JPS625281B2

JPS625281B2 -

Info

Publication number: JPS625281B2
Application number: JP53056440A
Authority: JP
Inventors: Aaru Uiraa Uiriamu; Jei Kuren Jooji; Uuabanetsuku Kaareru
Original assignee: Tencor Instruments Inc
Current assignee: Tencor Instruments Inc
Priority date: 1977-09-09
Filing date: 1978-05-11
Publication date: 1987-02-04
Also published as: US4103542A; JPS5444565A

Description

【発明の詳細な説明】発明の背景 (a) 発明の分野この発明は、偏平な物品の表面輪郭を測定する
ための度量衡計器に関するものであり、かつより
特定的には、プレーナ集積回路におけるような、
種々の高さの段を有する偏平な物品をスキヤンす
るための記録表面輪郭測定装置に関するものであ
る。

(b) 先行技術半導体集積回路の製造において、プレーナサブ
ストレート上に回路構造を析出するのが普通であ
り、これは一連のメサ型じの平面上に浮き上がる
種々の高さとして現われる。半導体集積回路の性
能は、ある程度は、サブストレートおよびその上
に析出された材料の大きさに依存する。回路製造
工程においてこれらの大きさを測定しかつ所望の
集積回路大きさを達成するように変数を調節する
のが慣習である。光学顕微鏡または走査型電子顕
微鏡によつて容易に測定されることができないこ
れらの構造の垂直大きさが特に興味あるものであ
る。

多くの場合、半導体集積回路の垂直大きさは、
数100ないし数1000オングストロームのみであ
る。これは、測定のため1000ないし100万倍の倍
率を必要とし、他方、水平倍率は50ないし数100
倍だけでよい。

表面輪郭測定装置は、線に沿つて取られた垂直
輪郭に相当する電気信号を発生するスタイラス
で、そのような垂直大きさを検出することによつ
てそのような垂直大きさを測定する。先行技術の
記録表面輪郭測定装置のスタイラスは、典型的に
は、シヤンクへ取付けられ、かつこのシヤンクは
線形位動差動トランスフオーマの移動スラグへ連
結される。スタイラス、シヤンクおよびスラグ
は、スタイラスがスキヤンされる表面をスキヤン
するとき、そのスキヤンされる表面に垂直にスタ
イラスが動くことができるように吊下げられなけ
ればならない。

先行技術の装置は、スタイラスおよびスラグの
質量を吊下げるためにばねを用いる。この形式の
吊下げに伴なう問題点は、ベース、たとえば表面
輪郭測定装置が立つているテーブルからその位置
へ伝導される振動によつて、ばねにより吊下げら
れたスタイラスアセンブリが揺動しかつ振動する
ということである。これらの揺動および振動は、
ノイズとして出力信号に反映される。先行技術の
装置は、花崗岩のブロツク上または衝撃を分離す
るテーブル上に置かれる必要がある。

垂直倍率および水平倍率の差に関連する先行技
術の問題点は、スタイラスが被測定表面をスキヤ
ンするとき、この表面の任意の傾きが表面輪郭測
定装置の出力表示上に広く誇張されるということ
である。このように、その底部および頂部の水平
記録を得るような態様で、測定された段を表示す
るために、サブストレートを保持するテーブルが
正確に機械的にレベル調整されなければならず、
すなわち、測定のためのスキヤンが行なわれる前
に、スタイラスのスキヤン方向に平行になるよう
にされなければならない。５％以下のスロープを
有するプレーナサブストレートの偏平な面を表わ
す出力記録を得るために、サブストレートテーブ
ルは垂直対水平倍率の比よりもさらによくなるよ
うに、すなわち、典型的には、0.005％以下のス
ロープになるようにレベル調整されなければなら
ない。このように手動的に行なわれるレベル調
節、すなわちレベリングは極めて時間がかかる。
ここに示した例よりもさらによくなるように手動
的にレベル調整することは実際的には不可能であ
る。

