (ja) * | 1981-08-27 | 1983-03-10 | 大日本印刷株式会社 | 包装方法および包装容器 |
| JP7558894B2 (ja) * | 2021-05-31 | 2024-10-01 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造装置及び光ファイバ母材の製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5626737A (en) * | 1979-08-14 | 1981-03-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Exhaust adjuster for optical fiber base material manufacturing apparatus |
-
1980
- 1980-03-26 JP JP3742580A patent/JPS56134529A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56134529A (en) | 1981-10-21 |
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