JPS6346482B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6346482B2 JPS6346482B2 JP54151062A JP15106279A JPS6346482B2 JP S6346482 B2 JPS6346482 B2 JP S6346482B2 JP 54151062 A JP54151062 A JP 54151062A JP 15106279 A JP15106279 A JP 15106279A JP S6346482 B2 JPS6346482 B2 JP S6346482B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- block
- core
- atmosphere
- track
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は強磁性体酸化物を磁心とした磁気ヘツ
ドの製造方法に関するものであり、特に記録の高
密度化に伴う磁気ヘツドの狭トラツク化における
加工の際の加工歪を除去し、高性能の狭トラツク
磁気ヘツドの製造方法を提供することを目的とし
たものである。
ドの製造方法に関するものであり、特に記録の高
密度化に伴う磁気ヘツドの狭トラツク化における
加工の際の加工歪を除去し、高性能の狭トラツク
磁気ヘツドの製造方法を提供することを目的とし
たものである。
従来、強磁性体酸化物を磁心とする磁気ヘツド
の製造方法においては、素材を切断、研削して直
方体ブロツクに成形したのち、上記直方体ブロツ
クの長手方向と直交する方向に所定幅のトラツク
を形成すべく一定間隔のノツチ溝を形成し、その
後上記ノツチ溝にガラス等の非磁性充填物を充填
し、空隙形成面を研削、研削した後、所定厚の非
磁性体よりなるスペーサを介して対向コアブロツ
クと突合せ、ガラス等で固定することによりギヤ
ツプドバーを形成する方法が一般的である。上記
一連の工程の中で、トラツク部を形成する溝加工
は砥石加工によるのが一般的である。しかし、最
近の記録密度の向上は著るしく、従つて磁気ヘツ
ドに要求されるトラツク幅は年々小さくなり、現
在では30μｍ程度のものが実用化されており、更
に将来的にはもつと狭いものが要求されている。
一般にフエライトのような硬脆材料は機械的にも
ろい性質を有しており、研削、切断といつた加工
に対し、その表面層にはかなり深いクラツク層及
び加工変質層を形成し、磁気特性が大きく劣化す
る。第１図にMn−Znフエライトをリング状に切
断した場合の透磁率の周波数特性を示してある
が、リングの厚みを50μｍで切断した場合は200μ
ｍで切断した場合に較べて10MHz以下のほぼ全域
で大きく劣化している。リングの厚みが50μｍ以
下になれば更に透磁率が劣化することは容易に相
像される。厚みが薄くなればなる程フエライトに
加わる応力大きくなり、クラツクは増長し、表面
の加工変質層による影響が大きくなる。更に一般
に耐摩耗性向上の為、上記ノツチ溝はガラス等で
充填するのが普通であるが、前述のようなクラツ
クの存在及び加工変質層の存在は溶融したガラス
による浸透、浸食を助長し、更にフエライトコア
の磁気特性を劣化させる。又、厚みが厚い場合は
溝加工後のエツチング等の除歪効果が磁気特性回
復の為に有効であるが、厚みが薄くなるとクラツ
クによる浸食が無視できなくなり有効な手段とは
ならなくなる。このように極めて狭トラツクの磁
気ヘツドを製造しようとする場合、現状のフエラ
イト−砥石工という組合せでは性能の良好な磁気
ヘツドを製造する事は困難である。
の製造方法においては、素材を切断、研削して直
方体ブロツクに成形したのち、上記直方体ブロツ
クの長手方向と直交する方向に所定幅のトラツク
を形成すべく一定間隔のノツチ溝を形成し、その
後上記ノツチ溝にガラス等の非磁性充填物を充填
し、空隙形成面を研削、研削した後、所定厚の非
