JPS64325B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS64325B2 JPS64325B2 JP4495584A JP4495584A JPS64325B2 JP S64325 B2 JPS64325 B2 JP S64325B2 JP 4495584 A JP4495584 A JP 4495584A JP 4495584 A JP4495584 A JP 4495584A JP S64325 B2 JPS64325 B2 JP S64325B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- catalyst
- reaction
- dbu
- dichlorosilane
- monosilane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Catalysts (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はヒドロクロロシランの不均化反応によ
るモノシランの製造方法に関するものである。
るモノシランの製造方法に関するものである。
シランは特に半導体装置又は太陽電池に使用さ
れるシリコンを熱分解により製造する原料として
有用である。
れるシリコンを熱分解により製造する原料として
有用である。
触媒の存在下におけるクロロシラン類の不均化
反応は下式のような平衡化反応であり、この反応
によりモノシランを得ることは周知である。
反応は下式のような平衡化反応であり、この反応
によりモノシランを得ることは周知である。
2HSiCl3H2SiCl2＋SiCl4 (1)
2H2SiCl2H3SiCl＋HSiCl3 (2)
2H3SiClSiH4＋H2SiCl2 (3)
しかしながらモノシラン製造に関する従来法は
少なからずの欠点を有している。たとえば、特開
昭47−12569号においては固体陰イオン交換樹脂
とジクロロシランを接触させ前記不均化反応によ
りモノシランを得ようとするものである。この方
法は反応速度が小さく、触媒も高価であるという
欠点がある。またアミン系不均化反応触媒は、微
量水分によりその活性を著しく低下させるため脱
水乾燥工程に細心の注意を必要とする。固体陰イ
オン交換樹脂はこのような脱水乾燥工程におい
て、加熱温度が敏感に触媒活性に影響するため、
短時間の加熱減圧乾燥が実施できず室温で不活性
ガス気流下に長時間乾燥させるか、水分を含まな
い溶媒を用いて充分に洗浄し脱水しなければなら
ないという繁雑さを伴なう。
少なからずの欠点を有している。たとえば、特開
昭47−12569号においては固体陰イオン交換樹脂
とジクロロシランを接触させ前記不均化反応によ
りモノシランを得ようとするものである。この方
法は反応速度が小さく、触媒も高価であるという
欠点がある。またアミン系不均化反応触媒は、微
量水分によりその活性を著しく低下させるため脱
水乾燥工程に細心の注意を必要とする。固体陰イ
オン交換樹脂はこのような脱水乾燥工程におい
て、加熱温度が敏感に触媒活性に影響するため、
短時間の加熱減圧乾燥が実施できず室温で不活性
ガス気流下に長時間乾燥させるか、水分を含まな
い溶媒を用いて充分に洗浄し脱水しなければなら
ないという繁雑さを伴なう。
次に特開昭57−209816号においては、α−オキ
ソアミン基を有する化合物を触媒としジクロロシ
ランと接触させモノシランを得ることを開示して
いる。この方法は、丸底フラスコにトレー型塔を
備えた装置で塔内においてジクロロシランガスと
触媒を向流接触させモノシランを塔頂より得て、
高沸点クロロシラン類、触媒、溶媒の混合物をオ
ーバーフローで丸底フラスコより取り除くもので
ある。この方法は多量の触媒を使用し、かつモノ
シランを取り除いたあとの高沸点クロロシラン
類、溶媒、触媒の分離を必要とするため、工業的
規模のモノシラン合成法には適しない。
ソアミン基を有する化合物を触媒としジクロロシ
ランと接触させモノシランを得ることを開示して
いる。この方法は、丸底フラスコにトレー型塔を
備えた装置で塔内においてジクロロシランガスと
触媒を向流接触させモノシランを塔頂より得て、
高沸点クロロシラン類、触媒、溶媒の混合物をオ
ーバーフローで丸底フラスコより取り除くもので
ある。この方法は多量の触媒を使用し、かつモノ
シランを取り除いたあとの高沸点クロロシラン
類、溶媒、触媒の分離を必要とするため、工業的
規模のモノシラン合成法には適しない。
また特公昭57−20244号においてはトリクロロ
シランの不均化反応によりジクロロシランを製造
する際に使用する触媒の１つに１，８−ジアザビ
シクロ〔５，４，０〕−７−ウンデセンを使う事
が示されているが、ジクロロシランからシランを
製造する事及び固体触媒を使用することに関して
は何等記載されていない。
シランの不均化反応によりジクロロシランを製造
する際に使用する触媒の１つに１，８−ジアザビ
シクロ〔５，４，０〕−７−ウンデセンを使う事
が示されているが、ジクロロシランからシランを
製造する事及び固体触媒を使用することに関して
は何等記載されていない。
本発明はヒドロクロロシランを不均化してモノ
シランを製造することのできる勝れた性能の触媒
を提供することを目的とするものである。
シランを製造することのできる勝れた性能の触媒
を提供することを目的とするものである。
本発明者らは上記の目的を達成するため研究を
続けた結果DBUまたはDBU塩を担体に担持させ
た触媒を用いることにより目的を達成できる事を
見出し本発明を完成したものである。
続けた結果DBUまたはDBU塩を担体に担持させ
た触媒を用いることにより目的を達成できる事を
見出し本発明を完成したものである。
すなわち本発明はヒドロクロロシランと上記触
