JPS6347264B2 - - Google Patents
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- JPS6347264B2 JPS6347264B2 JP57006016A JP601682A JPS6347264B2 JP S6347264 B2 JPS6347264 B2 JP S6347264B2 JP 57006016 A JP57006016 A JP 57006016A JP 601682 A JP601682 A JP 601682A JP S6347264 B2 JPS6347264 B2 JP S6347264B2
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- Japan
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- melting point
- low melting
- point glass
- sealing
- pellets
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/073—Connecting or disconnecting of die-attach connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/60—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
- H10W70/67—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers characterised by their insulating layers or insulating parts
- H10W70/68—Shapes or dispositions thereof
- H10W70/682—Shapes or dispositions thereof comprising holes having chips therein
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- H10W72/07331—Connecting techniques
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- H10W72/07331—Connecting techniques
- H10W72/07337—Connecting techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone or epoxy
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
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- H10W72/874—On different surfaces
- H10W72/884—Die-attach connectors and bond wires
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W76/17—Containers or parts thereof characterised by their materials
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Landscapes
- Glass Compositions (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、セラミツクをパツケージに使用する
半導体装置に係り、特にペレツト接着用低融点ガ
ラスを有するパツケージの半導体装置に関する。
半導体装置に係り、特にペレツト接着用低融点ガ
ラスを有するパツケージの半導体装置に関する。
一般にサーデイツプと称するセラミツクパツケ
ージ型の半導体装置では、パツケージベース、リ
ードフレーム及びパツケージキヤツプを封止用低
融点ガラスにて封止する一方、ペレツトをペレツ
ト接着用低融点ガラスにてベースに固着する構成
が採用されることがある。この場合、従来では、
前記した封止用低融点ガラスとペレツト接着用低
融点ガラスの軟化点が同一のものを採用してお
り、このためペレツト接着時に温度が高すぎると
封止用低融点ガラスがキヤビテイ内に流れ込み封
止時にガラス不足になつて封止が不完全なものに
なる一方、温度が低すぎると、ペレツトの接着が
悪くペレツトクラツク不良が生じる等の欠点があ
つた。
ージ型の半導体装置では、パツケージベース、リ
ードフレーム及びパツケージキヤツプを封止用低
融点ガラスにて封止する一方、ペレツトをペレツ
ト接着用低融点ガラスにてベースに固着する構成
が採用されることがある。この場合、従来では、
前記した封止用低融点ガラスとペレツト接着用低
融点ガラスの軟化点が同一のものを採用してお
り、このためペレツト接着時に温度が高すぎると
封止用低融点ガラスがキヤビテイ内に流れ込み封
止時にガラス不足になつて封止が不完全なものに
なる一方、温度が低すぎると、ペレツトの接着が
悪くペレツトクラツク不良が生じる等の欠点があ
つた。
したがつて、本発明の目的は、サーデイツプ型
パツケージの構成において、封止用低融点ガラス
より軟化点の低いペレツト接着用低融点ガラスを
採用することによりペレツトの接着性を良好にし
高歩留で高品質の製品を得ることができる半導体
装置を提供することにある。
パツケージの構成において、封止用低融点ガラス
より軟化点の低いペレツト接着用低融点ガラスを
採用することによりペレツトの接着性を良好にし
高歩留で高品質の製品を得ることができる半導体
装置を提供することにある。
本発明の要旨は、パツケージ本体のキヤビテイ
内に半導体ペレツト接着用低融点ガラスと、セラ
ミツクベースとセラミツクキヤツプを接着するた
めの封止用低融点ガラスを有する半導体装置にお
いて、前記半導体ペレツト接着用低融点ガラスの
軟化点は前記封止用低融点ガラスの軟化点よりも
低いことを特徴とする半導体装置にある。
内に半導体ペレツト接着用低融点ガラスと、セラ
ミツクベースとセラミツクキヤツプを接着するた
めの封止用低融点ガラスを有する半導体装置にお
いて、前記半導体ペレツト接着用低融点ガラスの
軟化点は前記封止用低融点ガラスの軟化点よりも
低いことを特徴とする半導体装置にある。
以下、本発明の一実施例を第1図および第2図
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
図において、1はパツケージ本体、2はセラミ
ツクベースであり、その中央凹部2aの低面には
半導体ペレツト3を固着する。周辺には、外部導
出用の複数本のリード4を整列配置して封止用低
融点ガラス6にて支持している。これらのリード
4には、前記半導体ペレツト3との間にワイヤ8