スケールに関連するもう１つの問題点は、スケ
ールから離れていく測定の問題である。すなわ
ち、もしも800オングストロームのメサまたは段
が、1000オングストロームのスケールで測定され
るべきであれば、このような段を支えるサブスト
レートは、段の底部がスケールの最初の200オン
グストローム内になるように、測定装置に関して
機械的に位置決めされなければならない。もしも
この条件が満されなければ、この段の一部は装置
のスケールの外側になり、したがつて測定を不可
能にする。目的物をこのような精度で機械的に位
置決めすることは非常に困難である。

それゆえに、この発明の主たる目的は、装置の
外側から伝わる衝撃の効果を減少させかつ除去さ
えし、したがつて特殊なテーブルの必要性を除去
しかつまた信号対ノイズ比を増大するように、表
面輪郭測定装置のすべての移動部分を吊下げるよ
うに工夫することである。

発明の概要上述の目的は、プレーナ集積回路および類似の
物品に見られる種々の高さの垂直段の輪郭を測定
するための装置によつて満される。この発明の表
面輪郭測定装置は、装置のスタイラスに対する衝
撃および機械的振動を有意義に減少させる新規な
取付と、機械的かつ電気的手段によつて試験片表
面に関してスタイラスのための自動的なレベル調
整と、レベル調整では除去されない小さな傾斜す
なわちスロープを除くための信号処理と、試験片
の正確な位置決めが必要でないように、読出装置
の自動ゼロイング（ゼロの目盛に戻すこと）とを
特色とする。

衝撃および機械的な振動をうまく減少させるた
めに、段の高さを機械的に追跡するスタイラス
が、釣合わせられたスタイラスアーム上に設けら
れ、このスタイラスアームは、順次、モータによ
つてスキヤンするため駆動される、釣合わせられ
たスキヤナアームの一端に設けられる。さらに、
垂直および水平回転軸で、修正されたジンバル取
付に、釣合わせられたスキヤナアームを支持する
ことによつて振動から分離され、第１の対の曲げ
ピボツトのみがスキヤナアームを垂直軸上にジン
バル取付台へ連結している。ジンバル取付台は、
ジンバル水平軸に沿つて整列される第２の対の曲
げピボツトによつて、装置のベースへ連結され
る。

自動的なレベル調整を達成するために、水平軸
まわりに取付けるジンバルの垂直軸の傾きは、傾
きを補助するためサーボループのモータによつて
調節するようになされており、他方、スタイラス
の先端は、その開始位置では、取付の水平軸と整
列されているので、その取付に対するサーボ修正
はスタイラスのオフ軸位置決めから生じる誤差を
生じない。

スキヤンされる表面輪郭の鋭い特徴と、たとえ
ば反りによる小さなスロープとを区別するため、
表示装置への電気出力信号の処理を行なうため
に、微分および積分回路が設けられ、これらの回
路は直流信号成分を除去し、他方、比較器が試験
片の表面上の段からは生じ得ない小さなスロープ
を除去する。

この発明の表面輪郭測定装置の表示または記録
出力のため表示装置の自動ゼロイングを達成する
ために、積分回路には、１枚の記録紙の端縁のよ
うな、所望のゼロへ出力信号をもたらすリセツト
スイツチが設けられる。

好ましい実施例の説明第１図を参照して、この発明のスタイラス表面
輪郭測定装置が、脚部１３によつて支持表面から
支持されるケース１２に、海綿状プラスチツク衝
撃取付台１５によつて支持されるベース１１を含
むように示される。ベース１１は、試験片テーブ
ル２１を支持し、このテーブル２１はベースに取
付けられるノブ１７によつて上昇されたり下降さ
れる。

