JPS6239276B2 - - Google Patents
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- JPS6239276B2 JPS6239276B2 JP54146137A JP14613779A JPS6239276B2 JP S6239276 B2 JPS6239276 B2 JP S6239276B2 JP 54146137 A JP54146137 A JP 54146137A JP 14613779 A JP14613779 A JP 14613779A JP S6239276 B2 JPS6239276 B2 JP S6239276B2
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- JP
- Japan
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- shielding device
- thermal radiation
- cooled
- radiation shielding
- bent
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 44
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F2265/00—Safety or protection arrangements; Arrangements for preventing malfunction
- F28F2265/10—Safety or protection arrangements; Arrangements for preventing malfunction for preventing overheating, e.g. heat shields
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12361—All metal or with adjacent metals having aperture or cut
-
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- Y10T428/1241—Nonplanar uniform thickness or nonlinear uniform diameter [e.g., L-shape]
-
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- Y10T428/24273—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including aperture
- Y10T428/24322—Composite web or sheet
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はクライオポンプのための熱輻射線遮蔽
装置に関し、該遮蔽装置では、熱伝導率の高い折
り曲げられた金属薄板を沢山積み重ねて輻射線が
通過しない様にした装置が、冷却媒質により貫流
されている（又は冷却媒質を満たされた）中空物
体により一緒にまとめられており、クライオポン
プの冷却された面を取り囲んでいるものである。
装置に関し、該遮蔽装置では、熱伝導率の高い折
り曲げられた金属薄板を沢山積み重ねて輻射線が
通過しない様にした装置が、冷却媒質により貫流
されている（又は冷却媒質を満たされた）中空物
体により一緒にまとめられており、クライオポン
プの冷却された面を取り囲んでいるものである。
クライオポンプの冷却された面に入射して来る
熱を最小のものにするため、熱伝導率が高く折り
曲げられ且つ黒く染められた金属薄板が輻射線を
通過させずしかし気体を通過させる構造に結合さ
れそして冷却媒質−例えば液体窒素−により冷却
されることが普通行われている。この様な熱輻射
線遮蔽装置と称される析り曲げられた金属薄板構
造は周知の如くＶ字形に折り曲げられた帯状の金
属薄板（折り曲げ角度は通常120゜となつてい
る）から成り、これらの金属薄板は定められた間
隔を正確に隔てる様に、液体窒素によつて冷却さ
れている側壁に一枚宛溶接され、その際次のこと
に注意が払われている。即ち一方では該金属薄板
構造を輻射線が通過し得ない様になつているこ
と、および他方ではガス体ができるだけ大量に通
過し得る様になつていることに注意が払われてい
る。即ち製造の際に、一つの金属薄板の屋根の棟
が次の金属薄板の軒を結合する線にほんの僅かだ
け侵入している様に形成され、このため費用がか
かる保持装置が使用されそして特別に注意深く製
造が実施されなければならない。
熱を最小のものにするため、熱伝導率が高く折り
曲げられ且つ黒く染められた金属薄板が輻射線を
通過させずしかし気体を通過させる構造に結合さ
れそして冷却媒質−例えば液体窒素−により冷却
されることが普通行われている。この様な熱輻射
線遮蔽装置と称される析り曲げられた金属薄板構
造は周知の如くＶ字形に折り曲げられた帯状の金
属薄板（折り曲げ角度は通常120゜となつてい
る）から成り、これらの金属薄板は定められた間
隔を正確に隔てる様に、液体窒素によつて冷却さ
れている側壁に一枚宛溶接され、その際次のこと
に注意が払われている。即ち一方では該金属薄板