磁性体よりなるスペーサを介して対向コアブロツ
クと突合せ、ガラス等で固定することによりギヤ
ツプドバーを形成する方法が一般的である。上記
一連の工程の中で、トラツク部を形成する溝加工
は砥石加工によるのが一般的である。しかし、最
近の記録密度の向上は著るしく、従つて磁気ヘツ
ドに要求されるトラツク幅は年々小さくなり、現
在では30μｍ程度のものが実用化されており、更
に将来的にはもつと狭いものが要求されている。
一般にフエライトのような硬脆材料は機械的にも
ろい性質を有しており、研削、切断といつた加工
に対し、その表面層にはかなり深いクラツク層及
び加工変質層を形成し、磁気特性が大きく劣化す
る。第１図にMn−Znフエライトをリング状に切
断した場合の透磁率の周波数特性を示してある
が、リングの厚みを50μｍで切断した場合は200μ
ｍで切断した場合に較べて10MHz以下のほぼ全域
で大きく劣化している。リングの厚みが50μｍ以
下になれば更に透磁率が劣化することは容易に相
像される。厚みが薄くなればなる程フエライトに
加わる応力大きくなり、クラツクは増長し、表面
の加工変質層による影響が大きくなる。更に一般
に耐摩耗性向上の為、上記ノツチ溝はガラス等で
充填するのが普通であるが、前述のようなクラツ
クの存在及び加工変質層の存在は溶融したガラス
による浸透、浸食を助長し、更にフエライトコア
の磁気特性を劣化させる。又、厚みが厚い場合は
溝加工後のエツチング等の除歪効果が磁気特性回
復の為に有効であるが、厚みが薄くなるとクラツ
クによる浸食が無視できなくなり有効な手段とは
ならなくなる。このように極めて狭トラツクの磁
気ヘツドを製造しようとする場合、現状のフエラ
イト−砥石工という組合せでは性能の良好な磁気
ヘツドを製造する事は困難である。
本発明は上記欠点を除去するものであり、トラ
ツク構成部を再結晶させることにより該トラツク
構成部のマイクロクラツク、加工変質層を消失せ
しめることを特徴とするものである。
ツク構成部を再結晶させることにより該トラツク
構成部のマイクロクラツク、加工変質層を消失せ
しめることを特徴とするものである。
前述したように第１図においてMn−Znフエラ
イトの透磁率は例えば切断加工においてコアの厚
みが薄くなる程劣化し、更に劣化範囲が高周波域
まで拡大してくる。本発明者の実験によると、
200μｍ厚の切断リングに対して50μｍ厚の切断リ
ングの透磁率は低域で約1/4であり、ビデオ周波
数帯域でもかなり劣化している。しかし、この両
者を例えば酸素１％、1100℃で１時間熱処理を施
してやると図中に示したように両者共ほぼバルク
の透磁率状態にまで回復する。参考までに同様の
リングを化学エツチングあるいは700℃程度の熱
焼鈍を施すとある程度の回復はみられるがいずれ
もバルク状態の透磁率までは回復せず、又薄いも
の程回復度合いが少なくなる。このように再結晶
熱処理は加工によつてフエライト内に生じたマイ
クロクラツクや加工変質層を消失しほぼ完全なバ
ルク状態に復帰させるのに極めて有効な方法であ
る。
イトの透磁率は例えば切断加工においてコアの厚
みが薄くなる程劣化し、更に劣化範囲が高周波域
まで拡大してくる。本発明者の実験によると、
200μｍ厚の切断リングに対して50μｍ厚の切断リ
ングの透磁率は低域で約1/4であり、ビデオ周波
数帯域でもかなり劣化している。しかし、この両
者を例えば酸素１％、1100℃で１時間熱処理を施
してやると図中に示したように両者共ほぼバルク
の透磁率状態にまで回復する。参考までに同様の
リングを化学エツチングあるいは700℃程度の熱
焼鈍を施すとある程度の回復はみられるがいずれ
もバルク状態の透磁率までは回復せず、又薄いも
の程回復度合いが少なくなる。このように再結晶
熱処理は加工によつてフエライト内に生じたマイ
クロクラツクや加工変質層を消失しほぼ完全なバ
ルク状態に復帰させるのに極めて有効な方法であ
る。
以下本発明の一実施例を図面とともに説明す
