JPS648586B2 - - Google Patents
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- JPS648586B2 JPS648586B2 JP58077778A JP7777883A JPS648586B2 JP S648586 B2 JPS648586 B2 JP S648586B2 JP 58077778 A JP58077778 A JP 58077778A JP 7777883 A JP7777883 A JP 7777883A JP S648586 B2 JPS648586 B2 JP S648586B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- nozzle
- vibrating body
- nozzle plate
- radial
- Prior art date
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0638—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
- B05B17/0646—Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0623—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers coupled with a vibrating horn
Landscapes
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は液体燃料、水、薬液等の種々の液体を
微粒化するための霧化装置に関し、さらに詳しく
言えば、圧電振動子等の電気的振動子の振動を利
用してノズルから液体を噴射し微粒化するところ
の噴射型霧化装置に関するものである。
微粒化するための霧化装置に関し、さらに詳しく
言えば、圧電振動子等の電気的振動子の振動を利
用してノズルから液体を噴射し微粒化するところ
の噴射型霧化装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来、この種の霧化装置はインクジエツト記録
装置のインク微粒化装置に主として用いられてお
り、第1図はその代表的な構成の1例である。
装置のインク微粒化装置に主として用いられてお
り、第1図はその代表的な構成の1例である。
第1図において、インク室1の1端にはオリフ
イス2が設けられ、他端には振動板3と圧電振動
子4より成る振動体が設けられている。また、イ
ンク室1はパイプ5にてインクタンク6と接続さ
れている。圧電振動子4に第2図のような電圧が
供給されると、圧電振動子4と振動板3は第1図
中の破線のようにたわみ振動を生じる。この振動
による圧力波はインク室1の中のインクを介して
オリフイス2に伝えられ、インク粒子7が噴射さ
れるように構成されている。
イス2が設けられ、他端には振動板3と圧電振動
子4より成る振動体が設けられている。また、イ
ンク室1はパイプ5にてインクタンク6と接続さ
れている。圧電振動子4に第2図のような電圧が
供給されると、圧電振動子4と振動板3は第1図
中の破線のようにたわみ振動を生じる。この振動
による圧力波はインク室1の中のインクを介して
オリフイス2に伝えられ、インク粒子7が噴射さ
れるように構成されている。
しかしながら、このような従来の霧化装置は次
のような欠点があつた。
のような欠点があつた。
すなわち、前述したように圧電振動子4により
生じる圧力波がインク室1の中のインクを媒体と
してオリフイス2に伝達されるという構成である
ためインク中に溶存空気が多く含まれていると、
いわゆるキヤビテーシヨン現象によつて気泡が発
生し、前述の圧力波がオリフイス2に伝わるのが
阻止されてしまい、結果として正常にインク粒子
7を噴射できないという欠点を有していた。した
がつて、インクは、極めて溶存空気が少ないもの
でなければならず、特殊処理したインクが必要で
あり、汎用性に欠けるものであつた。
生じる圧力波がインク室1の中のインクを媒体と
してオリフイス2に伝達されるという構成である
ためインク中に溶存空気が多く含まれていると、
いわゆるキヤビテーシヨン現象によつて気泡が発
生し、前述の圧力波がオリフイス2に伝わるのが
阻止されてしまい、結果として正常にインク粒子
7を噴射できないという欠点を有していた。した
がつて、インクは、極めて溶存空気が少ないもの
でなければならず、特殊処理したインクが必要で
あり、汎用性に欠けるものであつた。
さらに、圧電振動子4は、高温による特性劣下
が生じやすく高温中で使用できなかつた。また、
