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JPS634355B2 - - Google Patents
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JPS634355B2 - - Google Patents

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JPS634355B2
JPS634355B2 JP55054144A JP5414480A JPS634355B2 JP S634355 B2 JPS634355 B2 JP S634355B2 JP 55054144 A JP55054144 A JP 55054144A JP 5414480 A JP5414480 A JP 5414480A JP S634355 B2 JPS634355 B2 JP S634355B2
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JP
Japan
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lead frame
lead
semiconductor
series
frame
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JP55054144A
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JPS56150843A (en
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Koji Nose
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W70/00Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
    • H10W70/01Manufacture or treatment
    • H10W70/04Manufacture or treatment of leadframes
    • H10W70/048Mechanical treatments, e.g. punching, cutting, deforming or cold welding
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/851Dispositions of multiple connectors or interconnections
    • H10W72/874On different surfaces
    • H10W72/884Die-attach connectors and bond wires

Landscapes

  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Die Bonding (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はリードフレームに関するものである。[Detailed description of the invention] The present invention relates to lead frames.

一般に、トランジスタや集積回路(IC)の如
き半導体製品を組み立てる場合には、所望のパタ
ーンケミカルエツチやプレス加工によつて打ち抜
いて整形した金属リボン状のリードフレームを形
成し、そのリードフレーム上に連続的に組み立て
る方式がとられている。
Generally, when assembling semiconductor products such as transistors and integrated circuits (ICs), a metal ribbon-shaped lead frame is formed by punching and shaping the desired pattern by chemical etching or press processing, and a continuous line is placed on the lead frame. A method of assembling is used.

このようなリードフレームの一例としては、た
とえば第1図に示すような構造のものが考えられ
る。
An example of such a lead frame is one having a structure as shown in FIG. 1, for example.

ところが、このリードフレーム構造において
は、リードフレームの各フレームユニツトは電気
的接続用のリード部1(本例では簡略化のために
アウターリードは省略し、インナーリードのみを
示)、半導体チツプであるペレツトを取り付ける
ためのペレツトマウント部を構成するタブ2、こ
のタブ2を機械的に支持するタブ吊り用リード3
を有し、各リード部1を図示しないワイヤでペレ
ツトと電気的に接続しており、このようなリード
フレームユニツト連部はたとえば第1図の如く5
コマ分を長さ方向に1列に同時形成される。すな
わち、このリードフレームは1連形の構造であ
る。
However, in this lead frame structure, each frame unit of the lead frame includes a lead part 1 for electrical connection (in this example, the outer leads are omitted for simplicity and only the inner leads are shown), and a semiconductor chip. A tab 2 that constitutes a pellet mount section for attaching pellets, and a tab hanging lead 3 that mechanically supports this tab 2.
Each lead part 1 is electrically connected to the pellet by a wire (not shown), and such a lead frame unit connected part has, for example, 5 parts as shown in FIG.
The frames are simultaneously formed in one row in the length direction. That is, this lead frame has a single-strand structure.

そのため、このようなリードフレームを用いて
半導体製品の組立を行う場合、作業能力は1連の
フレーム構造により制限されてしまうことにな
り、特に組立工程は他の工程と比較しても最も作
業速度が遅いので、生産能力がこの組立工程で決
められることは極めて非能率的なものとなつてし
まう。
Therefore, when assembling semiconductor products using such lead frames, the working capacity is limited by the single frame structure, and the assembly process in particular has the highest working speed compared to other processes. Since the assembly process is slow, it would be extremely inefficient to determine the production capacity by this assembly process.

そこで、作業能力の向上のため、1連のリード
フレーム毎に1台の装置を用意し、並列的に組立
作業を行うことも提案しうるが、この場合には、
複数台の装置を必要とするので、設備費が非常に
高価になる等の問題が生じ、根本的な解決策とは
ならない。
Therefore, in order to improve the work capacity, it may be proposed to prepare one device for each series of lead frames and perform assembly work in parallel, but in this case,
Since multiple devices are required, problems such as extremely high equipment costs arise, and this is not a fundamental solution.

本発明は前記した諸問題を一挙に解決するため
になされたもので、低い設備費で良好な生産性を
得ることを目的とするものである。
The present invention was made in order to solve the above-mentioned problems all at once, and its purpose is to obtain good productivity with low equipment costs.

この目的を達成するため、本発明は、一枚の金
属板を所望のパターンに整形して成るリードフレ
ームの状態で、多数の半導体ペレツトを固定し、
固定された各半導体ペレツトの電極部をリードフ
レームのリード部に電気的接続し、かつ各半導体
ペレツトについてパツケージングするための半導
体製品組立用リードフレームであつて、該リード
フレームは、各半導体ペレツトを固定するための
タブと該タブに固定されるべき半導体ペレツトの
電極を電気的接続するためのリード部とから成る
リードフレームユニツトの複数個が直列に形成さ
れたリードフレームユニツト連部を具備し、該リ
ードフレームユニツト連部が複数並列に一体形成
されて成ることを特徴とする。
In order to achieve this object, the present invention fixes a large number of semiconductor pellets in a lead frame formed by shaping a single metal plate into a desired pattern.
A lead frame for assembling semiconductor products for electrically connecting the electrode portion of each fixed semiconductor pellet to the lead portion of a lead frame and packaging each semiconductor pellet. A plurality of lead frame units each including a tab for fixing and a lead part for electrically connecting an electrode of a semiconductor pellet to be fixed to the tab are formed in series, The lead frame unit is characterized in that a plurality of continuous parts are integrally formed in parallel.