試験片テーブル２１のすぐ上にはスタイラスを
支持するスキヤナアセンブリが設けられる。スタ
イラスアーム２３は釣合点２７でスキヤナアセン
ブリ２５へ取付けられるように示される。スタイ
ラスアームの一方側上には、試験片テーブル２１
に面するスタイラス２９があり、他方、スラグ３
１がスタイラスの上を上方へコイル３３内へ延び
る。スラグ３１およびコイル３３の両方は、線形
位置差動トランスフオーマ（LPDT）の部材であ
り、これは装置の測定範囲よりも非常に大きな線
形範囲を有する。LPDTの機能は、コイル３３内
のスラグ３１の線形運動に相当する電気的アナロ
グ信号を発生することである。

スタイラスアーム２３の他方端には、釣合点２
７の回転モーメントを等しくするための調節可能
な釣合錘り３５が設けられ、曲げピボツトが前記
釣合点２７に設けられ、これは測定されるべき試
験片上のわずかな量の下向きの力を維持する。

スタイラスアーム２３の上には顕微鏡３７が示
されており、この顕微鏡３７は接眼レンズ３９お
よび対物レンズ４１を含む。顕微鏡のハウジング
４３は、表面輪郭測定装置のコンポーネントへ容
易に接近することができるように表面輪郭測定装
置から取除かれることができるように、切断レン
ズ３９および対物レンズ４１を装着している。

第２図において、スタイラスアーム２３の取付
の詳細が示される。低摩擦軸受である釣合点２７
を装着するためのスキヤナアーム５１が示され
る。

スタイラスアーム２３は、測定されるべき試験
片（図示せず）上に載るスタイラス２９とともに
試験片テーブル２１の上に支持される。スタイラ
ス２９は、実際に試験片と当接する鋭く尖つたス
タイラスの先端４５を含む。スタイラスの先端
は、典型的には、ダイヤモンドであるが、他の硬
い物質が用いられてもよい。スタイラスの点が試
験片上に働く力の大きさは約10ミリグラムであ
り、これは曲げピボツト位置の調節によつて設定
される。スタイラスの先端４５は、スタイラスの
先端保持部４７によつて支持されており、これは
一方端でスタイラスアーム２３へ延び、かつ他方
端で、スタイラスの先端４５に連結されるコーバ
（Kovar）ロツドである。コーバを用いることに
よつて、試験片テーブルが強烈な光源等によつて
照射（対物レンズ４１を介して観察するために
時々必要である）されることにより生じる急激な
温度変化によるスタイラスの運動が防止される。

スタイラス２９の上には、水晶のロツド４９の
端部に設けられるスラグ３１が取付けられる。水
晶は熱安定性を高めるために用いられ、かつ急激
な温度変化が生じるときにスラグ３１が移動する
のを防止するために用いられる。スラグ３１の目
的は、線形位置差動トランスフオーマLPDTの部
分を形成することであり、そのLPDTは電気信号
によつて、スタイラスの先端４１からの運動を表
示または記録装置へ変換する。スタイラスの先端
の上向きの運動が生じると、スラグ３１の対応す
る並進がコイル３３内に生じ、それによつて
LPDTは電気信号の変化を発生し、この電気信号
の変化は、サンプルの表面上でスタイラスの先端
４５の垂直運動を表わす。コイル３３には、わず
かな前向きの傾斜が設けられてあるので、釣合点
２７のまわりの針２９の回転はコイル３３内のス
ラグ３１の実質的に線形運動を生じる。圧力ねじ
５５は、釣合点２７が設けられる釣合点溝孔５７
を閉じようとする。ねじ５５は、針アームの自由
回転を与えるように維持されるが、容易にその取
替えもできる。

コイル３３、スラグ３１および針２９の取付が
第３図に示される。第３図に関して、スタイラス
２９は試験片テーブル２１上で試験片に当接する
ように示される。スタイラス２９の垂直並進が、
スラグ３１が存するコイル３３へ水晶ロツド４９
によつて伝達される。線５３は電気信号をコイル
３３から表示装置または記録装置（図示せず）へ
伝える。

