JPS6236532B2 - - Google Patents
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- JPS6236532B2 JPS6236532B2 JP55136104A JP13610480A JPS6236532B2 JP S6236532 B2 JPS6236532 B2 JP S6236532B2 JP 55136104 A JP55136104 A JP 55136104A JP 13610480 A JP13610480 A JP 13610480A JP S6236532 B2 JPS6236532 B2 JP S6236532B2
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- JP
- Japan
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- noise
- output
- magnetic
- circuit
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
- G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
- G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
- G01N27/9046—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents by analysing electrical signals
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、非磁性材中に混入している磁性異
物を検出する磁性異物検出装置に関する。
物を検出する磁性異物検出装置に関する。
銅線（非磁性材）等の製造工程においては、銅
線中に鉄片等の非磁性異物が混入していると、こ
れが各伸線工程等における断線の原因となる。し
たがつて、各伸線工程等に入る前に予め磁性異物
の有無を検査することが必要である。
線中に鉄片等の非磁性異物が混入していると、こ
れが各伸線工程等における断線の原因となる。し
たがつて、各伸線工程等に入る前に予め磁性異物
の有無を検査することが必要である。
従来、この磁性異物の検査には次の様な方法が
採られている。すなわち、第１図に示すように直
流高磁界Ｈp中において銅線１を高速度、例えば
Ｖ＝900m／minで走行させる。また、直流高磁
界Ｈp中の銅線１の走行経路に沿つて、検出コイ
ル２を配置する。そして、銅線１中に磁性異物３
が混入していると、この磁性異物３が磁界Ｈp中
を通過する際、検出コイル２内の磁束φが変化
し、この結果、同検出コイル２に、 ｅ＝−Ｎｄφ／ｄｔ ……(1) 但し：Ｎは検出コイル２のターン数。
採られている。すなわち、第１図に示すように直
流高磁界Ｈp中において銅線１を高速度、例えば
Ｖ＝900m／minで走行させる。また、直流高磁
界Ｈp中の銅線１の走行経路に沿つて、検出コイ
ル２を配置する。そして、銅線１中に磁性異物３
が混入していると、この磁性異物３が磁界Ｈp中
を通過する際、検出コイル２内の磁束φが変化
し、この結果、同検出コイル２に、 ｅ＝−Ｎｄφ／ｄｔ ……(1) 但し：Ｎは検出コイル２のターン数。
なる起電力が発生する。この検出コイル２に発生
した起電力に基づいて磁性異物３の検出を行な
う。
した起電力に基づいて磁性異物３の検出を行な
う。
ところで、上述した磁性異物の検出方法におけ
る問題点は、銅線１の振動に起因する雑音であ
る。すなわち、磁界Ｈp中の銅線１が振動する
と、銅線１に渦電流が発生し、この渦電流によつ
て検出コイル２内の磁束φが変化し、検出コイル
２に雑音電圧が発生する。そして、このような雑
音には、大きく分けて次の２種類がある。その１
は銅線１が比較的波長の長い振動を行なうことに
よつて発生する雑音（以下、長波長雑音と称す）
