JPS6337465B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 以下の順序で本発明を説明する。

Ａ 産業上の利用分野 Ｂ 開示の概要 Ｃ 従来技術 Ｄ 発明が解決しようとする問題点 Ｅ 問題点を解決するための手段 Ｆ 実施例 f1 インターフエイス装置（第１図） f2 インターフエイス装置の詳細図（第２図） f3 同軸コネクタ（第３図） f4 単一の同軸コネクタ（第４図） f5 同軸コネクタの一実施例（第５図） f6 ２つのコネクタを接続する実施例（第６
図） Ｇ 発明の効果 Ａ 産業上の利用分野 本発明は同軸ケーブルを一端で受け取り、他端
がわの平面に配された信号線用端子および接地用
端子に同軸ケーブルの信号線およびシールド線を
それぞれ電気的に結合する同軸ケーブル用インタ
ーフエース装置に関する。

Ｂ 開示の概要 本発明の集積回路チツプのためのテスト装置の
様な装置に同軸ケーブルの組を相互接続するシス
テムは装着の対応端子と整置してコネクタの各々
を電気的に位置付ける導電材料の関孔板を含む。
各コネクタはコネクタのハウジングから絶縁さ
れ、同軸ケーブルの内部導線と装置の対応する端
子と接続するばねロード・プローブを含む。又板
中には信号復帰プローブが与えられ同軸ケーブル
の外側の導線と電気的に接続し、装置の対応する
端子に対応する信号復帰経路を与える。代替実施
例において、簡単な接続は単一のコネクタ及びコ
ネクタのハウジングの肩から延出す単一信号復帰
プローブの使用によつて行われる。又対向する一
対のコネクタをつつみそれ等のハウジングと電気
的に接触する円筒スリーブを使用して一対のケー
ブルを結合出来る。

Ｃ 従来技術 同軸ケーブルは電気信号の伝送に広く使用され
ている。この様なケーブルはその軸に沿つて配向
された内部導線及びシールドもしくはスリーブ状
に内部導線のまわりに配置された外部導線を有す
る。内部及び外部導線はケーブルに所望のインピ
ーダンスを与えるために適切な誘電特性を有する
絶縁材料の同軸層によつて分離されている。この
様なケーブルは大きな直径のものや小さな直径の
ものなど、種々の寸法のものが製造されている。
ケーブルの終端のコネクタはコネクタ部品の配列
の中でも同軸構造を保持している。コネクタは通
常雄及び雌の配偶体として構成され、コネクタを
互にしつかりと係合するための空間的な溝及び歯
の様なロツク装置を含む。

同軸ケーブルを使用して半導体マイクロ回路を
テストする事に特に興味がもたれる様になつた。
複雑な回路ではテスト装置に接続される端子が多
く、従つて半導体マイクロ回路をテスト装置に接
続するのに、多くのケーブルを使用しなければな
らない。パツドの形の電極を有するチツプとして
形成されたマイクロ回路のテストの場合には、最
小の寸法の同軸ケーブルで接続するとしても、パ
ツドの寸法及び間隔は極めて小さ過ぎる。従つ
て、パツドの組及び同軸ケーブル接続体間をイン
ターフエイスする装置が形成された。

この様なインターフエイス装置の使用に伴う問
題はインターフエース装置の帯域幅と物理的寸法
との間の妥協点を見い出して標準の同軸コネクタ
を使用可能にする点にある。従つて現在使用可能
なコネクタの物理的寸法がインターフエイス装置
に制限を加える。この事はインターフエイス装置
がマイクロ回路のパツドの空間的配列を同軸構造
体の空間的配列に変換する装置である事を考えれ
ば容易に明らかであろう。

現在使用されているコネクタは平坦な表面と係
合する様には構成されていないので、たとえマイ
クロ回路のパツドが拡大されても、コネクタ及び
パツド間を直接接続することは出来ない。

Ｄ 発明が解決しようとする問題点 本発明の目的は、半導体マイクロ回路等の装置
をテストするのに最適な同軸ケーブル用インター
フエース装置を与える事にある。

Ｅ 問題点を解決するための手段 この発明では以上の目的を達成するために、導
電性の板状の保持部材の貫通孔に同軸ケーブル用
コネクタおよび接地用コネクタを挿着する。同軸
ケーブル用コネクタを保持部材に取り付けるに際
しては同軸ケーブルの信号線に結合されるピン部
材が保持部材から絶縁されるようにし、他方この
ピン部材を往復動自在に支持するプローブ本体が
電気的かつ機械的に結合されるようにする。この
場合プローブ本体は同軸ケーブルのシールド線に
結合されるようになつている。またピン部材の一
端は保持部材から突出するようで偏倚されてい
る。他方接地用コネクタは保持部材に機械的かつ
電気的に結合され、この結果、シールド線が接地
コネクタに電気的に接続される。

