JPS6335731B2 - - Google Patents
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- JPS6335731B2 JPS6335731B2 JP61020305A JP2030586A JPS6335731B2 JP S6335731 B2 JPS6335731 B2 JP S6335731B2 JP 61020305 A JP61020305 A JP 61020305A JP 2030586 A JP2030586 A JP 2030586A JP S6335731 B2 JPS6335731 B2 JP S6335731B2
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- Japan
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- flat surfaces
- rotating
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000007383 open-end spinning Methods 0.000 description 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
- F16C32/0618—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings via porous material
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C25/00—Bearings for exclusively rotary movement adjustable for wear or play
- F16C25/02—Sliding-contact bearings
- F16C25/04—Sliding-contact bearings self-adjusting
- F16C25/045—Sliding-contact bearings self-adjusting with magnetic means to preload the bearing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0681—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load
- F16C32/0692—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load for axial load only
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2340/00—Apparatus for treating textiles
- F16C2340/18—Apparatus for spinning or twisting
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Spinning Or Twisting Of Yarns (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、高速回転する回転部材を半径方向
に変位可能に支持するスラスト軸受を備えた回転
支持装置に関する。
に変位可能に支持するスラスト軸受を備えた回転
支持装置に関する。
(従来の技術及び問題点)
回転部材を軸方向そして半径方向に支持するた
めに、例えば気体軸受を使用することは早くから
知られている。かかる装置は、例えばヨーロツパ
特許出願82201555.8(公告番号:0082548)に示さ
れている。この軸受は摩擦が小さく、大きな動力
損失を伴うことがなく、高速回転のために使用可
能である。この公知の装置を高速回転で使用する
には、回転部材は正確な釣合いそして軸受内での
芯出しがなされていなければならない。不釣合い
による振動があると、半径方向の力を支えている
軸受そして該軸受に結合されている機械部材をも
損傷し易い。
めに、例えば気体軸受を使用することは早くから
知られている。かかる装置は、例えばヨーロツパ
特許出願82201555.8(公告番号:0082548)に示さ
れている。この軸受は摩擦が小さく、大きな動力
損失を伴うことがなく、高速回転のために使用可
能である。この公知の装置を高速回転で使用する
には、回転部材は正確な釣合いそして軸受内での
芯出しがなされていなければならない。不釣合い
による振動があると、半径方向の力を支えている
軸受そして該軸受に結合されている機械部材をも
損傷し易い。
上記公知の装置においては、回転部材に作用す
る軸方向力は、スラスト軸受が接触するまで、磁
気的手段によつて支持される。上記装置は、ラジ
アル軸受面を有していて、半径方向に回転部材を
案内している中央ジヤーナル軸から、上記回転部
材を引き抜くことができるようになつている。そ
