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JPS6310520B2 - - Google Patents
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JPS6310520B2 - - Google Patents

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JPS6310520B2
JPS6310520B2 JP57223622A JP22362282A JPS6310520B2 JP S6310520 B2 JPS6310520 B2 JP S6310520B2 JP 57223622 A JP57223622 A JP 57223622A JP 22362282 A JP22362282 A JP 22362282A JP S6310520 B2 JPS6310520 B2 JP S6310520B2
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JP
Japan
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spare
memory device
gate circuit
decoder
semiconductor memory
Prior art date
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Application number
JP57223622A
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Japanese (ja)
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Inventor
Kazuhiro Shimotori
Kazuyasu Fujishima
Hideyuki Ozaki
Hideji Myatake
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F11/00Error detection; Error correction; Monitoring
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  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は例えば絶縁ゲート型電界効果トラン
ジスタ(以下MOSTと称する)をメモリセルの
基本素子とし、不良メモリセルが存在する場合に
はその不良メモリセルを予備のメモリセルと置換
する冗長機能付の半導体メモリ装置に関するもの
である。
[Detailed Description of the Invention] [Technical Field of the Invention] This invention uses, for example, an insulated gate field effect transistor (hereinafter referred to as MOST) as a basic element of a memory cell, and when a defective memory cell exists, the defective memory cell is The present invention relates to a semiconductor memory device with a redundancy function that replaces memory cells with spare memory cells.

〔従来技術〕[Prior art]

第1図は従来の冗長機能付きの半導体メモリ装
置を示すブロツク図である。同図において、1は
メモリセルがマトリツクス状に配置されたメモリ
セルアレイ、2はアドレス入力信号A0〜Am-1
入力し、2m本の行選択信号を得る行デコーダ、3
はアドレス入力信号Am〜Anが入力して、2N
(ただし、n−m=Nとする)の列選択信号を得
る列デコーダ、4は読出し出力信号Qを出力する
出力端子4aおよびデータ入力信号Dが印加する
入力端子4bを備え、選択された行および列の交
点にあるメモリセルから読み出されたデータ信号
の出力バツフアとして働くと共に選択されたメモ
リセルに書込みデータDを書き込むための入力バ
ツフアとして働くバツフア回路、5は予備のメモ
リセルを備えた予備メモリセル行、6はこの予備
メモリセル行に対応する予備行デコーダである。
FIG. 1 is a block diagram showing a conventional semiconductor memory device with a redundant function. In the figure, 1 is a memory cell array in which memory cells are arranged in a matrix, 2 is a row decoder to which address input signals A 0 to Am -1 are input and obtains 2 m row selection signals, and 3 is a row decoder that receives 2 m row selection signals.
4 is a column decoder to which address input signals Am to An are input and obtains 2N column selection signals (n-m=N), and 4 is an output terminal 4a that outputs a read output signal Q and a data input. An input terminal 4b to which a signal D is applied serves as an output buffer for a data signal read from a memory cell located at the intersection of a selected row and column, and an input for writing write data D into the selected memory cell. A buffer circuit serves as a buffer, 5 is a spare memory cell row provided with spare memory cells, and 6 is a spare row decoder corresponding to this spare memory cell row.

なお、この冗長機能付きメモリ装置の機能とし
て必要な他の信号を図示していないが、これらが
設けられていることはもちろんである。
Note that although other signals necessary for the functions of this memory device with redundant function are not shown, it goes without saying that these are provided.