第４図の平面図おいて、スキヤナアームのスタ
イラスアーム２３の取付が示される。ジンバル取
付台部材６１は、水平ピボツト孔６５を規定する
水平アーム６３を有する。水平ピボツト孔６５
は、水平ピボツト孔６５を介して支持ペース１１
へ部材６１を取付ける曲げピボツトに適合する。

ジンバル取付台部材６１はまた垂直アーム６７
を有し、このアーム６７は、垂直孔６９を通過す
る線が水平ピボツト孔６５を通過する線に垂直で
ありかつ前記線の両方が互いに交差するような態
様で垂直ピボツト孔６９を規定する。曲げピボツ
トが垂直ピボツト孔６９に設けられるので、スキ
ヤナアーム５１は、或る復帰力で、垂直ピボツト
孔６９を介して規定される線のまわりを回転す
る。スキヤナアーム５１は、ピボツト孔６５上に
直接軸方向に設けられかつそれと整列される。垂
直ピボツトは、スタイラスの先端４５方向へ向
い、水平ピボツトの前方にあり、片寄つたジンバ
ル取付を形成する。

ジンバル取付台部材６１は水平軸Ｈまわりの回
転のために設けられることがわかる。水平軸Ｈ
は、スタイラスがその開始位置にあるとき、スタ
イラスの先端４５を通過するということが注目さ
れよう。他方、スキヤナアーム５１は、垂直アー
ム６７の垂直ピボツト孔６９を介して規定される
垂直軸Ｖのまわりの回転のためジンバル取付台部
材６１に関して取付けられる。ジンバル取付部材
６１は、矢印Ａで与えられる力によつて傾かさ
れ、その力によつて、軸Ｈまわりをジンバル取付
部材６１が回転し、後で説明する電気機械的フイ
ードバツクによつて、軸Ｈに関して垂直軸Ｖの不
所望な傾きを補償する。試験片表面およびスタイ
ラススキヤン経路間でレベルを維持するような不
所望な傾斜をずらせるのが望まれる。不所望な傾
斜が存在すると、レコーダペンは偏平な表面の輪
郭を追跡するとき傾斜された線を描く。これは、
装置自体がわずかな傾斜上にあるからであり、ま
た試験片が反りによつて、楔形状になつているか
らでる。この発明は、試験片が楔形状であるかど
うかを検出するために意図されるものではなく、
試験片の表面上に段高さがあるかどうかを検出す
るために意図されるものである。この発明の装置
は、表面のレベリングを提供し、そのため矢印Ａ
で与えられるフイードバツクによつてレコーダは
ジンバル取付台部材６１およびスキヤナアーム５
１を傾斜させ、そのため、試験片表面はレコーダ
出力のレベルに現われる。

ジンバル取付台部材６１が第５図により詳細に
示される。水平ピボツト孔６５はジンバル取付台
部材６１をベース１１へ連結する曲げピボツトを
装着する。ジンバル取付台部材６１は下方へ延び
る脚部７１を有し、この脚部７１に対して力付与
アーム７３を押付け、これによつて水平軸Ｈのま
わりの脚部７１の回転モーメントを働かせる。力
部材７１は、直接または間接的にベース１１へ連
結されかつそこに取付けられて、力をジンバル取
付部材６１へ伝えて不所望な傾きを補償する。力
付与アーム７３は脚部７１へ固定されて正確にか
つ確実に脚部７１の回転を抑制してもよい。力付
与アーム７３は、ステツプモータ７５、または代
替的に、圧電、または他の電気−機械力変換器に
よつて付勢されるピストンであつてもよい。