を接続して電気的接続を図つている。5は、前記
セラミツクベースの上部を覆うようにして固着す
るセラミツクキヤツプであり周辺において前記封
止用低融点ガラス6にて固着し、これによりパツ
ケージ本体1を構成している。そして、前記半導
体ペレツトは、ペレツト接着用の低融点ガラス7
にてセラミツクベースに固着しており、このペレ
ツト接着用の低融点ガラス7は、封止用低融点ガ
ラス6と異なり、封止用低融点ガラス6より低い
温度の軟化点を有するように構成している。
ツクベースであり、その中央凹部2aの低面には
半導体ペレツト3を固着する。周辺には、外部導
出用の複数本のリード4を整列配置して封止用低
融点ガラス6にて支持している。これらのリード
4には、前記半導体ペレツト3との間にワイヤ8
を接続して電気的接続を図つている。5は、前記
セラミツクベースの上部を覆うようにして固着す
るセラミツクキヤツプであり周辺において前記封
止用低融点ガラス6にて固着し、これによりパツ
ケージ本体1を構成している。そして、前記半導
体ペレツトは、ペレツト接着用の低融点ガラス7
にてセラミツクベースに固着しており、このペレ
ツト接着用の低融点ガラス7は、封止用低融点ガ
ラス6と異なり、封止用低融点ガラス6より低い
温度の軟化点を有するように構成している。
この構成によれば、ペレツト3をセラミツクベ
ース2に固着する際にセラミツクベースを加熱し
ても、これはペレツト接着用の低融点ガラス7の
軟化点まで加熱するのみでよく、これによりこれ
よりも軟化点の高い封止用低融点ガラス6が軟化
することはない。
ース2に固着する際にセラミツクベースを加熱し
ても、これはペレツト接着用の低融点ガラス7の
軟化点まで加熱するのみでよく、これによりこれ
よりも軟化点の高い封止用低融点ガラス6が軟化
することはない。
なお、半導体ペレツト接着用低融点ガラス及び
封止用低融点ガラスは、市販品から適宜、選択す
ればよい。
封止用低融点ガラスは、市販品から適宜、選択す
ればよい。
一例として、日本電気硝子株式会社の下記の製
品を用いることができる。
品を用いることができる。
(1) 半導体ペレツト接着用低融点ガラスとして、
同社のLS―0113(製品コード)、軟化点;400
℃。
同社のLS―0113(製品コード)、軟化点;400
℃。
(2) 封止用低融点ガラスとして、同社のLS―
0110(製品コード)、軟化点;422℃。
0110(製品コード)、軟化点;422℃。
上記ガラスは、いずれも、低融点ガラス
(PbO・B2O3)粉末と特殊なセラミツク粉末を均
一にブレンドした、複合系低融点ガラスである
(同社の製品カタログより)。
(PbO・B2O3)粉末と特殊なセラミツク粉末を均
一にブレンドした、複合系低融点ガラスである
(同社の製品カタログより)。
したがつて、本発明によれば、ペレツト3の固
着時に、封止用低融点ガラス6のキヤビテイ内へ
の流れ込みを防止でき、ペレツト接着用低融点ガ
ラス7の軟化性を良くできることによりペレツト
固着が良好にでき、工程歩留の向上及び品質の向
上の効果がある。
着時に、封止用低融点ガラス6のキヤビテイ内へ
の流れ込みを防止でき、ペレツト接着用低融点ガ
ラス7の軟化性を良くできることによりペレツト
固着が良好にでき、工程歩留の向上及び品質の向
上の効果がある。
第1図は本発明の半導体装置の上面図、第2図
は第1図の―線断面図でである。 1…パツケージ本体、2…セラミツクベース、
3…半導体ペレツト、4…リード、5…セラミツ
クキヤツプ、6…封止用低融点ガラス、7…ペレ
ツト付け用低融点ガラス、8…ワイヤ。
は第1図の―線断面図でである。 1…パツケージ本体、2…セラミツクベース、
3…半導体ペレツト、4…リード、5…セラミツ
クキヤツプ、6…封止用低融点ガラス、7…ペレ
ツト付け用低融点ガラス、8…ワイヤ。
Claims (1)
- 1 パツケージ本体のキヤビテイ内に半導体ペレ
ツト接着用低融点ガラスと、セラミツクベースと
セラミツクキヤツプを接着するための封止用低融
点ガラスを有する半導体装置において、前記半導
体ペレツト接着用低融点ガラスの軟化点は前記封
止用低融点ガラスの軟化点よりも低いことを特徴
とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57006016A JPS58124248A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57006016A JPS58124248A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | 半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58124248A JPS58124248A (ja) | 1983-07-23 |
| JPS6347264B2 true JPS6347264B2 (ja) | 1988-09-21 |
Family
ID=11626897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57006016A Granted JPS58124248A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58124248A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5073521A (en) * | 1989-11-15 | 1991-12-17 | Olin Corporation | Method for housing a tape-bonded electronic device and the package employed |
| EP0569799B1 (en) * | 1992-05-14 | 2000-09-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for making via conductors in multilayer ceramic substrates |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5230352B2 (ja) * | 1974-02-08 | 1977-08-08 | ||
| JPS5230352A (en) * | 1975-09-04 | 1977-03-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Micro program control method |
-
1982
- 1982-01-20 JP JP57006016A patent/JPS58124248A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58124248A (ja) | 1983-07-23 |
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