であり、この長波長雑音は比較的低い周波数の雑
音となる。また、その２は、銅線１に波長の短か
い進行波が生ずることにより発生する雑音（以
下、進行波雑音と称す）であり、この進行波雑音
は比較的高い周波数の雑音となる。なお、上述し
た２種類の雑音の周波数成分および鉄片３によつ
て発生する検出信号の周波数成分を第２図に示
す。この図において曲線Ａは長波長雑音の周波数
成分を、曲線Ｂは検出信号の周波数成分を、ま
た、曲線Ｃは進行波雑音の周波数成分を各々示し
ている。また、実際の雑音は、上述した２種類の
雑音が複雑に入り組んだものとなる。そして、こ
れら２種類の雑音によつて、第１図に示す検出コ
イル１個による磁性異物検出方法は、実用上充分
な検出能力、言い換えれば満足すべきＳ／Ｎ（信
号成分対雑音成分比）を得ることができない。
る問題点は、銅線１の振動に起因する雑音であ
る。すなわち、磁界Ｈp中の銅線１が振動する
と、銅線１に渦電流が発生し、この渦電流によつ
て検出コイル２内の磁束φが変化し、検出コイル
２に雑音電圧が発生する。そして、このような雑
音には、大きく分けて次の２種類がある。その１
は銅線１が比較的波長の長い振動を行なうことに
よつて発生する雑音（以下、長波長雑音と称す）
であり、この長波長雑音は比較的低い周波数の雑
音となる。また、その２は、銅線１に波長の短か
い進行波が生ずることにより発生する雑音（以
下、進行波雑音と称す）であり、この進行波雑音
は比較的高い周波数の雑音となる。なお、上述し
た２種類の雑音の周波数成分および鉄片３によつ
て発生する検出信号の周波数成分を第２図に示
す。この図において曲線Ａは長波長雑音の周波数
成分を、曲線Ｂは検出信号の周波数成分を、ま
た、曲線Ｃは進行波雑音の周波数成分を各々示し
ている。また、実際の雑音は、上述した２種類の
雑音が複雑に入り組んだものとなる。そして、こ
れら２種類の雑音によつて、第１図に示す検出コ
イル１個による磁性異物検出方法は、実用上充分
な検出能力、言い換えれば満足すべきＳ／Ｎ（信
号成分対雑音成分比）を得ることができない。
そこで、従来、これらの雑音を除去するため
に、種々の構成が考えられている。例えば、第３
図は、銅線１の走行経路に沿つて位置をずらして
検出コイル２ａ，２ｂを配置し、これらの検出コ
イル２ａ，２ｂを差動結合したもので、この構成
によつて長波長雑音を除去することが可能であ
る。すなわち、銅線１が振動し、この振動によつ
て検出コイル２ａに例えば第４図イに示す雑音信
号が発生したとする。この場合、銅線１の振動の
波長が比較的長いとすると、検出コイル２ｂにも
第４図イに示す信号と同相の信号が略同時に発生
する（第４図ロ参照）。そして、これらの雑音信
号は、検出コイル２ａ，２ｂが差動結合されてい
ることから、検出コイル２ａ，２ｂ内で互に打消
され、外部に出力されることはない。このような
構成を採ることにより、長波長雑音を第１図に示
す検出コイル１個の場合に比較し、１／10〜１／
20とすることが可能である。
に、種々の構成が考えられている。例えば、第３
図は、銅線１の走行経路に沿つて位置をずらして
検出コイル２ａ，２ｂを配置し、これらの検出コ
イル２ａ，２ｂを差動結合したもので、この構成
によつて長波長雑音を除去することが可能であ
る。すなわち、銅線１が振動し、この振動によつ
て検出コイル２ａに例えば第４図イに示す雑音信
号が発生したとする。この場合、銅線１の振動の
波長が比較的長いとすると、検出コイル２ｂにも
第４図イに示す信号と同相の信号が略同時に発生
する（第４図ロ参照）。そして、これらの雑音信
号は、検出コイル２ａ，２ｂが差動結合されてい
ることから、検出コイル２ａ，２ｂ内で互に打消
され、外部に出力されることはない。このような
構成を採ることにより、長波長雑音を第１図に示
す検出コイル１個の場合に比較し、１／10〜１／
20とすることが可能である。
しかしながら、上述した構成によつても進行波
雑音を除去することは不可能である。すなわち、
銅線１に波長の短かい進行波が生じた場合、この
