JPH0113680B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は揺動運動発生機構に関し、特に圧電体
に電圧を印加して生ずる変位により揺動運動を発
生させる揺動運動発生機構に関する。

本発明における揺動運動とは、小さな角度たと
えば１度程度の負度の間で往復する揺動運動を指
す。このような揺動運動を発生するために、圧電
体に電圧を印加したときに生ずる変位を利用する
ことができる。圧電体の変位を利用した揺動運動
発生機構により得られる角度の変位をアームを用
いて拡大することにより、該アームの先端の往復
運動に変換すれば、該アームの長さに比例するス
トロークをもつ往復運動を得ることができる。こ
うして得られる往復運動は、圧電体リレーやスピ
ーカーなどにおいて機械的駆動源として用いられ
る。

第１図は従来の揺動運動発生機構を示す斜視図
である。同図において、金属あるいはプラスチツ
クから成る取付部１の向いあつたたがいに平行な
２つの取付面に圧電体３１および３２の一端をそ
れぞれ固定して、圧電体３１および３２の他の一
端に金属あるいはプラスチツクから成る板の可動
部２を前記取付面に平行に固定し支持している。
圧電体３１および３２の一端を可動部２に固定す
る位置は、圧電体３１および３２が伸縮するとき
に可動部２に揺動を与える偶力が作用するように
決めてある。圧電体３１および３２は圧電材料か
ら成る板であり、それぞれの側面に１対ずつ設け
られた電極７１および７２には導線８１および８
２を通じて電圧が印加されて、この印加電圧に応
じて圧電体３１および３２が伸縮する。

第２図ａ，ｂは第１図の機構の動作を示す側面
図である。同図ａは、圧電体３１，３２に電圧が
印加されておらず可動部２が水平に保持されてい
るときを示す。可動部２には金属のアーム６が取
り付け固定されている。第２図ｂは、圧電体３
１，３２に電圧が印加されたときを示す。印加電
圧に応じて圧電体３１，３２が伸びて、可動部２
には偶力が作用して角度θの変位を生ずる。アー
ム６は、可動部２に生じた角度θの変位を拡大し
た距離変位にするためのものである。このとき、
可動部２に固定された圧電体３１，３２の一端が
可動部２の変位に伴なつて移動するため、圧電体
３１，３２には屈曲を生ずる。このようにして、
圧電体３１，３２への電圧印加の有無に対応して
可動部２に角度の変位を発生させて可動部２の角
度の変位をアーム６により拡大してアーム６の先
端の往復運動を得ることができる。

しかし、従来の揺動運動発生機構においては、
可動部の変位に伴なつて圧電体に屈曲を生ずるた
め、圧電体に電圧を印加すときに供給される電気
エネルギーのかなりの部分が圧電体に屈曲を与え
るために消費されて、可動部において大きな角度
の変位を得ることができない。すなわち、圧電体
の屈曲に費やされるエネルギーは圧電体の厚さの
３乗にほぼ比例するが、大きな揺動運動エネルギ
ーが必要な場合には、圧電体の体積を大きくせね
ばならずこれに伴つて圧電体の厚さも大きくせね
ばならぬため、電気エネルギーの大半が圧電体の
屈曲に費やされる。また、縦効果を利用する多層
電極を設けた圧電体は、低い電圧で大きな変位を
得るのに好適であるが、その構造では圧電体の厚
さを小さくすることは困難であるから、従来の揺
動運動発生機構に用いられた場合はやはり電気エ
ネルギーの大半を屈曲に消費してしまう。また、
一般に圧電体の曲げ応力に対する強度はあまり大
きくないから、従来の揺動運動発生機構において
繰り返して揺動運動を発生させたときに圧電体が
破損することもあり得る。以上のような理由か
ら、圧電体の屈曲に伴つて圧電体内に大きな曲げ
応力を生じさせる従来の揺動運動発生機構は、大
きな揺動運動のエネルギーを必要とする機器には
適用することができないから、応用分野に大きな
制約を受けるという欠点を有する。

本発明の目的は、上記の欠点を除去して圧電体
内に大きな曲げ応力を生じさせず不要な変位に消
費されるエネルギーが少なくてすむ効率が良い揺
動運動発生機構を提供することにある。