次に、上記構成による冗長機能付きの半導体メ
モリ装置の動作について説明する。まず、メモリ
セルアレイ1内で製造上の欠陥により、例えば1
ビツトあるいは1行の不良ビツトが存在し、この
不良ビツトがメモリのウエハテスト時に検出され
た場合、その選択された行を不活性にし、その選
択信号で活性化する予備行デコーダとそれに接続
された予備行に置換して不良をなくするようにし
ている。そして、この不良ビツトを不活性にする
方法および予備デコーダを活性化する方法とし
て、内蔵したヒユーズを電気的に、あるいはレー
ザ光で切断する方法あるいは高抵抗のヒユーズを
レーザ光で低抵抗にする方法が知られているが、
いずれの方法もメモリ素子内部でなされるので、
パツケージに収納した後にはメモリ装置が冗長機
能を用いているかどうかは判断できない。そこ
で、最近、パツケージに収納後でも、メモリが冗
長機能を用いているかどうかを判断できる方法と
して、メモリのデータ入力信号Dを高電圧に設定
し、アドレス信号を入力しながら、読出し出力信
号Qを調べることが提案されている。すなわち、
読出し出力信号Qが低レベルとするアドレス信号
に対応するメモリセルは冗長機能を用いておら
ず、一方読出し出力信号Qが高レベルとするアド
レス信号に対応するメモリセルが予備のメモリセ
ルを用いていると判断するものである。
Next, the operation of the semiconductor memory device with redundancy function having the above configuration will be explained. First, due to a manufacturing defect in the memory cell array 1, for example, one
If a defective bit or one row exists and this defective bit is detected during a memory wafer test, the selected row is deactivated and a spare row decoder is activated by the selection signal and a spare row decoder connected to it is activated. I try to eliminate defects by replacing them with spare lines. As a method to inactivate this defective bit and to activate the spare decoder, there is a method of cutting the built-in fuse electrically or with laser light, or a method of reducing the resistance of a high resistance fuse with laser light. is known, but
Both methods are done inside the memory element, so
After being stored in a package, it is impossible to determine whether the memory device uses the redundant function. Therefore, recently, as a method to determine whether the memory is using the redundant function even after being stored in a package, the data input signal D of the memory is set to a high voltage, and the read output signal Q is input while inputting the address signal. It is suggested that you investigate. That is,
The memory cells corresponding to the address signals for which the read output signal Q is at a low level do not use the redundancy function, while the memory cells corresponding to the address signals for which the read output signal Q is at a high level use spare memory cells. It is determined that there is.

しかしながら、従来の半導体メモリ装置では冗
長機能を備えたメモリセルアレイが、パツケージ
に収納された後ではそのメモリセルアレイが冗長
機能を用いているかどうかを複雑なテストを行な
わなければ判断することができない欠点があつ
た。
However, in conventional semiconductor memory devices, a memory cell array with a redundant function has a drawback that it is impossible to determine whether or not the memory cell array uses the redundant function after it is housed in a package without performing a complicated test. It was hot.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

したがつて、この発明の目的はパツケージに収
納された後でも、メモリセルアレイが冗長機能を
用いているかどうかを簡単なテストによつて判断
することができる半導体メモリ装置を提供するも
のである。
Therefore, an object of the present invention is to provide a semiconductor memory device that allows a simple test to determine whether a memory cell array uses a redundant function even after being housed in a package.

このような目的を達成するため、この発明は予
備デコーダの各予備デコーダ出力信号の論理和を
とるゲート回路を設け、このゲート回路の出力端
子を外部端子に接続することにより、この外部端
子のレベルを測定し、冗長機能の使用の有無の判
断を可能にするものであり、以下実施例を用いて
詳細に説明する。
In order to achieve such an object, the present invention provides a gate circuit that takes the logical sum of each preliminary decoder output signal of the preliminary decoder, and connects the output terminal of this gate circuit to an external terminal to adjust the level of this external terminal. This method makes it possible to determine whether the redundant function is to be used or not, and will be described in detail below using examples.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

