JPS6239555B2 - - Google Patents
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- JPS6239555B2 JPS6239555B2 JP2582780A JP2582780A JPS6239555B2 JP S6239555 B2 JPS6239555 B2 JP S6239555B2 JP 2582780 A JP2582780 A JP 2582780A JP 2582780 A JP2582780 A JP 2582780A JP S6239555 B2 JPS6239555 B2 JP S6239555B2
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- discharge space
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、無声放電式ガスレーザ装置の電極
の改良に関するものである。
の改良に関するものである。
まず、従来の無声放電式ガスレーザ装置を直交
型CO2レーザを例にとつて説明する。
型CO2レーザを例にとつて説明する。
第１図は、従来の装置の構成原理図、第２図
は、そのガス系統図、第３図は、その電極構造
図、第４図は、その−線からみた断面図であ
る。
は、そのガス系統図、第３図は、その電極構造
図、第４図は、その−線からみた断面図であ
る。
まず、第１図において、１，２は誘電体、３，
４は金属板で各々放電面は誘電体１，２で覆われ
ており、１と３、２と４でそれぞれ一つの無声放
電電極３０，４０を形成している。５は放電空
間、６は交流電源、７は全反射鏡、８は部分反射
鏡である。
４は金属板で各々放電面は誘電体１，２で覆われ
ており、１と３、２と４でそれぞれ一つの無声放
電電極３０，４０を形成している。５は放電空
間、６は交流電源、７は全反射鏡、８は部分反射
鏡である。
金属板３，４に交流電源６により交流高電圧
（約10KHz、10KV）が印加されると、放電空間５
に無声放電と呼ばれる安定な放電が生じる。レー
ザガス（CO2レーザの場合は、一般にCO2，
CO，N2，Heの混合気体）は、放電空間５を通過
するときに、この無声放電によりレーザ励起さ
れ、全反射鏡７と部分反射鏡８により構成される
光共振器によつてレーザ発振を起こし、励起され
た分子エネルギーは、レーザ光として、部分反射
鏡８から取り出される。
（約10KHz、10KV）が印加されると、放電空間５
に無声放電と呼ばれる安定な放電が生じる。レー
ザガス（CO2レーザの場合は、一般にCO2，
CO，N2，Heの混合気体）は、放電空間５を通過
するときに、この無声放電によりレーザ励起さ
れ、全反射鏡７と部分反射鏡８により構成される
光共振器によつてレーザ発振を起こし、励起され
た分子エネルギーは、レーザ光として、部分反射
鏡８から取り出される。
次に、第２図では、従来装置におけるレーザガ
スの系統が示されており、９は無機質絶縁体で作
られたガスガイド、１０はブロア、１１は熱交換
器である熱交換器１１で温度が下り、ブロア１０
によつて加速され高速になつたレーザガスは、ガ
スガイド９に添つて、放電とレーザ光（紙面に垂
直）のいづれにも直交する方向に放電空間５を通
過する。放電空間５におけるガス速度は、30ｍ・
Ｓ-1程度の高速にし、放電によつて受けた熱エネ
ルギーによるガス温度上昇を50℃程度に低く抑え
る。これは、CO2の光吸収率がガス温度上昇によ
り急激に上昇し、レーザ発振エネルギー効率を低
下させるので、ガス温度を低く抑える必要がある
ためである。
スの系統が示されており、９は無機質絶縁体で作
られたガスガイド、１０はブロア、１１は熱交換
器である熱交換器１１で温度が下り、ブロア１０
によつて加速され高速になつたレーザガスは、ガ
スガイド９に添つて、放電とレーザ光（紙面に垂
直）のいづれにも直交する方向に放電空間５を通
過する。放電空間５におけるガス速度は、30ｍ・
Ｓ-1程度の高速にし、放電によつて受けた熱エネ
ルギーによるガス温度上昇を50℃程度に低く抑え
