JPS6336098B2 - - Google Patents
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- JPS6336098B2 JPS6336098B2 JP5586279A JP5586279A JPS6336098B2 JP S6336098 B2 JPS6336098 B2 JP S6336098B2 JP 5586279 A JP5586279 A JP 5586279A JP 5586279 A JP5586279 A JP 5586279A JP S6336098 B2 JPS6336098 B2 JP S6336098B2
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J5/00—Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J5/32—Seals for leading-in conductors
- H01J5/34—Seals for leading-in conductors for an individual conductor
- H01J5/36—Seals for leading-in conductors for an individual conductor using intermediate part
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- Connections Arranged To Contact A Plurality Of Conductors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電極に給電を行なう導入端子に関す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an introduction terminal for supplying power to an electrode.
例えば熱陰極形電離真空計器においては、計器
ケースの壁部に給電用の導入端子を設けるととも
に計器ケースの内部に導入端子に接続する陰極な
どの電極を設けており、導入端子を電源に接続し
て導入端子から電極へ給電し、電極に電子放出な
どの作用を行なわせるようにしている。 For example, in a hot cathode type ionization vacuum instrument, an inlet terminal for power supply is provided on the wall of the instrument case, and an electrode such as a cathode is provided inside the instrument case to connect to the inlet terminal. Power is supplied from the introduction terminal to the electrode, causing the electrode to perform actions such as electron emission.
従来、この真空計器に設ける導入端子として、
ピン形導体をセラミツクス体に貫通して設け、セ
ラミツクス体の外周部に金属リングを嵌合する同
軸形のものがある。第１図および第２図はその同
軸形導入端子の従来構造を示している。 Conventionally, as an introduction terminal for this vacuum gauge,
There is a coaxial type in which a pin-shaped conductor is provided through a ceramic body and a metal ring is fitted around the outer periphery of the ceramic body. FIGS. 1 and 2 show the conventional structure of the coaxial lead-in terminal.
すなわち、中心導体１を挿着した内側セラミツ
クリング２と外側セラミツクリング３との間に位
置決め用の金属リング４を介在するとともに外側
セラミツクリング３には排気用のパイプ６を有す
る金属フランジ５を嵌合した構成をなし、これら
各部品をろう付けにより各々接合している。 That is, a metal ring 4 for positioning is interposed between the inner ceramic ring 2 into which the center conductor 1 is inserted and the outer ceramic ring 3, and a metal flange 5 having an exhaust pipe 6 is fitted to the outer ceramic ring 3. These parts are joined together by brazing.
しかるに、このような従来の導入端子は、セラ
ミツクと金属の熱膨張率が異なることからろう付
けにより各接合部に応力が発生し、この応力によ
りセラミツクリングにクラツクが発生している。
すなわち、棒状の中心導体１をろう付け接合した
内側セラミツクリング２の導体回りにはクラツク
Ｘを生じている。また、金属リング４の内外周面
にろう付け接合した両セラミツクリング２，３
（特に内側セラミツクリング２）には各々応力が
加わり、さらに外側セラミツクリング３に金属フ
ランジ５をろう付け接合することによる応力が両
セラミツクリング２，３に加わるので、内側セラ
ミツクリング２には半径方向のクラツクＹが、外
側セラミツクリング３には金属リング回りのクラ
ツクＺが各々生じている。特に内側セラミツクリ
ング２には金属フランジ５と外側セラミツクリン
グ３からの応力が外側から加わり、また中心導体
１とのろう付けによる応力が加わるので、耐力的
に応じきれず亀裂を生じている。 However, in such conventional lead-in terminals, since the thermal expansion coefficients of ceramic and metal are different, stress is generated at each joint due to brazing, and this stress causes cracks in the ceramic ring.
That is, a crack X is generated around the conductor of the inner ceramic ring 2 to which the rod-shaped central conductor 1 is brazed. In addition, both ceramic rings 2 and 3 are brazed to the inner and outer peripheral surfaces of the metal ring 4.
Stress is applied to each of the ceramic rings (especially the inner ceramic ring 2), and stress is applied to both ceramic rings 2 and 3 due to the brazing and joining of the metal flange 5 to the outer ceramic ring 3. A crack Y is formed around the outer ceramic ring 3, and a crack Z around the metal ring is formed on the outer ceramic ring 3. In particular, the inner ceramic ring 2 is subjected to stress from the metal flange 5 and outer ceramic ring 3 from the outside, as well as stress due to brazing with the center conductor 1, so that the inner ceramic ring 2 cannot withstand the stress and cracks occur.