進行波によつて検出コイル２ａ，２ｂに各々生じ
る雑音信号は、第５図イ，ロに示すように位相が
ずれたものとなる。したがつて、これらの雑音信
号を差動結合によつて打消すことは、不可能であ
る。
雑音を除去することは不可能である。すなわち、
銅線１に波長の短かい進行波が生じた場合、この
進行波によつて検出コイル２ａ，２ｂに各々生じ
る雑音信号は、第５図イ，ロに示すように位相が
ずれたものとなる。したがつて、これらの雑音信
号を差動結合によつて打消すことは、不可能であ
る。
第６図は、第３図に示す構成を更に改良し、進
行波雑音をも除去し得るようにした従来の一構成
例を示すもので、銅線１および検出コイル２ａ，
２ｂとの間に銅製のスリーブ４を介挿したもので
ある。この図において、銅線１が高い周波数で振
動し、これにより検出コイル２ａ，２ｂに雑音信
号が発生した場合、この雑音信号のエネルギーは
スリーブ４に環状電流を流すために消費され、し
たがつて、検出コイル２ａ，２ｂの両端子から出
力されることはない。（すなわち、トランスの２
次側を短絡した場合と同じ結果になる。）一方、
磁性異物３の検出信号は、周波数が進行波雑音に
比較して低いためスリーブ４に流れる環状電流に
よつて打消されず、検出コイル２ａ，２ｂの両端
子から出力される。また、長波長雑音は差動結合
された検出コイル２ａ，２ｂによつて打消され
る。このように、第６図に示す構成においては、
長波長雑音、進行波雑音を共に除去することが可
能である。しかしながら、この構成においてはス
リーブ４が必要となり、機構が複雑になる欠点が
ある。
行波雑音をも除去し得るようにした従来の一構成
例を示すもので、銅線１および検出コイル２ａ，
２ｂとの間に銅製のスリーブ４を介挿したもので
ある。この図において、銅線１が高い周波数で振
動し、これにより検出コイル２ａ，２ｂに雑音信
号が発生した場合、この雑音信号のエネルギーは
スリーブ４に環状電流を流すために消費され、し
たがつて、検出コイル２ａ，２ｂの両端子から出
力されることはない。（すなわち、トランスの２
次側を短絡した場合と同じ結果になる。）一方、
磁性異物３の検出信号は、周波数が進行波雑音に
比較して低いためスリーブ４に流れる環状電流に
よつて打消されず、検出コイル２ａ，２ｂの両端
子から出力される。また、長波長雑音は差動結合
された検出コイル２ａ，２ｂによつて打消され
る。このように、第６図に示す構成においては、
長波長雑音、進行波雑音を共に除去することが可
能である。しかしながら、この構成においてはス
リーブ４が必要となり、機構が複雑になる欠点が
ある。
この発明は以上述べた事情に鑑み、長波長雑音
を除去することができると共に、進行波雑音を略
完全に除去することができ、これにより、検出能
力を従来のものよりはるかに向上させた非磁性材
中の磁性異物検出装置を提供するもので、第１、
第２の検出コイルおよび第１〜第３の演算回路を
設け、長波長雑音および進行波雑音を共に第１〜
第３の演算回路によつて電気的に打消すようにし
たことを特徴とするものである。
を除去することができると共に、進行波雑音を略
完全に除去することができ、これにより、検出能
力を従来のものよりはるかに向上させた非磁性材
中の磁性異物検出装置を提供するもので、第１、
第２の検出コイルおよび第１〜第３の演算回路を
設け、長波長雑音および進行波雑音を共に第１〜
第３の演算回路によつて電気的に打消すようにし
たことを特徴とするものである。
以下、図面を参照しこの発明の一実施例につい
て説明する。
て説明する。
第７図は、この発明による磁性異物検出装置の
構成を示すブロツク図である。この図において、
直流高磁界Ｈ中を走行する銅線１１（非磁性材）
の走行経路に沿つて、互いに位置をずらして第
１、第２の検出コイル１２ａ，１２ｂが各々配置
されている。そして、これら検出コイル１２ａ，
１２ｂの各出力は各々、第１の演算回路１３の同
相増幅器１４および反転増幅器１５へ供給され
る。同相増幅器１４は検出コイル１２ａの出力を
同相増幅し、加算回路１６の一方の入力端および