る。これは、CO2の光吸収率がガス温度上昇によ
り急激に上昇し、レーザ発振エネルギー効率を低
下させるので、ガス温度を低く抑える必要がある
ためである。
第３図には、上記従来装置の電極構造図、第４
図は、第３図−線よりみた断面でガス流方
向、放電方向、光軸（レーザ光）の方向が示され
ている。５ａ，５ｂ，５ｃは放電空間５のガス流
上流側、中央部、下流側である。３ｂ，４ｂは金
属板３，４の誘電体で覆われていない部分であ
る。
図は、第３図−線よりみた断面でガス流方
向、放電方向、光軸（レーザ光）の方向が示され
ている。５ａ，５ｂ，５ｃは放電空間５のガス流
上流側、中央部、下流側である。３ｂ，４ｂは金
属板３，４の誘電体で覆われていない部分であ
る。
ここで無声放電の特性について簡単に説明す
る。無声放電は、誘電体１，２を介して生じる交
流放電であり、電源電圧上昇にしたがつて放電空
間５の電圧が上昇し、放電空間電位差が放電開始
電圧に達するとパルス的放電が生じ、放電が生じ
ると誘電体１，２の表面に電荷が堆積され、その
結果、放電空間５の電圧が低下して放電が消滅す
る。電源電圧の上昇により再び放電空間５の電圧
が放電開始電圧に達すると放電が起る。交流電源
の半サイクル中にこのような放電が数回ないし数
十回繰返し、又、次の半サイクルでは、逆極性の
放電が同様に繰返される。
る。無声放電は、誘電体１，２を介して生じる交
流放電であり、電源電圧上昇にしたがつて放電空
間５の電圧が上昇し、放電空間電位差が放電開始
電圧に達するとパルス的放電が生じ、放電が生じ
ると誘電体１，２の表面に電荷が堆積され、その
結果、放電空間５の電圧が低下して放電が消滅す
る。電源電圧の上昇により再び放電空間５の電圧
が放電開始電圧に達すると放電が起る。交流電源
の半サイクル中にこのような放電が数回ないし数
十回繰返し、又、次の半サイクルでは、逆極性の
放電が同様に繰返される。
ところで、無声放電は、電極の誘電体沿面に拡
がり易い放電であるため、放電空間の放電エネル
ギーの分布は、ガス流方向に均一でなく、放電空
間端部５ａ，５ｃが中央部の５ｂにくらべてエネ
ルギー密度の高い放電になる。その為に誘電体
１，２の放電空間５ａ，５ｃに近い部分に熱的破
壊が生じ、あるいは、放電空間５を通過するレー
ザ媒質ガスの温度が部分的に高温となりCO2の光
吸収量が増大し、レーザ発振効率を低下させる欠
点がある。
がり易い放電であるため、放電空間の放電エネル
ギーの分布は、ガス流方向に均一でなく、放電空
間端部５ａ，５ｃが中央部の５ｂにくらべてエネ
ルギー密度の高い放電になる。その為に誘電体
１，２の放電空間５ａ，５ｃに近い部分に熱的破
壊が生じ、あるいは、放電空間５を通過するレー
ザ媒質ガスの温度が部分的に高温となりCO2の光
吸収量が増大し、レーザ発振効率を低下させる欠
点がある。
また、印加電圧を大きくすると放電は、さらに
電極３０，４０の背後部分で誘電体がライニング
（溶射）されていない部分３ｂ，４ｂまで拡が
り、そこから対電極へ誘電体沿面を伝つた放電が
発生し、その為に誘電体１，２及び電源６が破壊
されるトラブルが生じる。
電極３０，４０の背後部分で誘電体がライニング
（溶射）されていない部分３ｂ，４ｂまで拡が
り、そこから対電極へ誘電体沿面を伝つた放電が
発生し、その為に誘電体１，２及び電源６が破壊
されるトラブルが生じる。
また、従来の無声放電式ガスレーザ装置の電極
構造は、第３，４図に示したように金属板３，４
に誘電体１，２をライニング（溶射）して作られ
ている為、誘電体１，２の厚さを均一に作る事が
難しい。この為、無声放電の特性により誘電体厚
さの薄い場所は、単位面積あたりの静電容量が増
加し、放電の電力が集中し、その部分の誘電体が
破損されやすく、誘電体を均一にライニングする
必要があつた。均一なライニングは複雑な形状の
電極では技術的に難しいため、従来の電極は単純
な構造に限定されていた。そのため発振器の効率
を最大にすべく望ましい形状の電極を作ることは
困難であつた。
構造は、第３，４図に示したように金属板３，４
に誘電体１，２をライニング（溶射）して作られ
