JPS649569B2 - - Google Patents
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- JPS649569B2 JPS649569B2 JP21444383A JP21444383A JPS649569B2 JP S649569 B2 JPS649569 B2 JP S649569B2 JP 21444383 A JP21444383 A JP 21444383A JP 21444383 A JP21444383 A JP 21444383A JP S649569 B2 JPS649569 B2 JP S649569B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- infrared
- measurement
- filter
- gas analyzer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は赤外線領域に吸収帯を有する測定ガス
の濃度を赤外線の吸収量により測定する赤外線ガ
ス分析計、特に煙道中のガス濃度測定などのダス
ト、ミスト及び水分を含む測定ガスについて直接
連続測定する赤外線ガス分析計に関するものであ
る。
の濃度を赤外線の吸収量により測定する赤外線ガ
ス分析計、特に煙道中のガス濃度測定などのダス
ト、ミスト及び水分を含む測定ガスについて直接
連続測定する赤外線ガス分析計に関するものであ
る。
一般に赤外線ガス分析計は、基本光学系とし
て、シングルビーム方式とダブルビーム方式に分
類される。両方式とも主要部分は光源部、測定セ
ル部および検出部である。
て、シングルビーム方式とダブルビーム方式に分
類される。両方式とも主要部分は光源部、測定セ
ル部および検出部である。
以下に本発明の理解を容易にするために、第１
図を用いてシングルビーム方式赤外線ガス分析計
の動作原理を簡単に説明する。第１図において、
光源部１内の赤外線光源２より放射された光束
IMは、セクター３により断続された後測定セル
４内に入射する。測定セル４は両側面に赤外線透
過窓１０，１１を配置し、測定ガスの導入口１５
と排出口１６を持つた構造をしており、通常測定
ガスが導入口１５から連続的に供給される。赤外
線光束IMは、測定セル４内で測定セルによりそ
の一部が吸収された後ガス封入検出器５に達す
る。この検出器５は、赤外線光束IMの光路方向
に直列に配置されている、測定成分ガスを封入し
た第１検出室６と、第２検出室７と、通路とから
構成され、検出器に入射した光束IMは第１検出
室６で一部吸収された後、第２検出室７でさらに
吸収される。この第１及び第２検出室６，７内に
測定成分ガスによる光束IMの吸収により生じた
圧力上昇の差が、通路８に設置された差圧検出素
子９により検出され、電気信号に変換される。
図を用いてシングルビーム方式赤外線ガス分析計
の動作原理を簡単に説明する。第１図において、
光源部１内の赤外線光源２より放射された光束
IMは、セクター３により断続された後測定セル
４内に入射する。測定セル４は両側面に赤外線透
過窓１０，１１を配置し、測定ガスの導入口１５
と排出口１６を持つた構造をしており、通常測定
ガスが導入口１５から連続的に供給される。赤外
線光束IMは、測定セル４内で測定セルによりそ
の一部が吸収された後ガス封入検出器５に達す
る。この検出器５は、赤外線光束IMの光路方向
に直列に配置されている、測定成分ガスを封入し
た第１検出室６と、第２検出室７と、通路とから
構成され、検出器に入射した光束IMは第１検出
室６で一部吸収された後、第２検出室７でさらに
吸収される。この第１及び第２検出室６，７内に
測定成分ガスによる光束IMの吸収により生じた
圧力上昇の差が、通路８に設置された差圧検出素
子９により検出され、電気信号に変換される。
今、燃焼排ガスのようにダスト、ミストおよび
水分を含む測定ガスを測定セル４に導入した場合
について考える。第１、第２検出室の光路長をそ
れぞれl1，l2、体積をv1，v2、検出器封入ガス濃
度をCo、測定セル入射光量をIM（λ）、測定セル
長をｌ、測定ガスに含まれる測定成分ガス濃度、
ダスト濃度をそれぞれCM，CD、ミストおよび水
分の露結による赤外線光束の減衰係数をKcとす
ると、検出器出力はおよそ次式で表わされる。
水分を含む測定ガスを測定セル４に導入した場合
