JPH0114533B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0114533B2 JPH0114533B2 JP55065414A JP6541480A JPH0114533B2 JP H0114533 B2 JPH0114533 B2 JP H0114533B2 JP 55065414 A JP55065414 A JP 55065414A JP 6541480 A JP6541480 A JP 6541480A JP H0114533 B2 JPH0114533 B2 JP H0114533B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- ray
- specimen
- stage
- guide rail
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
多結晶試料の表面における微小部分に平行Ｘ線
ビームを入射させて、その回折Ｘ線を検出するこ
とにより、上記微小部分の分折を行い得ると共に
Ｘ線の入射点を移動させるときは物質の分布を知
ることができる。このような分折においてはＸ線
の入射面積が小さいために、回折に関与する結晶
粒の数が極めて少なくなつて測定に大きな誤差を
生じ易い。本発明は試料面に対するＸ線の入射点
および入射角を一定に保つた状態で、その試料を
少なくも２方向へ回転または揺動させることによ
り、回折に関与する結晶粒の数を著しく増大して
上述の欠点を除去すると共に結晶の集合組織ある
いは微小部の歪測定等をも容易に行い得る装置を
提供するものである。
ビームを入射させて、その回折Ｘ線を検出するこ
とにより、上記微小部分の分折を行い得ると共に
Ｘ線の入射点を移動させるときは物質の分布を知
ることができる。このような分折においてはＸ線
の入射面積が小さいために、回折に関与する結晶
粒の数が極めて少なくなつて測定に大きな誤差を
生じ易い。本発明は試料面に対するＸ線の入射点
および入射角を一定に保つた状態で、その試料を
少なくも２方向へ回転または揺動させることによ
り、回折に関与する結晶粒の数を著しく増大して
上述の欠点を除去すると共に結晶の集合組織ある
いは微小部の歪測定等をも容易に行い得る装置を
提供するものである。
第１図は本発明実施例の正面図、第２図、第３
図はそれぞれ第１図にのＡ−ＡおよびＢ−Ｂ断面
図で、基台に植設した支柱１，２の上端にオーム
３および案内レール４を平行に橋架して、ウオー
ム３をパルスモータ５に連結してある。上記レー
ル４に沿つて移動するように取付けられた支持台
６にウオーム３を螺合し、かつ該支持台にＸ線検
出器７を取付けて、該検出器の前面にスリツト８
を設けてある。また支柱１にＸ線のコリメータ９
を前記案内レール４と平行に取付けると共に支柱
２には上記コリメータの軸線上に筒状軸１０を取
付けてある。このコリメータ９および筒状軸１０
によつて円弧状案内レール１１の両端を回動自在
に支持して、その一端に取付けたプーリ１２をモ
ータ１３の軸に取付けたプーリ１４にベルト１５
で連結してある。上述の案内レール１１に保持台
１６を摺動自在に取付けて、これを任意の位置に
固定するためのねじ１７を設け、該保持台上にモ
ータ１８を取付けてある。このモータ１８の軸に
固定した試料台１９に試料２０を取付けるように
したもので、図示してないが試料２０を前記試料
台上で任意の方向へ微動させて位置調整を行う機
構を設けてある。また前記円弧状の案内レール１
１はコリメータ９の軸線上に中心を有するように
形成されている。
図はそれぞれ第１図にのＡ−ＡおよびＢ−Ｂ断面
図で、基台に植設した支柱１，２の上端にオーム
３および案内レール４を平行に橋架して、ウオー
ム３をパルスモータ５に連結してある。上記レー
ル４に沿つて移動するように取付けられた支持台
６にウオーム３を螺合し、かつ該支持台にＸ線検
出器７を取付けて、該検出器の前面にスリツト８
を設けてある。また支柱１にＸ線のコリメータ９
を前記案内レール４と平行に取付けると共に支柱
２には上記コリメータの軸線上に筒状軸１０を取
付けてある。このコリメータ９および筒状軸１０
によつて円弧状案内レール１１の両端を回動自在
に支持して、その一端に取付けたプーリ１２をモ
ータ１３の軸に取付けたプーリ１４にベルト１５
で連結してある。上述の案内レール１１に保持台
１６を摺動自在に取付けて、これを任意の位置に
固定するためのねじ１７を設け、該保持台上にモ
ータ１８を取付けてある。このモータ１８の軸に
固定した試料台１９に試料２０を取付けるように
したもので、図示してないが試料２０を前記試料
台上で任意の方向へ微動させて位置調整を行う機
構を設けてある。また前記円弧状の案内レール１
１はコリメータ９の軸線上に中心を有するように
形成されている。
上述の装置において、試料２０を設定する場合
は、保持台１６を案内レール１１上で移動させ
て、試料台１９の回転軸線ａがコリメータ９の軸
線ｂ、従つてこのコリメータで形成される細い平
行Ｘ線ビームと点ｐで直交する位置に設定すると
共に筒状軸１０の背後にＸ線検出器２１を配設す
る。この状態でコリメータ９を通して矢印ｘのよ
