JPS642669B2 - - Google Patents
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- JPS642669B2 JPS642669B2 JP4408181A JP4408181A JPS642669B2 JP S642669 B2 JPS642669 B2 JP S642669B2 JP 4408181 A JP4408181 A JP 4408181A JP 4408181 A JP4408181 A JP 4408181A JP S642669 B2 JPS642669 B2 JP S642669B2
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Landscapes
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Description
本発明は、酸化タンタル薄膜形成性組成物に関
する。 透明酸化タンタル膜は近年太陽電池の反射防止
膜液晶装置における光コントラスト剤、薄膜コン
デンサー等に広く用いられており、今后更にその
需要が期待されるものである。 基板への透明酸化タンタル膜を形成させる方法
としては、近年塗布法がその経済性から注目さ
れ、タンタルアルコラートの溶液を基板上に塗布
して塗膜を形成したのち焼成する方法が用いられ
ているが、この方法においてはタンタルアルコラ
ートが水による加水分解を受けやすく、微量の水
によつても溶液が白濁するために、このような透
液を基板上に塗布しても均質な塗膜は得難い、ま
たタンタルは高価であり、溶液の寿命を長くさせ
ることが経済的にも必要である。 本発明者らは、上記のような欠点のない透明酸
化タンタル膜形成用薬剤を見い出すべく鋭意研究
した結果本発明を完成した。 本発明は、タンタルアルコラート(a)と脂肪族オ
キシ酸(b)とを、(a)／(b)＝１／１〜５モル比）の比
率で、それらの共通有機溶剤(c)に溶解した溶液か
らなることを特徴とする酸化タンタル薄膜形成性
組成物であり、第２に、前記(a)と(b)との前記比率
の反応生成物を有機溶剤(c)に溶解した溶液からな
ることを特徴とする酸化タンタル薄膜形成性組成
物である。 本発明において使用されるタンタルアルコラー
トは、一般式 Ta（OR）5 （Ｒは炭素数１〜18の炭化水素基） で示される単量体の他に（TaO）単位を２〜50
個含有する直鎖状もしくは枝分れ状重合体をも含
むものとする。 好ましいタンタルアルコラートは上記一般式に
おいてＲが炭素数１〜４のものであり、具体的に
例示すれば、ペンタメトキシタンタル、ペンタエ
トキシタンタル、ペンタイソプロプキシタンタ
ル、ペンタｎ―ブトキシタンタルが挙げられる。 本発明において使用するオキシ酸は、乳酸、グ
リコール酸、オキシ酸、ヒドロキシプロピオン
酸、リンゴ酸、酒石酸、クエン酸等の脂肪族オキ
シ酸である。中でも特に乳酸が好まない。 本発明において、タンタルアルコラート(a)と脂
肪族オキシ酸(b)との混合モル比または反応モル比
は、(a)／(b)＝１／１〜５、好ましくは１／２〜４
である。(a)に対する(b)の配合モル比が１未満では
所定の安定性向上が得られない。 本発明において使用する有機溶剤(c)は、タンタ
ルアルコラート、脂肪族オキシ酸およびそれらの
反応生成物を溶解可能なものであればすべて使用
できる。脂肪族もしくは芳香族の炭化水素、アル
コール、エーテル、エステル、ハロゲン化炭化水
素、ケトン類が挙げられるが、取扱いの容易さか
らアルコール類が好ましい。本発明の組成物の調
整は、タンタルアルコラートを有機溶剤に所定濃
度に溶解せしめ、次にオキシ酸を添加する方法、
オキシ酸を先に溶剤に溶解せしめ、次にこれにタ
ンタルアルコラートを添加する方法または両者を
同時に有機溶剤に溶液せしめる方法のいずれも可
能である。 本発明において、(a)タンタルアルコラートと(b)
オキシ酸とを予め反応させ、得られた反応生成物
の有機溶媒溶液としてもよい。この反応条件とし
ては一般的に40〜120℃の温度で30分〜５時間で
よく、(a)，(b)の種類、溶媒の種類等により適宜選
択される。 本発明の組成物は、タンタルアルコラートの有
機溶剤溶液と比較して、液の安定性において格段
の改善がなされており、また被タンタル薄膜形成
対象物（金属板、セラミツク板、ガラス板、粒状
もしくは粉状触媒担体等）上に塗布し、加熱して
酸化せしめることにより、透明性、密着性等の物
理的性質及び耐酸性、耐アルカリ性、耐薬品性等
の化学的性質に優れた酸化タンタル薄膜を形成せ
しめることができる。上記の塗布法としては、浸
漬法、スプレー法、減圧CVD法等従来の方法の
いずれも適用できる。 以下に実施例及び対比例を挙げて本発明をさら
に具体的に説明する。 実施例１〜５及び対比例１〜３ 第１表に示す配合で(a)タンタルアルコラート、
(b)オキシ酸及び(c)有機溶剤を配合せしめ、得られ
た液を広口ビンに入れ、室温下空気中で開放状態
に30日間置いて液の安定性試験を行なつた。その
結果を第１表に示す。また30日経過後の液を第１
表の処理条件でガラス板に施し、得られた酸化タ
ンタル膜の性状を肉眼観察により測定し結果をも
第１表に示す。またオキシ酸を配合しない場合の
同様な試験結果を同表に対比例として挙げた。 第１表にみられるごとく、本願発明の組成物は
