JPS63211B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はレジンモールド装置にモールド材料で
あるレジンタブレツトを加熱して供給するレジン
タブレツトプリヒート装置に関する。

レジンモールド型半導体装置等の製造において
は、トランスフアレジンモールド装置が使用さ
れ、このモールド装置へのモールド材料の供給
は、あらかじめレジンを円柱状のタブレツトとし
たものを用い、このタブレツトを加熱して供給す
ることが提案されている。

前記タブレツトは一般には高周波加熱によつて
所定温度で所定時間加熱され、その後、モールド
装置のポツト内に入れられる。

しかし、このようなレジンタブレツトの予備加
熱ではつぎのような欠点が生じる。すなわち、レ
ジンタブレツトは所定温度で所定時間加熱処理さ
れるが各レジンタブレツトの軟化点は微妙に異な
ることから、その軟化度が一定せず、軟化過多の
場合にはレジンタブレツトは変形してしまい、ポ
ツトの中に数個投入されてラムで加圧される際、
溶融レジン中に空気を巻き込んでしまう。この結
果、モールド部内にはボイド（気泡）が発生し、
耐湿性の低下を来たしてしまう。

前記タブレツトの軟化点の相違は調査検討の結
果つぎのような理由によることが明らかとなつ
た。

(1) レジンの組成は製造ロツト毎に微妙に異なる
とともに、同一製造ロツトでも各成分の配合が
均一となりにくいことから、各レジンタブレツ
トの軟化点はばらつく。

(2) レジンタブレツトは予備加熱前の裸のまま大
気中に放置されることが多く、この際、空気中
の水分を吸湿し、軟化点が変動する。したがつ
て、作業場の湿度の違いやレジンタブレツトの
裸状態での大気中放置時間によつて個々のレジ
ンタブレツトの軟化点が変化する。

したがつて、本発明の目的は常に一定の軟化状
態にレジンタブレツトを予備加熱（プリヒート）
することのできるレジンタブレツトプリヒート装
置を提供することにある。

このような目的を達成するために本発明は、 (1) レジンタブレツトを所定位置に保持する手段
と、 (2) 前記レジンタブレツトを加熱するための加熱
手段と、 (3) 前記レジンタブレツトの表面を押圧し、か
つ、前記レジンタブレツトの加熱による前記レ
ジンタブレツトの軟化に応じて、前記押圧方向
に変位するように構成された押圧部と、 (4) 前記押圧部に連結され、前記押圧部の前記変
位量が所定の変位量と一致したことを検出する
変位量検出手段とを有することを特徴とするレ
ジンタブレツトプリヒート装置を要旨とする。

ここで、押圧部とは、例えば、可動支持板５，
レバー７の先端，ローラ１３という。変位量検出
手段とは、例えば、可動支持板５に連結された可
動電気接点９および固定電気接点１０をいう。以
下実施例により本発明を説明する。

第１図は本発明の第１実施例であり、３個の直
列に並べられたレジンタブレツト１は、１対の高
周波加熱電極２，３間に配設される固定支持板４
と可動支持板５とによつて挾持される。また、可
動支持板５は支板６に貫通状態で支持されるとと
もに摺動自在なレバー７の一端に固定されてい
る。また可動支持板５と支板６との間にレバー７
部分には圧縮コイルばね８が取り付けられ、固定
支持板４と可動支持板５との間に所定数、たとえ
ば３個のレジンタブレツト１を直列に並べて取り
付けた際にはレジンタブレツト１に可動支持板５
を介して所定圧で押圧されるようになつている。

一方、前記レバー７の他端には側方に突出する
可動電気接点９が固定される。また、この可動電
気接点９の固定支持板４側への移動域には固定電
気接点１０が配設されている。そして、この固定
電気接点１０に可動電気接点９が接触すると電気
が流れ、図示しないリレーが作動して高周波加熱
電極２，３の電源が自動的に切れるようになつて
いる。また、図示はしないが、高周波加熱電極
２，３の電源が切れた場合には、ランプ、ブザー
等の警報器が動作して、加熱動作が停止した旨を
作業者に知らせるようになつている。

このような実施例においてレジンタブレツト１
をプリヒートする場合には、固定支持板４と可動
支持板５との間に所定数、たとえば３個のレジン
タブレツト１を取り付けた後、高周波加熱電極
２，３の電源を入れてレジンタブレツト１を加熱
する。レジンタブレツト１は加熱されるにしたが
つて徐々に軟化し、圧縮コイルばね８によつて押
圧されていることから徐々に変形する。この結
果、レバー７の他端の可動電気接点９は固定電気
接点１０に向かつて徐々に移動を開始し、レジン
タブレツト１が一定量変形すると、可動電気接点
９は固定電気接点１０に接触し、レジンタブレツ
ト１を加熱する高周波加熱電極２，３の電源を自
動的に切るとともにプリヒートが完了したことを
作業者に伝える。そこで、作業者は、これらレジ
ンタブレツト１を固定支持板４と可動支持板５と
の間から取り外してモールド装置のポツトに供給
する。