について考える。第１、第２検出室の光路長をそ
れぞれl1，l2、体積をv1，v2、検出器封入ガス濃
度をCo、測定セル入射光量をIM（λ）、測定セル
長をｌ、測定ガスに含まれる測定成分ガス濃度、
ダスト濃度をそれぞれCM，CD、ミストおよび水
分の露結による赤外線光束の減衰係数をKcとす
ると、検出器出力はおよそ次式で表わされる。
Ｓ∝（△P1−△P2）∝KcIM（λ1）e-(〓MCM+〓MCD)l∝K
cIM（λ1）｛１−（αMCM＋βMCD）ｌ｝……(1) (1)式より明らかなように、測定成分ガス濃度と
ダスト濃度あるいはミスト、水分の露結による赤
外線強度の減衰量に応じた電気信号が得られ、こ
のままでは他の手段でダスト濃度および赤外線強
度の減衰量を測定しない限り正確な測定成分ガス
の濃度を測定することができない。ここでIM
（λ1）は赤外線光束の中の測定成分ガスの吸収帯
の中心波長における光強度、αM、βMは中心波長
λ1における測定成分ガス、ダストの吸光係数であ
る。
cIM（λ1）｛１−（αMCM＋βMCD）ｌ｝……(1) (1)式より明らかなように、測定成分ガス濃度と
ダスト濃度あるいはミスト、水分の露結による赤
外線強度の減衰量に応じた電気信号が得られ、こ
のままでは他の手段でダスト濃度および赤外線強
度の減衰量を測定しない限り正確な測定成分ガス
の濃度を測定することができない。ここでIM
（λ1）は赤外線光束の中の測定成分ガスの吸収帯
の中心波長における光強度、αM、βMは中心波長
λ1における測定成分ガス、ダストの吸光係数であ
る。
したがつて、赤外線ガス分析計を煙道排ガスの
ように多量のダスト、ミストおよび水分を含む測
定ガスに適用する場合には、測定セル４に測定ガ
スを導入する前処理として、ダスト、ミストおよ
び水分を除く処理を含むガスサンプリング系を必
要とする。第２図は典型的なガスサンプリング系
の系統図を示したものである。図において、測定
ガス採集器２１の中には測定ガス中に含まれるダ
ストを除去する第１段目の粗フイルタが収容され
ており、さらにドレインポツト２２による露結水
の除去、フイルタ２３によるミスト除去などの工
程を得て清浄化し、さらにガス乾燥器２６により
測定ガス中の水分を除去し、最終段階として赤外
線ガス分析計２９に導入される直前において第２
段目のミクロフイルタ２７により完全に測定ガス
中のダストを除去する。このようなダスト、ミス
トおよび水分除去をすれば(1)式より明らかなよう
に赤外線ガス分析計の出力信号へのダスト、ミス
トおよび水分の影響は無くなり、正確に測定成分
ガス濃度を測定できる。
ように多量のダスト、ミストおよび水分を含む測
定ガスに適用する場合には、測定セル４に測定ガ
スを導入する前処理として、ダスト、ミストおよ
び水分を除く処理を含むガスサンプリング系を必
要とする。第２図は典型的なガスサンプリング系
の系統図を示したものである。図において、測定
ガス採集器２１の中には測定ガス中に含まれるダ
ストを除去する第１段目の粗フイルタが収容され
ており、さらにドレインポツト２２による露結水
の除去、フイルタ２３によるミスト除去などの工
程を得て清浄化し、さらにガス乾燥器２６により
測定ガス中の水分を除去し、最終段階として赤外
線ガス分析計２９に導入される直前において第２
段目のミクロフイルタ２７により完全に測定ガス
中のダストを除去する。このようなダスト、ミス
トおよび水分除去をすれば(1)式より明らかなよう
に赤外線ガス分析計の出力信号へのダスト、ミス
トおよび水分の影響は無くなり、正確に測定成分
ガス濃度を測定できる。
しかし近年赤外線ガス分析計を単なるガス成分
モニタに用いるのみでなく、燃焼制御のように赤
外線ガス分析計の信号をシステムの制御信号とし
て用いることが色々な分野で進められている。こ
のような場合には、赤外線ガス分析計の信号の精
度が要求されるのみでなく、高速応答性が大きな
要求特性となる。赤外線ガス分析計本体は制御に
適用するに十分な早い応答性を持つているが、前
記のとおりダスト、ミストおよび水分を含む測定
ガスに対してはガスサンプリング系を絶対に必要
とするので、測定系全体としての応答速度は数10
秒から分のオーダとなり、制御のような早い応答
性が要求される用途に対しては適用が困難である
という欠点を持つている。
モニタに用いるのみでなく、燃焼制御のように赤
外線ガス分析計の信号をシステムの制御信号とし
て用いることが色々な分野で進められている。こ