この発明によれば一端で同軸ケーブルを受け取
り、その信号線およびシールド線を、他端の平面
に配された信号線用端子および接地用端子にそれ
ぞれ結合させることができ、しかも簡易に複数の
接地用コネクタを設けることができる（たんに接
地用コネクタを保持部材の孔部に挿入するだけで
よく、他に配線が不要である）。

Ｆ 実施例 次に本発明の好ましい実施例について説明す
る。説明は２つの部分に分れる。先ず、本発明の
コネクタを有利に使用したインターフエイス装置
が第１図及び第２図を参照して説明される。残り
の図はコネクタの実施例を説明するのに使用され
る。第３図の実施例は特にインターフエイス装置
に有用である。第１図及び第２図のインターフエ
イス装置はテスト取付け構造体として示されてい
る。

f1 インターフエイス装置（第１図） 第１図及び第２図を参照するに、テスト取付け
構造体１０は間隔変換器１２を含み、その底部に
はプローブ組立体１４が取付けられていて保持器
１３上のテストされる集積回路１５の端子パツド
と接触する様になつている。構造体１０、即ち変
換器１２及びプローブ（組立体）１４は各々正方
形（もしくは長方形）をなし、プローブ１４の寸
法は変換器１２の寸法よりもはるかに小さく、集
積回路１５とインターフエイスをなす様になつて
いる。

さらに構造体１０は正方形のコネクタ板１２
０、信号コネクタ保持板１２２、中央コネクタ板
１７２、側壁２０、間隔変換器キヤツプ１６及び
位置付けネスト１８を含んでいる。間隔変換器１
２及び剛体のテスト・プローブ１４の詳細は1984
年９月21日同時出願の米国特許出願第652981号に
説明されている。

構造体１０の詳細について説明する。正方形の
コネクタ板１２０は接地された、金めつき黄銅の
様な導電度の高い金属である事が好ましい。正方
形のコネクタ１２０を垂直に貫通する開孔はその
中に信号コネクタ１８０及び接地コネクタ１６２
を位置付け、これ等のコネクタ１８０，１６２と
の電気的接続を与える。コネクタ１６２，１８０
については以下第３図に関して詳細に説明され
る。しかしながら、ここではこれ等のコネクタは
中心の導線が圧縮可能なばねでロードされた可動
なばねロード型のものである事を述べるだけで十
分である。従つてコネクタ１６２，１８０とコネ
クタ板１２０の間の導電性のインターフエイスは
コネクタ１６２，１８０への最短の最も抵抗の少
ない接地接続を与える。接地コネクタ１６２は正
方形のコネクタ板１２０に適切に保持される様に
板１２０の間にプレスばめされる事が好ましい。

電力コネクタ１８１，１８１′も中央コネクタ
板１７２を略垂直に貫通する開孔中にプレスばめ
される。中央コネクタ板１７２はAF DELRIN
の如き、十分な構造上の強さを有する優れた誘電
体材料である点で正方形のコネクタ板１２０とは
著しく異なつている。従つて電力コネクタ１８１
は追加の絶縁体を要求としないので、設計及び構
造が簡単になる。中央コネクタ板１７２は一般に
正方形をなし、正方形のコネクタ板１２０の中央
の開孔内にはめ合にされる様な寸法を有し、中央
のブレース３０のまわりに存在する事が好まし
い。電力コネクタ１８１は全体がシールドされて
いないので、減結合コンデンサ１８２が十分短か
い接続リードによつて容易に接続出来、望ましく
ない寄生インダクタンスの導入を避ける事が出来
る。

信号コネクタ保持板１２２はコネクタ板１２０
の上に設置され、中央コネクタ板１７２の一部と
重なつていてこれ等の板を夫々の位置に保持する
様になつている。保持板１２２は中央及び正方形
のコネクタ板１２０，１７２を保持するに十分な
構造上の力を有するAF DELRINの様な誘電体
の材料より成る事が好ましい。