媒を短時間接触させることを要旨とするものであ
る。
媒を短時間接触させることを要旨とするものであ
る。
生成した平衡混合物を精留してモノシランを得
ることができる。
ることができる。
本発明において使用しうるヒドロクロロシラン
としてはジクロロシラン又はモノクロルシランが
好ましいが２種以上のヒドロクロロシランの混合
物でＨ／Cl（原子比）が１／２以上好ましくは
１／１以上のものも使用することができる。
としてはジクロロシラン又はモノクロルシランが
好ましいが２種以上のヒドロクロロシランの混合
物でＨ／Cl（原子比）が１／２以上好ましくは
１／１以上のものも使用することができる。
本発明の方法に用いるDBUまたはDBU塩担持
触媒は例えば、メタノール等のアルコールに
DBUまたはDBU塩を溶解し、これに担体を加え
攪拌メタノールを留去しそのまま減圧加熱乾燥す
ることにより調製することができる。この時使用
できるDBU塩の例として、塩化水素塩、沃化水
素塩、トリクロロシラン塩、ジクロロシラン塩が
ある。
触媒は例えば、メタノール等のアルコールに
DBUまたはDBU塩を溶解し、これに担体を加え
攪拌メタノールを留去しそのまま減圧加熱乾燥す
ることにより調製することができる。この時使用
できるDBU塩の例として、塩化水素塩、沃化水
素塩、トリクロロシラン塩、ジクロロシラン塩が
ある。
使用できる担体は、シリカ、アルミナ、シリカ
アルミナ、ゼオライト、活性炭等通常の触媒担体
用として用いることのできるものである。
アルミナ、ゼオライト、活性炭等通常の触媒担体
用として用いることのできるものである。
ヒドロクロロシラン類の不均化反応は０℃から
400℃好ましくは50℃から150℃で大気圧下、大気
圧より低い圧力下、または大気圧より高い圧力下
において行なうことができる。
400℃好ましくは50℃から150℃で大気圧下、大気
圧より低い圧力下、または大気圧より高い圧力下
において行なうことができる。
本発明に使用できるDBUまたはDBU塩の担体
に対する担持量は担体の見掛けの溶積１mlに対し
てDBU換算で0.001ｇから0.5ｇの範囲で実施可能
である好ましくは0.01から0.05ｇの範囲である。
また反応を長期に亘り連続的に行なう事も可能で
ある。
に対する担持量は担体の見掛けの溶積１mlに対し
てDBU換算で0.001ｇから0.5ｇの範囲で実施可能
である好ましくは0.01から0.05ｇの範囲である。
また反応を長期に亘り連続的に行なう事も可能で
ある。
本発明におけるジクロロシランの不均化反応で
充分に熱力学的平衡に到達するための触媒とジク
ロロシランの接触時間（反応管空筒基準とする。）
は0.5秒以上である。生産効率上接触時間は短い
方が有利であり好ましくは１から５秒である。
充分に熱力学的平衡に到達するための触媒とジク
ロロシランの接触時間（反応管空筒基準とする。）
は0.5秒以上である。生産効率上接触時間は短い
方が有利であり好ましくは１から５秒である。
このように本発明はDBU担持触媒を用いてヒ
ドロクロロシランから効率的にモノシランを得る
ことができる。
ドロクロロシランから効率的にモノシランを得る
ことができる。
以下実施例により本発明を説明する。
実施例 １
純度99％のジクロロシランを１のステンレス
製ボンベに収めボンベを油浴により50℃に加温す
る。これにより一定流量のジクロロシラン蒸気を
予熱器に導入し、予熱器にて蒸気を反応温度の80
℃に加熱し、これを反応器に導入した。反応器は
内径10mm×長さ150mmmmのステンレス鋼製であり、
これにDBU塩酸塩を５重量パーセント含む35〜
70メツシユ、細孔径40オングストローム、比表面
積650m2／ｇのシリカゲルを入れ80℃に加熱した
ものである。反応器より流出する反応蒸気はドラ
イアイスアセトン浴、液体窒素トラツプにより凝
縮捕集した。接触時間１秒の時の反応蒸気のガス
クロマトグラフによる分析結果は次のようであつ
た。
製ボンベに収めボンベを油浴により50℃に加温す
る。これにより一定流量のジクロロシラン蒸気を
予熱器に導入し、予熱器にて蒸気を反応温度の80
℃に加熱し、これを反応器に導入した。反応器は
内径10mm×長さ150mmmmのステンレス鋼製であり、
これにDBU塩酸塩を５重量パーセント含む35〜
70メツシユ、細孔径40オングストローム、比表面
積650m2／ｇのシリカゲルを入れ80℃に加熱した
ものである。反応器より流出する反応蒸気はドラ
イアイスアセトン浴、液体窒素トラツプにより凝
縮捕集した。接触時間１秒の時の反応蒸気のガス
クロマトグラフによる分析結果は次のようであつ
た。
モノシラン 11.2mol％
モノクロロシラン 16.2 〃
ジクロロシラン 37.1 〃
トリクロロシラン 35.0 〃
テトラクロロシラン 0.5 〃
実施例 ２
実施例１と同様な反応装置にDBU塩酸塩５重
量パーセントを含む35〜70メツシユ、細孔径40オ
ングストローム、比表面積650m2／ｇのシリカゲ
ルを入れ80℃に加熱した。これに純度99％のジク
ロロシランガスを接触時間２秒で反応器に導入し
た。１日６時間の反応を行ない連続50日間のべ
300時間の反応を行なつた。この時２時間おきの
ガスクロマトグラフ分析ではモノシラン10.8〜
11.4モルパーセントの生成量を維持し触媒に長期
的活性のあることを示した。300時間反応終了後
触媒中の窒素分を分析した結果、反応開始前の分
析値に対して93％の窒素分が残存した。
量パーセントを含む35〜70メツシユ、細孔径40オ
ングストローム、比表面積650m2／ｇのシリカゲ
ルを入れ80℃に加熱した。これに純度99％のジク
ロロシランガスを接触時間２秒で反応器に導入し
た。１日６時間の反応を行ない連続50日間のべ
300時間の反応を行なつた。この時２時間おきの