ジンバル取付部材６１の垂直アーム６７は垂直
ピボツト孔６９を規定し、この孔６９を介して第
２の対の曲げピボツトがこれらのピボツトのまわ
りの回転運動のためスキヤナアーム５１を配設す
るために設けられる。スキヤナアーム５１は、ス
タイラスアーム２３、ならびにコイル３３を取付
ける前方ヘツド８１を含む。スキヤナアーム５１
は、後尾部８３を有し、この後尾部８３は、この
後尾部が固定される入口８５を介して前方ヘツド
８１と連通する。後尾部は、自由な水平方向のス
キヤン運動のためジンバル取付部材６１の頂部と
の接触を避けている。このスキヤン運動は、矢印
Ｓによつて示される方向にあり、スキヤン運動
は、スキヤニングモータ８７によつて与えられ、
このモータ８７は、モータ８７から往復運動でプ
ーリ９０のまわりでベルト８９を駆動し、矢印Ｓ
によつて示される態様で移動する。フイルム保持
装置９３は垂直の半透明スリツトを有するフイル
ムの不透明片を保持する。端縁スリツトがフイル
ム９５に設けられ、このスリツトが電気−光学的
スイツチ９７の正面を通過するとき、スキヤニン
グ運動が逆転される。もう１つの電気−光学的ス
イツチ９９が設けられてフイルム９５の中央スリ
ツトを検出し、このフイルム９５はスキヤナアー
ム５１の軸が水平軸Ｈと平行であることを示し、
これによつて水平軸Ｈにスタイラスの先端４５を
置く。これは装置のための所望の開始位置であ
る。

スキヤナアーム５１は、それ自体、釣合わせら
れているので、前方ヘツド８１および後尾部８３
はピボツト上に不所望なモーメントを働かせな
い。後尾部８３の上で筒状に嵌合し、かつ後尾部
の長さに沿つて移動可能な調節スリーブ９２は、
垂直軸Ｖのまわりの各回転モーメントが等しくな
るように、後尾部８３に対して前方ヘツド８１の
釣合を調節する。

スキヤナアーム５１を釣合わせることによつて
かつスタイラスアーム２３を釣合わせることによ
つて、スタイラスの先端は、さもなくば装置のベ
ースを介してスタイラスの先端へ伝えられるであ
ろう衝撃および振動に対して隔離される。このよ
うにスタイラスの先端を２重に隔離することによ
つて、これまでは周囲の振動を表わしていた出力
信号およびランダムな変動を除去して、数10オン
グストロームの精度まで機械的装置によつて段の
高さの追跡が可能となる。

第６図の上面図において、この発明の装置コン
ポーネントが、顕微鏡の部分が取除かれた状態
で、ベース７７に関して示される。スキヤナアー
ム５１は、スタイラスアーム２３を支えており、
スキヤナアーム前方ヘツド８１に設けられる。後
尾部８３は後方へ延びるように示されており、ス
タブ９１がベルト８９およびスキヤニングモータ
８７へ連結される。後尾部８３はジンバル取付部
材６１の水平アーム６３の上に延びるように示さ
れる。力付与アーム７３は、後尾部８３の下でモ
ータ７５からジンバル取付部材６１の脚部へ延び
る。

釣合錘り３５は、その上を延びるレバー３６を
有し、このレバー３６は釣合錘りを下へ強制しか
つスタイラスの先端を上へ強制するため手動的に
押圧されることができる。レバー３６を解除する
ことによつて、スタイラスを試験片と当接するよ
うに下げることができる。

第７図の側部破断図は、試験片テーブル２１の
上に設けられる顕微鏡３７を示しており、内部鏡
１０１および１０３は、スタイラス２９の場所に
近接して、試験片テーブルおよび試験片からの光
を接眼レンズ３９へ向ける。顕微鏡３７は、スタ
イラス２９へ容易に近づくため、装置から除去さ
れてもよい囲い板３８内に設けられるということ
がわかる。スタイラス２９を支える前方ヘツド８
１および後尾部８３は、スキヤナアーム５１の部
分を形成し、このスキヤナアーム５１は、垂直ピ
ボツト孔６９に設けられる垂直ピボツト７０を介
してジンバル取付部材６１の垂直アーム６７へ連
結される。ジンバル取付部材６１は、水平ピボツ
ト孔６５に設けられる水平曲がりピボツト６６に
よつてベース１１へ取付けられる。前述したよう
に、ジンバル取付部材６１は、ジンバル取付部材
６１の下方に延びる脚部７１に、モータ７５によ
つて供給される力によつて傾けられ、それによつ
てピボツト６６を介して規定される水平軸のまわ
りの回転を生じる。