開孔１２４，１２６（第３図に一番よく示され
ている）は保持板１２２を略垂直に貫通している
事が好ましく配線リードがこれを通つて必要に応
じて信号コネクタ１８０に達し、接地コネクタ１
６２に対しては立体的なすき間を与える事が好ま
しい。信号コネクタ１８０のための開孔はコネク
タの外側の表面上に与えられたフランジ上にはめ
合いに出来る様に中ぐりされる事が好ましい。こ
れ等のフランジは以下第３図に関して詳細に説明
される様に、コネクタ１８０が正方形のコネクタ
板１２０中にプレスばめに出来る程深いだけでな
く、信号コネクタ保持板１２２がコネクタのリー
ド線に対する応力逃しを与えるものである。開孔
は必要に応じて信号コネクタ保持板１２２中にも
与えられ接地コネクタ１６２の上部がさまたげら
れずに正方形のコネクタ板１２０上に延出す様に
なつている。軽量の構造用アルミニウム合金より
形成される事が好ましい側壁２０はいくつかのね
じ３４によつて支持ブリツジ２２に取付けられる
フランジ２３を有する。ねじ組立体２５は内部が
ねじ切りされた導入体２４、これと係合するねじ
２８及びしめ付けナツト３２を含み、ブリツジ２
２の中央でブレース３０に調節可能な圧力を与え
る様になつている。フランジ２１は側壁２０の内
部表面上に与えられ、十分内側に延びて板１２２
の上の端の表面と接触する様になつている。変換
器位置付けテスト１８がいくつかの中ぐりねじ３
６によつて側壁２０の底端に取付けられていて、
側壁２０の内方に延び正方形のコネクタ板１２０
の底端部と接し、保持板１２２の位置付けを確実
にしている。変換器キヤツプ１６は一組の保持セ
グメントから形成され、いくつかの中ぐりねじ３
８によつて、位置付けネスト１８を通り側壁２０
に取付けられている。

キヤツプ１６の保持セグメントの各々には内側
に延びるフランジ１７が与えられていて、間隔変
換器１２の底端部と係合している。キヤツプ１６
の寸法は間隔変換器１２の上方表面がコネクタ板
１２０，１７２の底面に沿つて一様な間隔で位置
付けられる様に間隔変換器１２をコネクタ板１２
０，１７２に取付けるのに適切なものである事が
好ましい。

間隔変換器１２をコネクタ板１２０，１７２に
接近する様に移動する際に、種々のコネクタのば
ねでロードされた中央の導線は第３図に関して説
明される様に夫々のコネクタの体内に押込められ
る。その抵抗力は初めは略10ｇで、最後は20ｇで
ある事が好ましい。間隔変換器１２とコネクタ板
１２０，１７２間のギヤツプは実際に可能な限り
小さい方が好ましく、信号プローブ（信号コネク
タ）１８０がギヤツプを横切る時の信号プローブ
１８０の中心の導体のシールドされていない部分
の長さが最小にされる事が好ましい。これによつ
て以下詳細に説明される様にシールドされていな
い状態によつて生ずる電気的な不連続の程度が減
少するので好ましい。

図示されていないが、ブレース３０、正方形の
板１２０及びスペーサ・ネスト１８にはかみあい
だぼを与えることが好ましい。だぼの位置を適切
に選択する事によつてコネクタ１６２，１８０，
１８１の正しい方向が保証され、間隔変換器１２
の最上部の表面上の電極に適切に接触する様にな
る。

f2 インターフエイス装置の詳細図（第２図） 好ましい間隔変換器１２及びプローブ組立体１
４の代表的な詳細部分が第２図に示されている。
間隔変換器１２の構造は上記米国特許出願明細書
に説明されている。ここではコネクタ１８０，１
６２，１８１からプローブ組立体１４への信号の
流れの連続性を示すためにその構造的特徴につい
て繰返し説明する。これによつてコネクタ１８
０，１６２，１８１の構造はインピーダンスの不
整合が最小になる様に間隔変換器１２に対し、も
しくはこれから広い帯域の電磁信号が伝搬出来る
ものである事が理解されよう。

間隔変換器１２は通常のセラミツク積層技術を
使用して製造された多層セラミツク（MLC）構
造をなす。この構造体は最小限２つの高い導電性
の材料層４６，４８によつて分離された３つのプ
レーナ・セラミツク層４０，４２，４４を含む。
導電性の材料は使用される特定のセラミツクの膨
張係数と同じ膨張係数を有する金属もしくは金属
合金である事が好ましい。以下説明される理由の
ために、第１の導電層４６は電力平面として、第
２の層４８は電力復帰即ち接地平面４８として使
用される事が好ましい。