本発明において、第１の発明の機構は、それぞ
れの電極に印加される電圧に応じて伸縮して寸法
の歪を生ずる２個の圧電体と、前記２個の圧電体
のそれぞれの一端を固定して支持する取付部と、
一端を前記２個の圧電体の一方に固定されその圧
電体の前記寸法の歪を伝達する第１の伝達部と、
一端を前記２個の圧電体の他の一方に固定されそ
の圧電体の前記寸法の歪を伝達する第２の伝達部
と、前記第１および第２の伝達部を介して予め定
めた箇所へ伝達される前記２個の圧電体の前記寸
法の歪を受けて傾斜角の変位を生ずる可動部とを
備えている。

また、第２の発明の機構は、それぞれの電極に
印加される電圧に応じて伸縮して寸法の歪を生ず
る２個の圧電体と、一端を前記２個の圧電体の一
方に固定されその圧電体の前記寸法の歪を伝達す
る第１の伝達部と、一端を前記２個の圧電体の他
の一方に固定されその圧電体の前記寸法の歪を伝
達する第２の伝達部と、一端を前記２個の圧電体
の一方に固定されその圧電体を支持する第１の支
持部と、一端を前記２個の圧電体の他の一方に固
定されその圧電体を支持する第２の支持部と、前
記第１および第２の伝達部を介して予め定めた箇
所へ伝達される前記２個の圧電体の前記寸法の歪
を受けて傾斜角の変位を生ずる可動部と、一部分
を前記可動部の予め定めた部分に固定されて前記
可動部を支持する第３の支持部と、前記第１、第
２および第３の支持部の端部を固定して支持する
取付部とを備えている。

次に図面を参照して本発明を詳細に説明する。

第３図は第１の発明の第１の実施例を示す斜視
図である。金属あるいはプラスチツクから成る取
付部１１の取付面には、２個の圧電体３１，３２
のそれぞれの端部が固定されている。圧電体３１
および３２の他の端部にはそれぞれ第１および第
２の伝達部４１および４２の一端が固定されてお
り、第１および第２の伝達部４１および４２の他
の一端はいずれも可動部２１の１つの面に固定さ
れている。圧電体３１および３２はいずれも圧電
材料から成り、それぞれの向いあう２つの側面に
設けた一対の電極７１および７２の間において予
め定めた方向の電気的な分極処理が施されてい
る。分極と同じ（あるいは逆の）向きの電圧を一
対の電極７１（あるいは７２）に導線８１（ある
いは８２）を通して印加すると、圧電体３１（あ
るいは３２）が伸びて（あるいは縮んで）寸法の
歪を生ずる。可動部２１と第１および第２の伝達
部４１および４２は、それぞれ金属あるいはプラ
スチツクから成る板である。第１および第２の伝
達部４１および４２の板面は互いにほぼ平行であ
り、可動部２１の板面は取付部１１の取付面にほ
ぼ平行に保持されている。第４図ａ，ｂは、第３
図の機構の動作を例示する側面図である。同図ａ
は、圧電体３１および３２に電圧が印加されてお
らず、可動部２１が取付部１１の取付面に平行に
保持されているときを示す。第４図ｂは、圧電体
３１には分極と同じ向きの電圧が印加され、且つ
圧電体３２には分極と逆の向きの電圧が印加され
て、これに応じて圧電体３１が矢印Ａの方向に伸
び且つ圧電体３２が矢印Ｂの方向に縮んだときを
示す。圧電体３１および３２に生じた寸法の歪
は、それぞれ第１および第２の伝達部４１および
４２の板面にほぼ沿つて可動部２１へ伝達され
て、第１および第２の伝達部４１および４２の板
面に平行な軸のまわりに回転モーメントを生じさ
せる。この回転モーメントにより可動部２１には
角度の変位を生じ、これに伴つて第１および第２
の伝達部４１および４２には屈曲を生ずるから圧
電体３１および３２に生ずる曲げ応力は従来より
少なくできる。また従来の機構において圧電体が
屈曲する場合と比較すると第１および第２の伝達
部４１および４２ではその板厚が小さいから、屈
曲のために消費されるエネルギーは少なくてす
む。第２図ａ，ｂに示した場合と同様に可動部２
１にアームを取付けて固定すれば、可動部２１に
生じた角度の変位を拡大したアームの先端の往復
運動を得ることができる。なお、第４図ｂには圧
電体３１が伸び且つ圧電体３２が縮んだときを示
したが、圧電体３１および３２に印加する電圧の
向きをそれぞれ逆にすれば圧電体３１が縮み且つ
圧電体３２が伸びて可動部２１には逆方向の角度
の変位を生ずるから、印加電圧の極性を変えるこ
とにより両方向の揺動運動を得ることができ、従
つて大きな角度の変位を得ることができる。ま
た、可動部２１には板状の第１および第２の伝達
部４１および４２を介して回転モーメントが作用
するから、可動部２１は横振れの少ない安定な揺
動運動を行なう。更に、取付部１１は構造が簡単
ですみ製作が容易である。

