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JPS6361363B2 - - Google Patents
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JPS6361363B2 - - Google Patents

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JPS6361363B2
JPS6361363B2 JP58027318A JP2731883A JPS6361363B2 JP S6361363 B2 JPS6361363 B2 JP S6361363B2 JP 58027318 A JP58027318 A JP 58027318A JP 2731883 A JP2731883 A JP 2731883A JP S6361363 B2 JPS6361363 B2 JP S6361363B2
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metal particles
metal material
ultrafine metal
electrode support
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/02Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
    • B22F9/14Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes using electric discharge

Landscapes

  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明、特に強磁性体金属及び合金等の金属超
微粒子の製造装置に用いる電極装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention particularly relates to an electrode device used in an apparatus for producing ultrafine metal particles such as ferromagnetic metals and alloys.

従来、例えば強磁性体等の金属超微粒子を製造
する装置として、アーク放電を利用するものに
は、第1図に示すものがある。
2. Description of the Related Art Conventionally, there is a device shown in FIG. 1 that utilizes arc discharge as a device for producing ultrafine metal particles such as ferromagnetic material.

すなわち、密閉された容器1内に電極支持架2
の先端に固定された陰極用のタングステンなどの
電極3′を挿入し、容器1の底部を構成する陽極
用銅ハース4の上面に陰極用の前記電極3′に対
向して、金属超微粒子を製造すべき金属材料5を
載置している。
That is, the electrode support rack 2 is placed inside the sealed container 1.
An electrode 3' such as tungsten for the cathode fixed to the tip of the container 1 is inserted, and ultrafine metal particles are placed on the upper surface of the copper hearth 4 for the anode, which forms the bottom of the container 1, facing the electrode 3' for the cathode. A metal material 5 to be manufactured is placed thereon.

そして、容器1内を例えばアルゴン、ヘリウム
などの不活性ガスと純水素ガスとの混合ガス雰囲
気、あるいは純水素ガス雰囲気とした後に、純タ
ングステンやタングステンに1〜2重量パーセン
トのトリウムを添加したトリタンで形成された陰
極用の電極3′と陽極用銅ハース上に載置された
金属材料5との間の電圧を10〜100Vとして電極
3′金属材料5間にアーク放電を行なつてアーク
柱6を形成させる。そして、雰囲気ガスによつて
適当な条件下のもとで、アーク柱6は金属材料5
の表面に対して一点に集中するため、その近傍が
非常に高温になり、金属超微粒子が多量に発生し
て煙流7になる。その後この煙流7は前記雰囲気
ガスにより冷却されて金属超微粒子となる。
After the inside of the container 1 is made into a mixed gas atmosphere of an inert gas such as argon or helium and pure hydrogen gas, or a pure hydrogen gas atmosphere, pure tungsten or tritanium prepared by adding 1 to 2 weight percent of thorium to tungsten is prepared. The voltage between the cathode electrode 3' formed by the metal material 5 and the metal material 5 placed on the anode copper hearth is set to 10 to 100 V, and arc discharge is performed between the electrode 3' and the metal material 5 to create an arc column. Form 6. Then, under appropriate conditions depending on the atmospheric gas, the arc column 6 is connected to the metal material 5.
Since the smoke is concentrated at one point on the surface of the metal, the temperature near that point becomes extremely high, and a large amount of ultrafine metal particles are generated, forming a smoke stream 7. Thereafter, this smoke stream 7 is cooled by the atmospheric gas and becomes ultrafine metal particles.

ところで電極3′は電極支持架2により水冷さ
れているので、この電極支持架2と接触している
部分の温度は、ほぼ100℃以下になる。また、ア
ーク柱6が発生する陰極用の電極3′の先端部で
は約3300℃もの高温になる。すなわち、電極3′
は100〜3300℃の温度勾配をもつ。
By the way, since the electrode 3' is water-cooled by the electrode support rack 2, the temperature of the portion in contact with the electrode support rack 2 is approximately 100° C. or lower. Furthermore, the tip of the cathode electrode 3', where the arc column 6 is generated, reaches a high temperature of about 3300°C. That is, electrode 3'
has a temperature gradient of 100 to 3300℃.