ている為、誘電体１，２の厚さを均一に作る事が
難しい。この為、無声放電の特性により誘電体厚
さの薄い場所は、単位面積あたりの静電容量が増
加し、放電の電力が集中し、その部分の誘電体が
破損されやすく、誘電体を均一にライニングする
必要があつた。均一なライニングは複雑な形状の
電極では技術的に難しいため、従来の電極は単純
な構造に限定されていた。そのため発振器の効率
を最大にすべく望ましい形状の電極を作ることは
困難であつた。
さらに、レーザガスは、第２図に示すように放
電空間５を高速で流す必要があるため、ガスガイ
ド９を設けなければならなかつた。このガスガイ
ド９は、一部が放電にさらされているのでアウト
ガス発生のない絶縁物で構成する必要があつた。
電空間５を高速で流す必要があるため、ガスガイ
ド９を設けなければならなかつた。このガスガイ
ド９は、一部が放電にさらされているのでアウト
ガス発生のない絶縁物で構成する必要があつた。
この発明は、上記従来のものの欠点を除去する
ためになされたもので、電極構造を改良すること
により構造が簡単で信頼性の高い無声放電式ガス
レーザ装置を提供することを目的とするものであ
る。
ためになされたもので、電極構造を改良すること
により構造が簡単で信頼性の高い無声放電式ガス
レーザ装置を提供することを目的とするものであ
る。
以下この発明の一実施例を図面を参照して説明
する。
する。
第５図は、この発明の一実施例を示す電極構造
図、第６図はその−線からみた断面図、第７
図は、そのガス系統図で、１−１，２−１は、放
電面の反対面に凹状の溝が堀られている。電極３
０，４０の主要構成物たる無機物誘電体板、１−
１ｂ，２−１ｂは、それらの放電場所（凹状の部
分の厚さの薄い所）、３−１，４−１は、無機物
誘電体板１−１，２−１の凹部に設けられた金属
板であり、第６図にガス流方向、放電方向、光軸
方向が示されている。このように電極３０，４０
を構成すると、放電は無声放電の特性により単位
あたりの静電容量の大きい無機物誘電体板１−
１，２−１の厚さの薄い部分１−１ｂ，２−１ｂ
の面だけに放電が限定され、その結果、放電空間
５には、エネルギー集中のない放電が生じ、放電
空間５を通過するレーザ媒質ガス温度が部分的に
高温になることがなく、また印加電圧を大きくし
ても誘電体沿面距離が長い為、金属板３−１，４
−１から対電極に対しての放電も発生しないの
で、誘電体及び電源の破壊の虞れがほとんどなく
なる。
図、第６図はその−線からみた断面図、第７
図は、そのガス系統図で、１−１，２−１は、放
電面の反対面に凹状の溝が堀られている。電極３
０，４０の主要構成物たる無機物誘電体板、１−
１ｂ，２−１ｂは、それらの放電場所（凹状の部
分の厚さの薄い所）、３−１，４−１は、無機物
誘電体板１−１，２−１の凹部に設けられた金属
板であり、第６図にガス流方向、放電方向、光軸
方向が示されている。このように電極３０，４０
を構成すると、放電は無声放電の特性により単位
あたりの静電容量の大きい無機物誘電体板１−
１，２−１の厚さの薄い部分１−１ｂ，２−１ｂ
の面だけに放電が限定され、その結果、放電空間
５には、エネルギー集中のない放電が生じ、放電
空間５を通過するレーザ媒質ガス温度が部分的に
高温になることがなく、また印加電圧を大きくし
ても誘電体沿面距離が長い為、金属板３−１，４
−１から対電極に対しての放電も発生しないの
で、誘電体及び電源の破壊の虞れがほとんどなく
なる。
また、無機物誘電体板１−１，２−１の凹状の
溝部は、機械研削加工などによつて作り得るので
放電部１−１ｂ，２−１ｂの誘電体厚さを均一に
作る事ができる（例えば、無機物誘電体板を易削
性ガラスセラミツクスにした場合、精度：±0.05
mm位は容易に達成できる）。その為電極放電部分
にあたる１−１ｂ，２−１ｂの単位面積あたりの
静電容量が一様となり、放電の電力密度がさらに
均一化されるので、誘電体の破損がなくなる。さ
らに、無機物誘電体板１−１，２−１の凹状の溝
の位置及びそれに伴い金属板３−１，４−１の位
置は自由に設定可能で発振に最適な形状の電極を
作る事ができる。