る。まず強磁性体酸化物の素材を切断研削して直
方体ブロツク１を形成して（第２図ａ）、次に上
記直方体ブロツクの長手方向と直交する方向に所
定幅のトラツク部を形成すべく一定間隔のノツチ
溝２をダイシング・ソーあるいはワイヤー・ソー
等の手段で形成する（第２図ｂ）。その後、不活
性雰囲気もしくは強磁性体酸化物磁心と炉内雰囲
気の酸素分圧濃度が略平衡状態にある酸化性雰囲
気中で900〜1300℃の範囲で熱処理を施す（第２
図ｃ）。なお第２図ｃにおいて、３は炉であり、
４は炉心管、５は処理ボートである。再結晶速度
は処理温度に依存することが大きく高温程短時間
で十分再結晶させることができるが、900℃程度
の低温でも処理時間の延長により同様の効果が得
られる。しかし900℃以下になると処理時間の延
長と共にコア形状が大きな凸状に変化するように
なり、又1300℃以上になると逆に大きな凹状に変
化するようになり以降の加工工程で不都合を生じ
るし、又狭トラツクをねらう上で精度が出なくな
る。従つて熱処理温度はコア形状が安定している
900℃〜1300℃の温度範囲が望ましい。又酸素分
圧濃度も大切であり、炉内雰囲気中の酸素分圧濃
度がコアブロツク内の酸素濃度との平衡状態から
大きくずれていると、コアブロツクが酸化あるい
は還元されてかえつて磁気特性が劣化するように
なる。例えば酸素分圧１％、1100℃、１時間保持
するとトラツク部はほぼ完全にバルク状態に再結
晶させられる。また1300℃の場合は酸素分圧１〜
20％、900℃の場合は0.001〜0.1％の範囲が再結
晶に適した雰囲気であるが900℃程度の場合は不
活性雰囲気中でもほぼ同様の効果が得られる。こ
のように温度によつて、最適な酸素分圧濃度は変
わる。すなわちコアブロツク内の酸素分圧濃度と
炉内雰囲気中の酸素分圧濃度が略等しい状態で熱
処理を行なう。その後例えばガラス等の非磁性充
填物６を上記ノツチ溝２に充填し空隙形成面７を
研削、研摩し（第２図ｄ）巻線用溝加工を施した
後所定厚の非磁性ギヤツプスペーサ８を介して対
向ブロツク１′と当接させて加熱、接合しギヤツ
プドバーを形成する（第２図ｅ）。然る後所定の
トラツク位置、コア厚にて切断し、巻線を施して
１ケのヘツドが完成する。
る。まず強磁性体酸化物の素材を切断研削して直
方体ブロツク１を形成して（第２図ａ）、次に上
記直方体ブロツクの長手方向と直交する方向に所
定幅のトラツク部を形成すべく一定間隔のノツチ
溝２をダイシング・ソーあるいはワイヤー・ソー
等の手段で形成する（第２図ｂ）。その後、不活
性雰囲気もしくは強磁性体酸化物磁心と炉内雰囲
気の酸素分圧濃度が略平衡状態にある酸化性雰囲
気中で900〜1300℃の範囲で熱処理を施す（第２
図ｃ）。なお第２図ｃにおいて、３は炉であり、
４は炉心管、５は処理ボートである。再結晶速度
は処理温度に依存することが大きく高温程短時間
で十分再結晶させることができるが、900℃程度
の低温でも処理時間の延長により同様の効果が得
られる。しかし900℃以下になると処理時間の延
長と共にコア形状が大きな凸状に変化するように
なり、又1300℃以上になると逆に大きな凹状に変
化するようになり以降の加工工程で不都合を生じ
るし、又狭トラツクをねらう上で精度が出なくな
る。従つて熱処理温度はコア形状が安定している
900℃〜1300℃の温度範囲が望ましい。又酸素分
圧濃度も大切であり、炉内雰囲気中の酸素分圧濃
度がコアブロツク内の酸素濃度との平衡状態から
大きくずれていると、コアブロツクが酸化あるい
は還元されてかえつて磁気特性が劣化するように
なる。例えば酸素分圧１％、1100℃、１時間保持
するとトラツク部はほぼ完全にバルク状態に再結
晶させられる。また1300℃の場合は酸素分圧１〜
20％、900℃の場合は0.001〜0.1％の範囲が再結
晶に適した雰囲気であるが900℃程度の場合は不
活性雰囲気中でもほぼ同様の効果が得られる。こ
のように温度によつて、最適な酸素分圧濃度は変