ところが金属材料5が鉄−ニツケル合金(ニツ
ケルが10重量パーセント含まれているものをい
う)である場合には、鉄ニツケル合金の融点が約
1500℃、また、沸点が約2800℃である。
However, when the metal material 5 is an iron-nickel alloy (containing 10% by weight of nickel), the melting point of the iron-nickel alloy is approximately
The temperature is 1500℃, and the boiling point is about 2800℃.

従つて、発生した金属超微粒子の煙流7は前述
の電極3′の先端部分におけるアーク発生時の
2800℃〜3300℃の温度範囲の部分には温度が高す
ぎるので付着しない。そして、該先端部より上方
の1500℃以下の電極3′部分では金属超微粒子が
付着しても温度が低すぎるので合金化しない。
Therefore, the generated smoke stream 7 of ultrafine metal particles is generated at the time of arc generation at the tip of the electrode 3'.
It does not adhere to areas in the temperature range of 2800°C to 3300°C because the temperature is too high. Even if ultrafine metal particles adhere to the electrode 3' portion above the tip, which is below 1500° C., the temperature is too low to form an alloy.

すなわち、金属材料を形成する鉄−ニツケル合
金の金属超微粒子が電極3′に付着して合金化す
るのは1500〜2800℃の温度範囲の電極部分だけで
ある。
That is, the ultrafine metal particles of the iron-nickel alloy forming the metal material adhere to the electrode 3' and form an alloy only in the electrode portion within the temperature range of 1500 to 2800°C.

このように、金属超微粒子が電極3′に付着し
て合金化した場合には、電極3′の融点は下がり、
電極3′は消耗劣化するし、極端な場合は溶け落
ちる欠点がある。
In this way, when ultrafine metal particles adhere to the electrode 3' and form an alloy, the melting point of the electrode 3' decreases,
The electrode 3' wears out and deteriorates, and in extreme cases it has the disadvantage of melting off.

第2図が、この装置で使用した放電後の電極を
示した側面図である。
FIG. 2 is a side view showing the electrode used in this device after discharge.

また、金属材料5として鉄−コバルト合金(コ
バルトが30重量パーセント含まれているものをい
う)を用いた場合においては、その融点が約1500
℃、沸点が約2900℃であり、鉄−ニツケル合金の
場合とほぼ同様なことが言える。
In addition, when an iron-cobalt alloy (containing 30% by weight of cobalt) is used as the metal material 5, its melting point is approximately 1500%.
℃, and the boiling point is about 2900℃, which is almost the same as the case of iron-nickel alloy.

またアーク柱6は金属材料5に対して垂直に放
電しなければその形状を逆三角形に絞り込むこと
ができず、金属超微粒子は多量に発生されない。
従つて、金属超微粒子を多量に発生させるために
は、放電用電極としての陰極を金属材料5に対し
て垂直に配置しなければならない。
Further, unless the arc column 6 is discharged perpendicularly to the metal material 5, its shape cannot be narrowed down to an inverted triangle, and a large amount of ultrafine metal particles will not be generated.
Therefore, in order to generate a large amount of ultrafine metal particles, the cathode as a discharge electrode must be arranged perpendicularly to the metal material 5.

本発明は上述の如き点に鑑みてなされたもので
あり、その目的とするところは、アーク放電の際
に発生する金属超微粒子が電極に付着することに
よつて電極が消耗劣化するのを防止して長時間の
寿命を保障し、以つて高品質な高密度磁気記録媒
体の量産に最適な金属超微粒子の製造装置におけ
る電極装置を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above-mentioned points, and its purpose is to prevent the wear and tear of the electrodes due to the attachment of ultrafine metal particles generated during arc discharge to the electrodes. The object of the present invention is to provide an electrode device for a manufacturing apparatus for ultrafine metal particles, which guarantees a long service life and is optimal for the mass production of high-quality, high-density magnetic recording media.

以下、本発明の第1実施例を第3図に従つて説
明する。
A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.

なお、この実施例において、第1図に示す同一
部分は同一符号で示している。
In this embodiment, the same parts shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals.

