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JPH0127519B2 - - Google Patents
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JPH0127519B2 - - Google Patents

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JPH0127519B2
JPH0127519B2 JP3511584A JP3511584A JPH0127519B2 JP H0127519 B2 JPH0127519 B2 JP H0127519B2 JP 3511584 A JP3511584 A JP 3511584A JP 3511584 A JP3511584 A JP 3511584A JP H0127519 B2 JPH0127519 B2 JP H0127519B2
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JP
Japan
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voltage
capacitor
detection circuit
circuit
ivp
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Fujitsu Ltd
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/22Modifications for ensuring a predetermined initial state when the supply voltage has been applied
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R19/00Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
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    • G01R19/16504Indicating that current or voltage is either above or below a predetermined value or within or outside a predetermined range of values characterised by the components employed
    • G01R19/16519Indicating that current or voltage is either above or below a predetermined value or within or outside a predetermined range of values characterised by the components employed using FET's

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Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は縦続容量による電圧検出回路に関す
る。この電圧検出回路はたとえば電気的消去プロ
グラム可能ROM(E2PROM)、不揮発性RAM
(NOVRAM)等の書込み電圧制御回路に用いら
れる。
技術の背景 E2PROM,NOVRAM等における書込み電圧
Vppは通常の電源電圧Vcc(たとえば5V)に比べて
非常に大きくたとえば20〜25Vに設定されてい
る。従来、この書込み電圧Vppは外部から供給さ
れていたが、最近では、各チツプ内に昇圧回路を
設け、これにより、書込み電圧(この場合、IVP
と略称する)を発生させている。つまり、これに
より、チツプの外部電源および外部端子(パツ
ド)を減少できる。
昇圧回路には書込み時にクロツクが供給され、
このクロツクに応じて書込み電圧IVPが上昇する
が、この場合、書込み電圧IVPを検出して所定値
以上に上昇しないように電圧IVPを制限するため
の書込み電圧制御回路が必要である。
従来技術と問題点 第1図は本発明が適用されるE2PROMの全体
構成図である。第1図において、1はメモリセ
ル、2はXアドレス信号Ai(i=0〜n)を受信
するアドレスバツフア、3はXデコーダ、4はY
アドレス信号Ai′(i=0〜n)を受信するアドレ
スバツフア、5はYデコーダ、6はセンスアンプ
7およびライトイネーブル回路8をメモリセル1
へ選択的に接続するYゲート、9は出力データ
DOの出力バツフア、10は入力データDIの入力