わる。すなわちコアブロツク内の酸素分圧濃度と
炉内雰囲気中の酸素分圧濃度が略等しい状態で熱
処理を行なう。その後例えばガラス等の非磁性充
填物６を上記ノツチ溝２に充填し空隙形成面７を
研削、研摩し（第２図ｄ）巻線用溝加工を施した
後所定厚の非磁性ギヤツプスペーサ８を介して対
向ブロツク１′と当接させて加熱、接合しギヤツ
プドバーを形成する（第２図ｅ）。然る後所定の
トラツク位置、コア厚にて切断し、巻線を施して
１ケのヘツドが完成する。
以上のように本発明によれば加工の影響によつ
て磁気特性の劣化した狭トラツク部の磁気特性を
ほぼバルク状態の特性に回復させ、又結晶的にも
マイクロクラツクや加工変質部を消失させる為
に、例えばガラス充填によるコア内部への浸透、
浸食も少なく、高性能及び高精度の狭トラツクヘ
ツドが得られる。
て磁気特性の劣化した狭トラツク部の磁気特性を
ほぼバルク状態の特性に回復させ、又結晶的にも
マイクロクラツクや加工変質部を消失させる為
に、例えばガラス充填によるコア内部への浸透、
浸食も少なく、高性能及び高精度の狭トラツクヘ
ツドが得られる。
第１図はMn−Znフエライトの透磁率の周波数
特性を示した図、第２図は本発明による一実施例
の磁気ヘツドの製造工程を示す図である。 １……直方体ブロツク、２……ノツチ溝、７…
…空隙形成面、８……スペーサ。
特性を示した図、第２図は本発明による一実施例
の磁気ヘツドの製造工程を示す図である。 １……直方体ブロツク、２……ノツチ溝、７…
…空隙形成面、８……スペーサ。
Claims (1)
- １ 強磁性体酸化物よりなる直方体ブロツクに対
し、上記直方体ブロツクの長手方向と直交する方
向にトラツクを形成すべく一定間隔のノツチ溝を
形成した後、不活性雰囲気もしくは強磁性体酸化
物磁心と炉内雰囲気の酸素分圧濃度が略平衡状態
にある酸化性雰囲気中で900〜1300℃で熱処理を
行ない上記ノツチ溝によつて形成されるトラツク
部を再結晶化させ、然る後上記ブロツクの空隙形
成面を研摩し、所定厚の非磁性ギヤツプスペーサ
を介し、対向ブロツクと当接させて接合すること
を特徴とする磁気ヘツドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15106279A JPS5674814A (en) | 1979-11-20 | 1979-11-20 | Production of magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15106279A JPS5674814A (en) | 1979-11-20 | 1979-11-20 | Production of magnetic head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5674814A JPS5674814A (en) | 1981-06-20 |
| JPS6346482B2 true JPS6346482B2 (ja) | 1988-09-16 |
Family
ID=15510460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15106279A Granted JPS5674814A (en) | 1979-11-20 | 1979-11-20 | Production of magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5674814A (ja) |
-
1979
- 1979-11-20 JP JP15106279A patent/JPS5674814A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5674814A (en) | 1981-06-20 |
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