構造を輻射線が通過し得ない様になつているこ
と、および他方ではガス体ができるだけ大量に通
過し得る様になつていることに注意が払われてい
る。即ち製造の際に、一つの金属薄板の屋根の棟
が次の金属薄板の軒を結合する線にほんの僅かだ
け侵入している様に形成され、このため費用がか
かる保持装置が使用されそして特別に注意深く製
造が実施されなければならない。
クライオポンプのこの様な熱輻射線遮蔽装置の
製造コストはこのため特別に高価でありそして装
置全体の値段を高価なものにしている。更にガス
の流通を許さない様に構成されている液体窒素で
冷却されている側壁はポンプの吸気能力を低下さ
せ、しかも該吸気能力の低下は、輻射線遮蔽装置
の表面全体上に占めている側壁面の割合いに等し
い。
製造コストはこのため特別に高価でありそして装
置全体の値段を高価なものにしている。更にガス
の流通を許さない様に構成されている液体窒素で
冷却されている側壁はポンプの吸気能力を低下さ
せ、しかも該吸気能力の低下は、輻射線遮蔽装置
の表面全体上に占めている側壁面の割合いに等し
い。
本発明の目的は非常に簡単に製造することがで
きる構造の熱輻射線遮蔽装置を提案することであ
り、該遮蔽装置がクライオポンプの全吸気能力に
及ぼす影響をできる取り僅かなものにすることで
ある。
きる構造の熱輻射線遮蔽装置を提案することであ
り、該遮蔽装置がクライオポンプの全吸気能力に
及ぼす影響をできる取り僅かなものにすることで
ある。
上記の目的を達成するため本発明により冒頭に
述べた様な種類のクライオポンプのために開発さ
れた熱輻射線遮蔽装置は、一般的に言えば閉鎖し
た環状の折り曲げられた金属薄板を有し、これら
の金属薄板は冷却された（冷却剤を充填又は貫流
されている）真直な管に貫ぬかれているか又は冷
却されるはめ管により相互に結合されているとい
う特徴を有するものである。
述べた様な種類のクライオポンプのために開発さ
れた熱輻射線遮蔽装置は、一般的に言えば閉鎖し
た環状の折り曲げられた金属薄板を有し、これら
の金属薄板は冷却された（冷却剤を充填又は貫流
されている）真直な管に貫ぬかれているか又は冷
却されるはめ管により相互に結合されているとい
う特徴を有するものである。
金属薄板は特に孔が配置された突出部を有し、
これら突出部の孔は冷却剤が貫流または充填され
ている管に貫ぬかれるのを容易にし、その際折り
曲げられた金属薄板の間には間隔を保つための円
筒殻が一緒に貫ぬかれている。使用の目的により
実際には円形、長方形又は楕円形の環を形成する
ことが可能な本発明による折り曲げられた金属薄
板の閉鎖された環状の形態はこれらの金属薄板を
実際上、ねじれに対して剛直なものにしており、
従つてこれら金属薄板は大なる費用を必要とせず
に望み通りの僅かな製造誤差で系全体が組み立て
可能となつている。通常、互に相等しい金属薄板
は絞り加工と打ち抜きにより製造されそして該金
属薄板の比較的変形し難い形態はその後の発送、
貯蔵等の取扱いに対し問題を惹起することがな
い。
これら突出部の孔は冷却剤が貫流または充填され
ている管に貫ぬかれるのを容易にし、その際折り
曲げられた金属薄板の間には間隔を保つための円
筒殻が一緒に貫ぬかれている。使用の目的により
実際には円形、長方形又は楕円形の環を形成する
ことが可能な本発明による折り曲げられた金属薄
板の閉鎖された環状の形態はこれらの金属薄板を
実際上、ねじれに対して剛直なものにしており、
従つてこれら金属薄板は大なる費用を必要とせず
に望み通りの僅かな製造誤差で系全体が組み立て
可能となつている。通常、互に相等しい金属薄板
は絞り加工と打ち抜きにより製造されそして該金
属薄板の比較的変形し難い形態はその後の発送、
貯蔵等の取扱いに対し問題を惹起することがな
い。
冷却剤によつて冷却され（貫流され）ている断
面円形の管によつて貫ぬかれる孔が配置された突
出部を有する環状に形成されている金属薄板か
ら、本発明による熱輻射線遮蔽装置が特に簡単に
形成される。この様にして標準部材から任意の大
きさの熱輻射遮蔽装置を構成することが可能であ
り、該装置の大きさをその都度の使用者の注文に
適合させることは困難でない。
面円形の管によつて貫ぬかれる孔が配置された突
出部を有する環状に形成されている金属薄板か
ら、本発明による熱輻射線遮蔽装置が特に簡単に
形成される。この様にして標準部材から任意の大
きさの熱輻射遮蔽装置を構成することが可能であ
り、該装置の大きさをその都度の使用者の注文に
適合させることは困難でない。
本発明による熱輻射遮蔽装置では、従来は存在
するのが当然であつた液体窒素で冷却され且つガ
ス体が流通しない側壁が除去されている。この様
にしてポンプへのガス体流通量は公知の装置に比
較して著るしく改良されている。
するのが当然であつた液体窒素で冷却され且つガ
ス体が流通しない側壁が除去されている。この様
にしてポンプへのガス体流通量は公知の装置に比
較して著るしく改良されている。
本発明によるその他の特徴ある形成は、添附図
に示されている特殊な実施形態を説明する次の記
述により明らかにされる。
に示されている特殊な実施形態を説明する次の記
述により明らかにされる。
第４ａおよび４ｂ図に示されている様に、公知
の装置においては、直線状に延長している折り曲
げられた金属薄板１の両端が夫々液体窒素により
冷却されている中空物体２に結合され、その際、
ポンプ作動のための非常に大量のエネルギーの消