第２の演算回路１７のハイパスフイルタ（以下、
HPFと略称する）１８へ供給する。反転増幅器
１５は検出コイル１２ｂの出力を反転増幅し、加
算回路１６の他方の入力端およびHPF１９へ供
給する。加算回路１６は同相増幅器１４および反
転増幅器１５の各出力を加算し、その加算結果を
第３の演算回路２０の加算回路２３の一方の入力
端へ供給する。第２の演算回路１７はHPF１
８，１９および、こられHPF１８，１９の各出
力を加算する加算回路２２から構成される。この
場合、HPF１８，１９の各カツトオフ周波数は
共に第３図に示す曲線Ｂ，Ｃの交点の周波ｆcと
なつている。また、加算回路２２の出力は第３の
演算回路２０の反転回路２１へ供給される。反転
回路２１は加算回路２２の出力を反転して加算回
路２３の他方の入力端へ供給する。加算回路２３
は反転回路２１の出力および加算回路１６の出力
を加算し、その加算結果を以下に続く信号処理回
路（図示略）へ出力する。
構成を示すブロツク図である。この図において、
直流高磁界Ｈ中を走行する銅線１１（非磁性材）
の走行経路に沿つて、互いに位置をずらして第
１、第２の検出コイル１２ａ，１２ｂが各々配置
されている。そして、これら検出コイル１２ａ，
１２ｂの各出力は各々、第１の演算回路１３の同
相増幅器１４および反転増幅器１５へ供給され
る。同相増幅器１４は検出コイル１２ａの出力を
同相増幅し、加算回路１６の一方の入力端および
第２の演算回路１７のハイパスフイルタ（以下、
HPFと略称する）１８へ供給する。反転増幅器
１５は検出コイル１２ｂの出力を反転増幅し、加
算回路１６の他方の入力端およびHPF１９へ供
給する。加算回路１６は同相増幅器１４および反
転増幅器１５の各出力を加算し、その加算結果を
第３の演算回路２０の加算回路２３の一方の入力
端へ供給する。第２の演算回路１７はHPF１
８，１９および、こられHPF１８，１９の各出
力を加算する加算回路２２から構成される。この
場合、HPF１８，１９の各カツトオフ周波数は
共に第３図に示す曲線Ｂ，Ｃの交点の周波ｆcと
なつている。また、加算回路２２の出力は第３の
演算回路２０の反転回路２１へ供給される。反転
回路２１は加算回路２２の出力を反転して加算回
路２３の他方の入力端へ供給する。加算回路２３
は反転回路２１の出力および加算回路１６の出力
を加算し、その加算結果を以下に続く信号処理回
路（図示略）へ出力する。
以上の構成において、検出コイル１２ａ，１２
ｂおよび第１の演算回路１３は差動ブリツジ回路
を構成しており、この回路構成によつて長波長雑
音を除去することが可能である。すなわち、銅線
１１が比較的長い波長で振動し、これにより、検
出コイル１２ａ，１２ｂに各々第８図イおよびロ
に示す同相の雑音信号が発生した場合、これらの
雑音信号は各々同相増幅器１４および反転増幅器
１５により増幅され、第８図ハおよびニに示す信
号となる。すなわち、同相増幅器１４および反転
増幅器１５の各出力が互いに逆相となる。そし
て、これらの出力が加算回路１６によつて加算さ
れると、同加算回路１６の出力は第８図ホに示す
ように略零となる。このようにして、検出コイル
１２ａ，１２ｂに各々生じた長波長雑音は加算回
路１６の出力端には表われない。
ｂおよび第１の演算回路１３は差動ブリツジ回路
を構成しており、この回路構成によつて長波長雑
音を除去することが可能である。すなわち、銅線
１１が比較的長い波長で振動し、これにより、検
出コイル１２ａ，１２ｂに各々第８図イおよびロ
に示す同相の雑音信号が発生した場合、これらの
雑音信号は各々同相増幅器１４および反転増幅器
１５により増幅され、第８図ハおよびニに示す信
号となる。すなわち、同相増幅器１４および反転
増幅器１５の各出力が互いに逆相となる。そし
て、これらの出力が加算回路１６によつて加算さ
れると、同加算回路１６の出力は第８図ホに示す
ように略零となる。このようにして、検出コイル
１２ａ，１２ｂに各々生じた長波長雑音は加算回
路１６の出力端には表われない。
一方、銅線１１に混入している鉄片２５（磁性