本発明は前記事情に基づいてなされたもので、
金属体とセラミツク体との接合構造の改良を図
り、ろう付けによるセラミツク体での亀裂発生を
防止し製品の歩留りを向上させた導入端子を提供
するものである。 The present invention was made based on the above circumstances, and
The present invention aims to improve the bonding structure between a metal body and a ceramic body, and to provide an introduction terminal that prevents cracks from occurring in the ceramic body due to brazing and improves product yield.
以下本発明を図面で示す実施例について説明す
る。 Embodiments of the present invention illustrated in the drawings will be described below.
第３図および第４図は本発明の導入端子の一実
施例を示している。この実施例は熱陰極形電離真
空計器に設ける導入端子として用いたものであ
る。図中１１は中空の丸棒状をなす中心導体で、
その一端部は蓋１２が被着してあるとともに他端
部にねじ部１１ａが形成してある。図中１３は円
形の内側セラミツクリングで、その中心軸線上に
中心導体１１を挿通してろう付けにより接合して
ある。図中１４は円形の外側セラミツクリング
で、これは内側セラミツクリング１３の周囲を囲
んで同心的に設けてある。図中１５は円筒形の位
置決め用金属リングで、その外周部中央には円周
方向に沿つて凹部１５ａを形成して薄肉としてあ
る。金属リング１５は内側セラミツクリング１３
と外側セラミツクリング１４との間に介在して設
けられ、且つ金属リング１５の内周部は内側セラ
ミツクリング１３の外周面とろう付けにより接合
してあり、外周部中央には外側セラミツクリング
１４が嵌合してある。なお、外側セラミツクリン
グ１４の内周面直径は金属リング１５の外周面直
径とほぼ同等であり、外側セラミツクリング１５
の内周部が金属リング１５の凹部１５ａには入り
込まず凹部１５ａは空隙となつている。金属リン
グ１５においてセラミツクリング１３，１４から
突出した両方の端部（凹部１５ａが形成されてい
ない部分）には、外側セラミツクリング１８を挾
んで円筒形の接合金属リング１６，１７が設けて
ある。これら一対の接合金属リング１６，１７は
筒部１６ａ，１７ａにフランジ部１６ｂ，１７ｂ
を形成した形状をなしている。接合金属リング１
６，１７の筒部１６ａ，１７ａは金属リング１５
の両端外周部に各々嵌合してろう付けにより接合
され、フランジ部１６ｂ，１７ｂは外側セラミツ
クリング１４の両端面に各々当接してろう付けに
より接合してある。図中１８は円形の金属フラン
ジで、これは一端面側にねじ孔１８ａが形成して
あるとともにパイプ１９がろう付けにより接合し
て挿着してある。金属フランジ１８は外側セラミ
ツクリング１４に嵌合してろう付けにより接合し
てある。なお、中心導体１１、金属リング１５お
よび金属フランジ１８は共にコバールからなつて
いる。金属フランジ１８には排気用パイプ１９が
取付けてあり、このパイプ１９は無酸素銅からな
つている。内側および外側セラミツクリング１
３，１４は共にアルミナ（Al2O3）を主成分とす
るセラミツクで形成され、両者の接合面にはモリ
ブデンなどのメタライズ層が形成してある。 FIGS. 3 and 4 show an embodiment of the lead-in terminal of the present invention. This example was used as an introduction terminal provided in a hot cathode type ionization vacuum instrument. In the figure, 11 is a central conductor in the shape of a hollow round bar.
A lid 12 is attached to one end thereof, and a threaded portion 11a is formed at the other end. In the figure, reference numeral 13 denotes a circular inner ceramic ring, into which the central conductor 11 is inserted and joined by brazing on its central axis. In the figure, reference numeral 14 denotes a circular outer ceramic ring, which is provided concentrically surrounding the inner ceramic ring 13. In the figure, reference numeral 15 denotes a cylindrical positioning metal ring, which has a thin wall with a recess 15a formed along the circumferential direction at the center of its outer periphery. The metal ring 15 is the inner ceramic ring 13
and the outer ceramic ring 14, and the inner peripheral part of the metal ring 15 is joined to the outer peripheral surface of the inner ceramic ring 13 by brazing, and the outer ceramic ring 14 is located at the center of the outer peripheral part. It is fitted. The diameter of the inner circumferential surface of the outer ceramic ring 14 is approximately the same as the diameter of the outer circumferential surface of the metal ring 15.
The inner peripheral portion of the metal ring 15 does not fit into the recess 15a of the metal ring 15, and the recess 15a is a gap. At both ends of the metal ring 15 protruding from the ceramic rings 13 and 14 (portions where the recess 15a is not formed), cylindrical joining metal rings 16 and 17 are provided with an outer ceramic ring 18 in between. These pair of joining metal rings 16, 17 are attached to cylindrical parts 16a, 17a and flange parts 16b, 17b.
