JPS6337941B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6337941B2 JPS6337941B2 JP57086263A JP8626382A JPS6337941B2 JP S6337941 B2 JPS6337941 B2 JP S6337941B2 JP 57086263 A JP57086263 A JP 57086263A JP 8626382 A JP8626382 A JP 8626382A JP S6337941 B2 JPS6337941 B2 JP S6337941B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- sample
- horizontal
- moving
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 8
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 12
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は荷電粒子線装置を用いて定速度で移動
する試料の走査像を観察するための装置に関す
る。
する試料の走査像を観察するための装置に関す
る。
走査電子顕微鏡は電子線によつて走査される試
料領域を走査像としてブラウン管（CRT）の画
面に表示するものであるが、試料面上を走査する
電子線の振れ角を余り大きくすることは偏向歪の
増大等により困難なため、大型試料の観察には電
子線に対して試料を移動させることが必要とな
る。この試料移動を行う間は正常な走査像が表示
できなくなるので、大型試料面内における目的と
する視野を捜すためには、一定量試料を移動させ
る毎に試料を静止させてCRT画面の走査像を確
認するという操作を繰り返さなければならず、こ
の操作は大変厄介であつた。
料領域を走査像としてブラウン管（CRT）の画
面に表示するものであるが、試料面上を走査する
電子線の振れ角を余り大きくすることは偏向歪の
増大等により困難なため、大型試料の観察には電
子線に対して試料を移動させることが必要とな
る。この試料移動を行う間は正常な走査像が表示
できなくなるので、大型試料面内における目的と
する視野を捜すためには、一定量試料を移動させ
る毎に試料を静止させてCRT画面の走査像を確
認するという操作を繰り返さなければならず、こ
の操作は大変厄介であつた。
本発明はこのような欠点を解決して、試料移動
中においても鮮明な走査像を表示することを目的
としている。そのため本発明は、観察試料が設置
される基準面内の所定領域を荷電粒子線によつて
繰り返し走査偏向するための水平、垂直偏向手段
と、該偏向手段に供給される水平、垂直走査信号
と同期した走査信号が供給される走査像表示手段
と、該走査像表示手段における画面走査の周期を
Ｔとするとき、該周期Ｔ間における試料の移動距
離が任意の値Ｍとなるような一定速度で試料を荷
電粒子線の水平走査方向へ移動させる等速移動手
段と、荷電粒子線の水平走査の前記基準面内にお
ける開始位置が一画面の走査の間に前記距離Ｍだ
け水平走査方向に移動するように前記水平偏向手
段に供給される水平走査信号に前記速度M/Tに
比例した波高値を有し前記垂直走査信号に同期し
た鋸歯状波信号を加える手段を設けたことを特徴
としている。
中においても鮮明な走査像を表示することを目的
としている。そのため本発明は、観察試料が設置
される基準面内の所定領域を荷電粒子線によつて
繰り返し走査偏向するための水平、垂直偏向手段
と、該偏向手段に供給される水平、垂直走査信号
と同期した走査信号が供給される走査像表示手段
と、該走査像表示手段における画面走査の周期を
Ｔとするとき、該周期Ｔ間における試料の移動距
離が任意の値Ｍとなるような一定速度で試料を荷
電粒子線の水平走査方向へ移動させる等速移動手
段と、荷電粒子線の水平走査の前記基準面内にお
ける開始位置が一画面の走査の間に前記距離Ｍだ
け水平走査方向に移動するように前記水平偏向手
段に供給される水平走査信号に前記速度M/Tに
比例した波高値を有し前記垂直走査信号に同期し
た鋸歯状波信号を加える手段を設けたことを特徴
としている。
第１図は本発明の一実施例装置を示す略図であ
り、図中１は第２図ｂに示す鋸歯状の水平走査信
号と水平走査信号よりも数百倍長い周期Ｔ（sec）