3はタングステンあるいはトリタンで形成され
た陰極用電極で、この電極3は金属材料5に対し
てその先端部から鉛直方向にアーク柱6が発生す
るように該アーク柱6と同方向に配置された電極
主体3Aと、該電極主体3Aの末端に直角に曲成
された発熱電極体3Bと、該発熱電極体3Bの末
端に形成された電極支持体3Cから形成される。
そして、該電極支持体3Cは金属材料5から発生
する金属超微粒子の煙流7の領域より外部に配設
されている。2は電極支持架であり、前記電極支
持体3Cを支持、固定して、該電極支持体を冷却
するようになつている。
Reference numeral 3 denotes a cathode electrode made of tungsten or tritanium, and this electrode 3 is arranged in the same direction as the arc column 6 so that the arc column 6 is generated vertically from the tip of the metal material 5. It is formed of an electrode main body 3A, a heat generating electrode body 3B bent at right angles to the end of the electrode main body 3A, and an electrode support body 3C formed at the end of the heat generating electrode body 3B.
The electrode support 3C is disposed outside the area of the smoke stream 7 of ultrafine metal particles generated from the metal material 5. Reference numeral 2 denotes an electrode support rack, which supports and fixes the electrode support 3C and cools the electrode support.

本発明の第1実施例は上述のような構成からな
り、陰極用の電極3と陽極用銅ハース4上の金属
材料5との間にアーク放電を行うと、金属材料5
から発生する金属超微粒子が煙流7になつて上昇
する。そして、この煙流7が雰囲気ガスによつて
冷却され、図示しないフイルターで捕収して金属
超微粒子を製造する。
The first embodiment of the present invention has the above-described configuration, and when arc discharge is performed between the cathode electrode 3 and the metal material 5 on the anode copper hearth 4, the metal material 5
Ultrafine metal particles generated from the smoke stream 7 rise. This smoke stream 7 is then cooled by atmospheric gas and collected by a filter (not shown) to produce ultrafine metal particles.

金属材料5として、鉄−ニツケル合金を用いた
場合、前述のように鉄−ニツケル合金の融点は約
1500℃、沸点は約2800℃であり、電極3のうち、
鉄−ニツケル合金の金属超微粒子と合金化するの
は1500℃〜2800℃の温度範囲の部分だけである。
When an iron-nickel alloy is used as the metal material 5, as mentioned above, the melting point of the iron-nickel alloy is approximately
1500℃, the boiling point is about 2800℃, and among electrodes 3,
Only the portion in the temperature range of 1500°C to 2800°C is alloyed with the ultrafine metal particles of the iron-nickel alloy.

ここで、前記電極主体3Aは、直径6mm程度、
長さ20mm以下であり、アーク放電時には、全体が
2800〜3300℃の温度範囲になるため、金属材料5
から発生する金属超微粒子の煙流7の領域の内部
にあつても、金属超微粒子は付着しない。
Here, the electrode main body 3A has a diameter of about 6 mm,
The length is 20mm or less, and during arc discharge, the entire
Since the temperature ranges from 2800 to 3300℃, metal materials 5
Even within the area of the smoke flow 7 of ultrafine metal particles generated from the ultrafine metal particles, the ultrafine metal particles do not adhere.

また、前記発熱電極体3Bは直径2mm、長さ40
mm程度であり、200A程度のアーク放電時には、
ジユール熱により発熱して全体が2800〜3300℃の
温度範囲に達している。従つて、前述の電極主体
3Aと同様に、金属超微粒子は付着しない。
Further, the heating electrode body 3B has a diameter of 2 mm and a length of 40 mm.
mm, and during arc discharge of about 200A,
The whole building reaches a temperature range of 2,800 to 3,300 degrees Celsius due to the Joule heat. Therefore, similarly to the electrode main body 3A described above, ultrafine metal particles do not adhere.

また、前記発熱電極体3Bをできるだけ短く形
成することにより、不要な電圧降下を少くし、ジ
ユール熱によるエネルギー損失を小さくすること
ができる。
Further, by forming the heating electrode body 3B as short as possible, unnecessary voltage drop can be reduced and energy loss due to Joule heat can be reduced.