溝部は、機械研削加工などによつて作り得るので
放電部１−１ｂ，２−１ｂの誘電体厚さを均一に
作る事ができる（例えば、無機物誘電体板を易削
性ガラスセラミツクスにした場合、精度：±0.05
mm位は容易に達成できる）。その為電極放電部分
にあたる１−１ｂ，２−１ｂの単位面積あたりの
静電容量が一様となり、放電の電力密度がさらに
均一化されるので、誘電体の破損がなくなる。さ
らに、無機物誘電体板１−１，２−１の凹状の溝
の位置及びそれに伴い金属板３−１，４−１の位
置は自由に設定可能で発振に最適な形状の電極を
作る事ができる。
また、第７図に示すようにこの電極構造は無機
物誘電体板１−１，２−１がガスガイドを兼てお
り、従来例の第２図に示したガスガイド９と各電
極３０，４０との継目がなくなるので、従来その
継目で生じていたガス流の乱れをなくす事がで
き、またガス流に対する抵抗が最小の構造を得る
ことができるので、ブロア１０に特殊で高価なも
のを必要としなくなる。
物誘電体板１−１，２−１がガスガイドを兼てお
り、従来例の第２図に示したガスガイド９と各電
極３０，４０との継目がなくなるので、従来その
継目で生じていたガス流の乱れをなくす事がで
き、またガス流に対する抵抗が最小の構造を得る
ことができるので、ブロア１０に特殊で高価なも
のを必要としなくなる。
このように、この発明によつてレーザ発振効率
の観点からも、実用的信頼性の面からも優れた電
極が実現できる。
の観点からも、実用的信頼性の面からも優れた電
極が実現できる。
以下他の実施例を数例示す。
第８図は、第６図の実施例の金属板３−１，４
−１を導電性薄膜３−２，４−２に置き換え、無
機物誘電体板１−１，２−１の凹部分にコーテイ
ング、又はメタライズした実施例の電極構成図、
第９図は、その−線よりみた断面図であり前
記実施例と同一の効果を得る事ができると共に導
電性薄膜３−２，４−２と無機物誘電体板１−
１，２−１の接触が完壁になる利点がある。
−１を導電性薄膜３−２，４−２に置き換え、無
機物誘電体板１−１，２−１の凹部分にコーテイ
ング、又はメタライズした実施例の電極構成図、
第９図は、その−線よりみた断面図であり前
記実施例と同一の効果を得る事ができると共に導
電性薄膜３−２，４−２と無機物誘電体板１−
１，２−１の接触が完壁になる利点がある。
第１０図は、第８図の一実施例の導電性薄膜３
−２，４−２及び、無機物誘電体板１−１，２−
１の凹部分に絶縁性冷媒を流して冷却する構成と
した実施例の電極構成図、第１１図はそのXI−XI
線よりみた断面図であり、１２，１３は絶縁性冷
媒を流す為の無機絶縁物で作られた冷媒ジヤケツ
ト板で、無機物誘電体板１−１，２−１の凹部分
と冷媒ジヤケツト板１２，１３とのすきまに絶縁
性冷媒（脱イオン水、又は絶縁油）を流して電極
の冷却を行なつており、第６図に示した実施例と
同様の効果が得られると共に、さらに無機物誘電
体板１−１，２−１の熱的破損を防ぐ事ができ
る。それゆえ、この電極構造を使用して放電電力
を増大し、高出力レーザを実現することができ
る。
−２，４−２及び、無機物誘電体板１−１，２−
１の凹部分に絶縁性冷媒を流して冷却する構成と
した実施例の電極構成図、第１１図はそのXI−XI
線よりみた断面図であり、１２，１３は絶縁性冷
媒を流す為の無機絶縁物で作られた冷媒ジヤケツ
ト板で、無機物誘電体板１−１，２−１の凹部分
と冷媒ジヤケツト板１２，１３とのすきまに絶縁
性冷媒（脱イオン水、又は絶縁油）を流して電極
の冷却を行なつており、第６図に示した実施例と
同様の効果が得られると共に、さらに無機物誘電
体板１−１，２−１の熱的破損を防ぐ事ができ
る。それゆえ、この電極構造を使用して放電電力
を増大し、高出力レーザを実現することができ
る。
第１２図は、第６図の実施例の無機物誘電体板
１−１，２−１の凹部分及び金属板３−１，４−
１を共振器光路に添つて設け、「折り返し型レー
ザ」へ適用した実施例の電極構成図、第１３図
は、その−から見た断面図で、７−１〜
７−６は全反射鏡、１−２，２−２は無機物誘電
体板で共振器光路に添つて、放電面の逆の面に凹