を有する第２図ａに示す垂直走査信号を発生する
走査電源を示す。走査電源１の水平、垂直走査信
号の一部はブラウン管（CRT）２の水平偏向コ
イル２Ｘと垂直偏向コイル２Ｙに供給され、水平
幅Ｗ（mm）と垂直幅Ｖ（mm）のCRT画面がラスタ
走査される。走査電源１の出力走査信号は（水平
走査信号は加算回路３を介して）偏向コイル４
ｘ，４ｙにも供給されており、該偏向コイル４
ｘ，４ｙにより光軸Ｚに沿つて試料５を照射する
電子線が偏向され、試料面が配置される基準面に
おける所定の領域がラスタ走査される。試料５を
載置する試料移動装置６には、光軸Ｚに垂直な基
準面内で試料５を水平Ｈ、垂直Ｖ方向へ移動させ
る機構が設けてあり、手動操作とは別個に定速移
動を行うためのパルスモータ７Ｈ，７Ｖが取り付
けられている。ここで、試料移動の方向Ｈ，Ｖは
夫々基準面上における電子線走査の水平、垂直走
査方向ｘ，ｙと一致するように、偏向コイル４
ｘ，４ｙと試料移動装置との位置関係は予め調整
されているものとする。各パルスモータ７Ｈ，７
Ｖの駆動電源８Ｈ，８Ｖのうち８Ｈは、移動制御
回路９の出力によつて制御され、移動制御回路９
の出力は補正信号発生回路１０へも供給される。
補正信号発生回路１０は入力される速度信号、例
えばCRT画面走査の周期Ｔ（sec）当りＭ（mm）の
速度信号に応じて、その波高値が第２図ｃに示す
ように速度信号M/Tに比例した周期Ｔの鋸歯状
波信号を発生し、該信号を加算回路３へ供給す
る。その結果、電子線に対する偏向コイル４ｘへ
は第２図ｄに示すような波形を有する走査信号が
供給される。
り、図中１は第２図ｂに示す鋸歯状の水平走査信
号と水平走査信号よりも数百倍長い周期Ｔ（sec）
を有する第２図ａに示す垂直走査信号を発生する
走査電源を示す。走査電源１の水平、垂直走査信
号の一部はブラウン管（CRT）２の水平偏向コ
イル２Ｘと垂直偏向コイル２Ｙに供給され、水平
幅Ｗ（mm）と垂直幅Ｖ（mm）のCRT画面がラスタ
走査される。走査電源１の出力走査信号は（水平
走査信号は加算回路３を介して）偏向コイル４
ｘ，４ｙにも供給されており、該偏向コイル４
ｘ，４ｙにより光軸Ｚに沿つて試料５を照射する
電子線が偏向され、試料面が配置される基準面に
おける所定の領域がラスタ走査される。試料５を
載置する試料移動装置６には、光軸Ｚに垂直な基
準面内で試料５を水平Ｈ、垂直Ｖ方向へ移動させ
る機構が設けてあり、手動操作とは別個に定速移
動を行うためのパルスモータ７Ｈ，７Ｖが取り付
けられている。ここで、試料移動の方向Ｈ，Ｖは
夫々基準面上における電子線走査の水平、垂直走
査方向ｘ，ｙと一致するように、偏向コイル４
ｘ，４ｙと試料移動装置との位置関係は予め調整
されているものとする。各パルスモータ７Ｈ，７
Ｖの駆動電源８Ｈ，８Ｖのうち８Ｈは、移動制御
回路９の出力によつて制御され、移動制御回路９
の出力は補正信号発生回路１０へも供給される。
補正信号発生回路１０は入力される速度信号、例
えばCRT画面走査の周期Ｔ（sec）当りＭ（mm）の
速度信号に応じて、その波高値が第２図ｃに示す
ように速度信号M/Tに比例した周期Ｔの鋸歯状
波信号を発生し、該信号を加算回路３へ供給す
る。その結果、電子線に対する偏向コイル４ｘへ
は第２図ｄに示すような波形を有する走査信号が
供給される。
第３図は試料面が設置される基準面内における
試料５と電子線走査領域の関係を示すもので、破
線Ｓ１に囲われる領域は水平方向の幅ｗ（mm）と
垂直方向の幅ｖ（mm）の長さを有し、第２図ａ，
ｂに示す走査信号に基づき偏向が行なわれる際の
走査領域を示す。この状態では試料は静止状態に
あり、補正信号発生回路１０の出力は零となる。
この状態から移動制御回路９に試料５を紙面上で
左方向へM/T（Ｍ＝ｗ）の速度で移動させるよ
う指定操作を行なうと、試料５は第３図中例えば
矢印１１の方向へ等速で移動を始める。又、電子
線の偏向コイル４ｘへは第２図ａではなく第２図
ｄに示す走査信号が供給されるため、基準面内に
おける電子線走査領域は第３図中実線で囲われる
領域SOとなり、CRT画面の各走査毎に試料５に
おける領域S1、S2、…S6が切り換わつて表示さ
れることになる。このようにしてCRT画面に表
示される走査像は試料が静止しているのと同様に
鮮明でブレのないものとなるだけでなく、試料面
内における水平方向の帯状領域に関する視野を順
次切り換えて観察することができるので、大型試
料の概略を観察するのには極めて都合のよい表示