第５図は第１の発明の第２の実施例を示す斜視
図である。本実施例と第３図に示す第１の実施例
との違いは、取付部１２が互いに平行で且つ向い
合つた２つの取付面を有しており、一方の取付面
に圧電体３１の一端が固定され且つ他方の取付面
に圧電体３２の一端が固定されていること、およ
び可動部２２の一方の面に第１の伝達部４１の一
端がまた他方の面に第２の伝達部４２の一端が固
定されていることである。従つて、圧電体３１お
よび３２が共に伸びる方向に、あるいは共に縮む
方向に電圧を印加することにより、両方向の揺動
運動を得ることができる。この機構においては、
第１および第２の伝達部４１および４２の間隔を
小さくすることができるので、可動部２２に生ず
る角度の変位を大きくすることが容易である。な
お圧電体３１および３２の材料として分極処理を
施した圧電材料の代りの電歪材料を用いることが
できる。この場合には圧電体３１および３２に電
圧を印加すると、その極性によれば圧電体３１お
よび３２が伸びる。従つて片方向の揺動運動しか
得られないが、印加電圧とそれにより生ずる寸法
の歪との関係においてヒステリシスが少ないとい
う利点がある。

第６図は第２の発明の第１の実施例を示す斜視
図である。金属あるいはプラスチツクから成る取
付部１３は第１および第２の取付面を有し、第１
の取付面には第１および第２の支持部６３および
６４のそれぞれの一端が固定され、また第２の取
付面には第３の支持部５３の端部が固定されてい
る。第１および第２の支持部６３および６４の他
の一端はそれぞれ圧電体３１および３２の一端に
固定されており、圧電体３１および３２の他の一
端にはそれぞれ第１および第２の伝達部４３およ
び４４の一端が固定されている。第１および第２
の伝達部４３および４４の他の一端はいずれも可
動部２３の一方の板面の予め定めた箇所に固定さ
れており、可動部２３の端部には第３の支持部５
３の端部が固定されている。可動部２３と第１お
よび第２の伝達部４３，４４と第１、第２および
第３の支持部６３，６４および５３とはいずれも
金属あるいはプラスチツクから成る板である。第
１および第２の伝達部４３および４４の板面は互
いに平行で且つ第１および第２の支持部６３およ
び６４の板面と同じ向きである。可動部２３は、
その板面が取付部１３の第１の取付面にほぼ平行
となるように、第１および第２の伝達部４３，４
４および第３の支持部５３によつて支持されてい
る。圧電体３１および３２はいずれも圧電材料か
ら成り、電気的に分極処理を施されており、分極
と同じ（あるいは逆の）向きの電圧を導線８１
（あるいは８２）を通して一対の電極７１（ある
いは７２）に印加すれば、圧電体３１（あるいは
３２）が伸びて（あるいは縮んで）寸法の歪を生
ずる。第７図ａ，ｂは第６図の機構の動作を例示
する側面図である。同図ａは、圧電体３１およ
び、３２に電圧が印加されておらず可動部２３が
取付部１３の第１の取付面に平行に保持されてい
るときを示す。第７図ｂは、圧電体３１には分極
と同じ向きの電圧が、また圧電体３２には分極と
逆の向きの電圧が印加されて、これに応じて圧電
体３１が矢印Ｃの方向に伸び且つ圧電体３２が矢
印Ｄの方向に縮んだときを示す。圧電体３１およ
び３２の寸法の歪は、それぞれ第１および第２の
伝達部４３および４４の板面にほぼ沿つて可動部
２３へ伝達されて、第１および第２の伝達部４３
および４４の板面に平行な軸のまわりに回転モー
メントを生じさせる。この回転モーメントによつ
て可動部２３には角度の変位を生じ、これに伴つ
て第１および第２の伝達部４３および４４、第
１，第２および第３の支持部６３，６４および５
３に屈曲を生ずるから、圧電体３１および３２に
生ずる曲げ応力は従来より少なくできる。また従
来の機構において圧電体が屈曲する場合と比較す
ると、第１および第２の伝達部４３および４４、
第１，第２および第３の支持部６３，６４および
５３ではその板厚が小さいから屈曲のために消費
されるエネルギーは少なくてすむ。印加電圧の極
性を変えることにより逆方向の揺動運動を得るこ
とができるから、大きな角度の変位が得られる。