バツフアである。11はチツプイネーブル信号
CE、ライトイネーブル信号、出力イネーブ
ル信号を受信して動作モードを選択するモー
ドセレクト回路、12は書込み時(W/E=
“1”)に書込み電圧IVP1を発生する昇圧回路、
13は昇圧回路12の発生電圧IPV0(IPV1とほ
ぼ同一)を検出して書込み電圧IVP1を所定値以
上に上昇しないように昇圧回路12を制御する書
込み電圧制御回路である。昇圧回路12の書込み
電圧IVP1はチヤージポンプ回路14,15に印
加される。なお、従来の書込み電圧制御回路13
には、ライトイネーブル信号W/Eは供給されて
いない。
第2図は従来の書込み電圧制御回路の回路図で
ある。第2図においては、書込み電圧制御回路
は、キヤパシタC1,C2の縦続接続による電圧検
出回路VD1と、デプレツシヨン形トランジスタ
Q1およびエンハンスメント形トランジスタQ2
より構成されるインバータINVとを有する。こ
のとき、ノードN1の電位VN1は VN1=C1/C1+C2IVP0 であり、従つて、書込み電圧IVP0が第3図に示
すごとく上昇すると、電位VN1も比例して上昇
し、時刻t1にて電位VN1がインバータINVのスレ
ツシユホールド電圧Vth(トランジスタQ2のスレ
ツシユホールド電圧)に到達すると、インバータ
INVの出力がハイレベルからローレベルとなる。
この結果、第1図の昇圧回路12内のクロツク供
給が停止されて書込み電圧IVP0は所定電圧たと
えば20V以上にはならない。つまり、第2図のご
とくインバータINVを構成すると、そのスレツ
シユホールド電圧Vthは大きくできずせいぜい3
〜4Vであり、従つて、書込み電圧IVP0を直接イ
ンバータINVにて検出することは不可能である
ので電圧検出回路VD1により電圧を下げてからイ
ンバータINVに電圧を印加している。しかも、
第2図の電圧検出回路VD1は容量的分割であるの
で直流損失がないという利点を有する。
第2図の電圧検出回路は2層ポリシリコン構造
により構成されている。つまり、第4図に示すご
とく、キヤパシタC1は、第1ポリシリコン層4
5、第2ポリシリコン層46、およびこれらの間
の絶縁層(SiO2図示せず)により構成され、キ
ヤパシタC2は、P-シリコン基板41内のN+拡散
層42、絶縁層(SiO2)43、第1ポリシリコ
ン層45により構成されている。しかしながら、
この場合、ポリシリコンの酸化により得られる絶
縁層(SiO2)のトンネルエミツシヨン開始電圧
が1〜3MV/cmと低いので、トンネルエミツシ
ヨンを防止するために膜厚を大きくしなければな
らず、従つて、その分、面積を大きくしなければ
ならないという問題点があり、しかもトンネルで
ノードN1に注入されたチヤージ(電子が45か
ら46へエミツシヨンするのでポリシリコン層4
5にはホールが残る)は半永久的に残り、この結
果、ノード電位VN1が上昇し、その分、電圧IVP0
が所定値より低くなるという問題点がある。
なお、2層のポリシリコンをキヤパシタC2
応用することもできる。
発明の目的 本発明の目的は、電圧検出回路のキヤパシタ接
続ノードN1をスイツチングトランジスタを介し
て接地させ、電圧検出回路を使用しないときにス
イツチングトランジスタをオンにしてノード電位
VN1を接地電位に保持させることにより、前述の
トンネル・リークの問題を解決し、あわせて、キ
ヤパシタC1にPolySi−Si基板(逆導電層)を使
用することによつてキヤパシタ面積の低減をはか
るようにしたものである。たとえ、ジヤンクシヨ
ンリークによる電荷がノードN1に注入されても
スイツチングトランジスタにより該電荷ははき出
されるようにして、ノードN1の電位を適正にす
ることにある。
発明の構成 上述の目的を達成するために本発明によれば、
一方の電極が電源線に接続された第1のキヤパシ
タと、該第1のキヤパシタと直列に接続された第
2のキヤパシタと、該第1,2のキヤパシタの接
続点と前記電源線との間に接続されたスイツチン
グトランジスタとを具備し、前記第2のキヤパシ
タの一方の電極に被検出電圧を印加し、前記接続
点に出力される分圧電圧に基づいて該被検出電圧
の値が所定値になつたことを検出するようにし、
該被検出電圧が印加されない期間に前記スイツチ
ングトランジスタを導通させて前記接続点の電荷
を放出せしめるようにしたことを特徴とする電圧
検出回路が提供される。
発明の実施例 第5図、第6図を参照して本発明の実施例を説
明する。
第5図は本発明の一実施例としての電圧検出回
路が適用された書込み電圧制御回路の回路図であ
る。第5図の電圧検出回路VD1′においては、第
2図のキヤパシタC1の代りにキヤパシタC1′を設
け、さらにトランジスタQ3をノードN1と接地と
の間に接続してある。このトランジスタQ3はラ
イトノイレーズ信号W/Eにより制御される。つ
まり、書込み時には信号W/Eはハイレベル(=