層４０に与えられた貫通孔がモリブデンの様な
金属の導電性バス５２を電力平面である層４６
と、究極的に間隔変換器１２の最上部表面になる
セラミツク層４０の外部表面上に与えられた金も
しくは等価な高導電性の耐酸化、金属もしくは合
金金属である事が好ましい電極６２との間に与え
られる。同様に導電性バス５４は接地平面である
層４８及び表面電極６４間に、２つの介在するセ
ラミツク層４０，４２中の貫通孔及び短絡を防止
する必要のある電力平面４６中の適切な開孔を通
して延びている。所望の複数の信号バス５６（唯
一つだけが図示されている）が間隔変換器１２の
最上部の表面に存在する電極６６（第２図には一
つだけが示されている）から信号を、変換器１２
の底部表面上に金属薄膜として形成された多くの
導線５０の一つ迄伝える。導線５０はセラミツク
層４０の下部表面から他の導電性の金属層５２及
び絶縁体層５３によつて分離されている。層５２
は導電５０及び層５１間にはさまれていて層５１
はセラミツク層４４に接している。バス５６はセ
ラミツク層４４，４２，４４の夫々貫通孔電力及
び接地平面（層４６及び４８）並びに層５１及び
５３中の開孔を通つて延びている。通常の薄膜付
着技術を使用して、層５１を与える。この層５１
は間隔変換器１２の最下部の表面の略すべてに重
なる高周波（50MHzよりも高い）AC接地基準層
として働く。夫々の信号バス５６に電気的に結合
している薄膜導線５０は必要に応じたパターンを
なし、以下説明される様にプローブ組立体１４の
信号導線１０２と空間的に相互接続する様になつ
ている。

プローブ組立体１４は一般に接地された導電性
金属の構造基体１００並びに誘電体被覆によつて
接地基体１００から分離した、中央の導線を有し
又所望のインピーダンス（好ましくは50オーム）
の同軸信号線をなす信号プローブ１０２、基体１
００に密接に接続されている接地プローブ１０４
及び低いインピーダンスの中央の導線を覆う薄膜
の絶縁酸化物層を有する電力プローブ１０６を含
んでいる。

図示された様に、信号プローブ１０２、接地プ
ローブ１０４及び電力プローブは基体１００中を
その端点が集積回路１５の夫々の本来の信号、接
地及び電力パツド（第２図には示されていない、
代表的にはＣ―４はんだ塊）に適切に接してい
る。プローブ１０２，１０４，１０６の近接端は
間隔変換器１２の導線５０，層４８、及び層４６
の夫々の平面に電気的に接続されている。即ち電
力プローブ１０６は下の２つのセラミツク層４
２，４４中の貫通孔並びに素子４８，５１，５３
及び５０の接地平面４８，５１，５３及び５０中
の開孔を通して間隔変換器１２の電力平面４６か
ら底面に延びているバス９０に電気的に接してい
る。又、バス９２は一番下のセラミツク層４４中
の貫通孔、素子５０，５１及び５３の平面中の開
孔を通つて間隔変換器１２の層４８の接地平面か
ら底面迄延び必要に応じて接地プローブ１０４に
接続している。信号プローブ１０２は配列体とし
て夫々の薄膜導線５０の露出表面と接触する事に
よつて導線５０の組と直接電気的に接続してい
る。

間隔変換器１２の好ましい実施例の構造体は電
力層４６及び接地層４８の平面間に延びる低い接
続インダクタンスの高周波減結合コンデンサ７
４，８４を与える事によつて略完結する。コンデ
ンサ７４，８４は薄膜構造であり、必要に応じて
間隔変換器１２の最上部及び最下部上に空間的に
位置付けられる。コンデンサ７４，８４の接続は
セラミツク層４０，４２，４４中の貫通孔並びに
電力及び接地層４６，４８中の対応する開孔を通
して延びる夫々、電力バス７０，８０及び接地バ
ス７２，８２によつて電力層４６及び接地層４８
に対してなされる。コンデンサ７４，８４の接続
部並びに電力及び接地層４６，４８の長さが短い
事と、バスとしてモリブデンの如きインピーダン
スの低い金属を使用する事によつて接続インダク
タンスは最小になる。コンデンサ７４，８４の高
周波領域の振舞はコンデンサの電極の寸法及びコ
ンデンサの絶縁材料の誘電性のパラメータに依存
する。間隔の変換器の表面に取付けられ、一体的
なバスによつて接続された薄膜コンデンサを使用
する事によつて、コンデンサを任意の都合のよい
点に位置付ける事が出来、一体的取扱いが容易な
構造体が実現される。

本発明に従い構成された構成変換器１２の構造
は層４６，４８，５１及びメツシユ平面配列体と
みなされる導線５０の配列を与える。電力平面層
４６及び薄膜導線５０間に介在した接地平面層４
８，５１は、電力平面及び薄膜導線を互に分離し
ている。電力平面層４６に関して云えば、低い接
続インダクタンスの減結合コンデンサを与える事
によつて、高周波電圧が安定し、電流雑音（dI／
dt）の発生が著しく減少される。薄膜導線５０に
関して云えば、基準接地平面層５１を与え、薄膜
導線５０の寸法及び層５３の厚さを標準の伝送線
理論に従つて適切に選択する事によつて導線５０
の特性インピーダンスを最適値、好ましくは50オ
ームに保持出来る。従つて信号導線５０のインピ
ーダンスは独立して、電力及び接地方面のインピ
ーダンス（一般に１オーム好ましくは0.5乃至0.1
オーム以下）よりもはるかに高い値に設定出来
る。