第６図の機構においては、第３図の機構と比較
すれば、圧電体３１および３２の伸縮に伴いその
両端に結合された第１および第２の伝達部４３，
４４および第１および第２の支持部６３，６４が
屈曲しながら可動部２３へ揺動力を伝達するか
ら、圧電体３１および３２に生ずる曲げ応力を更
に小さくできる。また可動部２３の端部を板状の
第３の支持部５３で支持しているので、横揺れの
少ない安定な揺動運動を得ることができる。

第８図は第２の発明の第２の実施例を示す斜視
図である。本実施例と第６図に示す第１の実施例
との違いは、可動部２４の一方の面に第１の伝達
部４３の一端がまた他方の面に第２の伝達部４４
の一端が固定されていることである。取付部１４
には、第１および第２の支持部６５および６６の
端部と、第３の支持部５４の一端とが固定されて
いる。従つて、圧電体３１および３２が共に伸び
る方向に、あるいは共に縮む方向に電圧を印加す
ることにより、両方向の揺動運動を得ることがで
きる。この機構においては、第６図の機構と同様
に、圧電体３１および３２に生ずる曲げ応力を小
さくでき、また横揺れの少ない安定な揺動運動が
得られる。なお、電歪材料から成る圧電体を用い
ることもでき、それによりヒステリシスの少ない
動作を行わせることができる。

第９図ａ〜ｃは第１および第２の発明に用いる
板状の伝達部および支持部についての実施様態を
例示する斜視図である。第３，５，６および８図
に示す機構の第１および第２の伝達部４１〜４４
ならびに第６および８図に示す機構の第１，第２
および第３の支持部６３〜６６および５３〜５４
は、それぞれ金属あるいはプラスチツクの板であ
り、圧電体３１および３２の伸縮に伴つて屈曲し
ながら可動部２１〜２４に角度の変位を発生させ
る。このとき屈曲のために消費されるエネルギー
を更に減らすためにはこれらの伝達部および支持
部の板厚を小さくすればよいが、その板厚を小さ
くしすぎると圧電体３１および３２から可動部２
１〜２４への寸法の歪の伝達が行われ難くなる。
第９図ａ〜ｃの伝達部および支持部は、このよう
な難点を解決するためのものである。同図ａおよ
びｂは、それぞれ伝達部および支持部の一方およ
び両方の面に、可動部あるいは取付部に固定され
る端面に平行な溝を設けることにより、一部分に
板厚の小さな箇所を形成したものである。同図ｃ
は２枚の板に薄い板を接合することにより、一部
分に板厚の小さな箇所をもつ伝達部および支持部
を形成したものである。これらの伝達部および支
持部は、金属あるいはプラスチツクを用いて成
形、切削あるいは溶接などにより製作する。ま
た、大きな機械的強度を要する場合は、せんい強
化金属あるいはせんい強化プラスチツクの材料を
用いて製作する。このような伝達部および支持部
を用いることにより、本発明の機構において伝達
部および支持部の屈曲に消費されるエネルギーが
少なくかつ圧電体から可動部への寸法の歪の伝達
が良好な動作を行わせることができる。