スキヤナアーム５１のスキヤン運動は、スキヤ
ンモータ８７によつてスタブ９１へ与えられる往
復力でピボツト７０を介して規定される垂直軸の
まわりの限られた往復回路からなる。このよう
に、スキヤナアーム５１は２個の軸のまわりの回
転のために取付けられるジンバルであることがわ
かる。

試験片テーブル２１は、ベース１１へ取付けら
れるブラケツトに対して押付ける圧縮ばね１０７
によつて下方へ引張られる。ノブ１７は、シヤフ
ト１０９へ連結され、このシヤフト１０９は、そ
れが内方へ移動されるとき試験片テーブルを上方
へ押し上げるナツクル１１１に対して押付ける。
ナツクル１１１の反対側の端部には、迅速解除レ
バー１１３が連結され、試験片テーブル２１の迅
速な運動のためナツクスを上方へ押し付ける。こ
のようにして、試験片テーブル２１はシヤフト１
０９または迅速解除レバー１１３の運動によつて
移動されることもできる。

第８図の電気回路図はジンバル取付の調節によ
つて試験片上のスタイラスの経路の自動レベリン
グを示す。この図はまた、スキヤンされる表面の
鋭い特徴と、小さな傾き（傾きは排除される）と
を識別するための電気的な手段を示す。最後に、
この図はスタイラスの自動ゼロイングを示す。

電気的に、スタイラスのアーム（図示せず）へ
連結されるスラグ３１は、器具の測定範囲よりも
はるかに大きな線形範囲を有する線形位置差動ト
ランスフオーマを形成するコイル３３の中心で自
由に移動する。LPDTは、6.25KHzで、LPDTに
対する励起を与える高周波発振器１２７へ接続さ
れる。この周波数は特に問題となるものではな
く、スラグ３１の位置で小さな振動を検出するの
に適している発振器１２７および増幅器１２５の
両方が、スラグ３１の位置に比例する信号を検出
するための位相検出器１２９へ接続される。位相
検出器１２９からの出力信号は、能動低域フイル
タ１３１へ与えられて高周波発振器１２７から任
意の残留信号を除去する。フイルタ１３１からの
出力は、任意の基準に関して偏平な物品の段の高
さに対応する電気信号である。電気信号は、時間
の関数と定数とを含み、この場合、関数は直流信
号成分を表わす。

フイルタ出力信号は微分回路へ与えられる。こ
の回路は、典型的には、演算増幅器であり、この
演算増幅器は段の高さの関数を変化させる時間の
時間変化率をとるように構成される。微分回路の
出力は、段の高さの関数を変化させる時間だけを
残して、直流信号成分を表わす定数を除去する。
この出力信号は、基準レベル発生器１３６からの
基準信号と比較器１３５で比較され、前記発生器
１３６は電圧源へ接続されるポテンシヨメータで
あつてもよい。

比較器１３５は、基準レベル発生器１３６で選
択される基準値よりも小さい傾斜導関数を表わす
微分回路１３３からの任意の時間変化信号を排除
する。換言すれば、微分回路１３３から出てくる
微分された電気信号は、サンプルの反りまたは他
の原因から生じる、そこに示された傾斜のあるわ
ずかな度合を有する傾斜導関数を含む。

基準値よりも小さい傾斜導関数を表わす微分さ
れた信号成分は、排除され、かつ比較器１３５
は、基準値よりも大きな微分回路１３３での成分
傾斜導関数の存在を表わす、すなわち、真の段の
高さを表わす、弁別された電気信号を出す。