して、回転部材の変換時には、装置の外部で軸方
向に大きな空間を要するし、また組立時には、ジ
ヤーナル軸上での回転部材の真円度がかなり正確
であることが要求される。さらに、ジヤーナル軸
とこれに嵌合する回転部材の管状の軸は、軸方向
に長くなつている。
る軸方向力は、スラスト軸受が接触するまで、磁
気的手段によつて支持される。上記装置は、ラジ
アル軸受面を有していて、半径方向に回転部材を
案内している中央ジヤーナル軸から、上記回転部
材を引き抜くことができるようになつている。そ
して、回転部材の変換時には、装置の外部で軸方
向に大きな空間を要するし、また組立時には、ジ
ヤーナル軸上での回転部材の真円度がかなり正確
であることが要求される。さらに、ジヤーナル軸
とこれに嵌合する回転部材の管状の軸は、軸方向
に長くなつている。
回転部材が支持部材の平坦部と協働するように
配され該平坦部上で半径方向に自由に変位できる
ような軸受装置はすでに知られている。ヨーロツ
パ特許出願0061016によると、回転部材と支持部
材との間の間隙は、両部材間に圧力媒体を導入す
ることによつて維持可能となつている。しかし、
この出願の公報では、可動な回転部材が支持部材
上にあつて、どのように所望の位置に維持される
のか開示されていない。
配され該平坦部上で半径方向に自由に変位できる
ような軸受装置はすでに知られている。ヨーロツ
パ特許出願0061016によると、回転部材と支持部
材との間の間隙は、両部材間に圧力媒体を導入す
ることによつて維持可能となつている。しかし、
この出願の公報では、可動な回転部材が支持部材
上にあつて、どのように所望の位置に維持される
のか開示されていない。
また、例えば米国特許4147396によるならば、
間隙は電磁気な手段によつて維持されている。こ
こでは磁気吸引力が回転部材にセンタリング効果
をもたらしている。しかしながら、間隙幅(高
さ)を所望の値に維持するための磁気手段への電
流の制御がきわめて複雑で、装置を効果なものと
し、また信頼性において逆に好ましくない方向に
作用する。
間隙は電磁気な手段によつて維持されている。こ
こでは磁気吸引力が回転部材にセンタリング効果
をもたらしている。しかしながら、間隙幅(高
さ)を所望の値に維持するための磁気手段への電
流の制御がきわめて複雑で、装置を効果なものと
し、また信頼性において逆に好ましくない方向に
作用する。
(問題点を解決するための手段、作用及び効果)
この発明の目的は、
回転部材1と、該回転部材を支持する支持部材
が、互いに対向する平坦面を有し、回転部材は支
持部材の上記平坦面上にて半径方向の少なくとも
一方向に変位自在である装置において、正確なセ
ンタリングや対向面間の間隙の調整のために複雑
な制御を要求されることなく支持部材上で回転部
材が高速回転でき、しかも回転部材の交換が軸方
向に大きな空間を必要とせずに可能である装置を
提供することにある。
が、互いに対向する平坦面を有し、回転部材は支
持部材の上記平坦面上にて半径方向の少なくとも
一方向に変位自在である装置において、正確なセ
ンタリングや対向面間の間隙の調整のために複雑
な制御を要求されることなく支持部材上で回転部
材が高速回転でき、しかも回転部材の交換が軸方
向に大きな空間を必要とせずに可能である装置を
提供することにある。
上記目的達成のために、本発明は、
両平坦面は圧力媒体のための間隙3を形成し、
両平坦面は、該両平坦面の少なくとも一方の一
部にて圧力媒体が上記間隙に導入されることによ
り相対的に離間可能となつており、 回転部材1と支持部材2は、回転部材1の回転
軸心位置に吸引合力を生ずる磁気部5,6をそれ
ぞれ有している、 ことを特徴とするものである。
部にて圧力媒体が上記間隙に導入されることによ
り相対的に離間可能となつており、 回転部材1と支持部材2は、回転部材1の回転
軸心位置に吸引合力を生ずる磁気部5,6をそれ
ぞれ有している、 ことを特徴とするものである。
この発明による装置は、軸方向に小寸法にまと
められ、高速回転においても支持部材に影響を与
えるような振動を生ずることはない。
められ、高速回転においても支持部材に影響を与
えるような振動を生ずることはない。
(実施例)
以下添付図面にもとづいて本発明の実施例を詳
述する。図面において、第1図は実施例装置の軸
方向断面図、第2図は平面図である。
述する。図面において、第1図は実施例装置の軸
方向断面図、第2図は平面図である。
図示の装置は回転部材1、例えばオープンエン
ド精紡機のスピニングキヤツプあるいは遠心ロー
タであつて、支持部材2の上で回転自在に支持さ
れている。支持部材2と回転部材1は、それぞれ
1つの平坦面を有しており、この両平坦面は互い
に対向して軸受面を形成し圧力媒体、好ましくは
空気によつて離間されている。このように両平坦
面が構成されることにより、該両平坦面間の間隙
3に圧力媒体が導入される。この圧力媒体の間隙
3への導入は、該間隙3を形成する上記両平坦面
の少なくとも一方の一部にて行なうことができ
る。圧力媒体は、例えばそれが気体の場合、間隙
の一部分に設けられた透気材料部あるいは通気孔