第１０図ａ，ｂは第１および第２の発明に用い
る圧電体３１および３２についての実施様態を示
す斜視図である。同図ａ，ｂの圧電体３１はいず
れも内部に電極９１および９２をそれぞれ複数個
ずつ交互に配置して設けており、電極９１を１対
の電極７１の一方にまた電極９２を電極７１の他
の一方に接続してある。同図ａは材料としてジル
コンチタン酸鉛などの圧電材料を用いる場合を示
す。電極９１および９２の間に予め定めた方向、
たとえば矢印Ｒの方向の分極処理を施す。分極の
方向と同じ（あるいは逆の）向きの電圧を一対の
電極７１を介して電極９１および９２の間に印加
することにより、圧電体３１には矢印Ｐ（あるい
はＱ）の方向に寸法の歪を生ずる。したがつて印
加電圧を極性を変えることにより、両方向の寸法
を歪を得ることができる。第１０図ｂは材料とし
てマグネシウムニオブ酸鉛などの電歪材料を用い
る場合を示す。この場合には、電圧を電極９１お
よび９２の間に印加するとその向きによらず矢印
Ｓの方向に寸法の歪を生ずる。電歪材料を用いた
ときは、ヒステリシスが少ないという特長を有す
る。上記のように電極９１および９２を交互に複
数個ずつ配置した多層電極を設けることにより、
低い印加電圧で圧電体３１および３２に大きな寸
法の歪を生じさせることができる。本発明の機構
では、その動作に際して圧電体３１および３２を
殆んど屈曲しないから、上記の多層電極を設けた
縦効果型の圧電体を用いて従来より大きな角度の
揺動運動が得られる。

第１１〜１３図は第１および第２の発明に用い
る可動部、伝達部および支持部の構造について例
示する側面図である。上記の各実施例で例示した
ように第１および第２の伝達部は、２個の圧電体
の一方の寸法の歪を可動部に伝達する部分と、２
個の圧電体の他方の寸法の歪を可動部に伝達する
部分とから成る。このような第１および第２の伝
達部の２つの部分、可動部ならびに第１および第
２の支持部を同じ材料で製作する場合には、それ
らのうち２つないし４つの部分を一体構造で製作
できる。第１１図は第３図の機構の第１および第
２の伝達部４１および４２を一体化して第１およ
び第２の伝達部４５および４６としたものを示
し、第１２図は第３図の機構の可動部２１ならび
に第１および第２の伝達部４１および４２を一体
化して可動部２５ならびに第１および第２の伝達
部４７および４８としたものを示し、第１３図は
第６図の機構の第１および第２の伝達部４３およ
び４４ならびに第３の支持部５３を一体化して第
１および第２の伝達部４９および４０ならびに第
３の支持部５５としたものを示す。このように複
数の伝達部あるいは可動部を一体化した構造によ
れば、本発明の機構を組み立てる手間を少なくす
ることができる。

