JPS6338643B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6338643B2 JPS6338643B2 JP10821683A JP10821683A JPS6338643B2 JP S6338643 B2 JPS6338643 B2 JP S6338643B2 JP 10821683 A JP10821683 A JP 10821683A JP 10821683 A JP10821683 A JP 10821683A JP S6338643 B2 JPS6338643 B2 JP S6338643B2
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- JP
- Japan
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- tape
- aluminum layer
- light
- composite metal
- nickel alloy
- Prior art date
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- Expired
Links
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 30
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 17
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims description 15
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置又は集積回路のリードフレ
ーム用に使用される複合金属テープの偏位測定方
法の改良に関する。
ーム用に使用される複合金属テープの偏位測定方
法の改良に関する。
複合金属テープは、第１図および第２図に示す
如く、ニツケル合金テープ１の片側の表面の一部
（例えば巾の中央の一部）に薄いテープ状アルミ
ニウム層（テープ）２をロール圧接により被覆し
たテープであり、被覆されたアルミニウム層２が
ニツケル合金テープ１上の正しい位置にあるかど
うかを非接触で検査する場合、重要なことは、ニ
ツケル合金テープ１にロール圧接されたアルミニ
ウム層２との境界部分のコントラストの比を大き
くして精度良くアルミニウム層のエツジを検出す
ることである。
如く、ニツケル合金テープ１の片側の表面の一部
（例えば巾の中央の一部）に薄いテープ状アルミ
ニウム層（テープ）２をロール圧接により被覆し
たテープであり、被覆されたアルミニウム層２が
ニツケル合金テープ１上の正しい位置にあるかど
うかを非接触で検査する場合、重要なことは、ニ
ツケル合金テープ１にロール圧接されたアルミニ
ウム層２との境界部分のコントラストの比を大き
くして精度良くアルミニウム層のエツジを検出す
ることである。
この検出方法として、イメージセンサーを用
い、金属の表面反射率の差を利用することが考え
られるが、光をテープの長手方向の上方よりテー
プ表面に照射して反射する通常の方法では、コン
トラスト比が0.1〜0.15程度しか得られないため、
金属表面のゴミ、傷等の影響により安定してアル
ミニウム層２のエツジを検出することができない
欠点がある。
い、金属の表面反射率の差を利用することが考え
られるが、光をテープの長手方向の上方よりテー
プ表面に照射して反射する通常の方法では、コン
トラスト比が0.1〜0.15程度しか得られないため、
金属表面のゴミ、傷等の影響により安定してアル
ミニウム層２のエツジを検出することができない
欠点がある。
本発明は上述の欠点を解消するもので、光の照
射装置を改善することにより、ニツケル合金とア
ルミニウムの表面反射率の差を利用して、アルミ
ニウム層のエツジ部のコントラスト比を大きくし
て、精度良くニツケル合金テープ上のアルミニウ
ム層の偏位を測定する方法を提供せんとするもの
である。
射装置を改善することにより、ニツケル合金とア
ルミニウムの表面反射率の差を利用して、アルミ
ニウム層のエツジ部のコントラスト比を大きくし
て、精度良くニツケル合金テープ上のアルミニウ
ム層の偏位を測定する方法を提供せんとするもの
である。
本願発明は上記ニツケル合金テープの表面の一
部にテープ状アルミニウム層を長手方向に圧接被
覆した複合金属テープの該長手方向に垂直な方向
で、かつ該テープの表面に対し約30゜の斜上方よ
り該表面を光で照射するとともに、照射した該表
面の上方に設けたイメージセンサーによつて上記
アルミニウム層の偏位を測定することを特徴とす
る複合金属テープの偏位測定方法である。
部にテープ状アルミニウム層を長手方向に圧接被
覆した複合金属テープの該長手方向に垂直な方向
で、かつ該テープの表面に対し約30゜の斜上方よ
り該表面を光で照射するとともに、照射した該表
面の上方に設けたイメージセンサーによつて上記