前記電極支持体3Cは、例えば直径5mmであ
り、前記電極支持架2との接触部分は100℃以下
であり、前記発熱電極体との接触部分はほぼ2800
℃になつている。
The electrode support body 3C has a diameter of, for example, 5 mm, the contact area with the electrode support frame 2 is 100°C or less, and the contact area with the heating electrode body is approximately 280°C.
It's getting to ℃.

すなわち、図の点aが約1500℃になる温度点で
あり、図の点bが約2800℃になる温度点である。
この点aと点bの間の部分の電極支持体3Cが金
属超微粒子と合金化しやすい温度範囲の部分であ
るが、この部分は、煙流7の領域の外部にあるの
で、金属超微粒子と合金化することはない。
That is, point a in the figure is the temperature point at about 1500°C, and point b in the figure is the temperature point at about 2800°C.
The electrode support 3C in the area between points a and b is in a temperature range where it is easy to alloy with ultrafine metal particles, but since this area is outside the area of the smoke flow 7, it cannot easily form an alloy with ultrafine metal particles. No alloying occurs.

すなわち、同一条件で放電した場合に第2図に
示すような従来の電極3′に比較して第3図に示
すように金属超微粒子が付着しないことは明らか
である。
That is, it is clear that when discharge is performed under the same conditions, ultrafine metal particles do not adhere to the electrode 3' as shown in FIG. 3 compared to the conventional electrode 3' as shown in FIG.

また、電極3の電極主体3Aは金属材料5に対
して鉛直X方向に向けられているので、アーク柱
6も鉛直X方向に発生する。また、アルゴン、ヘ
リウム等の不活性ガスと水素ガスとの混合ガス雰
囲気もしくは純水素ガス雰囲気において放電され
るから、アーク柱6は自己収縮してその形状が第
3図に示すように逆三角形に絞られ、一点に集中
する。従つて、その近傍が非常に高温になり、金
属材料5からの金属超微粒子が多量に発生するた
め、金属超微粒子の補収量は多くなる。
Moreover, since the electrode main body 3A of the electrode 3 is oriented in the vertical X direction with respect to the metal material 5, the arc column 6 is also generated in the vertical X direction. In addition, since the discharge occurs in a mixed gas atmosphere of hydrogen gas and an inert gas such as argon or helium, or in a pure hydrogen gas atmosphere, the arc column 6 self-contracts and its shape becomes an inverted triangle as shown in FIG. Narrow down and concentrate on one point. Therefore, the temperature in the vicinity becomes very high and a large amount of ultrafine metal particles are generated from the metal material 5, so that the amount of ultrafine metal particles recovered increases.

また、金属材料5として鉄−コバルト合金を用
いた場合には、その融点は約1500℃、沸点は約
2900℃であり、上記の鉄−ニツケル合金とほぼ同
様の作用がある。
Furthermore, when an iron-cobalt alloy is used as the metal material 5, its melting point is approximately 1500°C and its boiling point is approximately
2900°C, and has almost the same effect as the iron-nickel alloy mentioned above.

尚、金属材料5としては、上記の実施例の他に
アルミニウム、チタン、タンタル、鉄、ニツケ
ル、コバルト或いは、鉄−ニツケル、コバルト合
金等にも適用できる。
In addition to the above embodiments, the metal material 5 may also be aluminum, titanium, tantalum, iron, nickel, cobalt, iron-nickel, cobalt alloy, or the like.

第4図に示すものは、本発明の第2実施例であ
り、この実施例においては、電極支持体3Cを上
方軸心方向に折曲した構成になつている。この構
成においても点aと点bの間の部分の電極支持体
3Cは、煙流7の領域の外部にあるので、電極の
劣化を防止できる。
What is shown in FIG. 4 is a second embodiment of the present invention, and in this embodiment, the electrode support 3C is bent upward in the axial direction. Also in this configuration, the electrode support 3C in the portion between point a and point b is located outside the area of the smoke flow 7, so that deterioration of the electrode can be prevented.