異物）が検出コイル１２ａ，１２ｂを順次通過す
ると、検出コイル１２ａ，１２ｂにおいて各々第
９図イおよびロに示す位相がずれた検出信号が発
生する。これらの検出信号は各々同相増幅器１４
および反転増幅器１５によつて増幅され、第９図
ハおよびニに示す信号となる。そして、これらの
信号が加算回路１６によつて加算されると、加算
回路１６から第９図ホに示す信号が出力される。
すなわち、鉄片２５が検出コイル１２ａ，３１２
ｂを順次通過すると加算回路１６の出力端に第９
図ホに示す磁性異物検出信号が得られる。
異物）が検出コイル１２ａ，１２ｂを順次通過す
ると、検出コイル１２ａ，１２ｂにおいて各々第
９図イおよびロに示す位相がずれた検出信号が発
生する。これらの検出信号は各々同相増幅器１４
および反転増幅器１５によつて増幅され、第９図
ハおよびニに示す信号となる。そして、これらの
信号が加算回路１６によつて加算されると、加算
回路１６から第９図ホに示す信号が出力される。
すなわち、鉄片２５が検出コイル１２ａ，３１２
ｂを順次通過すると加算回路１６の出力端に第９
図ホに示す磁性異物検出信号が得られる。
次に、進行波雑音の除去について説明する。銅
線１１に波長の短かい進行波が発生し、この進行
波が検出コイル１２ａ，１２ｂを順次通過する
と、検出コイル１２ａ，１２ｂに各々第１０図イ
およびロに示す位相のずれた高周波の雑音信号が
発生し、この結果、同相増幅器１４および反転増
幅器１５から各々第１０図ハおよびニに示す信号
が出力される。そして、これらの信号が各々加算
回路１６に供給されることから、加算回路１６か
ら第１０図ホに示す信号が出力され、また、第１
０図ハ，ニに示す信号が各々HPF１８および１
９を介して加算回路２２に供給されると、加算回
路２２から第１０図ヘに示す信号が出力される。
この場合、第１０図ホおよびヘに示す信号は各々
略同一となる。そして、加算回路２２の出力、す
なわち第１０図ヘに示す信号が反転回路２１によ
つて反転され（第１０図ト参照）、加算回路２３
において加算回路１６の出力（第１０図ホ）に加
算されると、加算回路２３の出力が第１０図チに
示すように略零となる。すなわち、加算回路２３
の出力に進行波雑音は表われない。
線１１に波長の短かい進行波が発生し、この進行
波が検出コイル１２ａ，１２ｂを順次通過する
と、検出コイル１２ａ，１２ｂに各々第１０図イ
およびロに示す位相のずれた高周波の雑音信号が
発生し、この結果、同相増幅器１４および反転増
幅器１５から各々第１０図ハおよびニに示す信号
が出力される。そして、これらの信号が各々加算
回路１６に供給されることから、加算回路１６か
ら第１０図ホに示す信号が出力され、また、第１
０図ハ，ニに示す信号が各々HPF１８および１
９を介して加算回路２２に供給されると、加算回
路２２から第１０図ヘに示す信号が出力される。
この場合、第１０図ホおよびヘに示す信号は各々
略同一となる。そして、加算回路２２の出力、す
なわち第１０図ヘに示す信号が反転回路２１によ
つて反転され（第１０図ト参照）、加算回路２３
において加算回路１６の出力（第１０図ホ）に加
算されると、加算回路２３の出力が第１０図チに
示すように略零となる。すなわち、加算回路２３
の出力に進行波雑音は表われない。
他方、銅線１１中の鉄片２５が検出コイル１２
ａ，１２ｂを順次通過すると、前述したように、
加算回路１６から第９図ホに示す信号が出力さ
れ、加算回路２３の一方の入力端に印加される。
この時、同時に同相増幅器１４および反転増幅器
１５の各出力（第９図ハ，ニ）が各々HPF１
８，１９に印加されるが、これらの出力は、周波
数がHPF１８，１９の各カツトオフ周波数より
低いため、加算回路２２に供給されることはな
く、したがつて加算回路２２の出力および反転回
路２１の出力が共に零となる。この結果、加算回
路１６の出力は加算回路２３の出力端から出力さ
れる。こうして、加算回路２３の出力端に第９図
ホに示す磁性異物検出信号が得られる。
ａ，１２ｂを順次通過すると、前述したように、