方法となる。
試料５と電子線走査領域の関係を示すもので、破
線Ｓ１に囲われる領域は水平方向の幅ｗ（mm）と
垂直方向の幅ｖ（mm）の長さを有し、第２図ａ，
ｂに示す走査信号に基づき偏向が行なわれる際の
走査領域を示す。この状態では試料は静止状態に
あり、補正信号発生回路１０の出力は零となる。
この状態から移動制御回路９に試料５を紙面上で
左方向へM/T（Ｍ＝ｗ）の速度で移動させるよ
う指定操作を行なうと、試料５は第３図中例えば
矢印１１の方向へ等速で移動を始める。又、電子
線の偏向コイル４ｘへは第２図ａではなく第２図
ｄに示す走査信号が供給されるため、基準面内に
おける電子線走査領域は第３図中実線で囲われる
領域SOとなり、CRT画面の各走査毎に試料５に
おける領域S1、S2、…S6が切り換わつて表示さ
れることになる。このようにしてCRT画面に表
示される走査像は試料が静止しているのと同様に
鮮明でブレのないものとなるだけでなく、試料面
内における水平方向の帯状領域に関する視野を順
次切り換えて観察することができるので、大型試
料の概略を観察するのには極めて都合のよい表示
方法となる。
ところで、試料移動の速度M/Tを大きくして
Ｍ＝ｗ＋ｄのように移動制御回路９を操作する
と、補正信号発生回路１０の出力は第２図ｅに示
すように波高値が大きくなり、偏向コイル４ｘへ
供給される水平走査信号の波形は第２図ｆのよう
になる。このときの基準面における電子線の走査
領域は第４図中SO′で示すものとなり、試料面内
の観察領域はS1′、S2′、S3′、…S6′のように各領
域に観察できない幅ｄの領域が生じる。逆に試料
移動の速度M/Tを小さくしてＭ＝ｗ−ｄのよう
に移動制御回路９を操作すると、基準面における
電子線操作領域は第５図中SO″となり、試料面上
の電子線操作領域はS1″、S2″、S3″、…S6″のよ
うになり、CRT画面に順次切り換つて表示され
る走査像の視野には互いに重複する領域が生じる
ようになる。
Ｍ＝ｗ＋ｄのように移動制御回路９を操作する
と、補正信号発生回路１０の出力は第２図ｅに示
すように波高値が大きくなり、偏向コイル４ｘへ
供給される水平走査信号の波形は第２図ｆのよう
になる。このときの基準面における電子線の走査
領域は第４図中SO′で示すものとなり、試料面内
の観察領域はS1′、S2′、S3′、…S6′のように各領
域に観察できない幅ｄの領域が生じる。逆に試料
移動の速度M/Tを小さくしてＭ＝ｗ−ｄのよう
に移動制御回路９を操作すると、基準面における
電子線操作領域は第５図中SO″となり、試料面上
の電子線操作領域はS1″、S2″、S3″、…S6″のよ
うになり、CRT画面に順次切り換つて表示され
る走査像の視野には互いに重複する領域が生じる
ようになる。
尚、本発明は以上に説明した実施例装置に限定
されるものではなく、例えば偏向コイル４ｘ，４
ｙと試料移動装置との調整が不完全であつたり、
基準面の位置が光軸Ｚ方向に変化したりすると、
基準面における電子線走査方向ｘ，ｙと試料移動
方向Ｈ，Ｖとが一致しなくなるので、偏向コイル
４ｘ，４ｙへ供給される走査信号に回転信号を加
える回転回路１２を第１図中の破線に示す箇所へ
挿入して走査方向ｘ，ｙと移動方向Ｈ，Ｖの関係
を調整するようにしてもよい。又、回転回路１２
の代りに第１図中１３の破線に示す箇所に回転回
路１３を挿入し、駆動回路８Ｈの出力に対してパ
ルスモータ７Ｈだけでなくパルスモータ７Ｖへも
駆動信号を与えてパルスモータ７Ｈ，７Ｖを夫々
一定の割合で駆動させるようにすれば、試料移動
の方向Ｈ，Ｖを任意に回転させることができるの
で、回転回路１３の調整によつて基準面における
走査方向ｘ，ｙと移動方向Ｈ，Ｖを一致させるこ
とが可能である。
されるものではなく、例えば偏向コイル４ｘ，４
ｙと試料移動装置との調整が不完全であつたり、
基準面の位置が光軸Ｚ方向に変化したりすると、
基準面における電子線走査方向ｘ，ｙと試料移動
方向Ｈ，Ｖとが一致しなくなるので、偏向コイル
４ｘ，４ｙへ供給される走査信号に回転信号を加
える回転回路１２を第１図中の破線に示す箇所へ
挿入して走査方向ｘ，ｙと移動方向Ｈ，Ｖの関係
を調整するようにしてもよい。又、回転回路１２
の代りに第１図中１３の破線に示す箇所に回転回
路１３を挿入し、駆動回路８Ｈの出力に対してパ
ルスモータ７Ｈだけでなくパルスモータ７Ｖへも
駆動信号を与えてパルスモータ７Ｈ，７Ｖを夫々
一定の割合で駆動させるようにすれば、試料移動