第2図はこの発明に係る半導体メモリ装置に内
蔵した半導体回路の一実施例を示すブロツク図で
ある。同図において、6a〜6nはその詳細な回
路を第3図に示す予備行デコーダであり、予備メ
モリセル行に対応して複数個設けられており、そ
の動作は不活性にされた行選択信号によつて活性
化される。7はこの予備行デコーダ6a〜6nの
予備デコーダ出力信号のノアゲートをとるノアゲ
ート回路、8はこのノアゲート回路7の出力端子
であり、図示せぬパツケージのピンに接続されて
メモリセルアレイの外部に接続されている。
FIG. 2 is a block diagram showing one embodiment of a semiconductor circuit built into a semiconductor memory device according to the present invention. In the same figure, reference numerals 6a to 6n are spare row decoders whose detailed circuits are shown in FIG. activated by. Reference numeral 7 denotes a NOR gate circuit that takes a NOR gate for the spare decoder output signals of the spare row decoders 6a to 6n, and 8 is an output terminal of this NOR gate circuit 7, which is connected to a pin of a package (not shown) and connected to the outside of the memory cell array. ing.

なお、第3図に示す予備行デコーダ6a〜6n
において、9は電源電圧Vccの電源線、10はゲ
ートにプリチヤージ信号ψpが入力したとき、予
備の行線に接続する出力ノード11をプリチヤー
ジする。出力側MOST,12a1,12a2〜12
m1および12m2はこの予備行デコーダを構成す
るMOST,13a1,13a2〜13m1および13
m2はレーザ光で切断可能な予備ヒユーズ、14
は電位Vssのアース線である。
Note that the spare row decoders 6a to 6n shown in FIG.
, 9 is a power line of power supply voltage Vcc, and 10 precharges an output node 11 connected to a spare row line when a precharge signal ψ p is input to the gate. Output side MOST, 12a 1 , 12a 2 ~ 12
m 1 and 12m 2 constitute this spare row decoder MOST, 13a 1 , 13a 2 to 13m 1 and 13
m2 is a spare fuse that can be cut with a laser beam, 14
is the ground wire with potential Vss.

次に上記構成による半導体メモリ装置の冗長機
能の使用の有無の判断動作について説明する。ま
ず、メモリセルアレイ内に不良ビツトが検出され
ず、冗長機能が使用されていない場合には予備ヒ
ユーズ13a1〜13m2は切断されていない。一
方、メモリセルが活性化したとき、アドレス入力
信号A00,……Am,mの組は必ず一方が
高電位になるので、そのMOST12a1〜12m2
の必ず1つが導通状態となる。このため、出力ノ
ード11は放電されて、予備行デコーダ6a〜6
nから予備デコーダ出力信号は送出されず、低レ
ベルであり、予備の行線は選択されることはな
い。このため、ノアゲート回路7の出力は高レベ
ルとなる。次に、例えばアドレス信号A0=“H”、
……Am=“L”の状態で正規の行が選択され、
その行に不良ビツトが検出された場合、冗長機能
が使用される。すなわち、不良ビツトが検出され
た正規の行は不活性にされる(図示せず)。次に、
この予備行デコーダを活性化するため、対応する
ヒユーズ13a1〜13m2をレーザ光で切断する。
このため、アドレス入力信号A00,……Am,
Amの組のうち、1組は必ず一方が高電位となる
が、対応するヒユーズが切断されているため、プ
リチヤージされた出力ノード11は放電されな
い。このため、例えば予備行デコーダ6aから高
レベルの予備デコーダ出力信号が出力されて予備
の行線が選択される。このため、ノアゲート回路
7の出力端子8から低レベルのノアゲート信号が
出力される。したがつて、この半導体メモリ装置
が冗長機能を使つていることがわかる。このよう
に、ノアゲート回路7の出力端子8が高レベルに
あるか、低レベルにあるかを測定することによ
り、半導体メモリ装置が冗長機能を使用している
か否かを簡単に判断することができる。
Next, the operation of determining whether or not to use the redundant function of the semiconductor memory device with the above configuration will be described. First, if no defective bit is detected in the memory cell array and the redundancy function is not used, the spare fuses 13a 1 to 13m 2 are not disconnected. On the other hand, when a memory cell is activated, one of the address input signals A 0 , 0 , .
Always one of them becomes conductive. Therefore, the output node 11 is discharged and the spare row decoders 6a to 6
The spare decoder output signal from n is not sent out and is at a low level, and no spare row line is selected. Therefore, the output of the NOR gate circuit 7 becomes high level. Next, for example, address signal A 0 =“H”,
...The regular row is selected when Am="L",
If a bad bit is detected in that row, the redundancy feature is used. That is, a normal line in which a defective bit has been detected is made inactive (not shown). next,
In order to activate this spare row decoder, the corresponding fuses 13a 1 to 13m 2 are cut with a laser beam.
Therefore, the address input signal A 0 , 0 , ...Am,
One of the Am pairs is always at a high potential, but since the corresponding fuse is cut, the precharged output node 11 is not discharged. Therefore, for example, a high-level spare decoder output signal is output from the spare row decoder 6a, and a spare row line is selected. Therefore, a low-level NOR gate signal is output from the output terminal 8 of the NOR gate circuit 7. Therefore, it can be seen that this semiconductor memory device uses a redundancy function. In this way, by measuring whether the output terminal 8 of the NOR gate circuit 7 is at a high level or a low level, it is possible to easily determine whether the semiconductor memory device uses the redundancy function. .