第5図は他の変形例で、この変形例は電極支持
体3Cを発熱電極体3Bに対して任意の角度で曲
成させて、電極支持架に支持させている。
FIG. 5 shows another modification, in which the electrode support 3C is bent at an arbitrary angle with respect to the heating electrode 3B and supported on an electrode support rack.

第6図に示すものは、本発明の第4実施例で、
この実施例においては、第1実施例が、電極主体
3Aに対して発熱電極体3Bを直角に折曲してい
るのと異なり、電極主体3Aに対して発熱電極体
3Bを任意の角度で曲成させて電極支持体3Cを
煙流7から遠去けたことにより、金属材料5から
発生する金属超微粒子の電極支持体3Cへの付着
を防止している。
What is shown in FIG. 6 is a fourth embodiment of the present invention,
In this embodiment, unlike the first embodiment in which the heat generating electrode body 3B is bent at right angles to the electrode body 3A, the heat generating electrode body 3B is bent at an arbitrary angle with respect to the electrode body 3A. By doing so and moving the electrode support 3C away from the smoke flow 7, ultrafine metal particles generated from the metal material 5 are prevented from adhering to the electrode support 3C.

また、第7図に示すものは、本発明の第5実施
例であり、この実施例においては、電極支持体を
下方に曲成させ、下方の電極支持架に支持させて
いる。
Moreover, what is shown in FIG. 7 is a fifth embodiment of the present invention, and in this embodiment, the electrode support is bent downward and supported by a lower electrode support frame.

また、第8図に示すものは、第6実施例であ
り、2本の発熱電極体3Bを側方に曲成させ、2
本の電極支持体3Cと2本の電極支持架2を有し
ている。この場合は、一本の発熱電極体に流れる
電流は半分になるので、2800℃以上になるまで発
熱させるためには、発熱電極体3Bの断面積を半
分にしなければならない。すなわち、より細径化
しなければならない。
Moreover, what is shown in FIG. 8 is a sixth embodiment, in which two heating electrode bodies 3B are bent laterally, and two
It has a book electrode support 3C and two electrode support frames 2. In this case, the current flowing through one heating electrode body is halved, so in order to generate heat up to 2800° C. or higher, the cross-sectional area of the heating electrode body 3B must be halved. In other words, the diameter must be made smaller.

また、第9図に示すものは、第7実施例であ
り、2本の発熱電極体を有し、2本の電極支持体
3Bを上方軸心方向に折曲した構造になつてい
る。
Moreover, the one shown in FIG. 9 is a seventh embodiment, which has two heat generating electrode bodies and has a structure in which two electrode supports 3B are bent upward in the axial direction.

なお、上記何れの実施例においても電極の電極
主体3Aと発熱電極体3Bと電極支持体3Cとを
同一材料で一体に形成しているが、電極主体3
A、発熱電極体3B、電極支持体3Cとをタング
ステンやトリタンで別体にそれぞれ形成してもよ
いことはいうまでもない。
In addition, in any of the above embodiments, the electrode main body 3A, the heat generating electrode body 3B, and the electrode support body 3C of the electrode are integrally formed of the same material, but the electrode main body 3
It goes without saying that A, the heating electrode body 3B, and the electrode support body 3C may be formed separately from tungsten or tritanium.

また、第8図、第9図に示した実施例では、2
本の電極支持体3Bにより電極主体3Aを支持し
ているが、3本以上の電極支持体であつてもよ
い。
Furthermore, in the embodiments shown in FIGS. 8 and 9, 2
Although the electrode main body 3A is supported by the electrode supports 3B, three or more electrode supports may be used.