以下、本発明を図面に示す実施例にしたがつて
さらに説明する。
The present invention will be further described below with reference to embodiments shown in the drawings.

第2図は本発明によるリードフレームの一実施
例を示す平面図である。
FIG. 2 is a plan view showing an embodiment of a lead frame according to the present invention.

第2図から明らかなように、フレームユニツト
連部を2連に構成した例であり、第1のフレーム
連(ユニツト連部)10Aと第2のフレーム連
(ユニツト連部)10Bとが長手方向に2列状に
一体的に打ち抜いて形成されている。各フレーム
連10A,10Bは本例では5コマ分のフレーム
ユニツトにより構成され、各フレームユニツトは
それぞれリード部11A,11B、ペレツト取付
用のタブ12A,12B、各タブ12A,12B
を機械的に支持するタブ吊り用リード13A,1
3Bを有し、各タブ12A,12B上に取り付け
られるペレツトの電極部は図示しないワイヤで各
リード部11A,11Bと電気的に接続される。
As is clear from FIG. 2, this is an example in which the frame unit series is configured into two series, and the first frame series (unit series) 10A and the second frame series (unit series) 10B are arranged in the longitudinal direction. It is formed by integrally punching out two rows. In this example, each frame series 10A, 10B is composed of frame units for 5 frames, and each frame unit includes lead parts 11A, 11B, tabs 12A, 12B for attaching pellets, and tabs 12A, 12B.
Tab hanging leads 13A, 1 that mechanically support the
3B, and the electrode portion of the pellet attached to each tab 12A, 12B is electrically connected to each lead portion 11A, 11B by a wire (not shown).

したがつて、本実施例のリードフレームを用い
ると、リードフレームの構成材料は通常のまま
で、単に1台の装置の一部、たとえばレジンモー
ルドの場合の金型や組立装置のヘツド部を部分変
更するだけで第1図の例に比して2倍の作業能力
を得ることができる。すなわち、第2図の如く2
連に形成されたリードフレームを用いて半導体装
置を製造する場合、ダイボンデイングによりタブ
12A,12B上にペレツトを取り付けた後、該
ペレツトの各電極部と各リード部11A,11B
をワイヤボンデイングによりワイヤで電気的に接
続し、さらにそのリードフレームをたとえばレジ
ンモールド方式等でパツケージングし、それを
個々のパツケージに切断および成形して半導体装
置を作るのであるが、これらの諸作業は装置の一
部のみの部分変更により1連のリードフレームの
2倍の作業能力で実施できる。
Therefore, when the lead frame of this embodiment is used, the constituent materials of the lead frame remain as usual, and only a part of one device, such as a mold in the case of a resin mold or a head part of an assembly device, can be used as a part. By simply making changes, it is possible to obtain twice the working capacity compared to the example shown in FIG. In other words, as shown in Figure 2, 2
When manufacturing a semiconductor device using a continuous lead frame, after attaching a pellet to the tabs 12A, 12B by die bonding, each electrode portion of the pellet and each lead portion 11A, 11B are attached.
are electrically connected with wires using wire bonding, the lead frame is packaged using a resin molding method, etc., and the semiconductor device is manufactured by cutting and molding the lead frame into individual packages. can be carried out with twice the working capacity of a series of lead frames by changing only a part of the equipment.

たとえば、ダイボンデイングにより前記2連の
リードフレーム(ユニツト連部)のタブ12A,
12B上にペレツトを取り付ける作業について第
3図に基づいて説明すると、同図に示すようにペ
レツト取付用のコレツトは各タブ12A,12B
に合せて2連コレツト構造とされている。すなわ
ち、この2連コレツトは第1のコレツト14Aと
第2のコレツト14Bとからなり、各コレツト1
4A,14Bはそれぞれタブ12A,12Bに取
り付けるためのペレツト15A,15Bを保持し
ている。各コレツト14Aと14Bとの間の距離
lはフレーム連10A,10Bのタブ12A,1
2Bのピツチと適合するよう選択されている。
For example, by die bonding, the tabs 12A of the two series of lead frames (unit series),
The work of attaching the pellets onto the pellets 12B will be explained based on FIG.
It has a double collet structure to match. That is, this double series consists of a first collect 14A and a second collect 14B, and each collect 1
4A and 14B hold pellets 15A and 15B for attachment to tabs 12A and 12B, respectively. The distance l between each collet 14A and 14B is the same as the distance l between the tabs 12A and 1 of the frame series 10A and 10B.
It is selected to match the pitch of 2B.