再び第１図を参照するに、使用に際し、テスト
構造体１０はプローブ組立体１４が取付けられた
間隔変換器１２を集積回路１５と近接して位置付
ける。明らかに、集積回路１５は初期のパツケー
ジのまま、適切な支持台１３上に取つけられ、回
路１５の本来の導電性のパツドの配列体が支持台
１３と平行である事が好ましい平面内にある剛体
のテスト・プローブ１４に提示され、アクセス可
能にされる事が好ましい。プローブ配線は互に平
行で、集積回路１５の接点パツドの対応する配列
体に直交して配置されている事が好ましい。従つ
て、プローブ配線の数はパツドの数に等しいか、
これよりも少ない事が好ましく、必要に応じて集
積回路１５に電力及びテスト信号を与え、これか
らの復帰信号を受取る事が出来るものであればよ
い。次に間隔変換器１２は支持台１３の方に前進
され、プローブの先端は適切な電気的接触を与え
るに十分な圧力で集積回路のパツドと接触する。

プローブ組立体１４と反対側の間隔変換器１２
の最上部の表面に接するブレース３０は側壁２０
によつて圧力が間隔変換器１２に加えられる時
に、これがたわむのを防止する。間隔変換器１２
の初期公称たわみ位置が決められ、その後ねじ組
立体２５を調節する事によつて保持される。テス
ト後、テスト構造体１０は後退され、集積回路１
５が無傷で除去される。

f3 同軸コネクタ（第３図） 第３図を参照するに、間隔変換器の夫々の電極
６６，６４と接触する第１図にも示された信号コ
ネクタ１８０及び隣接接地コネクタ１６２の一本
の拡大断面図が示されている。信号コネクタ１８
０の中心にはばねでロードされたプローブ１３４
が存在する。このプローブは米国マサチユセツツ
州アトルボロ市（Attleboro、Massachusetts）
のパイロン社（PYLON Company）によつて
「ポゴプローブ（POGO PROBE）」（部品番号Ｐ
−2784−３）の商品名で販売されているプローブ
を変形したものである。この変形はプローブをベ
リリウム―銅の様な非誘導性の材料で製造してば
ねの接触力を減らしたものである。プローブ１３
４は壁の薄い導線性金属の管状ハウジングである
本体１３５、中心の導線もしくはピン１３６、金
属のストツパ・ボール１３８及び圧縮ばね１４０
を有する。テフロン（Teflon、商標）である事
が好ましいプレスばめ絶縁挿入体１３２がプロー
ブ１３４のまわりに、その長さに沿つて同軸的に
与えられている。絶縁体挿入体１３２は次にコネ
クタ１８０の本体管１２８にプレスばめされる。
管１２８は高導電性の金属、好ましくは金めつき
黄銅で形成され、信号コネクタ１８０の支持シエ
ルをなしている。本体管１２８は壁の薄い下方部
分１２９、比較的厚い壁のフランジ部分１３０、
及び薄い壁の部分１３１を有する事が好ましい。

本体管１２８の下方部分１２９の外側の寸法は
この部分がコネクタ板１２０中に与えられた開孔
１２７中に確実にプレスばめされる様に選択され
る事が好ましい。上述の如く、フランジ部分１３
０は比較的外径が大きく、下方部分１２９の端が
コネクタ板１２０中に挿入される深さを与える肩
を形成している。即ちコネクタ板１２０の底部表
面と下方部分１２９の下方の面は同一平面にされ
る。

市販されているマイクロドツト（Microdot登
録商標）の如き小さな直径の同軸ケーブル１８３
が信号コネクタ１８０のプローブ１３４に取付け
られたテスト・リードとして使用される事が好ま
しい。ケーブル１８３は一般に誘電性のさや１４
３の内部の信号導線１４２より成るコア１４４及
びコア１４４を包囲する同軸接地シールド１４６
を含む。プローブ１３４への接続は信号導線１４
２の延長端をプローブ１３４の上方の端の開孔中
にはんだ付けするか、他の適切な手段で取付ける
事によつて行われる。ストツパ・ボール１３８は
プローブ１３４の一体部分をなす。誘電性のさや
１４３の下端は接地シールド１４６から分離され
て本体管１２８の上部１３１に挿入され、プロー
ブ１３４の上部の端と接している。さや１４３の
直ぐ下の誘電性材料のワツシヤ１５５はプローブ
１３４の最上部を閉じ、絶縁体の挿入体１３２と
接している。ケーブル１８３の接地シールド１４
６は本体管の上部１３１のまわりにその長さに沿
つて延びている。その結果、接地シールド１４６
はプローブ１３４の全体にわたつて効果的に延
び、絶縁体の挿入体１３２は信号プローブ１３４
を接地された本体管１２８から電気的に絶縁し、
信号線の所望インピーダンスを保持する働きを有
する。絶縁体の挿入体１３２に適切な材料及び必
要な半径方向の厚さは一般に知られている方法で
選択され、所望の信号線インピーダンスが得られ
る。