上述のように本発明は、金属材料から発生する
金属超微粒子が付着し易い、金属材料の融点以
上、沸点以下の電極支持体3Cの部分を金属超微
粒子の煙流7の領域より外部に配設したので、金
属材料5の金属超微粒子が電極に付着することに
よつて電極が消耗劣化するのを防止し、長時間の
寿命を保証できる。このため金属材料が強磁性体
である場合には、高品質な高密度磁気記録媒体の
量産に最適である。
As described above, in the present invention, the portion of the electrode support 3C that is above the melting point and below the boiling point of the metal material, to which ultrafine metal particles generated from the metal material easily adhere, is arranged outside the area of the smoke flow 7 of the ultrafine metal particles. This prevents the electrode from being worn out and deteriorated due to the ultrafine metal particles of the metal material 5 adhering to the electrode, thereby ensuring a long service life. For this reason, when the metal material is ferromagnetic, it is optimal for mass production of high-quality, high-density magnetic recording media.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、従来の金属超微粒子の製造装置を示
した断面図、第2図はこの装置で使用した放電後
の電極を示した側面図、第3図は本発明の第1実
施例を示した側面図、第4図は同じく第2実施例
を示した側面図、第5図は同じく第3実施例を示
した側面図、第6図は同じく第4実施例を示した
側面図、第7図は同じく第5実施例を示した側面
図、第8図は同じく第6実施例を示した側面図、
第9図は同じく第7実施例を示した側面図であ
る。 1……容器、2……電極支持架、3……電極、
3A……電極主体、3B……発熱電極体、3C…
…電極支持体、4……銅ハース、5……金属材
料、6……アーク柱、7……煙流。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a conventional apparatus for producing ultrafine metal particles, FIG. 2 is a side view showing an electrode used in this apparatus after discharge, and FIG. 3 is a diagram showing a first embodiment of the present invention. 4 is a side view showing the second embodiment, FIG. 5 is a side view showing the third embodiment, and FIG. 6 is a side view showing the fourth embodiment. FIG. 7 is a side view similarly showing the fifth embodiment, FIG. 8 is a side view similarly showing the sixth embodiment,
FIG. 9 is a side view similarly showing the seventh embodiment. 1... Container, 2... Electrode support rack, 3... Electrode,
3A... Electrode main body, 3B... Heat generating electrode body, 3C...
... Electrode support, 4 ... Copper hearth, 5 ... Metal material, 6 ... Arc column, 7 ... Smoke flow.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 アーク放電させて金属材料の金属超微粒子を
製造する金属超微粒子の製造装置における電極装
置において、鉛直方向にアーク柱を発注させるよ
うに、該アーク柱と同方向に配置された電極主体
と、該電極主体の末端に形成された、細径化さ
れ、ジユール熱により発熱する一本あるいは複数
の発熱電極体に対し、該発熱電極体の末端に形成
された一本或いは複数の電極支持体と、該電極支
持体を支持固定して、該電極支持体を冷却するた
めの一本あるいは複数の電極支持架からなり、前
記金属材料から発生した金属超微粒子の煙流領域
内部に配設された前記発熱電極体の温度範囲が、
前記金属材料の融点以上、沸点以下に成され、前
記電極支持体を、前記金属材料から発生した金属
超微粒子の煙流領域より外部に配設したことを特
徴とする金属超微粒子の製造装置における電極装
置。
1. In an electrode device in an apparatus for producing ultrafine metal particles of a metal material by causing arc discharge, an electrode main body disposed in the same direction as the arc column so as to order the arc column in the vertical direction; One or more heating electrode bodies formed at the end of the electrode main body and having a reduced diameter and generating heat by Joule heat, and one or more electrode supports formed at the end of the heating electrode body. , consisting of one or more electrode support racks for supporting and fixing the electrode support and cooling the electrode support, and disposed inside the smoke flow area of ultrafine metal particles generated from the metal material. The temperature range of the heating electrode body is
An apparatus for producing ultrafine metal particles, characterized in that the temperature is above the melting point and below the boiling point of the metal material, and the electrode support is disposed outside a smoke flow region of the ultrafine metal particles generated from the metal material. Electrode device.
JP2731883A 1983-02-21 1983-02-21 Electrode device in device for producing ultrafine metallic particle Granted JPS59153807A (en)

Priority Applications (1)

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JP2731883A JPS59153807A (en) 1983-02-21 1983-02-21 Electrode device in device for producing ultrafine metallic particle

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JP2731883A JPS59153807A (en) 1983-02-21 1983-02-21 Electrode device in device for producing ultrafine metallic particle

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JPS59153807A JPS59153807A (en) 1984-09-01
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