状の溝が複数本形成され３−３，４−３は、金属
板で共振器光路に添つて誘電体板１−２，２−２
に形成された凹状の溝部に設けられていて、実施
例の第６図と同様の効果が得られると共に、さら
に複雑な形状の放電励起空間をレーザ発振効率向
上の要請に従つて自由に形成することができるよ
うになつた。
１−１，２−１の凹部分及び金属板３−１，４−
１を共振器光路に添つて設け、「折り返し型レー
ザ」へ適用した実施例の電極構成図、第１３図
は、その−から見た断面図で、７−１〜
７−６は全反射鏡、１−２，２−２は無機物誘電
体板で共振器光路に添つて、放電面の逆の面に凹
状の溝が複数本形成され３−３，４−３は、金属
板で共振器光路に添つて誘電体板１−２，２−２
に形成された凹状の溝部に設けられていて、実施
例の第６図と同様の効果が得られると共に、さら
に複雑な形状の放電励起空間をレーザ発振効率向
上の要請に従つて自由に形成することができるよ
うになつた。
第１４図は、第６図の３−１，４−１の金属板
の代りにプラズマ状態のガスとした実施例の電極
構成図で第１５図はその−線よりみた断
面図である。３−４，４−４は、低圧力の不活性
ガスが充填されているプラズマ放電空間、１４，
１５は、導電性の給電板で、給電板１４，１５に
交流高電圧を印加することにより低圧の不活性ガ
スはプラズマ化し導電性を有するようになり、放
電空間５に発生する無声放電は、第６図の実施例
とかわらない。この実施例では、無機物誘電体板
１−１，２−１の凹部分の溝の深さは、５mm、不
活性ガスとしてArガスを圧力を数トールで封じ
た。プラズマ放電空間３−４，４−４における電
位降下は200Vで、電極間にかかる電圧10KVに比
べて非常に小さく、実質的に不活性ガスが「プラ
ズマ電極」として働く。この実施例では、電極の
形状の自由度が第６図の実施例に比べさらに大き
くなる。
の代りにプラズマ状態のガスとした実施例の電極
構成図で第１５図はその−線よりみた断
面図である。３−４，４−４は、低圧力の不活性
ガスが充填されているプラズマ放電空間、１４，
１５は、導電性の給電板で、給電板１４，１５に
交流高電圧を印加することにより低圧の不活性ガ
スはプラズマ化し導電性を有するようになり、放
電空間５に発生する無声放電は、第６図の実施例
とかわらない。この実施例では、無機物誘電体板
１−１，２−１の凹部分の溝の深さは、５mm、不
活性ガスとしてArガスを圧力を数トールで封じ
た。プラズマ放電空間３−４，４−４における電
位降下は200Vで、電極間にかかる電圧10KVに比
べて非常に小さく、実質的に不活性ガスが「プラ
ズマ電極」として働く。この実施例では、電極の
形状の自由度が第６図の実施例に比べさらに大き
くなる。
以上の実施例はすべて高電圧側、低電圧側が同
一構造のものを示したが、片側の電極が金属板又
は、金属棒である場合にもこの発明の効果が得ら
れることは言うまでもない。
一構造のものを示したが、片側の電極が金属板又
は、金属棒である場合にもこの発明の効果が得ら
れることは言うまでもない。
この発明は、以上説明したように、レーザ励起
部となる無声放電空間５を形成する１対の電極３
０，４０のうち少なくとも一方の電極構造が、主
要構成物たる平板に近い無機物誘電体とその裏面
の一部に設けた導電性物質とによつて形成され、
かつ、導電性物質の設けられている位置の誘電体
板の厚さが、設けられていない他の部分よりも薄
く作られていることを特徴とするもので、放電空
間の電力分布を均一にし、電極の端絶縁を向上さ
せ、電極の信頼性を高め、ガス流に対する抵抗を
低める効果の一挙に発揮できる電極構造を提供す
るものである。
部となる無声放電空間５を形成する１対の電極３
０，４０のうち少なくとも一方の電極構造が、主
要構成物たる平板に近い無機物誘電体とその裏面
の一部に設けた導電性物質とによつて形成され、
かつ、導電性物質の設けられている位置の誘電体
板の厚さが、設けられていない他の部分よりも薄
く作られていることを特徴とするもので、放電空
間の電力分布を均一にし、電極の端絶縁を向上さ
せ、電極の信頼性を高め、ガス流に対する抵抗を