接続スリーブ１５０が与えられ、実質的に信号
コネクタ１８０が完全する。導電性金属である事
が好ましい、スリーブ１５０は本体管１２８の上
部１３１上に延びている、ケーブル１８３の接地
シールド１４６の部分上にプレスばめされる。こ
の様にして、ケーブル１８３の本体部１２８の取
付けが効果的に確実にされ、第３図に示された一
体の信号コネクタ１８３が形成される。

最後に、焼ばめされる絶縁被覆１５２がケーブ
ル１８３及びスリーブ１５０の一部の上に与えら
れ、ケーブル１８３と本体管１２８の接続部が腐
食の如き、環境上の悪影響から防止される。

上述の如く、信号コネクタ保持板１２２には中
ぐり開孔１２４が与えられ、信号コネクタ１８０
の上部を受取り、これに取付けられたテスト・リ
ードが通過する様になつている。開孔１２４の中
ぐり部分は特に本体管１２８のフランジ部分１３
０のみを受取る様な寸法を有する。開孔１２４の
残り部分の直径はフランジ部分１３０の直径より
も小さく信号コネクタ保持板１２２は応力を解放
する様に働く事が好ましい。

接地コネクタ１６２は信号コネクタ１８０のプ
ローブ１３４と同じ構造を有する。しかしなが
ら、接地プローブ１６２は、これがコネクタ板１
２０中の開孔１６４に直接プレスばめされる点で
著しく異なつている。接地コネクタ１６２の端子
ピン１６０は従つて、コネクタ板１２０の大地基
準電圧に直接導電的に結合され、接地コネクタ１
６２には別の電気的接続体は必要なく、その結
果、本発明は別に接地コネクタ・リードを与える
ための複雑さ、材料及び追加の作業空間の使用と
いつた無駄がなくなる。又テスト取付け構造体１
０の複雑さを著しく増大させる事なく任意の数の
接地コネクタを与える事及び位置付ける事が出来
る。上述の様にコネクタ板１２０上に延びる接地
コネクタ１６２の任意の部分を収容するのに信号
コネクタ保持板１２２中に開孔１２６が与えられ
る。

電力コネクタ１８１（第１図に示され、第３図
には示されていない）は信号コネクタ１８０の構
造と類似の構造を有する。しかしながら、挿入体
１３２と同じ様な絶縁体の挿入体ははぶかれてい
る。それは中心の接続板１７２（第１図）がそも
そも絶縁体であるからである。従つて電力コネク
タ１８１のプローブは信号基体管１２８の場合と
同じ様に適切な寸法の基体管中に直接プレスばめ
にされる。しかしながら、電力導線シールドがな
いので、減結合コンデンサ１８２（第１図）の接
続が簡単になり、しかも接地シールドの破れ目に
よつて電気的不連続が発生する危険がない。又、
コンデンサ１８２を電力コネクタ１８１に接続す
る長い導線の必要がなくなり、これに伴なつてコ
ンデンサ１８２を接続する事によつて導入される
寄生インダクタンスが減少される。

以上間隔変換器に対する同軸コネクタ・インタ
ーフエイスを使用し、電気的不連続がほとんどな
い信号経路が実現された高速度集積回路テスト取
付け構造体が説明された。

構造体１０の上述の説明では、信号コネクタ１
８０の２次元配列体、これ等の間に介在し、間隔
変換器１２の上方表面と接触する接地コネクタ１
６２の２次元配列体が与えられた。接地コネクタ
１６２のすべてはコネクタ板１２０と接触するの
で、信号コネクタ１８０の任意の一つの中の信号
のための復帰電流は複数の接地コネクタ１６２を
通して流れる。この様にして、接地復帰電流は信
号コネクタ１８０のピン１３６のまわりに均一に
分布され、これによつてインダクタンス及び遷遊
放射線の効果が減少される。接地復帰経路の対称
性の利点は第４図の実施例で示された如く、唯一
の信号保持プローブ１３４が存在する本発明の実
施例で与えられる。