部を通して導入可能である。また圧力気体は、圧
力源に連結された一もしくは二以上の供給口から
供給できる。かかる構成は、図示しない方法でも
種々可能である。図において、透気材料部4と間
隙3を通る気体の流れは矢印によつて示されてい
る。
ド精紡機のスピニングキヤツプあるいは遠心ロー
タであつて、支持部材2の上で回転自在に支持さ
れている。支持部材2と回転部材1は、それぞれ
1つの平坦面を有しており、この両平坦面は互い
に対向して軸受面を形成し圧力媒体、好ましくは
空気によつて離間されている。このように両平坦
面が構成されることにより、該両平坦面間の間隙
3に圧力媒体が導入される。この圧力媒体の間隙
3への導入は、該間隙3を形成する上記両平坦面
の少なくとも一方の一部にて行なうことができ
る。圧力媒体は、例えばそれが気体の場合、間隙
の一部分に設けられた透気材料部あるいは通気孔
部を通して導入可能である。また圧力気体は、圧
力源に連結された一もしくは二以上の供給口から
供給できる。かかる構成は、図示しない方法でも
種々可能である。図において、透気材料部4と間
隙3を通る気体の流れは矢印によつて示されてい
る。
本発明による支持部材2及び回転部材1は、そ
れらの一部分で互いに吸引力をもつて、回転軸に
直角方向に瞬時の変位可能性をもたらす手段を備
えている。本実施例では、該手段として図示のご
とく支持部材と回転部材は、中央に互いに引き合
う磁気部5,6を有している。間隙3を形成する
両平坦面は、圧力気体の導入により離間する傾向
にあるが、一方磁気部5,6によつて近接する傾
向にある。両傾向は、間隙3が1mm以下のときに
均衡して、両平坦面が対向しあう。
れらの一部分で互いに吸引力をもつて、回転軸に
直角方向に瞬時の変位可能性をもたらす手段を備
えている。本実施例では、該手段として図示のご
とく支持部材と回転部材は、中央に互いに引き合
う磁気部5,6を有している。間隙3を形成する
両平坦面は、圧力気体の導入により離間する傾向
にあるが、一方磁気部5,6によつて近接する傾
向にある。両傾向は、間隙3が1mm以下のときに
均衡して、両平坦面が対向しあう。
回転部材1の駆動は従来の電動機の方式で十分
であり、固定子の巻線は支持部材2に連続する部
分、例えば溝7内に配し、回転子は回転部材1に
配したりあるいは該回転部材1で回転子を構成す
るようにしてもよい。平坦面による間隙3は電動
機の固定子と回転子との間に形成され回転子は半
径方向に可動であるので、回転子すなわち回転部
材1は常に動的釣合い中心まわりに回転する。か
くして、回転部材1は釣合うこととなり、無視で
きるほどの振動が残るのみである。本実施例で
は、回転部材1が、運転中に位置及び大きさの変
わる質量を負荷としてもつている場合に好都合で
あるものが示されている。その場合に、自身の釣
合い位置を調整する回転部材1によつて、装置は
自動的に釣合うこととなる。
であり、固定子の巻線は支持部材2に連続する部
分、例えば溝7内に配し、回転子は回転部材1に
配したりあるいは該回転部材1で回転子を構成す
るようにしてもよい。平坦面による間隙3は電動
機の固定子と回転子との間に形成され回転子は半
径方向に可動であるので、回転子すなわち回転部
材1は常に動的釣合い中心まわりに回転する。か
くして、回転部材1は釣合うこととなり、無視で
きるほどの振動が残るのみである。本実施例で
は、回転部材1が、運転中に位置及び大きさの変
わる質量を負荷としてもつている場合に好都合で
あるものが示されている。その場合に、自身の釣
合い位置を調整する回転部材1によつて、装置は
自動的に釣合うこととなる。
最適間隔を保ち負荷を受ける気体が回転部材1
の外周縁から送られるならば、装置の安定性は最
良となる。こうすると、例えばもし回転部材1の
回転軸が傾いても、透気材料部での間隙が狭くな
る傾向になるために該部分での圧力が上昇して上
記傾きに対向する傾向を示すようになる。
の外周縁から送られるならば、装置の安定性は最
良となる。こうすると、例えばもし回転部材1の
回転軸が傾いても、透気材料部での間隙が狭くな
る傾向になるために該部分での圧力が上昇して上
記傾きに対向する傾向を示すようになる。
ある場合には、例えば回転軸の位置が正確に定
まつていることが要求されることがある。かかる
場合、回転部材1の位置が安定していることが望
ましい。この目的のためには、互いに引き合う磁
気部5,6によるセンタリングの力の作用に抗し
て回転部材1の偏心位置を修正するための修正手
段8を設けることが可能である。該手段8は回転
部材1の外周円筒面と協働する交持軸受をなして
おり、これによつて上記回転部材の外周円筒面は
磁気部5,6間の力に抗して圧せられる。
まつていることが要求されることがある。かかる
場合、回転部材1の位置が安定していることが望
ましい。この目的のためには、互いに引き合う磁
気部5,6によるセンタリングの力の作用に抗し
て回転部材1の偏心位置を修正するための修正手
段8を設けることが可能である。該手段8は回転
部材1の外周円筒面と協働する交持軸受をなして
おり、これによつて上記回転部材の外周円筒面は
