JPH0132700B2 - - Google Patents
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- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
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- H04N1/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザ光を用いて記録を行なう画像記
録装置等に適用して優れた効果を奏するレーザ走
査偏向装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a laser scanning deflection device that can be applied to an image recording device or the like that performs recording using laser light and achieves excellent effects.
最近、電子写真技術とレーザ露光技術を組合わ
せたレーザ光による画像記録装置が開発されてい
る。この装置は高速記録、高解像度、無騒音等の
特徴がありレーザプリンタ等の装置として注目さ
れている。 Recently, an image recording device using a laser beam that combines electrophotography technology and laser exposure technology has been developed. This device has features such as high speed recording, high resolution, and no noise, and is attracting attention as a device for laser printers and the like.
レーザ光による画像記録装置は上記のような非
常にすぐれた性能をもつているにもかかわらず、
現在、この種の装置を実用化する上で最大のネツ
クとなつているのは、構成要素の技術面の難し
さ、およびそのコストの高さである。最近レーザ
光源としては、ガスレーザにかわつて半導体レー
ザが実用化され、小型、低価格かつ自己変調可能
等の利点を生かして装置のコストダウンがはから
れるようになつた。しかしレーザ光学系に関して
は、いぜんとして特別な装置が必要であり、なか
でも次の2つの要素が装置全体を極端に高価で特
殊なものとしている。 Although image recording devices using laser light have extremely excellent performance as described above,
Currently, the biggest obstacles to putting this type of device into practical use are the technical difficulty of the components and their high cost. Recently, semiconductor lasers have been put into practical use as laser light sources instead of gas lasers, and the cost of devices has been reduced by taking advantage of their advantages such as small size, low cost, and self-modulation. However, the laser optical system still requires special equipment, and the following two elements make the entire equipment extremely expensive and special.
その一つは回転多面鏡でありレーザビームを走
査偏向するものである。ここでレーザ光の分確能
を維持するためには多面鏡の各面での面倒れ精度
は数秒以内となり高精度の加工技術が必要であ
る。また高速回転を行なうため高度の軸受け技術
を必要とする。 One of them is a rotating polygon mirror that scans and deflects the laser beam. In order to maintain the precision of the laser beam, the tilting precision of each face of the polygon mirror must be within a few seconds, which requires high-precision processing technology. Also, high-speed rotation requires advanced bearing technology.
もう一つはFθレンズであり、回転多面鏡で偏
光されたビームを感光体上に結像するレンズであ
る。通常の集光レンズでは感光体上を走査する速
度が周辺部で異なるため画像の速度による歪みが
生ずるので、この歪みを補正するレンズである。
Fθレンズは大口径の特殊レンズであり、設計及
びレンズの研摩に高度の技術を必要とし高価格な
ものである。 The other is the Fθ lens, which focuses the beam polarized by the rotating polygon mirror onto the photoreceptor. In a normal condensing lens, the speed at which the photoreceptor is scanned differs at the periphery, causing distortion due to the speed of the image, so this lens corrects this distortion.
Fθ lenses are special lenses with large apertures that require advanced technology to design and polish, and are expensive.
このような特殊な光学系を用いるかわりに、電
気信号に対応した角度で偏向する微小ミラー(以
下ガルバノミラーを例にとつて説明する)でレー
ザ光を偏光することが考えられる。しかしガルバ
ノミラーを高速で鋸歯状波的に振るのは極めて難
しい。ガルバノミラーの最適な駆動方法は反射鏡
を正弦波で共振させて偏向する方法であり、これ
によれば高速度で安定な駆動ができる。しかしこ
の偏向方法を行なつた場合、感光体上の中央部と
周辺部では走査速度が異なるため、記録した画像
が歪んだりレーザ露光量が周辺部で異なるといつ
た欠点があつた。 Instead of using such a special optical system, it is conceivable to polarize the laser beam using a micromirror (hereinafter, a galvanometer mirror will be explained as an example) that deflects the beam at an angle corresponding to the electric signal. However, it is extremely difficult to swing a galvano mirror in a sawtooth waveform at high speed. The optimal method for driving a galvano mirror is to cause the reflecting mirror to resonate with a sine wave and deflect it, which allows stable driving at high speed. However, when this deflection method is used, since the scanning speed is different between the central part and the peripheral part of the photoreceptor, there are drawbacks such as distortion of the recorded image and difference in the amount of laser exposure at the peripheral part.