費が、達成されるポンプの排気能力と合理的な割
合いになつているためには、第４ｂ図に略図によ
つて示された金属薄板の空間的な相互の配置に、
比較的僅かな誤差しか許されていないのである
が、本発明によれば、閉鎖した環状の形態の折り
曲げられた金属薄板３（第１図参照）が冷却剤が
貫流している管４によつて貫ぬかれそして、第２
図に示した如く該管と結合されている。このため
環状の形態の折り曲げられた金属薄板は一般に外
側に孔が配置された４箇の突出部分５を持つてい
る。或いはまた該突出部とは異なり、第３図に示
されている如き内部に向つて突出している冷却剤
が貫流している管に貫ぬかれる孔を有する２箇の
付加物６又は７が設けられ或いは折り曲げられた
金属薄板自体に孔８又は８′が設けられることも
可能である。
の装置においては、直線状に延長している折り曲
げられた金属薄板１の両端が夫々液体窒素により
冷却されている中空物体２に結合され、その際、
ポンプ作動のための非常に大量のエネルギーの消
費が、達成されるポンプの排気能力と合理的な割
合いになつているためには、第４ｂ図に略図によ
つて示された金属薄板の空間的な相互の配置に、
比較的僅かな誤差しか許されていないのである
が、本発明によれば、閉鎖した環状の形態の折り
曲げられた金属薄板３（第１図参照）が冷却剤が
貫流している管４によつて貫ぬかれそして、第２
図に示した如く該管と結合されている。このため
環状の形態の折り曲げられた金属薄板は一般に外
側に孔が配置された４箇の突出部分５を持つてい
る。或いはまた該突出部とは異なり、第３図に示
されている如き内部に向つて突出している冷却剤
が貫流している管に貫ぬかれる孔を有する２箇の
付加物６又は７が設けられ或いは折り曲げられた
金属薄板自体に孔８又は８′が設けられることも
可能である。
冷却された結合管（断面円形又は任意形状の断
面を有することができる）の数は一方では望まし
い安定性と冷却作用によつて定められるが、他方
ではできる限り少ない管の数がガスの通過に対し
て最良の条件となることが考慮される。
面を有することができる）の数は一方では望まし
い安定性と冷却作用によつて定められるが、他方
ではできる限り少ない管の数がガスの通過に対し
て最良の条件となることが考慮される。
折り曲げられた金属薄板の間に必要な間隔は通
常次の様に定められる。即ち一つの金属薄板の棟
９が次に位置する金属薄板の軒を結ぶ線１０にで
きるだけ僅か侵入している様に定められている。
上記の必要な間隔は、特に好都合にも、管４に、
折り曲げられた金属薄板３と間隔円筒殻１１とを
交互に貫ぬかせることにより達成される。或いは
また間隔維持体として作用するはめ管が金属薄板
に結合され、該はめ管は衝き当て面を有し、そし
てはめ管に結合されている金属板面とはめ管とが
互に入りまじつて嵌合することが可能になつてい
る。
常次の様に定められる。即ち一つの金属薄板の棟
９が次に位置する金属薄板の軒を結ぶ線１０にで
きるだけ僅か侵入している様に定められている。
上記の必要な間隔は、特に好都合にも、管４に、
折り曲げられた金属薄板３と間隔円筒殻１１とを
交互に貫ぬかせることにより達成される。或いは
また間隔維持体として作用するはめ管が金属薄板
に結合され、該はめ管は衝き当て面を有し、そし
てはめ管に結合されている金属板面とはめ管とが
互に入りまじつて嵌合することが可能になつてい
る。
第１乃至３図に示されている様に金属薄板の細
長い楕円形の形態は第１図に破線で示されている
細長い断面を有する液体ヘリウムで冷却されてい
る面１２に対し特に合目的である様に思われる。
しかし別の実施形態では円い環状、長方形又は正
方形等の金属薄板の形態を選ぶことが可能であ
る。
長い楕円形の形態は第１図に破線で示されている
細長い断面を有する液体ヘリウムで冷却されてい
る面１２に対し特に合目的である様に思われる。
しかし別の実施形態では円い環状、長方形又は正
方形等の金属薄板の形態を選ぶことが可能であ
る。
第１および２図に示されている様な実施形態の
本発明による熱輻射線遮蔽装置は標準構成部材か
ら非常に簡単に形成される。即ち使用者の望み通
りのポンプの大きさに対応する長さを持つた管４
に、折り曲げられた金属薄板３と間隔円筒殻１１
とが交互に貫ぬかれ、その後で配置全体がろー付
け炉の中で結合される。
本発明による熱輻射線遮蔽装置は標準構成部材か
ら非常に簡単に形成される。即ち使用者の望み通
りのポンプの大きさに対応する長さを持つた管４
に、折り曲げられた金属薄板３と間隔円筒殻１１
とが交互に貫ぬかれ、その後で配置全体がろー付
け炉の中で結合される。
上記の様にして寸法正確で且つ寸法誤差の少な
い熱輻射線遮蔽装置が大なる製造費用を必要とせ
ずに出来上り、該遮蔽装置はクライオポンプへの
ガス体流通量を、従来公知となつている遮蔽装置
よりも低下させることはない。金属薄板の厚さお
よび形態並びに断面形状および管の数又ははめ管
の数および貫ぬかれるために必要な付加物５乃至
７又は金属薄板に設けられた孔８，８′はこの
際、安定のよい形態と製造可能性並びにポンプへ
のガス体流通量をできるだけ妨害しない様にする
ことを考慮して選択される。
い熱輻射線遮蔽装置が大なる製造費用を必要とせ
ずに出来上り、該遮蔽装置はクライオポンプへの
ガス体流通量を、従来公知となつている遮蔽装置
よりも低下させることはない。金属薄板の厚さお
よび形態並びに断面形状および管の数又ははめ管