低める効果の一挙に発揮できる電極構造を提供す
るものである。
さらに、無機物誘電体の背面を絶縁性冷媒で冷
却することにより、電極の熱的破損を防ぎ、レー
ザの大出力化が可能になる。
却することにより、電極の熱的破損を防ぎ、レー
ザの大出力化が可能になる。
さらに、板状の無機物誘電体背面に設けられて
いる凹状の溝は自由な位置に設け得るため、折り
返し共振器に最適なように、複雑な形の放電励起
空間も自由に形成することができる効果がある。
いる凹状の溝は自由な位置に設け得るため、折り
返し共振器に最適なように、複雑な形の放電励起
空間も自由に形成することができる効果がある。
以上のようにこの発明によつて電極構造が簡単
で信頼性の高い高効率大出力の無声放電式ガスレ
ーザ装置を実現することができた。
で信頼性の高い高効率大出力の無声放電式ガスレ
ーザ装置を実現することができた。
第１図は従来の直交形ガスレーザ装置の要部の
構成を示す原理図、第２図はそのガス系統図、第
３図はその電極構成を示す正面図、第４図は第３
図−線よりみた断面図、第５図はこの発明の
実施例における電極の構成を示す正面図、第６図
は第５図−線よりみた断面図、第７図はその
ガス系統図、第８図、第１０図、第１２図、およ
び第１４図はそれぞれこの発明の一実施例の電極
構成を示す正面図、第９図、第１１図、第１３図
および第１５図はそれぞれ第８図−線、第１
０図XI−XI線、第１２図−線および第１
４図−線よりみた断面図である。 図において、１，２は誘電体、１−１，１−
２，２−１，２−２は無機物誘電体板、１−１
ｂ，２−１ｂは誘電体板の薄い部分、３，４，３
−１，３−３，４−１，４−３は金属板、３ｂ，
４ｂは電極背後部、３−２，４−２は導電性薄
膜、３−４，４−４はプラズマ放電空間、５，５
ａ，５ｂ，５ｃは放電空間、６は交流電源、７，
７−１〜７−６は全反射鏡、８は部分反射鏡、９
はガスガイド、１０はブロア、１１は熱交換器、
１２，１３は冷媒ジヤケツト板、１４，１５は給
電板である。なお、図中一符号はそれぞれ同一又
は相当分を示す。
構成を示す原理図、第２図はそのガス系統図、第
３図はその電極構成を示す正面図、第４図は第３
図−線よりみた断面図、第５図はこの発明の
実施例における電極の構成を示す正面図、第６図
は第５図−線よりみた断面図、第７図はその
ガス系統図、第８図、第１０図、第１２図、およ
び第１４図はそれぞれこの発明の一実施例の電極
構成を示す正面図、第９図、第１１図、第１３図
および第１５図はそれぞれ第８図−線、第１
０図XI−XI線、第１２図−線および第１
４図−線よりみた断面図である。 図において、１，２は誘電体、１−１，１−
２，２−１，２−２は無機物誘電体板、１−１
ｂ，２−１ｂは誘電体板の薄い部分、３，４，３
−１，３−３，４−１，４−３は金属板、３ｂ，
４ｂは電極背後部、３−２，４−２は導電性薄
膜、３−４，４−４はプラズマ放電空間、５，５
ａ，５ｂ，５ｃは放電空間、６は交流電源、７，
７−１〜７−６は全反射鏡、８は部分反射鏡、９
はガスガイド、１０はブロア、１１は熱交換器、
１２，１３は冷媒ジヤケツト板、１４，１５は給
電板である。なお、図中一符号はそれぞれ同一又
は相当分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 導体の表面が誘電体で覆われている電極を対
向させて放電空間を形成し、この放電空間内にレ
ーザ媒質を流しながら上記両電極間に高周波電圧
を印加してその放電空間内で無声放電を発生さ
せ、その放電空間内のレーザ媒質を励起してレー
ザを発生させるように構成されたものにおいて、
上記両電極のうち少なくとも一方の電極を、放電
空間を構成する面が平面に形成されている導体
と、この平面を覆う部分は他の面域を覆う部分よ
りは薄く、かつ均一な厚さに形成されている誘電
体とで構成されていることを特徴とするガスレー
ザ装置。 ２ 放電空間に臨む平面部分とその平面との間に
均一な薄い層を残すように形成された溝とを有す
る誘電体と、この誘電体の溝の上記平面と相対す
る面に接するように形成された導体とで構成され