のような場合には、赤外線ガス分析計の信号の精
度が要求されるのみでなく、高速応答性が大きな
要求特性となる。赤外線ガス分析計本体は制御に
適用するに十分な早い応答性を持つているが、前
記のとおりダスト、ミストおよび水分を含む測定
ガスに対してはガスサンプリング系を絶対に必要
とするので、測定系全体としての応答速度は数10
秒から分のオーダとなり、制御のような早い応答
性が要求される用途に対しては適用が困難である
という欠点を持つている。
本発明の目的は、従来のダスト、ミストおよび
水分除去などのサンプリング処理系を含む赤外線
ガス分析計の持つている欠点を除き、直接ダス
ト、ミストおよび水分を含む測定ガスを赤外線ガ
ス分析計に導入して、ダスト、ミストおよび水分
の影響を受けない高精度の測定を可能とし、しか
も高速応答性を可能にした赤外線ガス分析計を提
供することである。
水分除去などのサンプリング処理系を含む赤外線
ガス分析計の持つている欠点を除き、直接ダス
ト、ミストおよび水分を含む測定ガスを赤外線ガ
ス分析計に導入して、ダスト、ミストおよび水分
の影響を受けない高精度の測定を可能とし、しか
も高速応答性を可能にした赤外線ガス分析計を提
供することである。
本発明は、赤外線光源部、測定セル部および赤
外線検出部より構成される赤外線ガス分析計にお
いて、測定セルを基本的には筒状ガスフイルタ
と、これを加熱するフイルタおよび両側面に赤外
線透過窓を持ち、前記フイルタと内面が同軸の筒
状外筐体とで構成し、ヒータで所定の温度に加熱
されたガスフイルタと前記外筐体の間隙に測定ガ
スを流すことによりダストを除去し、測定セルに
おけるミストおよび水分の露結を防止して測定セ
ル内ガスの拡散、対流による置換速度を早くして
高速応答を可能にしたダスト、ミストおよび水分
除去などの前処理を必要としない赤外線ガス分析
計を提供するものである。
外線検出部より構成される赤外線ガス分析計にお
いて、測定セルを基本的には筒状ガスフイルタ
と、これを加熱するフイルタおよび両側面に赤外
線透過窓を持ち、前記フイルタと内面が同軸の筒
状外筐体とで構成し、ヒータで所定の温度に加熱
されたガスフイルタと前記外筐体の間隙に測定ガ
スを流すことによりダストを除去し、測定セルに
おけるミストおよび水分の露結を防止して測定セ
ル内ガスの拡散、対流による置換速度を早くして
高速応答を可能にしたダスト、ミストおよび水分
除去などの前処理を必要としない赤外線ガス分析
計を提供するものである。
第３図ａに本発明を実施した測定セルの具体例
の一つを示す。この測定セルは、基本的には赤外
線透過窓３０，３１、円筒状ガスフイルタ３３、
加熱ヒータ３７、円筒状外筐体３４から成る。図
において、ガスフイルタ材、例えば石英繊維ある
いはセラミツク多孔性焼結体から成る円筒状フイ
ルタ３３は、外部筐体３４に、取りはずし可能
に、しかもフイルタ部を通じてのみ測定ガスが入
るように固定されている。赤外線透過窓３０，３
１は赤外線透過性の窓材、例えば単結晶弗化カル
シウムとその固定具から成り、ガスシール可能な
構造で外部筐体３４に固定されている。外部筐体
３４は、例えば金属、合金あるいはセラミツクか
ら成り、対向して配置された測定ガスの導入口１
５と排出口１６を持ち、さらに円筒状フイルタ３
３の長さ方向に同フイルタとの間に拡散空間３２
を持つ構造となつている。フイルタ部はヒータ３
７、例えばコイル状ヒータにより表面部から加熱
される構造となつており、電力は外部より端子３
８，３９より供給される。フイルタ部の温度が大
巾に変動すると測定精度に影響が生ずるので、測
温体４０がフイルタ３３の表面あるいは内部に配
置してあり、その出力を端子４１，４２でとり出
すことによつて、外部の温度調節器でフイルタ部
温度を一定に保持したり、赤外線ガス分析計の出
力に対する温度補正をしたりすることが出来る。
の一つを示す。この測定セルは、基本的には赤外
線透過窓３０，３１、円筒状ガスフイルタ３３、
加熱ヒータ３７、円筒状外筐体３４から成る。図
において、ガスフイルタ材、例えば石英繊維ある
いはセラミツク多孔性焼結体から成る円筒状フイ
ルタ３３は、外部筐体３４に、取りはずし可能
に、しかもフイルタ部を通じてのみ測定ガスが入
るように固定されている。赤外線透過窓３０，３
１は赤外線透過性の窓材、例えば単結晶弗化カル
シウムとその固定具から成り、ガスシール可能な
構造で外部筐体３４に固定されている。外部筐体