ガスクロマトグラフ分析ではモノシラン10.8〜
11.4モルパーセントの生成量を維持し触媒に長期
的活性のあることを示した。300時間反応終了後
触媒中の窒素分を分析した結果、反応開始前の分
析値に対して93％の窒素分が残存した。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ １，８−ジアザビシクロ〔５，４，０〕−ウ
ンデセン−７（以下「DBU」と略記する。）又は
DBU塩を担体に担持させ、これにヒドロクロロ
シランを接触させることを特徴とするモノシラン
の製造方法。 ２ 前記ヒドロクロロシランがジクロロシランで
ある事を特徴とする第１項に記載の方法。 ３ 前記ヒドロクロロシランがヒドロクロロシラ
ンの混合物でありそのＨ／Clの原子比が１／２以
上であることを特徴とする第１項記載の方法。 ４ 前記原子比が１／１以上であることをを特徴
とする第３項記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4495584A JPS60191015A (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | モノシランの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4495584A JPS60191015A (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | モノシランの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60191015A JPS60191015A (ja) | 1985-09-28 |
| JPS64325B2 true JPS64325B2 (ja) | 1989-01-06 |
Family
ID=12705905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4495584A Granted JPS60191015A (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | モノシランの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60191015A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4753003B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2011-08-17 | 株式会社ニコン | 顕微鏡用コンデンサ及び顕微鏡 |
-
1984
- 1984-03-09 JP JP4495584A patent/JPS60191015A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60191015A (ja) | 1985-09-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101819262B1 (ko) | 고급 실란의 선택적 분해 방법 | |
| JP5632362B2 (ja) | 純シリコンを製造するための方法およびシステム | |
| US20100296994A1 (en) | Catalyst and method for dismutation of halosilanes containing hydrogen | |
| CA2025864C (en) | Removal of hydrogen-containing silanes from organosilane mixtures | |
| US4115427A (en) | Method of preparing silicon-nitrogen compounds | |
| CN116272684A (zh) | 一种三甲基氯硅烷制备的系统与方法 | |
| JPS64325B2 (ja) | ||
| CN111790452B (zh) | 一种甲醇羰基化催化剂及其制备方法、应用 | |
| JPH06228162A (ja) | ジメチルクロルシランの製造方法 | |
| JPH0471008B2 (ja) | ||
| JP3766475B2 (ja) | モノシランの製造方法 | |
| US3980686A (en) | Process for the preparation of chlorosilane | |
| JPS59121110A (ja) | シラン化合物の連続的製法 | |
| CN112316976A (zh) | 季胺盐改性介孔分子筛及其制备方法和用途 | |
| JPS616116A (ja) | シランの製造方法 | |
| JP3865904B2 (ja) | シラン化合物の不均化反応生成物の製造方法 | |
| JP2001131188A (ja) | クロロシラン類の不均化反応方法 | |
| JPH0688774B2 (ja) | ハロゲン化シラン類の不均化方法 | |
| JPS59156907A (ja) | シランの製造方法 | |
| CN119504844A (zh) | 一种多晶硅及有机硅高沸裂解转化用的多官能团催化剂 | |
| JPS61187937A (ja) | ハロゲン化シラン不均化触媒 | |
| JPH0480848B2 (ja) | ||
| CN115368375A (zh) | 一种制备氧杂-降冰片烯的方法 | |
| JPS63151611A (ja) | ハロゲン化シラン類の製造方法 | |
| JPS61187936A (ja) | ハロゲン化シラン不均化触媒の製造方法 |