磁気部5,6間の力に抗して圧せられる。
本発明は、特許請求の範囲内において、上記の
実施例以外の形態が可能である。例えば、間隙3
内の圧力媒体の圧力は、外部の圧力源によつて加
えられることなく、回転部材1の回転によつて生
ずるようにすることも可能である。また、磁気部
5,6の一方は、もし磁石の場合リングとするこ
とが可能である。磁気は電気的に発生させること
もできる。回転部材1の駆動は電動機以外にも、
例えば空圧あるいは機械的に行なつてもよい。
実施例以外の形態が可能である。例えば、間隙3
内の圧力媒体の圧力は、外部の圧力源によつて加
えられることなく、回転部材1の回転によつて生
ずるようにすることも可能である。また、磁気部
5,6の一方は、もし磁石の場合リングとするこ
とが可能である。磁気は電気的に発生させること
もできる。回転部材1の駆動は電動機以外にも、
例えば空圧あるいは機械的に行なつてもよい。
第1図は本発明の一実施例装置を示す縦断面
図、第2図は第1図装置の平面図である。 1……回転部材、2……支持部材、3……間
隙、5,6……磁気部、8……修正手段。
図、第2図は第1図装置の平面図である。 1……回転部材、2……支持部材、3……間
隙、5,6……磁気部、8……修正手段。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 回転部材1と、該回転部材を支持する支持部
材2が、互いに対向する平坦面を有し、回転部材
は支持部材の上記平坦面上にて半径方向の少なく
とも一方向に変位自在である装置において、 両平坦面は圧力媒体のための間隙3を形成し、 両平坦面は、該両平坦面の少なくとも一方の一
部にて圧力媒体が上記間隙に導入されることによ
り相対的に離間可能となつており、 回転部材1と支持部材2は、回転部材1の回転
軸心位置に吸引合力を生ずる磁気部5,6をそれ
ぞれ有している、 ことを特徴とするスラスト軸受を備えた回転支持
装置。 2 駆動用電動機の固定子が、支持部材2の平坦
部に配され、上記電動機の回転子が回転部材1に
配されるかもしくは該回転部材1で構成されるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のスラ
スト軸受を備えた回転支持装置。 3 磁気部の吸引力に抗して回転部材1の偏心を
修正する半径力を生ずる修正手段8が設けられて
いことを特徴とする特許請求の範囲第1項または
第2項記載のスラスト軸受を備えた回転支持装
置。 4 間隙3は、回転部材1の回転によつて圧力媒
体に圧力を生じせしめる手段を有していることを
特徴とする特許請求の範囲第1項ないし第3項の
うちの1つに記載のスラスト軸受を備えた回転支
持装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE8500481A SE453419B (sv) | 1985-02-04 | 1985-02-04 | Anordning med axiallager der lagringsytorna innefattar magnetiska partier |
| SE8500481-0 | 1985-02-04 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61179329A JPS61179329A (ja) | 1986-08-12 |
| JPS6335731B2 true JPS6335731B2 (ja) | 1988-07-15 |
Family
ID=20358984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61020305A Granted JPS61179329A (ja) | 1985-02-04 | 1986-02-03 | スラスト軸受を備えた回転支持装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4970422A (ja) |
| EP (1) | EP0190440B1 (ja) |
| JP (1) | JPS61179329A (ja) |
| CN (1) | CN86100495B (ja) |
| CS (1) | CS262663B2 (ja) |
| DE (1) | DE3568211D1 (ja) |
| SE (1) | SE453419B (ja) |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE467213B (sv) * | 1990-07-10 | 1992-06-15 | Skf Ab | Anordning foer en spinnmaskin med drivning och lagring foer en axelloes oeppen-aend-spinnrotor |
| SE467212B (sv) * | 1990-07-10 | 1992-06-15 | Skf Ab | Axelloes oeppen-aend-spinnrotor |