第4図はこの発明に係る半導体メモリ装置に内
蔵した半導体回路の他の実施例を示すブロツク図
である。同図において、15a〜15nは予備行
デコーダ6a,6nの出力の負荷を軽減するた
め、予備デコード出力信号を増幅する非反転バツ
フア回路である。
FIG. 4 is a block diagram showing another embodiment of the semiconductor circuit incorporated in the semiconductor memory device according to the present invention. In the figure, reference numerals 15a to 15n are non-inverting buffer circuits that amplify the preliminary decoded output signals in order to reduce the load on the outputs of the preliminary row decoders 6a and 6n.

なお、冗長機能の使用の有無の判断動作につい
ては第2図と同様であることはもちろんである。
It goes without saying that the operation for determining whether or not to use the redundant function is the same as that shown in FIG. 2.

第5図はこの発明に係る半導体メモリ装置に内
蔵した半導体回路の更に他の実施例を示すブロツ
ク図である。同図において、16a〜16nは予
備行デコーダ6a〜6nの予備デコーダ出力信号
を反転増幅する反転増幅器、17はナンドゲート
回路である。
FIG. 5 is a block diagram showing still another embodiment of the semiconductor circuit built into the semiconductor memory device according to the present invention. In the figure, 16a to 16n are inverting amplifiers that invert and amplify the preliminary decoder output signals of the preliminary row decoders 6a to 6n, and 17 is a NAND gate circuit.