このような実施例によれば、加熱状態にあるレ
ジンタブレツトの軟化度を一定の押圧力を有して
接触するレバーの一定の変位時点で補えることか
ら、プリヒートによつて得られるレジンタブレツ
トの軟化度（加熱状態）に常に一定となり、ばら
つきは少なくなる。このため、モールド装置のポ
ツトに入れてラムでレジンを加圧した場合、レジ
ン中に空気を巻き込むことのないような軟化度の
レジンタブレツトは、固定電気接点と固動電気接
点との距離を適当に設定すれば簡単かつ確実に得
られる。したがつて、この実施例のレジンタブレ
ツトプリヒート装置によつてプリヒートしたレジ
ンタブレツトを用いてモールドしたモールド製品
は、そのモールド部内等にボイドを有しないこと
から、耐湿性が優れるとともに、外観も損なわれ
ることもない。

なお、本発明は前記実施例に限定されない。す
なわち、レジンタブレツト毎に軟化点が異なり易
いことから、プリヒートはレジンタブレツト１個
ずつ行なうことが望ましい。しかし、モールド装
置のポツトに数個入れるような場合には前記実施
例のように複数個同時にプリヒートしてもよい。

また、レジンタブレツトの軟化度を検出するレ
バーの検出制御機構（制御機構）１１は、第２図
〜第４図に示す第２実施例〜第４実施例のような
構造であつてもよい。すなわち、第２図で示す第
２実施例のように、レバー７は第１実施例のよう
に一端に可動支持板を設けることなく細くし、レ
ジンタブレツト１の軟化によつてレバーの先端に
潜り込むようにしてもよい。

また、第３図で示す第３実施例のように、レバ
ー７の途中を支軸１２で揺動自在に支持するとと
もに、一端にローラ１３を回動可能に取り付け、
このローラ１３をレジンタブレツト１の外周にス
プリング（ばね）１４によつて弾発的に接触させ
るようにしてもよい。そして、レバー７の他端に
可動電気接点９を取り付け、この可動電気接点９
の移動域に固定電気接点１０を配設してもよい。
なお、レジンタブレツト１は２本のローラ電極１
５の間に栽せられて回動するとともに、このロー
ラ電極１５を高周波加熱電極２の一方とし、レジ
ンタブレツト１の上方に配設される他方の高周波
加熱電極３とによつて加熱される。この第３実施
例では、支軸１２とローラ１３との長さに対して
支軸１２と可動電気接点７の長さを大きくすれば
するほど、レジンタブレツト１に食い込むローラ
１３の変位量は増幅することができる利点があ
る。また、この実施例ではローラ１３およびレバ
ー７と他方の高周波加熱電極３との間で短絡しな
いように、各部の配置を設計したり、あるいは使
用材料を選択する必要がある。

また、第４図で示す第４実施例のように、図示
しない一方の高周波加熱電極上に置いたレジンタ
ブレツト１と他方の高周波加熱電極３との間にレ
ジンタブレツト１の軟化度を検出する検出制御機
構１１を設けてもよい。この場合、検出制御機構
１１はレジンタブレツト１の母線に沿う方向に延
びるアーム１６で支持される。この実施例におい
ても第３実施例と同様に短絡防止の配慮が必要で
ある。

なお、前記第１実施例〜第４実施例にあたつて
は、レバーに弾発力を付与するばねはその力を可
変とするような調整機構を設けてもよく、また、
容易に交換可能な取付構造にしてもよい。

またレジンタブレツトの加熱は一般公知の他の
加熱機構であつてもよい。

以上のように、本発明のレジンタブレツトプリ
ヒート装置によれば、レジンタブレツト毎に軟化
点が変化しても、常に一定の軟化状態にレジンタ
ブレツトを予備加熱できる。したがつて、モール
ド装置のポツトに入れられてラムで加圧された
際、溶融したレジン中に空気を巻き込むことのな
いような軟化度にレジンタブレツトをプリベーク
するように、検出制御機構を設定すれば、モール
ド品中には従来発生したようなボイドは発生せ
ず、品質の良いモールドが行なえる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のレジンタブレツトプリヒート
装置の第１実施例を示す概要図、第２図は本発明
の第２実施例の一部を示す断面図、第３図は本発
明の第４実施例の一部を示す断面図である。 １……レジンタブレツト、２，３……高周波加
熱電極、４……固定支持板、５……可動支持板、
６……支板、７……レバー、８……圧縮コイルば
ね、９……可動電気接点、１０……固定電気接
点、１１……制御機構、１２……支軸、１３……
ローラ、１４……スプリング、１５……ローラ電
極、１６……アーム。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ (1) レジンタブレツトを所定位置に保持する
   手段と、 (2) 前記レジンタブレツトを加熱するための加熱
   手段と、 (3) 前記レジンタブレツトの表面を押圧し、か
   つ、前記レジンタブレツトの軟化に応じて、前
   記押圧方向に変位するように構成された押圧部
   と、 (4) 前記押圧部に連結され、前記押圧部の前記変
   位置が所定の変位量と一致したことを検出する
   変位量検出手段とを有することを特徴とするレ
   ジンタブレツトプリヒート装置。