圧電振動子4は図示していないが電極などの腐蝕
されやすい部分を有しており、高湿中あるいは酸
性雰囲気中などでの使用は困難であつた。
が生じやすく高温中で使用できなかつた。また、
圧電振動子4は図示していないが電極などの腐蝕
されやすい部分を有しており、高湿中あるいは酸
性雰囲気中などでの使用は困難であつた。
発明の目的
本発明はこのような従来の問題点を解消した霧
化装置を提供するものである。
化装置を提供するものである。
その第1の目的は溶存空気を多量に含む水や液
体燃料、薬液などの一般的な種々の液体であつて
もキヤビテーシヨン気泡の影響を受けることなく
安定に噴霧することができる霧化装置を提供する
ことである。
体燃料、薬液などの一般的な種々の液体であつて
もキヤビテーシヨン気泡の影響を受けることなく
安定に噴霧することができる霧化装置を提供する
ことである。
さらに、第2の目的は、高温中、あるいは高湿
中、さらには、酸性雰囲気中などの悪環境下に於
ても、特性劣化や膚蝕などの不都合を生じること
なく良好な性能と高信頼性を保証することができ
る霧化装置を提供することである。
中、さらには、酸性雰囲気中などの悪環境下に於
ても、特性劣化や膚蝕などの不都合を生じること
なく良好な性能と高信頼性を保証することができ
る霧化装置を提供することである。
発明の構成
本発明は液体が充填される加圧室と、前記加圧
室に臨むノズルを有するノズル板と、電気的振動
子と、電気的振動子の振動を前記ノズル板に伝達
する振動伝達部とよりなり、電気的振動子の振動
によりノズル板のたわみ振動を励起してノズルを
加振し、ノズルより液体を噴霧するものである。
室に臨むノズルを有するノズル板と、電気的振動
子と、電気的振動子の振動を前記ノズル板に伝達
する振動伝達部とよりなり、電気的振動子の振動
によりノズル板のたわみ振動を励起してノズルを
加振し、ノズルより液体を噴霧するものである。
実施例の説明
第3図aは本発明の一実施例の霧化装置の正面
図であり、同図bは同霧化装置の断面図である。
同図において、加圧室8は直径5〜20mm、深さ1
〜10mmの円筒状であり、金属製のボデイー9内に
設けられている。加圧室8の一面は、厚さ30μm
〜200μmの金属製ノズル板11にて覆われてお
り、ノズル板11の中央には直径30μm〜200μm
のノズル12が複数個設けられている。ノズル板
11には開口13を有する厚さ、0.5〜2mmの板
状の径方向振動体14が装着されている。
図であり、同図bは同霧化装置の断面図である。
同図において、加圧室8は直径5〜20mm、深さ1
〜10mmの円筒状であり、金属製のボデイー9内に
設けられている。加圧室8の一面は、厚さ30μm
〜200μmの金属製ノズル板11にて覆われてお
り、ノズル板11の中央には直径30μm〜200μm
のノズル12が複数個設けられている。ノズル板
11には開口13を有する厚さ、0.5〜2mmの板
状の径方向振動体14が装着されている。
15は厚み方向振動する圧動振動子であり振巾
増巾用ホーン振動体16にナツト17で固定され
ている。
増巾用ホーン振動体16にナツト17で固定され
ている。
ホーン振動体16の先端は振動伝達用の長い振
動伝達棒18が設けられ、この振動伝達棒18の
他端は径方向振動体14に固着されている。また
ホーン振動体16は、後述のようにその振動の節
部で、パイプ19に固定されている。
動伝達棒18が設けられ、この振動伝達棒18の
他端は径方向振動体14に固着されている。また
ホーン振動体16は、後述のようにその振動の節
部で、パイプ19に固定されている。
加圧室8は、パイプ19で略一定液面Aを有す
るレベラ20と接続され、さらにパイプ21に
て、負圧力発生器22に接続されている。
るレベラ20と接続され、さらにパイプ21に
て、負圧力発生器22に接続されている。
噴霧動作時は、負圧力発生器の発生する負圧力
―Pによりパイプ19内の液面Bは吸い上げられ
てパイプ21内の液面Cとなつてつりあい、加圧
室8への液体の充填が図のように達成される。
―Pによりパイプ19内の液面Bは吸い上げられ
てパイプ21内の液面Cとなつてつりあい、加圧
室8への液体の充填が図のように達成される。
次に圧電振動子15に第4図a,b又はcのよ
うな交流電圧が供給され、圧電振動子は厚み振動
する。この厚み振動(縦振動)は、ホーン振動体
16により振巾増巾されて振動伝達棒18により
径方向振動体14に伝達される。径方向振動体1
4はノズル板11と図のように相互にロウ付され
ているので、振動伝達棒18より伝達された縦振
動により励起された径方向振動体14の径方向振
動は、図の破線で示すようなノズル板11のたわ
み振動を生じる。したがつて、ノズル12はその