f4 単一の同軸コネクタ（第４図） 第４図を参照するに、３本のプローブ（各々は
さらに記号Ａ，Ｂ及びＣによつて同定される）よ
り成るコネクタ１００は回路チツプ支持台２０２
と隣接し、その信号パラメータが測定されてい
る。コネクタ２００を使用する場合には、コネク
タ２００は手で回路チツプ支持台２０２と接触す
る様に移動される。プローブ１３４と個々のピン
１３６はチツプ支持台２０２の一組の端子パツド
２０４の夫々の一つに接している。ピン１３６及
びパツド２０４の個々の一つは記号Ａ，Ｂ及びＣ
によつて同定される。コネクタ２００はさらに第
３図に前に示された素子、即ちケーブル１８３の
シールド１４６を保持するスリーブ１５０、プロ
ーブ１３４Ａを包囲する絶縁体の挿入体１３２並
びに挿入体１３２とケーブル１８３のシールド１
４３との間のワツシヤ１５５を含んでいる。ケー
ブル１８３の導線１４２は２０６の個所ではんだ
によつてプローブ１３４Ａと接続している。

コネクタ２００はハウジング２０８から構成さ
れ、ハウジング２０８の一端には冠部２１０が存
在し、肩２１２を形成している。ハウジング２０
８は第３図の本体管１２８に使用された導電性の
金属で形成される。ハウジング２０８内には３つ
の開孔２１４Ａ，２１４Ｂ及び２１４Ｃが与えら
れ、冠部２１０からハウジング２０８の反対側に
延びている。さらに開孔２１６が開孔２１４Ａと
連絡し、開孔２１４Ａの軸に沿い、冠部２１０及
び冠部２１０の円筒拡張部２１８を通つて延びて
いる。プローブ１３４Ａはその絶縁体の挿入体１
３２及びワツシヤ１５５と共に開孔２１４Ａ内に
セツトされ、プローブ１３４Ｂ及び１３４Ｃは
夫々開孔２１４Ｂ及び２１４Ｃ内にセツトされ
る。ゲーブル１８３のコア１４４は延長部２１８
内にセツトされ、ケーブル１８３のシールド１４
６は延長部２１８内でコア１４４と分離し、延長
部２１８の外部表面及びスリーブ１５０の内部表
面間にクランプされている。

第３図及び第４図の実施例を比較すると、第４
図のプローブ１３４Ｂ及び１３４Ｃは第３図の接
地コネクタ１６２と同じく接地復帰電流経路を与
えている。この様な接地復帰経路の２本だけが第
４図に示されているが、プローブ１３４Ｂ，Ｃが
存在する平面に垂直な平面に沿つて、ハウジング
２０８と電気的に接触する様に追加のプローブを
取付けて、中心のプローブ１３４Ａに関して接地
復帰電流の軸対称に流れを与える事が出来る。こ
れによつて、コネクタ２００は第３図の信号コネ
クタ１２０及び複数の接地コネクタ１６２の機能
をこれ等をすべて収納する単一のハウジング内で
与える。単一のハウジングは容易に且手で回路チ
ツプ支持台２０２上に位置付ける事が出来る。

f5 同軸コネクタの一実施例（第５図） 第５図には、第４図のコネクタ２００の修正型
であるコネクタ２００Ａが示されている。コネク
タ２００Ａの一側は該コネクタの手による把持を
容易にするためにハンドル２２０を形成する様に
延長されている。コネクタ２００Ａは導電性の金
属から形成され、ハウジング２０８Ａ内に取付け
られ、挿入体１３２によつて絶縁され、ケーブル
１８３からの電気信号を流すためのプローブ１３
４Ａを含む。又コネクタ２００Ａにはハウジング
２０８Ａと電気的に接触し、ケーブル１８３中に
流れる電流のための接地復帰経路を与えるプロー
ブ１３４Ｃを含んでいる。コネクタ２００Ａは接
地復帰経路の対称性を与えないが、コネクタ２０
０の場合よりも構造が簡単で、コネクタ２００と
同様に手で使用する事が出来る。