比較器１３５の出力は伝送ゲート１３８へ伝送
されて、微分回路１３３の出力が伝送ゲート１３
９の閉成によつて積分回路１３９へ伝送されるの
を可能にする。積分回路１３９は微分回路１３３
によつてそれに与えられる信号を積分し、それに
よつて微分回路１３３への最初の信号を再構成す
るが、直流信号成分はなくかつ試験片の反りから
生じるタイプの小さな傾斜もない。

この装置の自動ゼロイングは、スイツチ１４０
によつて与えられ、このスイツチ１４０は積分器
１３９を放電し、かつ測定の開始のときに開く。
スタイラスはそのとき表示装置１４２で設定され
るゼロ点へ行く。ゼロ点はレコーダの１枚のグラ
フ用紙の端縁であつてもよく、または測定器の中
心線であつてもよい。

フイルタ１３１から微分回路１３３へ伝送され
る同じ信号は記憶装置１４１へ伝送され、この記
憶装置１４１は、スラグ３１の垂直開始位置を記
憶するサンプル・ホールド回路である。同じ信号
はまた自動レベル論理ゲート１４３へ伝送され
る。正または負の変化が、試験片の傾きを表わす
スラグ３１の位置の垂直変化に基づいて生じれ
ば、モータ７５は第４図においてジンバル取付部
材６１に対して矢印Ａの方向に働く力によつて、
スタイラスに対する傾きを補償させるために作動
される。

記憶装置１４１は２分の１ミリメートルのスキ
ヤンに対応する時間期間、作動する。最初の通過
が終わると、スキヤンが遮断され、スキヤニング
アームがその初期位置へリセツトされ、かつ記憶
が新しい値にロードされる。第２の通過の間に、
モータ７５はより低い速度で作動し、データがそ
の通過の終了のときになされるべき決定のために
集められる。この決定は、この装置がレベリング
されたかされないかである。もしもレベリングさ
れれば、３ミリメートルの全スキヤンが初基位置
への他のリセツト後に行なわれる。、もしもレベ
リングが行なわれなければ、極めて低いモータ速
度で第３の試みが行なわれる。もしもこの第３の
通過が完了するときに或るレベルに達していなけ
れば、装置は自動的に手動モータへ切換わり、新
しい命令を待つ。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のスタイラス表面輪郭測定装
置の側面図である。第２図は第１図に示される装
置の詳細を示す拡大図である。第３図は第２図に
示すスタイラスアームの右側面破断図である。第
４図は第１図の装置のスキヤナアセンブリの平面
図である。第５図は、第４図に示すスキヤナアセ
ンブリの部分的に破断された斜視図である。第６
図は、顕微鏡が取外された状態の第１図の装置の
上面図である。第７図は、第１図の装置の側面図
である。第８図は第１図の装置のための電気回路
図である。図において、１１はベース、１２はケース、１
５は海綿状プラスチツク衝撃取付台、２１は試験
片テーブル、２３はスタイラスアーム、２５はス
キヤナアセンブリ、２９はスタイラス、３１はス
ラグ、２７は釣合点、６１はジンバル取付部材、
７１は脚部、７３は力付与アーム、８１は前方ヘ
ツド、８３は後尾部を示す。