したがつて、第3図の例においては、2個のペ
レツト15A,15Bを2連コレツト構造のコレ
ツト14A,14Bによりそれぞれのタブ12
A,12Bに対して同時に取り付けることがで
き、1連のコレツト構造に比して1回分のペレツ
ト取付時間で2倍のダイボンデイング能力を得る
ことができる。
Therefore, in the example shown in FIG. 3, the two pellets 15A and 15B are collected by the respective tabs 12 by the collets 14A and 14B of the double collet structure.
It is possible to attach pellets A and 12B at the same time, and double the die bonding capacity can be obtained in one pellet attaching time compared to a single pellet structure.

また、ワイヤボンデイングにより各リード部1
1A,11Bをペレツト15A,15Bの各電極
部に接続する場合にも、ワイヤボンデイングマシ
ンのヘツドと位置記憶部を2連構造とすることに
より、2連のフレーム連(ユニツト連部)10
A,10Bの両方に対して同時にワイヤボンデイ
ングすることができる。
In addition, each lead part 1 is
1A and 11B to each electrode part of the pellets 15A and 15B, the wire bonding machine head and the position memory part have a double structure, so that two frame chains (unit chain parts) 10 can be connected.
Wire bonding can be performed on both A and 10B at the same time.

同様にして、レジンモールドの如きパツケージ
ングやパツケージの切断成形についても金型等を
2連構造とすることにより2倍の作業能力を得る
ことが可能である。
Similarly, for packaging such as resin molding and cutting and molding of packages, it is possible to double the working capacity by using a dual structure of molds and the like.

なお、前記実施例では2連のリードフレーム構
造について説明したが、本発明は2連に限らず、
3連以上の複数連構造として実施することがで
き、その場合、リードフレームの連数に合せて装
置の一部をたとえば3連のコレツト構造の如く部
分変更すればよく、またフレームユニツト連部は
必ずしも5コマ分でなくてもよい。
In addition, although the above-mentioned example explained the lead frame structure of two series, the present invention is not limited to two series,
It can be implemented as a multi-unit structure with three or more units, in which case a part of the device may be partially modified, such as a three-unit collect structure, in accordance with the number of lead frames, and the frame unit connection part may be It does not necessarily have to be for 5 frames.

さらに、本発明のリードフレームは図示の例に
限定されず、また各種のリードフレームを用いる
様々な半導体装置に適用できる。
Furthermore, the lead frame of the present invention is not limited to the illustrated example, and can be applied to various semiconductor devices using various lead frames.

以上説明したように、本発明によれば、半導体
装置の生産性を大幅に向上させると共に、設備費
を著しく低減させることができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to significantly improve the productivity of semiconductor devices and to significantly reduce equipment costs.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は1連のリードフレーム構造を示す略平
面図、第2図は本発明の一実施例による2連リー
ドフレーム構造を示す略平面図、第3図は第2図
のリードフレームに対してダイボンデイングを施
こす状態を示す略断面図である。 10A,10B……フレーム連、11A,11
B……リード部、12A,12B……タブ、14
A,14B……コレツト、15A,15B……ペ
レツト。
FIG. 1 is a schematic plan view showing a single lead frame structure, FIG. 2 is a schematic plan view showing a double lead frame structure according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a schematic plan view showing the lead frame structure of FIG. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a state in which die bonding is performed. 10A, 10B...Frame connection, 11A, 11
B...Lead part, 12A, 12B...Tab, 14
A, 14B...collect, 15A, 15B...pellet.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 一枚の金属板を所望のパターンに整形して成
るリードフレームの状態で、多数の半導体ペレツ
トを固定し、固定された各半導体ペレツトの電極
部をリードフレームのリード部に電気的接続し、
かつ各半導体ペレツトについてパツケージングす
るための半導体製品組立用リードフレームであつ
て、該リードフレームは、各半導体ペレツトを固
定するためのタブと該タブに固定されるべき半導
体ペレツトの電極を電気的接続するためのリード
部とから成るリードフレームユニツトの複数個が
直列に形成されたリードフレームユニツト連部を
具備し、該リードフレームユニツト連部が複数並
列に一体形成されて成ることを特徴とするリード
フレーム。
1 Fixing a large number of semiconductor pellets in a lead frame formed by shaping a single metal plate into a desired pattern, electrically connecting the electrode part of each fixed semiconductor pellet to the lead part of the lead frame,
and a lead frame for assembling semiconductor products for packaging each semiconductor pellet, the lead frame electrically connecting tabs for fixing each semiconductor pellet and electrodes of the semiconductor pellet to be fixed to the tabs. A lead comprising a plurality of lead frame unit connecting parts formed in series, and a plurality of the lead frame unit connecting parts being integrally formed in parallel. flame.
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