f6 ２つのコネクタを接続する実施例（第６
図） 第６図は第４図のコネクタ２００の修正型であ
るコネクタ２００Ｂを示している。第６図で、２
つのコネクタ２００Ｂはスリーブ２２２によつて
互に接続され、２つのケーブル１８３を結合して
いる。コネクタ２００Ｂの各々は一般に円筒形を
なし、第４図に示された開孔２１４Ａ及び２１６
を含んでいる。開孔２１４Ａは絶縁体の挿入体１
３２、プローブ１３４Ａ及びワツシヤ１５５を収
納し、他方開孔２１６は第４図に示された如くケ
ーブル１８３のコア１４４を含んでいる。各ハウ
ジング２０８Ｂの外側の表面には肩２２４が形成
され、肩２２４はコネクタ２００Ｂをスリーブ２
２２の対向する端に挿入する時にスリーブ２２２
の端と接する。コネクタ２００Ｂはプローブ１３
４Ａの対向するピン１３６Ａ対向するピン１３６
Ａと接触するに十分な距離だけ挿入される。ハウ
ジング２０８Ｂ及びスリーブ２２２は金属で形成
され、夫々のケーブル１８３のシールド１４６間
に電気的接続を与えている。２つのピン１３６Ａ
の接触は夫々のケーブル１８３の内部導線１４２
の電気的接続を与える。前の実施例の接地コネク
タ１６２は第６図の実施例では必要とされない。
それは適切で堅実な電気的接続がスリーブ２２２
及びコネクタ２００Ｂの各々の間の接触によつて
与えるからである。第６図の実施例は２つの同軸
ケーブルを簡単に相互接続する場合に特に有用で
ある。

Ｇ 発明の効果 本発明に従い、半導体マイクロ回路等の装置を
テストするための、同軸ケーブルを一端で受け取
り、他端がわの平面に配された信号線用端子およ
び接地用端子に同軸ケーブルの信号線およびシー
ルド線をそれぞれ電気的に接続する同軸ケーブル
用インターフエース装置が与えられる。

【図面の簡単な説明】

第１図は集積マイクロ回路のテストするのに有
用な間隔変換器を含むインターフエイス装置の部
分的側断面図である。第２図は第１図のインター
フエイス装置の間隔変換器及び剛体のプローブの
一部の詳細な側断面図である。第３図は本発明に
従い同軸ケーブルをインターフエイス装置に接続
する同軸コネクタの詳細な側断面図である。第４
図は集積回路チツプ支持台のパツドと接続する本
発明の単一の同軸コネクタの側断面図である。第
５図はコネクタがプローブとして構成されている
本発明に従う同軸コネクタの実施例の側断面図で
ある。第６図は２つのコネクタがスリーブによつ
て互に結合された本発明の実施例の側断面図であ
る。 １０……テスト取付け構造体、１２……間隔変
換器、１３……支持台、１４……プローブ組立
体、１５……集積回路、１６……キヤツプ、１７
……フランジ、１８……位置付けネスト、２０…
…側壁、２１……フランジ、２２……支持フラン
ジ、２３……フランジ、２４……挿入体、２５…
…ねじ、２８……ねじ、３０……ブレース、３２
……締付けナツト、３４……ねじ、３６……中ぐ
りねじ、３８…中ぐりねじ、１２０……正方形コ
ネクタ板、１２２……信号コネクタ保持板、１６
２……接地コネクタ、１７２……中央コネクタ、
１７２……中央コネクタ板、１８０……信号コネ
クタ、１８１……電力コネクタ、１８２……減結
合コネクタ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 導電性の板状保持部材１２０と、 この保持部材の貫通孔１２７に挿着される同軸
   ケーブル用コネクタ１８０と、 上記保持部材の孔部１６４に挿着される接地用
   コネクタ１６２とを有し、 同軸ケーブル１８３を一端で受け取り、他端が
   わの平面に配された信号線用端子１３６および接
   地用端子１６０に上記同軸ケーブルの信号線１４
   ２およびシールド線１４６をそれぞれ電気的に結
   合する同軸ケーブル用インターフエース装置にお
   いて、 上記同軸ケーブル用コネクタは、 一端が上記保持部材の貫通孔に電気的かつ機械
   的に結合された導電性の筒状の周囲部材１２８で
   あつて、その他端が上記保持部材の一面がわに突
   出し、その突端の開口から同軸ケーブルのコア部
   １４４の受け入れ、その突端の外周部にその同軸
   ケーブルのシールド線を延在させたものと、 上記シールド線を上記突端の外周部に圧接して
   保持する取付部材１５０と、 上記突端がわで上記同軸ケーブルのコア部の信
   号線１４２と一端を電気的に接続した導電性の筒
   状の第１のプローブ本体１３５、およびこのプロ
   ーブ本体内にその内周面に接しながらかつ上記保
   持部材の他方の面に突出偏倚させられる第１の導
   電性ピン部材１３６を具備するプローブ１３４
   と、 上記プローブと上記周囲部材１２８との間に配
   されて両者を機械的に一体に結合するとともに電
   気的に絶縁する筒状の絶縁部材１３２とを有し、 さらに上記接地用コネクタは、 上記保持部材の孔部に電気的かつ機械的に結合
   された導電性の筒状の第２のプローブ本体と、 上記プローブ本体内にその内周面に接しながら
   かつ上記保持部材の他方の面に突出偏倚される第
   ２の導電性ピン部材とを有するようにしたことを
   特徴とする同軸ケーブル用インタフエース装置。