Claims

【特許請求の範囲】１段高さを有する偏平な物品をスタイラスでス
キヤンするためのスキヤナアセンブリ手段を備
え、前記スキヤナアセンブリ手段は前記偏平な物
品の段高さ輪郭に対応する時間関数と、直流バイ
アスに対応する定数とからなる第１の電気信号を
発生し、前記スキヤナアセンブリ手段へ電気的に接続さ
れてそこから前記第１の電気信号を受けて、時間
に関して前記第１の電気信号を電気的に微分し、
それによつて前記定数を除去し、かつ複数個の逐
次成分傾斜導関数に対応する微分された電気信号
を出力するための微分手段と、前記微分手段へ電気的に接続されて前記微分さ
れた電気信号を受けて、選択された値よりも小さ
なこれらの成分傾斜導関数を排除し、かつ前記選
ばれた値よりも大きな逐次成分傾斜導関数からな
る電気信号を出力するための比較器手段と、前記比較器手段へ電気的に接続されて前記電気
信号を受けて、時間および読出装置の選択された
基準に関して積分し、それによつて選択された基
準に対して基準にされた前記偏平な物品の段高さ
輪郭を与えるための積分手段とを備え、前記スキヤナアセンブリ手段は、垂直軸のまわりに回転するように装着された釣
合いのとられたスキヤナアームを備え、前記スキ
ヤナアームは、スキヤンされるべき偏平な物品と
接触するように前記スキヤナアームの第１の端部
に近接して装着されるスタイラスを有し、前記ス
キヤナアームは前記スキヤナアームに連結されて
前記スキヤナアームへ運動を与えるためのスキヤ
ン運動付与手段を有し、前記スキヤナアセンブリ手段はさらに、水平軸を規定する整列されたピボツトと、前記
水平軸と垂直に交差する前記垂直軸を規定する整
列されたピボツトとを有し、前記釣合いのとられ
たスキヤナアームを装着するためのジンバル装着
手段をさらに備え、前記ジンバル装着手段自体
は、固定されたベースに対して前記水平軸のまわ
りで固定するような関係に装着され、前記スキヤナアセンブリ手段はさらに、前記ベースへ連結されかつ力を前記ジンバル装
着手段へ伝達して、前記水平軸に関して前記垂直
軸の不所望な傾きを傾斜するための力付与手段を
含む、表面輪郭測定装置。２前記積分手段へ接続され前記電気信号を表示
するための表示手段と、前記積分手段へ接続されて前記表示手段におい
てゼロ基準を選択するためのゼロ調整手段とをさ
らに備えた、特許請求の範囲第１項記載の装置。３前記スタイラスは釣合わせられたスタイラス
アーム上に設けられ、前記スタイラスアームは前
記スキヤナアームの端部に近接する釣合い点に装
着される、特許請求の範囲第１項記載の表面輪郭
測定装置。４前記スタイラスの先端は前記水平軸に沿つて
配置される、特許請求の範囲第３項記載の表面輪
郭測定装置。５前記スタイラスアームはその上に装着される
スラグを有し、前記スキヤナアームはその上に装
着される、前記スラグを取囲むコイルを有し、前
記スラグおよびコイルはスタイラスの運動を示す
電気信号を発生するための線形位置作動トランス
フオーマ手段を含む、特許請求の範囲第３項記載
の表面輪郭測定装置。６前記電気信号を表示するための表示手段をさ
らに備えた、特許請求の範囲第５項記載の表面輪
郭測定装置。７前記垂直軸を規定する前記ピボツトは円筒状
の曲げピボツトである、特許請求の範囲第１項記
載のアセンブリ。８前記水平軸を規定する前記ピボツトは円筒状
の曲げピボツトである、特許請求の範囲第１項記
載の表面輪郭測定装置。９前記スキヤン運動付与手段は、前記第１の端
部に対向する前記アームの第２の端部上の前記ス
キヤナアームへ接続されるモータと、前記モータ
の方向に変化するように電気的に接続されかつ、
前記スキヤナアームの一部がそれらの間を移動す
るように或る距離間隔を隔てられた１対のスイツ
チとを備え、前記スキヤナアームはスイツチの一
方に近接したときに前記スイツチの一方を駆動す
る、特許請求の範囲第１項記載の装置。１０前記力付与手段は電気的に駆動されるピス
トンを含む、特許請求の範囲第１項記載の表面輪
郭測定装置。１１前記垂直軸を規定する前記ピボツトは前記
水平軸を規定する前記ピボツトの前方にある、特
許請求の範囲第１項記載の表面輪郭測定装置。１２前記ベースは偏平な物品を支持するための
可動試料テーブルへ連結され、前記テーブルは前
記スタイラスのすぐ下に配置されかつ前記スタイ
ラスに対して前記テーブルの粗および微運動調整
を行なうための手段を有する、特許請求の範囲第
１項記載の表面輪郭測定装置。