の数および貫ぬかれるために必要な付加物５乃至
７又は金属薄板に設けられた孔８，８′はこの
際、安定のよい形態と製造可能性並びにポンプへ
のガス体流通量をできるだけ妨害しない様にする
ことを考慮して選択される。
第１図は熱輻射線遮蔽装置のための本発明によ
る環状に形成された折り曲げられた金属薄板の一
つの実施例を示す部分切断斜視図、第２図は第１
図に示した金属薄板の−線による断面とそれ
らを組み立てた状態の部分断面図、第３図は貫ぬ
かれるための種々異なる孔が配置されている環状
に形成された折り曲げられた金属薄板の別の実施
例であり、第４ａおよび第４ｂ図は従来公知の熱
輻射線遮蔽装置の基本構造を示す略図である。図
において、 ３……折り曲げられた金属薄板、４……冷却さ
れた管、５……孔が配置された突出部分、６，７
……孔を有する付加物、１１……間隔円筒殻であ
る。
る環状に形成された折り曲げられた金属薄板の一
つの実施例を示す部分切断斜視図、第２図は第１
図に示した金属薄板の−線による断面とそれ
らを組み立てた状態の部分断面図、第３図は貫ぬ
かれるための種々異なる孔が配置されている環状
に形成された折り曲げられた金属薄板の別の実施
例であり、第４ａおよび第４ｂ図は従来公知の熱
輻射線遮蔽装置の基本構造を示す略図である。図
において、 ３……折り曲げられた金属薄板、４……冷却さ
れた管、５……孔が配置された突出部分、６，７
……孔を有する付加物、１１……間隔円筒殻であ
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 熱伝導率が高く相互に等しい形状の折り曲げ
られた金属薄板を沢山積み重ねて輻射線が通過し
ない様にした装置が、冷却媒質によつて貫流され
ている中空物体により一緒にまとめられておりそ
してクライオポンプの冷却された面を取り囲んで
いるクライオポンプのための熱輻射線遮蔽装置に
おいて、一般的に閉鎖した環状の折り曲げられた
金属薄板３を有し、これらの金属薄板は冷却され
た真直な管４に貫ぬかれているか或いは冷却され
るはめ管により相互に結合されていることを特徴
とする遮蔽装置。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の熱輻射線遮蔽装
置において、金属薄板３は真直な管４に貫ぬかれ
る孔が配置されている突出部５を有しそして金属
薄板の間には上記管４に前同様貫かれる間隔維持
体１１、特に間隔円筒殻を有することを特徴とす
る遮蔽装置。 ３ 特許請求の範囲第１項または第２項記載の熱
輻射線遮蔽装置において、折り曲げられた金属薄
板３は、外側に孔が配置されている４箇の突出部
５を有する楕円形となつていることを特徴とする
遮蔽装置。 ４ 特許請求の範囲第１項または第２項記載の熱
輻射線遮蔽装置において、折り曲げられた金属薄
板３は、内部に向つて突出している孔を有する２
箇の付加物６又は７が設けられていることを特徴
とする遮蔽装置。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19792907055 DE2907055A1 (de) | 1979-02-23 | 1979-02-23 | Waermestrahlungsschild fuer kryopumpen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55114891A JPS55114891A (en) | 1980-09-04 |
| JPS6239276B2 true JPS6239276B2 (ja) | 1987-08-21 |
Family
ID=6063728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14613779A Granted JPS55114891A (en) | 1979-02-23 | 1979-11-13 | Heat radiation shielding device for cryoopump |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4267707A (ja) |
| JP (1) | JPS55114891A (ja) |
| CH (1) | CH643917A5 (ja) |
| DE (1) | DE2907055A1 (ja) |
| FR (1) | FR2449806A1 (ja) |
| GB (1) | GB2042644B (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4275566A (en) * | 1980-04-01 | 1981-06-30 | Pennwalt Corporation | Cryopump apparatus |
| US4434846A (en) | 1981-04-06 | 1984-03-06 | Mcquay Inc. | Patterned heat exchanger fin |
| US4530213A (en) * | 1983-06-28 | 1985-07-23 | Air Products And Chemicals, Inc. | Economical and thermally efficient cryopump panel and panel array |