本発明は特殊な技術や要素を必要とすることな
く、一般的な部品を用いて構成することにより実
用化に大きく貢献し、かつコスト的にも低廉なレ
ーザ走査偏向装置を提供するものである。すなわ
ち本発明では、2ビームの半導体レーザを用い
て、一方のレーザビームを画像記録用(または画
像読取用)に、他方のレーザビームを同期信号用
に使用して画像の速度歪みを補正することを特徴
とし、正弦波状に駆動した高速度微小ミラーと普
通の集束レンズを用いて装置全体の大幅なコスト
ダウンを可能とするものである。以下本発明の一
実施例を図面にもとづいて説明する。 The present invention provides a laser scanning deflection device that does not require any special technology or elements and is constructed using common parts, which greatly contributes to practical application and is also inexpensive. . That is, in the present invention, a two-beam semiconductor laser is used, one laser beam is used for image recording (or image reading), and the other laser beam is used for a synchronization signal to correct image speed distortion. It is characterized by the use of a high-speed micromirror driven in a sinusoidal manner and an ordinary focusing lens, making it possible to significantly reduce the cost of the entire device. An embodiment of the present invention will be described below based on the drawings.
第1図に本発明のレーザ走査偏向装置を画像記
録装置に適用した場合の実施例を示す。なお後述
するレーザ光による画像の読取装置にも同様に適
用できる。 FIG. 1 shows an embodiment in which the laser scanning deflection device of the present invention is applied to an image recording device. Note that the present invention can be similarly applied to an image reading device using a laser beam, which will be described later.
第1図において、1は2つのレーザ発光部を基
板上に集積した2ビーム半導体レーザであり、一
方のレーザビーム(破線)は画像の記録用に、他
方のレーザビームは同期信号用(実線)として用
いられる。それぞれのレーザビームはコリメータ
レンズ2により集光及び平行化されガルバノミラ
ー3により偏向される。記録用レーザビームは普
通の集束レンズ4により感光体5の面上で結像さ
れるが、同期信号用レーザビームは感光体5の前
に設置された反射ミラー6により反射分離され、
次に遮光縞が等間隔に入つた反射板7により選択
的に反射されてレーザ光検出器8によりビームの
偏向速度に比例した周波数のパルス状信号として
検出される。 In Figure 1, 1 is a two-beam semiconductor laser with two laser emitting parts integrated on a substrate, one laser beam (broken line) is used for recording images, and the other laser beam is used for synchronization signals (solid line). used as. Each laser beam is focused and parallelized by a collimator lens 2 and deflected by a galvano mirror 3. The recording laser beam is imaged on the surface of the photoreceptor 5 by an ordinary focusing lens 4, but the synchronizing signal laser beam is reflected and separated by a reflection mirror 6 installed in front of the photoreceptor 5.
Next, the light-shielding stripes are selectively reflected by equally spaced reflecting plates 7 and detected by a laser photodetector 8 as a pulsed signal with a frequency proportional to the beam deflection speed.
レーザ光検出器8からのパルス信号Sは周波数
電圧変換器(以下FVCと記す)9により電圧V
に変換され、この電圧は電圧制御発振器(以下
VCOと記す)10の周波数制御電圧及びレーザ
変調回路11のレーザ駆動にバイアス電流として
与えられる。 The pulse signal S from the laser photodetector 8 is converted to a voltage V by a frequency voltage converter (hereinafter referred to as FVC) 9.
This voltage is converted into a voltage controlled oscillator (hereinafter referred to as
It is given as a bias current to the frequency control voltage of VCO) 10 and the laser drive of the laser modulation circuit 11.