軸方向に大きく加振されるので、加圧室8内の液
体はノズル12の近傍のみが加圧されノズル12
より液滴23を噴射する。また噴射された液体に
相当する液体が、ノズル12に発生する液体の表
面張力によりパイプ19より自吸され、自吸ポン
プ作用を果す。
うな交流電圧が供給され、圧電振動子は厚み振動
する。この厚み振動(縦振動)は、ホーン振動体
16により振巾増巾されて振動伝達棒18により
径方向振動体14に伝達される。径方向振動体1
4はノズル板11と図のように相互にロウ付され
ているので、振動伝達棒18より伝達された縦振
動により励起された径方向振動体14の径方向振
動は、図の破線で示すようなノズル板11のたわ
み振動を生じる。したがつて、ノズル12はその
軸方向に大きく加振されるので、加圧室8内の液
体はノズル12の近傍のみが加圧されノズル12
より液滴23を噴射する。また噴射された液体に
相当する液体が、ノズル12に発生する液体の表
面張力によりパイプ19より自吸され、自吸ポン
プ作用を果す。
このように、ノズル12の極近傍に圧力変動の
最大点が生じる構成であるのでキヤビテーシヨン
により溶存空気が気泡化する可能性の高い部分は
ノズル12の極近くとなる。このためキヤビテー
シヨンにより気泡が大きく成長して噴霧動作を阻
害する以前にノズル12より噴射されてしまうと
いう好ましい結果を生む構成となり、溶存空気を
多く含む液体であつても安定な噴霧動作を保証す
ることができる。
最大点が生じる構成であるのでキヤビテーシヨン
により溶存空気が気泡化する可能性の高い部分は
ノズル12の極近くとなる。このためキヤビテー
シヨンにより気泡が大きく成長して噴霧動作を阻
害する以前にノズル12より噴射されてしまうと
いう好ましい結果を生む構成となり、溶存空気を
多く含む液体であつても安定な噴霧動作を保証す
ることができる。
第5図a,bおよびcは、第3図の振動系の説
明図であり、第3図と同符号は相当する構造体で
ある。同図aは正面図、同図bは断面図であり逆
相振動するように接続された圧電振動子15a,
15bの縦振動は、ホーン振動体16により振巾
増巾され振動電達棒18を介して径方向振動体1
4に伝達されるが、その振動の位相関係は同図c
に示すような振動の節と腹になるように構成され
ている。
明図であり、第3図と同符号は相当する構造体で
ある。同図aは正面図、同図bは断面図であり逆
相振動するように接続された圧電振動子15a,
15bの縦振動は、ホーン振動体16により振巾
増巾され振動電達棒18を介して径方向振動体1
4に伝達されるが、その振動の位相関係は同図c
に示すような振動の節と腹になるように構成され
ている。
すなわち、圧電振動子15a,15bの振動が
効率的に伝達されて径方向振動体14の径方向振
動が励起されるように構成されている。
効率的に伝達されて径方向振動体14の径方向振
動が励起されるように構成されている。
そして、この径方向振動体14の径方向振動に
よりノズル板11のたわみ振動が励起されて液滴
23が噴射されるのである。
よりノズル板11のたわみ振動が励起されて液滴
23が噴射されるのである。
図より明らかなように、径方向振動体14、振
動伝達棒18、およびホーン振動体16より成る
振動伝達部を用いる構成により、ノズル板11と
圧電振動子15a、および15bとの位置関係を
自由に選ぶことが可能であり、振動系の整合を良
好に保ちさえすれば、ノズル板11の置かれる場
所から圧電振動子15a,15bの置かれる場所
を完全に隔離することが可能である。
動伝達棒18、およびホーン振動体16より成る
振動伝達部を用いる構成により、ノズル板11と
圧電振動子15a、および15bとの位置関係を
自由に選ぶことが可能であり、振動系の整合を良
好に保ちさえすれば、ノズル板11の置かれる場
所から圧電振動子15a,15bの置かれる場所
を完全に隔離することが可能である。
このことは、高温中あるいは高湿中、さらには
酸性雰囲気中などでの噴霧を行わせる場合でも、
圧電振動子15a,15bをそのような悪環境か
ら隔離できることを意味するものである。すなわ
ち悪環境下においても高性能、高信頼性を保証で
きる霧化装置を提供できるものであり、非常に汎
用性に優れた霧化装置とすることができる。
酸性雰囲気中などでの噴霧を行わせる場合でも、
圧電振動子15a,15bをそのような悪環境か
ら隔離できることを意味するものである。すなわ
ち悪環境下においても高性能、高信頼性を保証で
きる霧化装置を提供できるものであり、非常に汎
用性に優れた霧化装置とすることができる。
第3図、および第5図で示した径方向振動体1
4を含む振動伝達部を用いた霧化装置は、第6
図、第7図、又は第8図a,bに示すように様々
の実施態様が可能である。