次に、上記構成による半導体メモリ装置の冗長
機能の使用の有無の判断動作について説明する。
まず、メモリセルアレイ内に不良ビツトが検出さ
れず、冗長機能が使用されていない場合には予備
ヒユーズ13a1〜13m2は切断されていない。
一方、メモリセルが活性化したとき、アドレス入
力信号A00,……Am,mの組は必ず一方
が高電位になるので、そのMOST12a1〜12
m2の必ず1つが導通状態となる。このため、出
力ノード11は放電されて、予備行デコーダ6a
〜6nから予備デコーダ出力信号は送出されず低
レベルであり、予備の行線は選択されることはな
い。このため、反転増幅器16a〜16nの出力
は高レベルとなる。このため、ナンドゲート回路
17の出力は低レベルとなる。次に、例えばアド
レス信号A0=“H”……Am=“L”の状態で正規
の行が選択され、その行に不良ビツトが検出され
た場合、冗長機能が使用される。すなわち、不良
ビツトが検出された正規の行は不活性にされる
(図示せず)。次に、この予備行デコーダを活性化
するため、対応するヒユーズ13a1〜13m2
レーザ光で切断する。このため、アドレス入力信
号A00,……Am,mの組のうち、1組は
必ず一方が高電位となるが、対応したヒユーズが
切断されているため、プリチヤージされた出力ノ
ード11は放電されない。このため、例えば予備
行デコーダ6aから高レベルの予備デコーダ出力
信号が出力されて予備の行線が選択される。これ
により、反転増幅器16a〜16nの出力は低レ
ベルとなる。この結果、ナンドゲート回路17の
出力端子8から高レベルのナンド信号が出力され
る。したがつて、この半導体メモリ装置が冗長機
能を使つていることがわかる。このように、ナン
ドゲート回路17の出力端子8が高レベルにある
か、低レベルにあるかを測定することにより、半
導体メモリ装置が冗長機能を使用しているか否か
を簡単に判断することができる。
Next, the operation of determining whether or not to use the redundant function of the semiconductor memory device with the above configuration will be described.
First, if no defective bit is detected in the memory cell array and the redundancy function is not used, the spare fuses 13a 1 to 13m 2 are not disconnected.
On the other hand, when a memory cell is activated, one of the address input signals A 0 , 0 , .
Always one of m 2 becomes conductive. Therefore, the output node 11 is discharged and the spare row decoder 6a
From ~6n onwards, the spare decoder output signal is not sent out and is at a low level, and no spare row line is selected. Therefore, the outputs of the inverting amplifiers 16a to 16n become high level. Therefore, the output of the NAND gate circuit 17 is at a low level. Next, for example, when a normal row is selected with the address signal A 0 = "H" . . . Am = "L" and a defective bit is detected in that row, the redundancy function is used. That is, a normal line in which a defective bit has been detected is made inactive (not shown). Next, in order to activate this spare row decoder, the corresponding fuses 13a 1 to 13m 2 are cut with a laser beam. Therefore, one of the sets of address input signals A 0 , 0 , . Not discharged. Therefore, for example, a high-level spare decoder output signal is output from the spare row decoder 6a, and a spare row line is selected. As a result, the outputs of the inverting amplifiers 16a to 16n become low level. As a result, a high level NAND signal is output from the output terminal 8 of the NAND gate circuit 17. Therefore, it can be seen that this semiconductor memory device uses a redundancy function. In this way, by measuring whether the output terminal 8 of the NAND gate circuit 17 is at a high level or a low level, it is possible to easily determine whether the semiconductor memory device uses the redundancy function. .