加算回路１６から第９図ホに示す信号が出力さ
れ、加算回路２３の一方の入力端に印加される。
この時、同時に同相増幅器１４および反転増幅器
１５の各出力（第９図ハ，ニ）が各々HPF１
８，１９に印加されるが、これらの出力は、周波
数がHPF１８，１９の各カツトオフ周波数より
低いため、加算回路２２に供給されることはな
く、したがつて加算回路２２の出力および反転回
路２１の出力が共に零となる。この結果、加算回
路１６の出力は加算回路２３の出力端から出力さ
れる。こうして、加算回路２３の出力端に第９図
ホに示す磁性異物検出信号が得られる。
このように、この発明による磁性異物検出装置
は、第１の演算回路１３によつて長波長雑音を除
去し、また、第２、第３の演算回路１７，２０に
よつて進行波雑音を除去している。
は、第１の演算回路１３によつて長波長雑音を除
去し、また、第２、第３の演算回路１７，２０に
よつて進行波雑音を除去している。
なお、上記実施例においては反転増幅器１５を
用いているが、この代わりに同相増幅器を用い、
加算回路１６，２２に各々減算回路を用いても全
く同一の作用効果を得ることができる。また、上
記実施例においては反転回路２１を用いている
が、これを削除し、代わりに加算回路２３を減算
回路としても全く同一の作用効果が得られる。ま
た、反転回路２１は加算回路２２の出力側に介挿
してもよい。
用いているが、この代わりに同相増幅器を用い、
加算回路１６，２２に各々減算回路を用いても全
く同一の作用効果を得ることができる。また、上
記実施例においては反転回路２１を用いている
が、これを削除し、代わりに加算回路２３を減算
回路としても全く同一の作用効果が得られる。ま
た、反転回路２１は加算回路２２の出力側に介挿
してもよい。
なお、参考までに第７図に示す実施例の実験結
果を第１１図に示す。この図においてたて軸は
Ｓ／Ｎ、横軸は鉄片２５の大きさ（mmφ）であ
る。また、この実験においては８mmφの銅線を
900m／minの速度で磁界中を走行させている。
果を第１１図に示す。この図においてたて軸は
Ｓ／Ｎ、横軸は鉄片２５の大きさ（mmφ）であ
る。また、この実験においては８mmφの銅線を
900m／minの速度で磁界中を走行させている。
以上説明したように、この発明によれば長波長
雑音および進行波雑音を共に電気的に打消すよう
にしたので、進行波雑音を略完全に除去すること
ができ、磁性異物の検出能力を従来のものに比較
しはるかに向上させることができる。
雑音および進行波雑音を共に電気的に打消すよう
にしたので、進行波雑音を略完全に除去すること
ができ、磁性異物の検出能力を従来のものに比較
しはるかに向上させることができる。
第１図は非磁性材中の磁性異物を検出する方法
を説明するための図、第２図は磁性異物検出の際
発生する雑音の周波数成分および磁性異物検出信
号の周波数成分を概念的に示す図、第３図は従来
の磁性異物検出装置の主要部の概略構成を示す
図、第４図、第５図は各々第３図に示す装置の動
作を説明するための波形図、第６図は従来の磁性
異物検出装置の他の構成例を示す図、第７図はこ
の発明の一実施例の構成を示すブロツク図、第８
図〜第１０図は各々第７図に示す実施例の動作を
説明するための波形図、第１１図は同実施例の実
験結果を示す図である。 １１……銅線（非磁性材）、１２ａ……第１の
検出コイル、１２ｂ……第２の検出コイル、１３
……第１の演算回路、１７……第２の演算回路、
２０……第３の演算回路。
を説明するための図、第２図は磁性異物検出の際
発生する雑音の周波数成分および磁性異物検出信
号の周波数成分を概念的に示す図、第３図は従来
の磁性異物検出装置の主要部の概略構成を示す
図、第４図、第５図は各々第３図に示す装置の動
作を説明するための波形図、第６図は従来の磁性
異物検出装置の他の構成例を示す図、第７図はこ
の発明の一実施例の構成を示すブロツク図、第８
図〜第１０図は各々第７図に示す実施例の動作を
説明するための波形図、第１１図は同実施例の実