| US5075605A (en) * | 1990-11-01 | 1991-12-24 | Penn Engineering & Manufacturing Corp. | Inner-rotor commutation device |
| DE4207673C1 (ja) * | 1992-03-11 | 1993-03-11 | Skf Textilmaschinen-Komponenten Gmbh, 7000 Stuttgart, De | |
| US5584435A (en) * | 1993-04-23 | 1996-12-17 | E. Fischer Ag | Bell atomizer with air/magnetic bearings |
| DE4342582A1 (de) * | 1993-12-14 | 1995-06-22 | Skf Textilmasch Komponenten | Magnet-Gaslager eines als Läufer eines Axialfeldmotors ausgebildeten schaftlosen Spinnrotors einer Offenend-Spinnmaschine |
| DE4342583A1 (de) * | 1993-12-14 | 1995-06-22 | Skf Textilmasch Komponenten | Schaftloser Spinnrotor einer Offenend-Spinnmaschine |
| DE4342584A1 (de) * | 1993-12-14 | 1995-06-22 | Skf Textilmasch Komponenten | Einzelmotorischer Antrieb eines schaftlosen Spinnrotors einer Offenend-Spinnmaschine |
| US5578881A (en) * | 1994-09-29 | 1996-11-26 | Glacier Rpb Inc. | Axial vibration damping arrangement |
| FR2751028B1 (fr) * | 1996-07-10 | 1998-10-23 | Sames Sa | Turbine a suspension magnetofluidique |
| DE19630477A1 (de) * | 1996-07-27 | 1998-01-29 | Rieter Ingolstadt Spinnerei | Offenend-Spinnvorrichtung |
| DE19630476A1 (de) * | 1996-07-27 | 1998-01-29 | Rieter Ingolstadt Spinnerei | Offenend-Spinnvorrichtung |
| WO1998024165A1 (en) * | 1996-11-27 | 1998-06-04 | Emerson Electric Co. | Counterbored rotors for natural frequency variation |
| DE19953118A1 (de) * | 1999-11-04 | 2001-05-17 | Foehrenbach Manfred Gmbh | Antriebsmodul mit Lager |
| CN1157545C (zh) * | 2000-10-25 | 2004-07-14 | 李国坤 | 磁悬浮轴承 |
| JP5042479B2 (ja) * | 2005-08-22 | 2012-10-03 | Ntn株式会社 | 空気サイクル冷凍冷却システム |
| DE102007028905B3 (de) * | 2007-06-22 | 2008-12-11 | Siemens Ag | Lagereinrichtung zur berührungsfreien Lagerung eines Rotors gegen einen Stator |
| CN101158376B (zh) * | 2007-11-15 | 2010-04-14 | 苏州大学 | 磁悬浮电机轴承结构 |
| FR2924285B1 (fr) * | 2007-11-28 | 2015-04-24 | Tecddis | Machine electrique a flux axial |
| FR2944836A1 (fr) * | 2009-04-23 | 2010-10-29 | Roumen Antonov | Dispositif de stockage inertiel d'energie |
| JP5886614B2 (ja) * | 2011-11-25 | 2016-03-16 | オイレス工業株式会社 | エアスライド装置 |
| JP2013113344A (ja) * | 2011-11-25 | 2013-06-10 | Oiles Corp | 静圧気体軸受構造 |
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