以上説明したように、本発明によれば、圧電体
に生ずる寸法の歪を受けて屈曲しながら可動部へ
回転モーメントを生じさせる伝達部を設けて圧電
体に生ずる曲げ応力を減らすことにより、従来よ
り大きな揺動角度が得られかつ不要な変位を生ず
るために消費されるエネルギーが少なくてすむ効
率の良い揺動運動発生機構を実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図ａ，ｂはそれぞれ従来の揺
動運動発生機構を示す斜視図および側面図、第３
図、第５図、第６図、第８図、第９図ａ〜ｃおよ
び第１０図ａ，ｂはそれぞれ本発明の実施例を示
す斜視図、第４図ａ，ｂ、第７図ａ，ｂ、第１１
〜１３図はそれぞれ本発明の実施例を示す側面図
である。 １，１１〜１４……取付部、２，２１〜２５…
…可動部、３１，３２……圧電体、４０〜４９…
…第１および第２の伝達部、５３〜５５……第３
の支持部、６３〜６６……第１および第２の支持
部、７，７１，７２，９１，９２……電極、８
１，８２……導線。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ それぞれの電極に印加される電圧に応じて伸
   縮して寸法の歪を生ずる２個の圧電体と、前記２
   個の圧電体のそれぞれの一端を固定して支持する
   取付部と、一端を前記２個の圧電体の一方に固定
   されその圧電体の前記寸法の歪を伝達する第１の
   伝達部と、一端を前記２個の圧電体の他の一方に
   固定されその圧電体の前記寸法の歪を伝達する第
   ２の伝達部と、前記第１および第２の伝達部を介
   して予め定めた箇所へ伝達される前記２個の圧電
   体の前記寸法の歪を受けて傾斜角の変位を生ずる
   可動部とを備えたことを特徴とする揺動運動発生
   機構。 ２ 前記第１および第２の伝達部がそれぞれ板状
   をなし、前記第１および第２の伝達部の板面が互
   いにほぼ平行であり、且つ前記２個の圧電体の前
   記寸法の歪がそれぞれ前記第１および第２の伝達
   部の前記板面にほぼ沿つて前記可動部へ伝達され
   て前記第１および第２の伝達部の前記板面とほぼ
   平行な軸のまわりに回転モーメントを生じさせる
   ようにした特許請求の範囲第１項記載の揺動運動
   発生機構。 ３ 前記第１および第２の伝達部が板厚の異なる
   箇所を設けて形成された特許請求の範囲第２項記
   載の揺動運動発生機構。 ４ 前記２個の圧電体がそれぞれ複数個の電極を
   内部に交互に予め定めた間隔をもつてほぼ平行に
   配置した圧電材料から成る部分を備え、前記複数
   個の電極の間において予め定めた方向の分極処理
   を施された特許請求の範囲第１項記載の揺動運動
   発生機構。 ５ 前記２個の圧電体がそれぞれ複数個の電極を
   内部に交互に予め定めた間隔をもつてほぼ平行に
   配置した電歪材料から成る部分を備えた特許請求
   の範囲第１項記載の揺動運動発生機構。 ６ 前記第１および第２の伝達部と前記可動部と
   のうち少なくともいずれか２つが一体をなして形
   成された特許請求の範囲第１項記載の揺動運動発
   生機構。 ７ それぞれの電極に印加される電圧に応じて伸
   縮して寸法の歪を生ずる２個の圧電体と、一端を
   前記２個の圧電体の一方に固定されその圧電体の
   前記寸法の歪を伝達する第１の伝達部と、一端を
   前記２個の圧電体の他の一方に固定されその圧電
   体の前記寸法の歪を伝達する第２の伝達部と、一
   端を前記２個の圧電体の一方に固定されその圧電
   体を支持する第１の支持部と、一端を前記２個の
   圧電体の他の一方に固定されその圧電体を支持す
   る第２の支持部と、前記第１および第２の伝達部
   を介して予め定めた箇所へ伝達される前記２個の
   圧電体の前記寸法の歪を受けて傾斜角の変位を生
   ずる可動部と、一部分を前記可動部の予め定めた
   部分に固定されて前記可動部を支持する第３の支
   持部と、前記第１、第２および第３の支持部の端
   部を固定して支持する取付部とを備えたことを特
   徴とする揺動運動発生機構。 ８ 前記第１および第２の伝達部と前記第１およ
   び第２の支持部と前記第３の支持部とがそれぞれ
   板状をなし、前記第１および第２の伝達部の板面
   が互いにほぼ平行であり、前記第１および第２の
   伝達部の前記板面と前記第１および第２の支持部
   の板面とは同じ向きであり、前記第３の支持部の
   板面が前記第１および第２の伝達部の板面とほぼ
   直角をなし、且つ前記２個の圧電体の前記寸法の
   歪がそれぞれ前記第１および第２の伝達部の前記
   板面にほぼ沿つて前記可動部へ伝達されて前記第
   １および第２の伝達部の前記板面とほぼ平行な軸
   のまわりに回転モーメントを生じさせるようにし
   た特許請求の範囲第７項記載の揺動運動発生機
   構。 ９ 前記第１および第２の伝達部と前記第１およ
   び第２の支持部と前記第３の支持部とが板厚の異
   なる箇所を設けて形成された特許請求の範囲第８
   項記載の揺動運動発生機構。 １０ 前記２個の圧電体がそれぞれ複数個の電極
   を内部に交互に予め定めた間隔をもつてほぼ平行
   に配置した圧電材料から成る部分を備え、前記複
   数個の電極の間において予め定めた方向の分極処
   理を施された特許請求の範囲第７項記載の揺動運
   動発生機構。 １１ 前記２個の圧電体がそれぞれ複数個の電極
   を内部に交互に予め定めた間隔をもつてほぼ平行
   に配置した電歪材料から成る部分を備えた特許請
   求の範囲第７項記載の揺動運動発生機構。 １２ 前記第１および第２の伝達部と前記第３の
   支持部と前記可動部とのうち少なくともいずれか
   ２つが一体をなして形成された特許請求の範囲第
   ７項記載の揺動運動発生機構。