アルミニウム層の偏位を測定することを特徴とす
る複合金属テープの偏位測定方法である。
以下本発明を図面を用いて説明する。
複合金属テープは、前述の如く第１図および第
２図に示す構造を有し、例えば巾20〜40mmのニツ
ケル合金テープ１の上に非常に薄いアルミニウム
テープ２をロール圧接して製造する。そのため、
テープ１とテープ２の断差は殆んどない。
２図に示す構造を有し、例えば巾20〜40mmのニツ
ケル合金テープ１の上に非常に薄いアルミニウム
テープ２をロール圧接して製造する。そのため、
テープ１とテープ２の断差は殆んどない。
しかし圧接する際、ロールでテープ１と２を強
く押しつけるため、ロールマーク（ロールの研磨
目）が表面に転写され、テープ１と２の硬さが異
なるため、より軟かいアルミニウムテープ２上へ
の転写マークがきつい。
く押しつけるため、ロールマーク（ロールの研磨
目）が表面に転写され、テープ１と２の硬さが異
なるため、より軟かいアルミニウムテープ２上へ
の転写マークがきつい。
このためニツケル合金テープ１とアルミニウム
テープ２の反射率が異なり、複合金属テープの表
面に光を照射した時、夫々の反射光分布が異な
る。
テープ２の反射率が異なり、複合金属テープの表
面に光を照射した時、夫々の反射光分布が異な
る。
第３図はテープの表面に対し30゜の斜上方より
表面の０点を照射した場合の夫々ニツケル合金テ
ープおよびアルミニウムテープにおける光反射分
布特性を示す図である。図において横軸はテープ
の巾方向を示し、縦軸は反射光量を示す。曲線３
および４は夫々ニツケル合金テープ１およびアル
ミニウムテープ２の光反射分布特性を示す。
表面の０点を照射した場合の夫々ニツケル合金テ
ープおよびアルミニウムテープにおける光反射分
布特性を示す図である。図において横軸はテープ
の巾方向を示し、縦軸は反射光量を示す。曲線３
および４は夫々ニツケル合金テープ１およびアル
ミニウムテープ２の光反射分布特性を示す。
この図より、テープの光照射点０直上では、ニ
ツケル合金テープ１による反射光は無く、アルミ
ニウムテープ２のみによる反射光がある。これ
は、テープ１は表面が滑らかであるため正反射分
布が多いが、テープ２の表面には凹凸が多いため
乱反射成分が多いためである。
ツケル合金テープ１による反射光は無く、アルミ
ニウムテープ２のみによる反射光がある。これ
は、テープ１は表面が滑らかであるため正反射分
布が多いが、テープ２の表面には凹凸が多いため
乱反射成分が多いためである。
従つてカメラ又はイメージセンサーを０点上方
に配置して、パターンを取らせると、テープ１か
らの反射光は殆んどカメラ又はイメージセンサー
に入らないため、テープ１上のテープ２のエツジ
のコントラストが向上し、アルミニウムテープ２
の偏位を精度良く測定することができる。
に配置して、パターンを取らせると、テープ１か
らの反射光は殆んどカメラ又はイメージセンサー
に入らないため、テープ１上のテープ２のエツジ
のコントラストが向上し、アルミニウムテープ２
の偏位を精度良く測定することができる。
この場合、光のテープ表面に対する角度は30゜
が最良であるが、実用上±5゜が許容され、上述と
同様の測定精度が得られる。本発明において、
「約30゜」とは30゜±5゜を意味する。
が最良であるが、実用上±5゜が許容され、上述と
同様の測定精度が得られる。本発明において、
「約30゜」とは30゜±5゜を意味する。
第４図は本発明の実施例を示す断面図である。
図において、５は第１図に示した複合金属テー
プで、連続的に送られ、走行している。本発明装
置は、複合金属テープ５の長手方向に垂直な方法
で、かつテープ５の表面に対し約30゜の斜上方よ
り該表面のアルミニウムテープ２の両エツジを含
む部分に光を照射する光源６を有し、テープ２の
中心付近の上方にはテープ５からの反射光を検出
するイメージセンサー７を配置したものである。
プで、連続的に送られ、走行している。本発明装
置は、複合金属テープ５の長手方向に垂直な方法
で、かつテープ５の表面に対し約30゜の斜上方よ
り該表面のアルミニウムテープ２の両エツジを含
む部分に光を照射する光源６を有し、テープ２の
中心付近の上方にはテープ５からの反射光を検出
するイメージセンサー７を配置したものである。
かような装置により、例えば巾20〜40mmのニツ
ケル合金テープ１上に巾約４〜10mmのアルミニウ
ムテープ２を圧接した複合金属テープのアルミニ
ウム層の偏位を測定した結果、±0.03mmの精度で
測定することができて非常に正確である。
ケル合金テープ１上に巾約４〜10mmのアルミニウ
ムテープ２を圧接した複合金属テープのアルミニ
ウム層の偏位を測定した結果、±0.03mmの精度で
測定することができて非常に正確である。
以上述べたように、本発明は複合金属テープの
長手方向に垂直な方向で、かつ該テープの表面に
対し約30゜の斜上方より該表面を光で照射すると
ともに、照射した該表面の上方に設けたイメージ
センサーによつて上記複合金属テープのアルミニ