うにＸ線を照射して、検出器２１の出力を観測す
ることにより試料２０の位置を調整し、その表面
が軸線ｂ上に乗るように設定する。更にＸ線検出
器７を光学顕微鏡に置き替えて、ウオーム３を回
転することによりこれを前記ｐ点に対向する位置
に移動させる。この状態で試料面を上記顕微鏡で
観察すると共に該試料を移動させて、分折しよう
とする位置を上記ｐ点に一致させる。
は、保持台１６を案内レール１１上で移動させ
て、試料台１９の回転軸線ａがコリメータ９の軸
線ｂ、従つてこのコリメータで形成される細い平
行Ｘ線ビームと点ｐで直交する位置に設定すると
共に筒状軸１０の背後にＸ線検出器２１を配設す
る。この状態でコリメータ９を通して矢印ｘのよ
うにＸ線を照射して、検出器２１の出力を観測す
ることにより試料２０の位置を調整し、その表面
が軸線ｂ上に乗るように設定する。更にＸ線検出
器７を光学顕微鏡に置き替えて、ウオーム３を回
転することによりこれを前記ｐ点に対向する位置
に移動させる。この状態で試料面を上記顕微鏡で
観察すると共に該試料を移動させて、分折しよう
とする位置を上記ｐ点に一致させる。
つぎにＸ線回折測定に際しては、Ｘ線検出器７
を取付けると共に保持台１６を案内レール１１上
で移動させて、コリメータ９を通つたＸ線ビーム
が試料２０の表面に所望の角度で入射するように
設定する。この状態でウオーム３を例えば間歇駆
動することにより、検出器７を案内レール４に沿
つて軸線ｂと平行にステツプ送りし、その停止期
間毎に該検出器の出力パルスの計数を行う。かつ
同時に軸線ａを中心として試料台１９に比較的高
速度で連続的に回転すると共にプーリ１４，１２
およびベルト１５を介してモータ１３で案内レー
ル１１を駆動し、軸線ｂを中心としてこれを例え
ば150度の範囲で往復回動させる。このような動
作により試料２０の表面で回折して、検出器７で
検出されるＸ線x′の強度と該検出器の位置との関
係を測定する。また試料２０を試料台１９上で移
動させて、上述の測定を繰返えすことにより、試
料面における物質の分布状態を知ることができ
る。なお試料台１９の回転を停止して、保持台１
６を該案内レール上で移動させることにより、試
料面に入射するＸ線ｘの入射角が変化する。従つ
てその前後における同一回折線の回折角の微小変
化を観測することにより、試料表面における微小
部の内部歪が測定される。更に保持台１６および
検出部７を適当な一定の位置に固定し、案内レー
ル１１または試料台１９を軸線ｂまたはａのまわ
りで少しづつ回転させることによつて、結晶の配
向を知ることができる。
を取付けると共に保持台１６を案内レール１１上
で移動させて、コリメータ９を通つたＸ線ビーム
が試料２０の表面に所望の角度で入射するように
設定する。この状態でウオーム３を例えば間歇駆
動することにより、検出器７を案内レール４に沿
つて軸線ｂと平行にステツプ送りし、その停止期
間毎に該検出器の出力パルスの計数を行う。かつ
同時に軸線ａを中心として試料台１９に比較的高
速度で連続的に回転すると共にプーリ１４，１２
およびベルト１５を介してモータ１３で案内レー
ル１１を駆動し、軸線ｂを中心としてこれを例え
ば150度の範囲で往復回動させる。このような動
作により試料２０の表面で回折して、検出器７で
検出されるＸ線x′の強度と該検出器の位置との関
係を測定する。また試料２０を試料台１９上で移
動させて、上述の測定を繰返えすことにより、試
料面における物質の分布状態を知ることができ
る。なお試料台１９の回転を停止して、保持台１
６を該案内レール上で移動させることにより、試
料面に入射するＸ線ｘの入射角が変化する。従つ
てその前後における同一回折線の回折角の微小変
化を観測することにより、試料表面における微小
部の内部歪が測定される。更に保持台１６および
検出部７を適当な一定の位置に固定し、案内レー
ル１１または試料台１９を軸線ｂまたはａのまわ
りで少しづつ回転させることによつて、結晶の配
向を知ることができる。
第４図は上述のような装置の作用を説明する線
図で、保持台１６を案内レール１１上で移動させ
ると、試料２０の表面上の点ｐに入射する細い平
行Ｘ線ビームｘの入射角θが変化する。この入射
角を一定に保つて検出器７で回折Ｘ線x′を検出す
るものとすると、その回折に寄与する結晶格子面
は平行線群ｑで表わしたようにＸ線ｘ，x′の２等
分線ｃに直角である。軸線ａを中心として試料台
１９を回転すると、この軸線ａは試料面上の点ｐ
を通り該試料の表面に垂直であるから、上記回転
によつて前記２等分線ｃが円ｄを画いて矢印のよ
うに回転する。従つてこのように回転する２等分
線ｃに直角な格子面をもつた結晶がすべて前記回
折に寄与する。またＸ線ｘは軸線ｂに沿つて照射
されるから、この軸線を中心として案内レール１
１に往復回動させると、２等分線ｃは該軸線ｂを
中心とする円弧ｅを画いて矢印のように回動し、
その各位置における上記２等分線に直角な格子面
をもつた結晶が回折に寄与する。
図で、保持台１６を案内レール１１上で移動させ
ると、試料２０の表面上の点ｐに入射する細い平
行Ｘ線ビームｘの入射角θが変化する。この入射
角を一定に保つて検出器７で回折Ｘ線x′を検出す