| JPS60161702A (ja) * | 1984-01-27 | 1985-08-23 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 真空用冷却トラツプ |
| CN100476585C (zh) * | 2002-12-23 | 2009-04-08 | Asml荷兰有限公司 | 具有可扩展薄片的杂质屏蔽 |
| US7389645B2 (en) * | 2005-11-04 | 2008-06-24 | Applied Materials, Inc. | Radiation shield for cryogenic pump for high temperature physical vapor deposition |
| KR101456889B1 (ko) | 2007-01-17 | 2014-10-31 | 브룩스 오토메이션, 인크. | 압력 이탈이 없는 고용량 극저온 펌프 |
| CN104947039B (zh) * | 2014-03-24 | 2017-07-04 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 隔热挡板及反应腔室 |
| US20230290614A1 (en) * | 2022-03-09 | 2023-09-14 | Applied Materials, Inc. | Heat shield assemblies for minimizing heat radiation to pump of process chamber |
| US12426209B2 (en) | 2022-09-21 | 2025-09-23 | International Business Machines Corporation | Non-contact thermal radiation shield interface |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2899178A (en) * | 1959-08-11 | Heat exchange fins and assembly | ||
| DE1074207B (de) * | 1960-01-28 | E. Leybold's Nachfolger, Köln-Bayenthal | Treibmittelpumpe, insbesondere mehrstufige Diffusionspumpe | |
| DE1628431U (de) | 1951-07-23 | 1951-09-20 | Sud Tank Sueddeutsche Tankanla | Waschvorrichtung fuer kraftfahrzeuge. |
| US3241610A (en) * | 1961-10-16 | 1966-03-22 | Peerless Of America | Fin and tube stock assemblies for heat exchange units |
| US3252652A (en) * | 1963-01-24 | 1966-05-24 | Bendix Balzers Vacuum Inc | Process and apparatus for the production of high vacuums |
| CH442600A (de) * | 1966-05-18 | 1967-08-31 | Balzers Patent Beteilig Ag | Hochvakuumpumpe |
| CH437616A (de) * | 1966-08-23 | 1967-06-15 | Balzers Patent Beteilig Ag | Wahlweise mit Kühlmitteln verschiedener Temperatur kühlbarer Treibmittelfänger für Vakuumdampfpumpen |
| US3423947A (en) * | 1967-07-17 | 1969-01-28 | Yosimaro Moriya | Vacuum traps utilizing electronic refrigerating elements |
| DE1816981A1 (de) * | 1968-01-02 | 1969-08-21 | Internat Res & Dev Company Ltd | Kryogenpumpe |
| FR1587077A (ja) * | 1968-08-01 | 1970-03-13 | ||
| GB1313135A (en) * | 1969-04-28 | 1973-04-11 | Edwards High Vacuum Int Ltd | Vapour trap for a vapour vacuum pump |
| US3746087A (en) * | 1971-04-19 | 1973-07-17 | Varian Associates | Heat dissipation device |
| DE2455712A1 (de) | 1974-11-25 | 1976-08-12 | Eckhard Kellner | Cryo-sorptionspumpe |
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