第2図に速度歪補正回路の各部の信号を示す。
ガルバノミラー3は正弦波状に駆動されるので走
査の中央部で速度が速く、周辺部で遅くなつてく
る。反射板7には遮光縞が等間隔に並んでいるの
で同期信号用のレーザ光検出器8からは走査速度
に比例した周波数のパルス信号Sが得られる。
FVC9で速度に比例した電圧に変換された信号
Vを、以下に示す2つの補正に用いる。 FIG. 2 shows the signals of each part of the speed distortion correction circuit.
Since the galvanometer mirror 3 is driven in a sinusoidal manner, the scanning speed is fast at the center and slow at the periphery. Since light-shielding stripes are arranged at regular intervals on the reflection plate 7, a pulse signal S having a frequency proportional to the scanning speed is obtained from the laser light detector 8 for synchronizing signals.
The signal V converted into a voltage proportional to the speed by the FVC 9 is used for the following two corrections.
ひとつは画像の歪補正であり、VCO10の電
圧を制御して、変調クロツク信号Fを補正する。
即ち速度に比例して変調クロツク信号を制御し、
画像を一定に補正する。変調クロツク信号Fはレ
ーザ光検出器8の信号をそのまま用いてもよい。
この場合は画像の解像度を100μmとすれば遮光
縞の間隔も同様に100μmピツチが必要である。
また遮光縞を500μmピツチとしてVCO等の回路
により周波数を5倍に上げて使用する方法も実用
的で、第1図ではこの例を示してある。この方法
は遮光縞のかわりにスリツト板を配置して、レー
ザ光のスリツトからの透過光を検出する構成とし
た場合、100μmピツチの細長いスリツトは作成
困難なので特に有効である。また反射ミラー6を
遮光縞反射板7で兼用する場合も同期信号用レー
ザビームが結像点よりも手前にずれることにより
ビーム径が大きくなるので有効でる。 One is image distortion correction, in which the voltage of the VCO 10 is controlled to correct the modulation clock signal F.
That is, the modulation clock signal is controlled in proportion to the speed,
Correct the image to a certain level. The signal from the laser photodetector 8 may be used as the modulated clock signal F.
In this case, if the resolution of the image is 100 .mu.m, the interval between the light-shielding stripes must also be 100 .mu.m.
It is also practical to use a method in which the light-shielding stripes are set at a pitch of 500 μm and the frequency is increased five times using a circuit such as a VCO, and an example of this is shown in FIG. This method is particularly effective when a slit plate is placed in place of the light-shielding stripes and the transmitted light from the laser beam is detected, since it is difficult to create long and narrow slits with a pitch of 100 μm. It is also effective to use the light-shielding striped reflector 7 as the reflection mirror 6, since the synchronizing signal laser beam is shifted to the front of the imaging point, thereby increasing the beam diameter.
もう一つはレーザ光の出力の補正である。ガル
バノミラーを正弧波状に駆動したことから感光体
上の記録レーザ光の走査速度は、中央で速く周辺
で遅くなるので、中央で露光量が少なくなり画像
が細つたり淡くなつたりする。そこでレーザ光の
走査速度に比例した電圧Vにより、レーザ出力を
制御して補正をすることができる。第3図には補
正電圧Vに比例して半導体レーザの駆動バイアス
電流を変え、レーザ出力を補正した例を示す。図
において20は半導体レーザの駆動電流とレーザ
出力の特性であり、走査速度の遅いときは21に
示すバイアスを加え、速いときは22に示すバイ
アスを加える事によりレーザ出力はそれぞれ2
3,24となつて出力を補正する事ができる。バ
イアス電流は画像歪みが一定となる様に補正量を
調整しておく。 The other is correction of laser light output. Since the galvanometer mirror is driven in a positive arc waveform, the scanning speed of the recording laser beam on the photoreceptor is faster at the center and slower at the periphery, so the amount of exposure at the center decreases and the image becomes thin or pale. Therefore, the laser output can be controlled and corrected using a voltage V proportional to the scanning speed of the laser beam. FIG. 3 shows an example in which the driving bias current of the semiconductor laser is changed in proportion to the correction voltage V to correct the laser output. In the figure, 20 indicates the characteristics of the drive current and laser output of the semiconductor laser. When the scanning speed is slow, the bias shown in 21 is added, and when the scanning speed is fast, the bias shown in 22 is added, and the laser output is increased by 2.