4を含む振動伝達部を用いた霧化装置は、第6
図、第7図、又は第8図a,bに示すように様々
の実施態様が可能である。
第6図において、ノズル板11は、径方向振動
体14の開口13より少し大きい面積であり、径
方向振動体14の完全な径方向振動でノズル板1
1のたわみ振動が励起される。
体14の開口13より少し大きい面積であり、径
方向振動体14の完全な径方向振動でノズル板1
1のたわみ振動が励起される。
第7図は、ノズル板11の中央に突起25を設
けたものであり、液滴23は、突起25の形状と
ノズル12の配置により決まる方向に飛翔する。
けたものであり、液滴23は、突起25の形状と
ノズル12の配置により決まる方向に飛翔する。
第8図a,bは、径方向振動体14を中央に設
けてノズル板11と接合し、その周囲にノズル1
2を設けたものであつて、大量の噴霧が可能であ
る。
けてノズル板11と接合し、その周囲にノズル1
2を設けたものであつて、大量の噴霧が可能であ
る。
第9図bは本発明のさらに他の実施例を示す霧
化装置の断面図であり、同図aは振動の位相関係
を示す図である。
化装置の断面図であり、同図aは振動の位相関係
を示す図である。
同図において第3図bと同符号は相当する構造
体である。
体である。
26は円筒状の振動伝達部を形成する円筒伝達
部であつて、円筒状圧電振動子15の伸縮振動に
よる縦振動を同図aのように振動位相関係で先端
のノズル板11に伝達し、ノズル板11はたわみ
振動が励起され、液滴23が噴射される。加圧室
8は、この円筒伝達部26の1部とノズル板1
1、振動の節aに設けられた仕切板27とで形成
され、液体供給路28が接続されている。
部であつて、円筒状圧電振動子15の伸縮振動に
よる縦振動を同図aのように振動位相関係で先端
のノズル板11に伝達し、ノズル板11はたわみ
振動が励起され、液滴23が噴射される。加圧室
8は、この円筒伝達部26の1部とノズル板1
1、振動の節aに設けられた仕切板27とで形成
され、液体供給路28が接続されている。
円筒伝達部26の内部全体を液体供給路として
もよいが液体による振動エネルギーの損失が生じ
るので同図のように別構成とする方が効率的であ
る。
もよいが液体による振動エネルギーの損失が生じ
るので同図のように別構成とする方が効率的であ
る。
このように円筒伝達部26を用いても、ノズル
板11と圧電振動子15との位置関係を自由に選
び、悪環境下での噴霧動作を、高性能と高信頼性
を保証して実現することができる霧化装置を提供
することができる。
板11と圧電振動子15との位置関係を自由に選
び、悪環境下での噴霧動作を、高性能と高信頼性
を保証して実現することができる霧化装置を提供
することができる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、加圧室にノズル
を臨ませたノズル板を振動伝達部を介して電気的
振動子により付勢し、ノズル板のたわみ振動を励
起してノズルを加振し液体を噴霧する構成とした
ので、溶存空気を多く含んだ一般的な液体であつ
てもキヤビテーシヨンの影響をほとんど受けず安
定に噴霧することが可能であり、かつ、高温、あ
るいは高湿、又は酸性雰囲気などの悪環境下にお
いても良好な性能と高い信頼性を保証することが
できる霧化装置を提供することができる。したが
つて、その工業的価値は極めて大きいものであ
る。
を臨ませたノズル板を振動伝達部を介して電気的
振動子により付勢し、ノズル板のたわみ振動を励
起してノズルを加振し液体を噴霧する構成とした
ので、溶存空気を多く含んだ一般的な液体であつ
てもキヤビテーシヨンの影響をほとんど受けず安
定に噴霧することが可能であり、かつ、高温、あ
るいは高湿、又は酸性雰囲気などの悪環境下にお
いても良好な性能と高い信頼性を保証することが
できる霧化装置を提供することができる。したが
つて、その工業的価値は極めて大きいものであ
る。
第1図は従来の霧化装置の断面図、第2図は同
装置の駆動電圧波形図、第3図a,bはそれぞれ
本発明の一実施例の霧化装置の正面図および断面
図、第4図a,b,cは同装置の噴霧量に応じた
駆動電圧波形図、第5図a,b,cは同装置の振
動系の説明図、第6図および第7図はそれぞれ本
発明の他の実施例の霧化装置の部分的構成を示す
断面図、第8図a,bはさらに他の実施例の霧化
装置の部分的構成を示す平面図および断面図、第
9図a,bはそれぞれさらにもう1つ他の実施例
を示す霧化装置の振動位相説明図および断面図で
ある。 8…加圧室、11…ノズル板、12…ノズル、
14,16,18…振動伝達部、14…径方向振
動体、15,15a,15b…圧電振動子(電気
的振動子)、16…ホーン振動体、18…振動伝
達棒、26…円筒伝達部(振動伝達部)、28…