るものとすると、その回折に寄与する結晶格子面
は平行線群ｑで表わしたようにＸ線ｘ，x′の２等
分線ｃに直角である。軸線ａを中心として試料台
１９を回転すると、この軸線ａは試料面上の点ｐ
を通り該試料の表面に垂直であるから、上記回転
によつて前記２等分線ｃが円ｄを画いて矢印のよ
うに回転する。従つてこのように回転する２等分
線ｃに直角な格子面をもつた結晶がすべて前記回
折に寄与する。またＸ線ｘは軸線ｂに沿つて照射
されるから、この軸線を中心として案内レール１
１に往復回動させると、２等分線ｃは該軸線ｂを
中心とする円弧ｅを画いて矢印のように回動し、
その各位置における上記２等分線に直角な格子面
をもつた結晶が回折に寄与する。
このように本発明の装置は少なくとも前記ａ，
ｂの２軸を中心として試料を回転または往復回動
させるもので、回折に寄与する結晶の数が著しく
増大する。従つて微小部の回折ｘ線強度を測定す
る場合の誤差を防止して、正確な観測を行うこと
ができる。かつ前述のように試料面における物質
分布の測定、あるいは内部歪、結晶の配向等の観
測等をも容易に行い得る。かつＸ線検出器を直接
的に移動させるから、装置を簡単でかつ小形に構
成することができる。
ｂの２軸を中心として試料を回転または往復回動
させるもので、回折に寄与する結晶の数が著しく
増大する。従つて微小部の回折ｘ線強度を測定す
る場合の誤差を防止して、正確な観測を行うこと
ができる。かつ前述のように試料面における物質
分布の測定、あるいは内部歪、結晶の配向等の観
測等をも容易に行い得る。かつＸ線検出器を直接
的に移動させるから、装置を簡単でかつ小形に構
成することができる。
第１図は本発明実施例の正面図、第２図、第３
図はそれぞれ第１図におけるＡ−ＡおよびＢ−Ｂ
断面図、第４図は本発明の作用を説明する線図で
ある。なお図において、３はウオーム、４は案内
レール、５はパルスモータ、７はＸ線検出器、９
はコリメータ、１１は案内レール、１３はモー
タ、１８はモータ、１９は試料台、２０は試料で
ある。
図はそれぞれ第１図におけるＡ−ＡおよびＢ−Ｂ
断面図、第４図は本発明の作用を説明する線図で
ある。なお図において、３はウオーム、４は案内
レール、５はパルスモータ、７はＸ線検出器、９
はコリメータ、１１は案内レール、１３はモー
タ、１８はモータ、１９は試料台、２０は試料で
ある。
Claims (1)
- １ 細い平行Ｘ線ビームを形成して該ビームを試
料面に入射させるコリメータと、上記試料を取付
ける試料台と、Ｘ線検出器を直線的に移動させて
前記試料で回折したＸ線が検出される位置を求め
る手段と、前記試料面におけるＸ線入射点を通つ
て該試料面に直角な直線を軸として前記試料台を
回転させる手段と、前記Ｘ線ビームを軸として上
記試料台を往復回動させる手段と、前記Ｘ線入射
点を通つて上記Ｘ線ビームに直角な試料面上の直
線を軸として前記試料台を回動させることにより
所望の回折角位置に設定する手段とよりなること
を特徴とした多結晶試料の微小部Ｘ線回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6541480A JPS56162038A (en) | 1980-05-19 | 1980-05-19 | X-ray diffraction device for minor part of polycrystalline sample |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6541480A JPS56162038A (en) | 1980-05-19 | 1980-05-19 | X-ray diffraction device for minor part of polycrystalline sample |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56162038A JPS56162038A (en) | 1981-12-12 |
| JPH0114533B2 true JPH0114533B2 (ja) | 1989-03-13 |
Family
ID=13286347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6541480A Granted JPS56162038A (en) | 1980-05-19 | 1980-05-19 | X-ray diffraction device for minor part of polycrystalline sample |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56162038A (ja) |
-
1980
- 1980-05-19 JP JP6541480A patent/JPS56162038A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56162038A (en) | 1981-12-12 |
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