３４は、例えば金属、合金あるいはセラミツクか
ら成り、対向して配置された測定ガスの導入口１
５と排出口１６を持ち、さらに円筒状フイルタ３
３の長さ方向に同フイルタとの間に拡散空間３２
を持つ構造となつている。フイルタ部はヒータ３
７、例えばコイル状ヒータにより表面部から加熱
される構造となつており、電力は外部より端子３
８，３９より供給される。フイルタ部の温度が大
巾に変動すると測定精度に影響が生ずるので、測
温体４０がフイルタ３３の表面あるいは内部に配
置してあり、その出力を端子４１，４２でとり出
すことによつて、外部の温度調節器でフイルタ部
温度を一定に保持したり、赤外線ガス分析計の出
力に対する温度補正をしたりすることが出来る。
第３図ｂは測定ガス断面方向の測定ガスの流れ
を示したもので、測定ガス流は本実施例の場合に
は主に導入口１５において２つに分割され、加熱
された円筒状ガスフイルタ３３の円周方向にそつ
て流れた後排出口１６で再び一体となつて排出さ
れる。この構造は測定セル長が短い場合に特に有
効である。
を示したもので、測定ガス流は本実施例の場合に
は主に導入口１５において２つに分割され、加熱
された円筒状ガスフイルタ３３の円周方向にそつ
て流れた後排出口１６で再び一体となつて排出さ
れる。この構造は測定セル長が短い場合に特に有
効である。
第４図ａは第２の実施例に基づく測定セルの外
形を示したもので、基本的には第３図の具体例と
構成は同じであるが、本実施例では測定ガスの導
入口１５と排出口１６が測定セルの長さ方向に位
置を異にして配置されている。第４図ｂは測定セ
ル断面方向のガス流を示す。この場合には導入口
１５から導入された測定ガスは、加熱された円筒
状フイルタ３３の円周方向にそつてしかも長さ方
向に流れるので測定ガスが長い場合特に有効であ
る。
形を示したもので、基本的には第３図の具体例と
構成は同じであるが、本実施例では測定ガスの導
入口１５と排出口１６が測定セルの長さ方向に位
置を異にして配置されている。第４図ｂは測定セ
ル断面方向のガス流を示す。この場合には導入口
１５から導入された測定ガスは、加熱された円筒
状フイルタ３３の円周方向にそつてしかも長さ方
向に流れるので測定ガスが長い場合特に有効であ
る。
第５図ａは第３の実施例に基づく測定セル断面
を示したもので、基本構成は第３図の具体例と同
じであるが、本実施例では測定ガスの導入口１５
と排出口１６が一体化された構造となつている。
したがつて、この実施例の場合には第５図ｂに示
したように、測定ガスは加熱された円筒状ガスフ
イルタ３３の円周を一回転することになり、測定
ガス流に対して導入方向と排出方向を明確に区分
し、より応答性の改良をほどこすためにしきり板
３５が挿入されている。この実施例に示した測定
セル構成を持つ赤外線ガス分析計は、有害ガス、
例えば一酸化炭素を測定成分ガスとするときのよ
うに、測定ガスを外気に放出しないで発生源に戻
す必要があるようなときに有効である。
を示したもので、基本構成は第３図の具体例と同
じであるが、本実施例では測定ガスの導入口１５
と排出口１６が一体化された構造となつている。
したがつて、この実施例の場合には第５図ｂに示
したように、測定ガスは加熱された円筒状ガスフ
イルタ３３の円周を一回転することになり、測定
ガス流に対して導入方向と排出方向を明確に区分
し、より応答性の改良をほどこすためにしきり板
３５が挿入されている。この実施例に示した測定
セル構成を持つ赤外線ガス分析計は、有害ガス、
例えば一酸化炭素を測定成分ガスとするときのよ
うに、測定ガスを外気に放出しないで発生源に戻
す必要があるようなときに有効である。
第６図ａは第４の実施例に基づいた測定セルの
断面構造を示す。本実施例においては、第１層フ
イルタとしての繊維あるいは焼結体から成る円筒
フイルタ３３の外側表面に、第２層フイルタとし
て金網あるいは第１層フイルタよりも目の粗いフ
イルタ、例えばセラミツク焼結体から成る円筒フ
イルタ３６を積層した構造になつており、その表
面部にヒータ３７を配置してフイルタ部全体を加
熱している。この構成により測定ガス中に含まれ
る色々な粒径のダストに対してフイルタ層が分級
作用を持つているので、フイルタ部の目づまりの
性能低下を防止し、長寿命化をはかることができ
る。なお導入口１５、排出口１６の取付位置につ
いては、第３図と同じ構成を示したが、第４，５
図の配置も当然可能である。