液の安定性において格段と向上していることが認
められる。
する。 透明酸化タンタル膜は近年太陽電池の反射防止
膜液晶装置における光コントラスト剤、薄膜コン
デンサー等に広く用いられており、今后更にその
需要が期待されるものである。 基板への透明酸化タンタル膜を形成させる方法
としては、近年塗布法がその経済性から注目さ
れ、タンタルアルコラートの溶液を基板上に塗布
して塗膜を形成したのち焼成する方法が用いられ
ているが、この方法においてはタンタルアルコラ
ートが水による加水分解を受けやすく、微量の水
によつても溶液が白濁するために、このような透
液を基板上に塗布しても均質な塗膜は得難い、ま
たタンタルは高価であり、溶液の寿命を長くさせ
ることが経済的にも必要である。 本発明者らは、上記のような欠点のない透明酸
化タンタル膜形成用薬剤を見い出すべく鋭意研究
した結果本発明を完成した。 本発明は、タンタルアルコラート(a)と脂肪族オ
キシ酸(b)とを、(a)／(b)＝１／１〜５モル比）の比
率で、それらの共通有機溶剤(c)に溶解した溶液か
らなることを特徴とする酸化タンタル薄膜形成性
組成物であり、第２に、前記(a)と(b)との前記比率
の反応生成物を有機溶剤(c)に溶解した溶液からな
ることを特徴とする酸化タンタル薄膜形成性組成
物である。 本発明において使用されるタンタルアルコラー
トは、一般式 Ta（OR）5 （Ｒは炭素数１〜18の炭化水素基） で示される単量体の他に（TaO）単位を２〜50
個含有する直鎖状もしくは枝分れ状重合体をも含
むものとする。 好ましいタンタルアルコラートは上記一般式に
おいてＲが炭素数１〜４のものであり、具体的に
例示すれば、ペンタメトキシタンタル、ペンタエ
トキシタンタル、ペンタイソプロプキシタンタ
ル、ペンタｎ―ブトキシタンタルが挙げられる。 本発明において使用するオキシ酸は、乳酸、グ
リコール酸、オキシ酸、ヒドロキシプロピオン
酸、リンゴ酸、酒石酸、クエン酸等の脂肪族オキ
シ酸である。中でも特に乳酸が好まない。 本発明において、タンタルアルコラート(a)と脂
肪族オキシ酸(b)との混合モル比または反応モル比
は、(a)／(b)＝１／１〜５、好ましくは１／２〜４
である。(a)に対する(b)の配合モル比が１未満では
所定の安定性向上が得られない。 本発明において使用する有機溶剤(c)は、タンタ
ルアルコラート、脂肪族オキシ酸およびそれらの
反応生成物を溶解可能なものであればすべて使用
できる。脂肪族もしくは芳香族の炭化水素、アル
コール、エーテル、エステル、ハロゲン化炭化水
素、ケトン類が挙げられるが、取扱いの容易さか
らアルコール類が好ましい。本発明の組成物の調
整は、タンタルアルコラートを有機溶剤に所定濃
度に溶解せしめ、次にオキシ酸を添加する方法、
オキシ酸を先に溶剤に溶解せしめ、次にこれにタ
ンタルアルコラートを添加する方法または両者を
同時に有機溶剤に溶液せしめる方法のいずれも可
能である。 本発明において、(a)タンタルアルコラートと(b)
オキシ酸とを予め反応させ、得られた反応生成物
の有機溶媒溶液としてもよい。この反応条件とし
ては一般的に40〜120℃の温度で30分〜５時間で
よく、(a)，(b)の種類、溶媒の種類等により適宜選
択される。 本発明の組成物は、タンタルアルコラートの有
機溶剤溶液と比較して、液の安定性において格段
の改善がなされており、また被タンタル薄膜形成
対象物（金属板、セラミツク板、ガラス板、粒状
もしくは粉状触媒担体等）上に塗布し、加熱して
酸化せしめることにより、透明性、密着性等の物
理的性質及び耐酸性、耐アルカリ性、耐薬品性等
の化学的性質に優れた酸化タンタル薄膜を形成せ
しめることができる。上記の塗布法としては、浸
漬法、スプレー法、減圧CVD法等従来の方法の
いずれも適用できる。 以下に実施例及び対比例を挙げて本発明をさら
に具体的に説明する。 実施例１〜５及び対比例１〜３ 第１表に示す配合で(a)タンタルアルコラート、
(b)オキシ酸及び(c)有機溶剤を配合せしめ、得られ
た液を広口ビンに入れ、室温下空気中で開放状態
に30日間置いて液の安定性試験を行なつた。その
結果を第１表に示す。また30日経過後の液を第１
表の処理条件でガラス板に施し、得られた酸化タ
ンタル膜の性状を肉眼観察により測定し結果をも
第１表に示す。またオキシ酸を配合しない場合の
同様な試験結果を同表に対比例として挙げた。 第１表にみられるごとく、本願発明の組成物は
液の安定性において格段と向上していることが認
められる。
【表】
実施例 ６〜12
第２表に示す配合で(a)タンタルアルコラートと
(b)オキシ酸とを有機溶剤中で反応させ、(a)と(b)と
の反応生成物の有機溶剤溶液を得た。得られた液
を広口ビンに入れ、室温下空気中で開放状態に30
日間置いて安定性試験を行なつた。結果を第２表
に示す。また30日経過後の液を第２表の処理条件
でガラス板に施し、得られた酸化タンタル膜の性
状を肉眼観察により測定した結果をも第２表に示
した。第２表にみられる如く(a)と(b)との反応生成
物の有機溶剤溶液は安定であり、かつ透明ですぐ
れた酸化タンタル薄膜を形成し得るものである。
(b)オキシ酸とを有機溶剤中で反応させ、(a)と(b)と
の反応生成物の有機溶剤溶液を得た。得られた液
を広口ビンに入れ、室温下空気中で開放状態に30
日間置いて安定性試験を行なつた。結果を第２表
に示す。また30日経過後の液を第２表の処理条件