の方向Ｈ，Ｖを任意に回転させることができるの
で、回転回路１３の調整によつて基準面における
走査方向ｘ，ｙと移動方向Ｈ，Ｖを一致させるこ
とが可能である。
以上に説明したように、本発明においては走査
電子顕微鏡やイオン走査顕微鏡の如く荷電粒子線
による試料走査によつて走査像を表示する装置を
用いて定速度で移動する試料に関する静止走査像
が観察可能となるので、大型試料の視野捜しの操
作が容易になる等の効果が得られる。
電子顕微鏡やイオン走査顕微鏡の如く荷電粒子線
による試料走査によつて走査像を表示する装置を
用いて定速度で移動する試料に関する静止走査像
が観察可能となるので、大型試料の視野捜しの操
作が容易になる等の効果が得られる。
第１図は本発明の一実施例装置を示す略図、第
２図乃至第５図は第１図の装置の動作を説明する
ための略図である。 １：走査電子源、２：CRT、３：加算回路、
５：試料、６：試料移動装置、７Ｈ，７Ｖ：パル
スモータ、８Ｈ，８Ｖ：駆動電源、９：移動制御
回路、１０：補正信号発生回路、１２，１３：回
転回路。
２図乃至第５図は第１図の装置の動作を説明する
ための略図である。 １：走査電子源、２：CRT、３：加算回路、
５：試料、６：試料移動装置、７Ｈ，７Ｖ：パル
スモータ、８Ｈ，８Ｖ：駆動電源、９：移動制御
回路、１０：補正信号発生回路、１２，１３：回
転回路。
Claims (1)
- １ 観察試料が設置される基準面内の所定領域を
荷電粒子線によつて繰り返し走査偏向するための
水平、垂直偏向手段と、該偏向手段に供給される
水平、垂直走査信号と同期した走査信号が供給さ
れる走査像表示手段と、該走査像表示手段におけ
る画面走査の周期をＴとするとき、該周期Ｔ間に
おける試料の移動距離が任意の値Ｍとなるような
一定速度で試料を荷電粒子線の水平走査方向へ移
動させる等速移動手段と、荷電粒子線の水平走査
の前記基準面内における開始位置が一画面の走査
の間に前記距離Ｍだけ水平走査方向に移動するよ
うに前記水平偏向手段に供給される水平走査信号
に前記速度M/Tに比例した波高値を有し前記垂
直走査信号に同期した鋸歯状波信号を加える手段
を設けたことを特徴とする移動試料観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57086263A JPS58204455A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | 移動試料観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57086263A JPS58204455A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | 移動試料観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58204455A JPS58204455A (ja) | 1983-11-29 |
| JPS6337941B2 true JPS6337941B2 (ja) | 1988-07-27 |
Family
ID=13881926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57086263A Granted JPS58204455A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | 移動試料観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58204455A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002270128A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-20 | Seiko Instruments Inc | 集束イオンビーム装置およびそれを用いた加工方法 |
-
1982
- 1982-05-20 JP JP57086263A patent/JPS58204455A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58204455A (ja) | 1983-11-29 |
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