断面構造を示す。本実施例においては、第１層フ
イルタとしての繊維あるいは焼結体から成る円筒
フイルタ３３の外側表面に、第２層フイルタとし
て金網あるいは第１層フイルタよりも目の粗いフ
イルタ、例えばセラミツク焼結体から成る円筒フ
イルタ３６を積層した構造になつており、その表
面部にヒータ３７を配置してフイルタ部全体を加
熱している。この構成により測定ガス中に含まれ
る色々な粒径のダストに対してフイルタ層が分級
作用を持つているので、フイルタ部の目づまりの
性能低下を防止し、長寿命化をはかることができ
る。なお導入口１５、排出口１６の取付位置につ
いては、第３図と同じ構成を示したが、第４，５
図の配置も当然可能である。
以上各種の本発明に基づいた実施例を示した
が、本発明の内容は実施例に限定されるものでは
なく、発明の精神の範囲で多くの他の改良をなし
えるものであり、例えばフイルタ層を３層以上に
積層したり、セラミツクフイルタの代りに焼結金
属フイルタを使用してり、ヒータを円筒状フイル
タの内側に配置しあるいは円筒以外の形状にした
りすることも可能であり、またシングルビーム方
式のみでなくダブルビーム方式の赤外線ガス分析
計にも本発明に基づく測定セルは適用可能であ
る。
が、本発明の内容は実施例に限定されるものでは
なく、発明の精神の範囲で多くの他の改良をなし
えるものであり、例えばフイルタ層を３層以上に
積層したり、セラミツクフイルタの代りに焼結金
属フイルタを使用してり、ヒータを円筒状フイル
タの内側に配置しあるいは円筒以外の形状にした
りすることも可能であり、またシングルビーム方
式のみでなくダブルビーム方式の赤外線ガス分析
計にも本発明に基づく測定セルは適用可能であ
る。
〔発明の効果〕
本発明によれば光源部、測定セル部、検出部か
ら成る赤外線ガス分析計において、測定セルとし
て基本的には筒状ガスフイルタ、加熱ヒータ、外
部筐体、赤外線透過窓で構成し、筒状ガスフイル
タと内面が同軸な筒状外部筐体との空間にガスフ
イルタの円周にそつてダストを含む測定ガスを流
すことにより、測定ガス中に含まれるダストを効
果的に除去し、測定セル内部におけるミストおよ
び水分の露結を防止して、従来の赤外線ガス分析
計を利用するに際して必要とした、ダスト除去、
ミスト、水分除去を含むサンプリング系を必要と
しないで直接測定を可能にした赤外線ガス分析計
を提供するもので、高精度、高速応答性を要求す
る分野への適用に際してトータルコストとして低
価格の赤外線分析計となる。
ら成る赤外線ガス分析計において、測定セルとし
て基本的には筒状ガスフイルタ、加熱ヒータ、外
部筐体、赤外線透過窓で構成し、筒状ガスフイル
タと内面が同軸な筒状外部筐体との空間にガスフ
イルタの円周にそつてダストを含む測定ガスを流
すことにより、測定ガス中に含まれるダストを効
果的に除去し、測定セル内部におけるミストおよ
び水分の露結を防止して、従来の赤外線ガス分析
計を利用するに際して必要とした、ダスト除去、
ミスト、水分除去を含むサンプリング系を必要と
しないで直接測定を可能にした赤外線ガス分析計
を提供するもので、高精度、高速応答性を要求す
る分野への適用に際してトータルコストとして低
価格の赤外線分析計となる。
第１図は従来のシングルビーム方式赤外線ガス
分析計の構成図、第２図は従来の赤外線ガス分析
計に用いられるサンプリング系の系統図、第３図
ａ、第３図ｂは本発明に基づく赤外線ガス分析計
に適用される測定セルの一実施例を示す断面図、
第４図ａ、第４図ｂ、第５図ａ、第５図ｂおよび
第６図ａ、第６図ｂは本発明に基づく赤外線ガス
分析計に適用される測定セルの他の実施例を示す
断面図もしくは正面図である。 １……赤外線光源部、２……赤外線光源、４…
…測定セル、５……検出部、３０，３１……赤外
線透過窓部、３３……円筒状ガスフイルタ、３４
……円筒状外筐体、３５……仕切板、３６……金
網状フイルタ、３７……ヒータ、３８，３９……
ヒータ端子、４０……測温体、４１，４２……測
温体端子。
分析計の構成図、第２図は従来の赤外線ガス分析
計に用いられるサンプリング系の系統図、第３図
ａ、第３図ｂは本発明に基づく赤外線ガス分析計
に適用される測定セルの一実施例を示す断面図、
第４図ａ、第４図ｂ、第５図ａ、第５図ｂおよび
第６図ａ、第６図ｂは本発明に基づく赤外線ガス
分析計に適用される測定セルの他の実施例を示す
断面図もしくは正面図である。 １……赤外線光源部、２……赤外線光源、４…