ウム層の偏位を測定するものであるから、ニツケ
ル合金とアルミニウムの反射分布特性の差を利用
して殆んどアルミニウム層表面からの反射光のみ
をイメージセンサーで検出し、アルミニウム層の
エツジ部のコントラスト比を向上するので、アル
ミニウム層の偏位を精度良く測定することができ
る効果がある。
長手方向に垂直な方向で、かつ該テープの表面に
対し約30゜の斜上方より該表面を光で照射すると
ともに、照射した該表面の上方に設けたイメージ
センサーによつて上記複合金属テープのアルミニ
ウム層の偏位を測定するものであるから、ニツケ
ル合金とアルミニウムの反射分布特性の差を利用
して殆んどアルミニウム層表面からの反射光のみ
をイメージセンサーで検出し、アルミニウム層の
エツジ部のコントラスト比を向上するので、アル
ミニウム層の偏位を精度良く測定することができ
る効果がある。
第１図および第２図は複合金属テープを示す図
で、夫々正面図、断面図である。第３図はテープ
の表面に対し30゜の斜上方より光を照射した場合
の光反射分布特性を示す図である。第４図は本発
明の測定方法の実施例を示す断面図である。 １……ニツケル合金テープ、２……アルミニウ
ム層（テープ）、３……ニツケル合金テープの光
反射特性、４……アルミニウムテープの光反射特
性、５……複合金属テープ、６……光源、７……
イメージセンサー。
で、夫々正面図、断面図である。第３図はテープ
の表面に対し30゜の斜上方より光を照射した場合
の光反射分布特性を示す図である。第４図は本発
明の測定方法の実施例を示す断面図である。 １……ニツケル合金テープ、２……アルミニウ
ム層（テープ）、３……ニツケル合金テープの光
反射特性、４……アルミニウムテープの光反射特
性、５……複合金属テープ、６……光源、７……
イメージセンサー。
Claims (1)
- １ ニツケル合金テープの表面の一部にテープ状
アルミニウム層を長手方向に圧縮被覆した複合金
属テープの該長手方向に垂直な方向で、かつ該テ
ープの表面に対し約30゜の斜上方より前記アルミ
ニウム層の両エツジを含む表面を光で照射すると
ともに、照射した該表面の上方に設けたイメージ
センサーによつて上記アルミニウム層の偏位を測
定することを特徴とする複合金属テープの偏位測
定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10821683A JPS5999205A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 複合金属テ−プの偏位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10821683A JPS5999205A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 複合金属テ−プの偏位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5999205A JPS5999205A (ja) | 1984-06-07 |
| JPS6338643B2 true JPS6338643B2 (ja) | 1988-08-01 |
Family
ID=14478969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10821683A Granted JPS5999205A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 複合金属テ−プの偏位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5999205A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61243303A (ja) * | 1985-04-22 | 1986-10-29 | Hitachi Denshi Ltd | 実装基板の外観検査方式 |
| JPH0782377B2 (ja) * | 1987-01-27 | 1995-09-06 | 三菱電機株式会社 | 数値制御装置 |
| EP0685761A1 (en) * | 1994-05-31 | 1995-12-06 | Eastman Kodak Company | Precision center guiding of a web coated with light sensitive photographic emulsion |
-
1983
- 1983-06-16 JP JP10821683A patent/JPS5999205A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5999205A (ja) | 1984-06-07 |
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