でガラス板に施し、得られた酸化タンタル膜の性
状を肉眼観察により測定した結果をも第２表に示
した。第２表にみられる如く(a)と(b)との反応生成
物の有機溶剤溶液は安定であり、かつ透明ですぐ
れた酸化タンタル薄膜を形成し得るものである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ タンタルアルコラート(a)と脂肪族オキシ酸(b)
とを、(a)／(b)＝１／１〜５（モル比）の比率で、
それらの共通有機溶剤(c)に溶解した溶液からなる
ことを特徴とする酸化タンタル薄膜形成性組成
物。 ２ 脂肪族オキシ酸が、乳酸である特許請求の範
囲第１項記載の組成物。 ３ タンタルアルコラート(a)と脂肪族オキシ酸(b)
との(a)／(b)＝１／１〜５（モル比）の比率の反応
生成物を有機溶剤に溶解した溶液からなることを
特徴とする酸化タンタル薄膜形成性組成物。 ４ 脂肪族オキシ酸が、乳酸である特許請求の範
囲第３項記載の組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4408181A JPS57160915A (en) | 1981-03-27 | 1981-03-27 | Composition forming thin tantalum oxide film |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4408181A JPS57160915A (en) | 1981-03-27 | 1981-03-27 | Composition forming thin tantalum oxide film |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57160915A JPS57160915A (en) | 1982-10-04 |
| JPS642669B2 true JPS642669B2 (ja) | 1989-01-18 |
Family
ID=12681661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4408181A Granted JPS57160915A (en) | 1981-03-27 | 1981-03-27 | Composition forming thin tantalum oxide film |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57160915A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0618146U (ja) * | 1992-08-08 | 1994-03-08 | 澄 郡司掛 | 自動車用ハンドルグリップ |
| WO2002043131A1 (en) * | 2000-11-21 | 2002-05-30 | Jsr Corporation | Tantalum oxide film, use thereof, and method and composition for forming the same |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02194066A (ja) * | 1989-01-24 | 1990-07-31 | Koujiyundo Kagaku Kenkyusho:Kk | 膜形成用塗布剤 |
| DE10113169A1 (de) * | 2001-03-19 | 2002-09-26 | Starck H C Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Tantal- und Niobalkoholaten |
| JP4894121B2 (ja) * | 2001-09-27 | 2012-03-14 | Ｊｓｒ株式会社 | 酸化タンタル膜形成用組成物および酸化タンタル膜の形成方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5912749B2 (ja) * | 1975-12-26 | 1984-03-26 | セイコーエプソン株式会社 | セラミツクヨウシヤヒマク |
-
1981
- 1981-03-27 JP JP4408181A patent/JPS57160915A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0618146U (ja) * | 1992-08-08 | 1994-03-08 | 澄 郡司掛 | 自動車用ハンドルグリップ |
| WO2002043131A1 (en) * | 2000-11-21 | 2002-05-30 | Jsr Corporation | Tantalum oxide film, use thereof, and method and composition for forming the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57160915A (en) | 1982-10-04 |
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