液体供給路。
装置の駆動電圧波形図、第3図a,bはそれぞれ
本発明の一実施例の霧化装置の正面図および断面
図、第4図a,b,cは同装置の噴霧量に応じた
駆動電圧波形図、第5図a,b,cは同装置の振
動系の説明図、第6図および第7図はそれぞれ本
発明の他の実施例の霧化装置の部分的構成を示す
断面図、第8図a,bはさらに他の実施例の霧化
装置の部分的構成を示す平面図および断面図、第
9図a,bはそれぞれさらにもう1つ他の実施例
を示す霧化装置の振動位相説明図および断面図で
ある。 8…加圧室、11…ノズル板、12…ノズル、
14,16,18…振動伝達部、14…径方向振
動体、15,15a,15b…圧電振動子(電気
的振動子)、16…ホーン振動体、18…振動伝
達棒、26…円筒伝達部(振動伝達部)、28…
液体供給路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 液体を充填する加圧室と、前記加圧室に臨む
ように設けられたノズルを有するノズル板と、電
気的振動子と、前記電気的振動子の振動を前記ノ
ズル板に伝達する振動伝達部とを備え、前記電気
的振動子の振動により前記ノズル板のたわみ振動
を励起して前記ノズルを加振し液体を前記ノズル
より噴霧する構成とした霧化装置。 2 振動伝達部の少なくとも1部に振巾増巾部を
設けた特許請求の範囲第1項に記載の霧化装置。 3 電気的振動子を厚み振動するよう構成すると
共に、振動伝達部の一部に径方向振動体を設け、
前記径方向振動体によりノズル板を付勢する構成
とした特許請求の範囲第1項又は第2項記載の霧
化装置。 4 径方向振動体に開口を設け、前記開口にノズ
ルが臨むよう前記径方向振動体とノズル板とを相
互に装着した特許請求の範囲第3項記載の霧化装
置。 5 振動伝達部を筒状振動体で構成し、前記筒状
振動体の先端にノズル板を設けると共に、前記筒
状振動体の内部を通つて液体が供給されるよう構
成した特許請求の範囲第1項記載の霧化装置。 6 筒状振動体の内部に液体供給路を設けた特許
請求の範囲第5項記載の霧化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58077778A JPS59203663A (ja) | 1983-05-02 | 1983-05-02 | 霧化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58077778A JPS59203663A (ja) | 1983-05-02 | 1983-05-02 | 霧化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59203663A JPS59203663A (ja) | 1984-11-17 |
| JPS648586B2 true JPS648586B2 (ja) | 1989-02-14 |
Family
ID=13643418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58077778A Granted JPS59203663A (ja) | 1983-05-02 | 1983-05-02 | 霧化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59203663A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023068325A1 (ja) | 2021-10-20 | 2023-04-27 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 抗ガン剤、抗ガン剤のプロドラッグ、体外でガン細胞を死滅させる方法、ガンの治療方法、及びガンの治療装置 |
-
1983
- 1983-05-02 JP JP58077778A patent/JPS59203663A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023068325A1 (ja) | 2021-10-20 | 2023-04-27 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 抗ガン剤、抗ガン剤のプロドラッグ、体外でガン細胞を死滅させる方法、ガンの治療方法、及びガンの治療装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59203663A (ja) | 1984-11-17 |
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