なお、以上の実施例では予備行デコーダについ
て説明したが、予備列デコーダを用いる場合にも
同様にできることはもちろんである。また、Nチ
ヤネルMOSTについて、説明したが、Pチヤネ
ルMOSTについても電圧の極性を逆にすること
により、同様にできることはもちろんである。ま
た、予備用ヒユーズをレーザ光によつて切断する
場合について説明したが、レーザ光によつて高抵
抗の予備用ヒユーズを低抵抗にしてもよいことは
もちろんである。また、ノアゲート回路の出力端
子あるいはナンドゲート回路の出力端子に増幅器
を接続してもよいことはもちろんである。
Although the above embodiments have been described with reference to a spare row decoder, it goes without saying that the same can be done when using a spare column decoder. Further, although the N-channel MOST has been described, it goes without saying that the same can be done for the P-channel MOST by reversing the polarity of the voltage. Further, although the case where the spare fuse is cut by a laser beam has been described, it goes without saying that a high-resistance spare fuse may be made to have a low resistance by a laser beam. It goes without saying that an amplifier may be connected to the output terminal of the NOR gate circuit or the output terminal of the NAND gate circuit.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上詳細に説明したように、この発明に係る半
導体メモリ装置によれば冗長機能を備えたメモリ
セルアレイがパツケージに収納された後でも、簡
単な構成により、冗長機能が使用されているか否
かを容易に判断することができる効果がある。
As described in detail above, according to the semiconductor memory device according to the present invention, even after a memory cell array with a redundant function is housed in a package, it is easy to determine whether the redundant function is being used or not with a simple configuration. There are effects that can be determined.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の冗長機能付きの半導体メモリ装
置を示すブロツク図、第2図はこの発明に係る半
導体メモリ装置に内蔵した半導体回路の一実施例
を示す回路図、第3図は第2図の予備デコーダを
示す詳細な回路図、第4図および第5図はそれぞ
れこの発明に係る半導体メモリ装置に内蔵した半
導体回路の他の実施例を示す回路図である。 1……メモリセルアレイ、2……行デコーダ、
3……列デコーダ、4……バツフア回路、5……
予備メモリセル行、6および6a〜6n……予備
行デコーダ、7……ノアゲート回路、8……出力
端子、9……電源線、10……出力側MOSトラ
ンジスタ、11……出力ノード、12a1,2a2
12n1および12n2……MOSトランジスタ、1
3a1,13a2…13n1および13n2……予備用ヒ
ユーズ、14……アース線、15a〜15n……
非反転バツフア回路、16a〜16n……反転増
幅器、17……ナンドゲート回路。なお、図中、
同一符号は同一または相当部分を示す。
FIG. 1 is a block diagram showing a conventional semiconductor memory device with a redundant function, FIG. 2 is a circuit diagram showing an embodiment of a semiconductor circuit built into a semiconductor memory device according to the present invention, and FIG. FIGS. 4 and 5 are circuit diagrams showing other embodiments of the semiconductor circuit incorporated in the semiconductor memory device according to the present invention. 1...Memory cell array, 2...Row decoder,
3... Column decoder, 4... Buffer circuit, 5...
Spare memory cell rows, 6 and 6a to 6n... Spare row decoder, 7... NOR gate circuit, 8... Output terminal, 9... Power supply line, 10... Output side MOS transistor, 11... Output node, 12a 1 ,2a 2 ...
12n 1 and 12n 2 ...MOS transistor, 1
3a 1 , 13a 2 ... 13n 1 and 13n 2 ... Spare fuse, 14 ... Earth wire, 15a to 15n ...
Non-inverting buffer circuit, 16a-16n...inverting amplifier, 17... NAND gate circuit. In addition, in the figure,
The same reference numerals indicate the same or equivalent parts.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 予備メモリセルを内蔵した冗長機能付き半導
体メモリ装置において、予備デコーダの各予備デ
コーダ出力信号の論理和をとるゲート回路を設
け、このゲート回路の出力端子を外部端子に接続
することにより、この外部端子のレベルを測定
し、冗長機能の使用の有無の判断を可能にするこ
とを特徴とする半導体メモリ装置。 2 前記ゲート回路は前記各予備デコーダ出力信
号の論理和をとる、あるいは非反転増幅器で増幅
した出力信号の論理和をとるノアゲート回路であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
半導体メモリ装置。 3 前記ゲート回路は前記各予備デコーダ出力信
号を反転増幅器で増幅した出力信号の論理和をと
るナンド回路であることを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の半導体メモリ装置。
[Scope of Claims] 1. In a semiconductor memory device with a redundant function that includes a built-in spare memory cell, a gate circuit is provided to take the logical sum of each spare decoder output signal of the spare decoder, and the output terminal of this gate circuit is connected to an external terminal. A semiconductor memory device characterized in that by measuring the level of this external terminal, it is possible to determine whether or not to use a redundant function. 2. The semiconductor according to claim 1, wherein the gate circuit is a NOR gate circuit that takes the logical sum of the respective preliminary decoder output signals or the logical sum of the output signals amplified by a non-inverting amplifier. memory device. 3. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the gate circuit is a NAND circuit that takes the logical sum of output signals obtained by amplifying the respective preliminary decoder output signals with an inverting amplifier.
JP57223622A 1982-12-18 1982-12-18 Semiconductor memory device Granted JPS59112500A (en)

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