ている電極を備えた特許請求の範囲第１項記載の
ガスレーザ装置。 ３ 放電空間に臨む平面部分とその平面との間に
均一な薄い層を残すように形成された溝とを有す
る誘電体と、この誘電体の溝の開口面を覆う導体
で形成された給電板と、上記溝内に充填されたプ
ラズマ放電媒質ガスとで構成されている電極を備
えた特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ装
置。 ４ 誘電体に複数回折返す形の溝を形成し、この
溝内に導体を配置するとともに上記溝の折返し部
分の近くにそれぞれ光共振器を構成する全反射鏡
を配設せる構成としたことを特徴とする特許請求
の範囲第２項または第３項に記載のガスレーザ装
置。 ５ 誘電体に形成せる溝内に絶縁性冷媒を通す構
成を備えたことを特徴とする特許請求の範囲第２
項ないし第４項のいずれかに記載のガスレーザ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2582780A JPS56122179A (en) | 1980-02-29 | 1980-02-29 | Gas laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2582780A JPS56122179A (en) | 1980-02-29 | 1980-02-29 | Gas laser device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56122179A JPS56122179A (en) | 1981-09-25 |
| JPS6239555B2 true JPS6239555B2 (ja) | 1987-08-24 |
Family
ID=12176685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2582780A Granted JPS56122179A (en) | 1980-02-29 | 1980-02-29 | Gas laser device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56122179A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3240836A1 (de) * | 1982-11-05 | 1984-05-10 | Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5300 Bonn | Stroemungskanal fuer einen quergestroemten gaslaser |
| US4737964A (en) * | 1985-11-12 | 1988-04-12 | Hughes Aircraft Company | RF discharge suppression in low pressure gas devices |
| JPH0770771B2 (ja) * | 1986-11-05 | 1995-07-31 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ装置 |
| WO1992014285A1 (en) * | 1991-02-08 | 1992-08-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Transverse discharge pumping type pulse laser oscillating device |
-
1980
- 1980-02-29 JP JP2582780A patent/JPS56122179A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56122179A (en) | 1981-09-25 |
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