“1”)となつてトランジスタQ3がオフとなるが、
それ以外は信号W/Eはローレベル(=“0”)と
なつてトランジスタQ3はオンとなる。電圧IVP0
が0レベルになつたときに、従つて、ジヤンクシ
ヨンリークのためにノードN1の電位VN1は負電圧
に振れ込むが、オン状態のトランジスタQ3の存
在のためにノードN1の電位VN1は負にならない。
さらに、この場合、トランジスタQ3がオフ状態
であつても、ノードN1の電位VN1はトランジスタ
Q3のスレツシユホールド電圧の負の値たとえば
−0.6Vに押えることもできる。
また、バツクバイアスたとえば−5Vが基板に
印加されていても、信号W/Eが“0”状態にあ
ればノードN1の電位はバツクバイアス側に振れ
込むことはない。
第6図は第5図の電圧検出回路DV1′の断面図
である。第6図においては、P-シリコン基板6
1内にフイールド酸化膜62によつて区分された
アクテイブ領域A1,A2,A3が設けられ、領域A1
にはキヤパシタC1′が形成され、領域A2にはキヤ
パシタC2が形成され、領域A3にはトランジスタ
Q3が形成される。すなわち、領域A1では、キヤ
パシタC1′が、基板61内の不純物拡散領域63、
電圧IVP0が印加されるポリシリコン層64、お
よびこれらの間の絶縁層(SiO2、図示せず)に
より形成される。領域A2では、キヤパシタC2が、
基板61内の不純物拡散領域65、ポリシリコン
層66、およびこれらの間の絶縁層(図示せず)
により形成される。なお、この場合、ポリシリコ
ン層66は不純物拡散領域63′を介して不純物
拡散領域63に接続され、不純物拡散領域65は
不純物拡散領域65′を介して接地されている。
また、領域A3では、トランジスタQ3が、2つの
不純物拡散領域67,68、信号W/Eが印加さ
れるポリシリコン層69、およびポリシリコン層
69直下の絶縁層(図示せず)により形成され
る。なお、この場合、不純物拡散領域68は接地
されている。
発明の効果 以上説明したように本発明によれば、キヤパシ
タの縦接続による電圧検出回路において、キヤパ
シタ接続ノードをスイツチングトランジスタを介
して接地しているので、該ノードの電位のジヤク
シヨンリークによる低下は常に補正され、従つ
て、本発明に係る電圧検出回路をE2PROM,
NOVRAMの書込み電圧制御回路へ適用したと
きには、適正な書込み電圧が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明が適用されるE2PROMの全体
構成を示すブロツク回路図、第2図は従来の書込
み電圧制御回路の回路図、第3図は第2図の書込
み電圧IVP0およびノード電位VN1のタイミング
図、第4図は第2図の電圧検出回路の断面図、第
5図は本発明の一実施例としての電圧検出回路を
含む書込み電圧制御回路の回路図、第6図は第5
図の電圧検出回路の断面図である。 12:昇圧回路、13:書込み電圧制御回路、
C1′:第1のキヤパシタ、C2:第2のキヤパシタ、
Q3:スイツチングトランジスタ、IVP0:高電位
信号。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 一方の電極が電源線に接続された第1のキヤ
    パシタと、該第1のキヤパシタと直列に接続され
    た第2のキヤパシタと、該第1,2のキヤパシタ
    の接続点と前記電源線との間に接続されたスイツ
    チングトランジスタとを具備し、前記第2のキヤ
    パシタの一方の電極に被検出電圧を印加し、前記
    接続点に出力される分圧電圧に基づいて該被検出
    電圧の値が所定値になつたことを検出するように
    し、該被検出電圧が印加されない期間に前記スイ
    ツチングトランジスタを導通させて前記接続点の
    電荷を放出せしめるようにしたことを特徴とする
    電圧検出回路。
JP59035115A 1984-02-28 1984-02-28 電圧検出回路 Granted JPS60179998A (ja)

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JP59035115A JPS60179998A (ja) 1984-02-28 1984-02-28 電圧検出回路
US06/704,995 US4636658A (en) 1984-02-28 1985-02-25 Voltage detecting device
KR1019850001191A KR890004304B1 (ko) 1984-02-28 1985-02-26 전압 검출장치
DE8585301327T DE3579333D1 (de) 1984-02-28 1985-02-27 Spannungsdetektor.
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