It has a shape that has been formed. Bonded metal ring 1
The cylindrical parts 16a and 17a of 6 and 17 are metal rings 15
The flange portions 16b and 17b are fitted onto the outer periphery of both ends of the outer ceramic ring 14 and are joined by brazing, and the flange portions 16b and 17b are in contact with both end surfaces of the outer ceramic ring 14 and are joined by brazing. In the figure, reference numeral 18 denotes a circular metal flange, which has a screw hole 18a formed on one end side, and into which a pipe 19 is connected and inserted by brazing. The metal flange 18 is fitted onto the outer ceramic ring 14 and joined by brazing. Note that the center conductor 11, metal ring 15, and metal flange 18 are all made of Kovar. An exhaust pipe 19 is attached to the metal flange 18, and this pipe 19 is made of oxygen-free copper. Inner and outer ceramic ring 1
3 and 14 are both made of ceramic containing alumina (Al 2 O 3 ) as a main component, and a metallized layer of molybdenum or the like is formed on the bonding surface between the two.
そして、この導入端子は真空計器のケースの壁
部に装着し、中心導体１１の一方の端部をケース
の内部に設けた電極に接続する。また、中心導体
１１の他方の端部は図示しない接続具を介して電
源回路に接続する。 This introduction terminal is attached to the wall of the case of the vacuum instrument, and one end of the center conductor 11 is connected to an electrode provided inside the case. Further, the other end of the center conductor 11 is connected to a power supply circuit via a connector (not shown).
しかして、このように構成した導入端子におい
て、中空をなす中心導体１１は周壁の肉厚が小さ
いので、中心導体１１と内側セラミツクリング１
３とのろう付けにより接合部に生ずる応力が小さ
いため、内側セラミツクリング１３には中心導体
回りにクラツクＸが生じない。また、凹部１５ａ
を有する金属リング１５の周壁肉厚が小さいの
で、金属リング１５と内側セラミツクリング１３
とのろう付けにより接合部に生ずる応力が小さ
く、且つ外側セラミツクリング１４が金属リング
１５に直接ろう付け接合されず、そのろう付けに
よる応力が内側セラミツクリング１３に加わらな
いので、内側セラミツクリング１３にはクラツク
Ｙが発生しない。さらに、外側セラミツクリング
１４の両端面には金属リング１５に接合した一対
の接合金属リング１６，１７がろう付け接合する
ので、金属リング１５に直接ろう付け接合した場
合に比して接合部に発生する応力が小さく、金属
リング回りにクラツクＺを生じない。特に外側セ
ラミツクリング１４を金属リング１５の外周部に
直接ろう付け接合せずに、接合金属リング１６，
１７で両端面を保持する構成は、金属フランジ１
８と外側セラミツクリング１４とのろう付け接合
により生ずる応力と、接合金属リング１６，１７
と外側セラミツクリング１４とのろう付け接合に
よる応力を、外側セラミツクリング１４の両端部
で受止めて、金属リング１５に直接与えることを
防止できる。従つて、これらの応力が内側セラミ
ツクリング１３に加わる度合は小さくなり、内側
セラミツクリング１３にクラツクが生じることは
ない。このように導入端子全体としてセラミツク
スリングと金属リングとの接合部に生ずる応力が
小さく、セラミツクリング１３，１４にクラツク
が発生するのを防止できる。 In the lead-in terminal configured in this way, since the hollow center conductor 11 has a small circumferential wall thickness, the center conductor 11 and the inner ceramic ring 1
Since the stress generated at the joint portion by brazing with the inner ceramic ring 13 is small, no cracks X occur around the center conductor in the inner ceramic ring 13. In addition, the recess 15a
Since the peripheral wall thickness of the metal ring 15 having a
The stress generated in the joint by brazing with No crack Y occurs. Furthermore, since the pair of bonded metal rings 16 and 17 bonded to the metal ring 15 are brazed to both end faces of the outer ceramic ring 14, more damage occurs at the bonded portion than if they were directly brazed to the metal ring 15. The stress caused by the metal ring is small, and no cracks Z occur around the metal ring. In particular, without directly brazing the outer ceramic ring 14 to the outer periphery of the metal ring 15, the bonded metal ring 16,
The configuration in which both end faces are held by the metal flange 1
8 and the outer ceramic ring 14 and the stress caused by the brazing joint between the outer ceramic ring 14 and the joined metal rings 16 and 17.