…測定セル、５……検出部、３０，３１……赤外
線透過窓部、３３……円筒状ガスフイルタ、３４
……円筒状外筐体、３５……仕切板、３６……金
網状フイルタ、３７……ヒータ、３８，３９……
ヒータ端子、４０……測温体、４１，４２……測
温体端子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 赤外線光源部、測定セル部および赤外線検出
部より構成され、測定ガスによる赤外線吸収量か
ら測定成分ガスの濃度を測定する赤外線ガス分析
計において、測定セル部を、測定ガスの出入口を
持ち、かつ長手方向の両側面が赤外線透過窓で気
密に封じられた筒状外筐体と、ヒータにより所定
の温度に加熱されるようになつており、前記外筐
体内に収容される筒状フイルタとから構成し、該
フイルタの両端を外筐体に固定し、フイルタの外
側にガス入口から外筐体との隙間を通つてガス出
口に至る測定ガス流路を形成し、フイルタの内側
に上記透過窓を経由する赤外線の光路を形成した
ことを特徴とする赤外線ガス分析計。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の赤外線ガス分析
計において、測定セルのフイルタは筒状の繊維質
あるいは多孔質焼結体からなる第１層と、その外
表面を覆う筒状の金網あるいは第１層よりも目の
粗い焼結体からなる第２層との積層構造を持ち、
その表面にヒータを巻回してなることを特徴とす
る赤外線ガス分析計。 ３ 特許請求の範囲第１または第２項記載の赤外
線ガス分析計において、前記加熱ヒータによりフ
イルタ部温度が一定に制御されることを特徴とす
る赤外線ガス分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58214443A JPS60105947A (ja) | 1983-11-15 | 1983-11-15 | 赤外線ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58214443A JPS60105947A (ja) | 1983-11-15 | 1983-11-15 | 赤外線ガス分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60105947A JPS60105947A (ja) | 1985-06-11 |
| JPS649569B2 true JPS649569B2 (ja) | 1989-02-17 |
Family
ID=16655855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58214443A Granted JPS60105947A (ja) | 1983-11-15 | 1983-11-15 | 赤外線ガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60105947A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8918956D0 (en) * | 1989-08-19 | 1989-10-04 | Engine Test Tech Ltd | Gas analyser |
| US5060508A (en) * | 1990-04-02 | 1991-10-29 | Gaztech Corporation | Gas sample chamber |
| US5222389A (en) * | 1990-04-02 | 1993-06-29 | Gaztech International Corporation | Multi-channel gas sample chamber |
| CN103245616B (zh) * | 2012-02-14 | 2015-05-13 | 利得仪器股份有限公司 | 环境监测的光径量测反射装置 |
-
1983
- 1983-11-15 JP JP58214443A patent/JPS60105947A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60105947A (ja) | 1985-06-11 |
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