験結果を示す図である。 １１……銅線（非磁性材）、１２ａ……第１の
検出コイル、１２ｂ……第２の検出コイル、１３
……第１の演算回路、１７……第２の演算回路、
２０……第３の演算回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 直流磁界中に非磁性材を走行させ、前記非磁
性材中に混入している磁性異物を、同磁性異物に
よつて生じる前記直流磁界中の変化に基づいて検
出する磁性異物検出装置において、 (a) 前記直流磁界中の、前記非磁性材の走行経路
に沿つて、互いに位置をずらして配置された第
１、第２の検出コイルと、 (b) 前記第２の検出コイルの出力を反転して前記
第１の検出コイルの出力に加算する第１の演算
回路と、 (c) 前記第１の検出コイルの出力および前記第２
の検出コイルの反転出力の所定周波数以上の成
分を各々抽出し、この抽出された各成分を各々
加算する第２の演算回路と、 (d) 前記第１、第２の演算回路の各出力のうち、
一方の出力を反転して、他方の出力に加算する
第３の演算回路と、 を具備してなる非磁性材中の磁性異物検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55136104A JPS5760257A (en) | 1980-09-30 | 1980-09-30 | Detector for magnetic foreign matter in nonmagnetic material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55136104A JPS5760257A (en) | 1980-09-30 | 1980-09-30 | Detector for magnetic foreign matter in nonmagnetic material |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5760257A JPS5760257A (en) | 1982-04-12 |
| JPS6236532B2 true JPS6236532B2 (ja) | 1987-08-07 |
Family
ID=15167365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55136104A Granted JPS5760257A (en) | 1980-09-30 | 1980-09-30 | Detector for magnetic foreign matter in nonmagnetic material |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5760257A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63284811A (ja) * | 1987-05-15 | 1988-11-22 | Nec Corp | 半導体基板露光装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6294112B2 (ja) * | 2014-03-13 | 2018-03-14 | アンリツインフィビス株式会社 | 金属検出装置 |
-
1980
- 1980-09-30 JP JP55136104A patent/JPS5760257A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63284811A (ja) * | 1987-05-15 | 1988-11-22 | Nec Corp | 半導体基板露光装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5760257A (en) | 1982-04-12 |
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