The stress caused by the brazing joint between the outer ceramic ring 14 and the outer ceramic ring 14 can be received at both ends of the outer ceramic ring 14 and prevented from being applied directly to the metal ring 15. Therefore, the degree to which these stresses are applied to the inner ceramic ring 13 is reduced, and no cracks occur in the inner ceramic ring 13. In this way, the stress generated at the joint between the ceramic ring and the metal ring is small for the introduction terminal as a whole, and the occurrence of cracks in the ceramic rings 13 and 14 can be prevented.
なお、本発明の導入端子は前述した実施例に限
定されず、電子管などの種々の用途に使用でき
る。 Note that the introduction terminal of the present invention is not limited to the embodiments described above, and can be used for various purposes such as electron tubes.
本発明の導入端子は以上説明したように、中心
導体を挿着した内側セラミツクリングと外側セラ
ミツクリングとの間に金属リングを介在させたも
のであつて、金属体とセラミツクリングとのろう
付け接合によりセラミツクリングにクラツクが生
じることを防止して製品の歩留りを向上させるこ
とができる。 As explained above, the lead-in terminal of the present invention has a metal ring interposed between the inner ceramic ring and the outer ceramic ring into which the center conductor is inserted, and the metal body and the ceramic ring are joined by brazing. This can prevent cracks from occurring in the ceramic ring and improve product yield.
第１図および第２図は各々従来の導入端子を示
す平面図および断面図、第３図および第４図は
夫々本発明による導入端子の一実施例を示す平面
図および断面図、第５図は同実施例における金属
リングとセラミツクリングとの接合部を拡大して
示す断面図である。
１……中心導体、２……内側セラミツクリン
グ、３……外側セラミツクリング、４……金属リ
ング、５……金属フランジ、１１……中心導体、
１３……内側セラミツクリング、１４……外側セ
ラミツクリング、１５……金属リング、１５ａ…
…凹部、１６，１７……接合金属リング、１８…
…金属フランジ、１９……パイプ。
1 and 2 are a plan view and a sectional view, respectively, showing a conventional introduction terminal, FIG. 3 and FIG. 4 are a plan view and a sectional view, respectively, showing an embodiment of the introduction terminal according to the present invention, and FIG. FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing a joint between a metal ring and a ceramic ring in the same embodiment. 1... Center conductor, 2... Inner ceramic ring, 3... Outer ceramic ring, 4... Metal ring, 5... Metal flange, 11... Center conductor,
13...Inner ceramic ring, 14...Outer ceramic ring, 15...Metal ring, 15a...
...Recessed portion, 16, 17... Joining metal ring, 18...
...metal flange, 19...pipe.
Claims (1)
ろう付けにより接合された内側セラミツクスリン
グと、この内側セラミツクスリングの外周部に嵌
合してろう付けにより接合され外周部に円周方向
全体にわたり凹部が形成された金属リングと、こ
の金属リングの外周部に嵌合された外側セラミツ
クスリングと、この外側セラミツクスリングを挾
んで前記金属リングの外周部に嵌合してろう付け
により接合され前記外側セラミツクスリングの両
方の端面に夫々ろう付けにより接合した一対の接
合金属リングとを具備してなることを特徴とする
導入端子。1 A hollow center conductor, an inner ceramic ring that fits into this center conductor and is joined by brazing, and an inner ceramic ring that fits into the outer periphery of this inner ceramic ring and is joined by brazing to the outer periphery in the entire circumferential direction. A metal ring having a recess formed therein, an outer ceramic ring fitted to the outer periphery of the metal ring, and the outer ceramic ring sandwiched between the outer ceramic ring and fitted to the outer periphery of the metal ring to be joined by brazing. An introduction terminal comprising a pair of bonded metal rings bonded to both end faces of an outer ceramic ring by brazing, respectively.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5586279A JPS55148336A (en) | 1979-05-08 | 1979-05-08 | Electrode |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5586279A JPS55148336A (en) | 1979-05-08 | 1979-05-08 | Electrode |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55148336A JPS55148336A (en) | 1980-11-18 |
| JPS6336098B2 true JPS6336098B2 (en) | 1988-07-19 |
Family
ID=13010863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5586279A Granted JPS55148336A (en) | 1979-05-08 | 1979-05-08 | Electrode |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS55148336A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021144801A (en) * | 2020-03-10 | 2021-09-24 | 京セラ株式会社 | Airtight terminal |
-
1979
- 1979-05-08 JP JP5586279A patent/JPS55148336A/en active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021144801A (en) * | 2020-03-10 | 2021-09-24 | 京セラ株式会社 | Airtight terminal |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55148336A (en) | 1980-11-18 |
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