3, 24, and the output can be corrected. The correction amount of the bias current is adjusted so that the image distortion remains constant.
第4図には2つのレーザビームをもつた半導体
レーザによる光路の実施例を示す。2つの半導体
レーザ12,13の互の間隔をΔy、コリメータ
レンズ14及び集速レンズ15の焦点距離をそれ
ぞれf1,f2とすると結像面における2つのレーザ
像の間隔yはΔyが小さいとすると、
y=f2/f1・Δy
と示される。Δyはコリメータレンズの光軸ずれ
による収差の影響を除くため100μm〜300μmと
する。f1=10mm、f2=250mmとすればy=25〜75
mmとなり、感光体19の前に反射ミラー16を挿
入して同期信号用レーザビームだけを分離するこ
とが可能となる。さらに同期信号用レーザビーム
の焦点面に担当する位置に遮光縞反射板17を配
置し、その後にレーザ光検出器18を設けてレー
ザ光の走査速度に比例した周波数の同期信号とし
て取り出している。レーザ光検出器18の面積が
小さい場合は、放物面鏡を用いてレーザビームを
集める方法を用いる。 FIG. 4 shows an embodiment of an optical path using a semiconductor laser having two laser beams. If the distance between the two semiconductor lasers 12 and 13 is Δy, and the focal lengths of the collimator lens 14 and the focusing lens 15 are f 1 and f 2 , respectively, then the distance y between the two laser images on the imaging plane is as follows: When Δy is small, Then, it is shown as y=f 2 /f 1 ·Δy. Δy is set to 100 μm to 300 μm in order to eliminate the influence of aberrations due to optical axis deviation of the collimator lens. If f 1 = 10mm, f 2 = 250mm, y = 25 ~ 75
mm, and by inserting a reflecting mirror 16 in front of the photoreceptor 19, it becomes possible to separate only the synchronizing signal laser beam. Further, a light-shielding striped reflection plate 17 is placed at a position corresponding to the focal plane of the synchronizing signal laser beam, and a laser light detector 18 is provided afterward to extract a synchronizing signal with a frequency proportional to the scanning speed of the laser beam. If the area of the laser photodetector 18 is small, a method is used in which the laser beam is focused using a parabolic mirror.
上記の実施例では画像の記録装置について説明
したが、画像の読取装置においても本発明のレー
ザ走査偏向装置を同様に使用することが可能であ
る。 Although the above embodiment describes an image recording device, the laser scanning deflection device of the present invention can be similarly used in an image reading device.
以上のように本発明のレーザ走査偏向装置によ
れば2つのビームをもつた半導体レーザを用い、
一方のレーザビームを同期信号用に使用して、偏
向器による画像の速度歪みを補正することがで
き、特に同期信号用のレーザビームの走査速度に
応じて半導体レーザの駆動バイアス電流を変化さ
せ読み取りまたは記録用のレーザ光の出力レベル
を制御するようにしたので、正確な読み取りや印
字むらのない記録を行なうことができ、レーザ光
を用いる記録装置が読取装置の実用化に大きく寄
与するものである。 As described above, according to the laser scanning deflection device of the present invention, a semiconductor laser having two beams is used,
One laser beam can be used for the synchronization signal to correct the image speed distortion caused by the deflector, and in particular, the semiconductor laser drive bias current is changed according to the scanning speed of the laser beam for the synchronization signal to read the data. In addition, since the output level of the laser beam for recording is controlled, accurate reading and recording without uneven printing can be performed, and recording devices that use laser beams will greatly contribute to the practical application of reading devices. be.
第1図は本発明のレーザ走査偏向装置を適用し
た画像記録装置の一実施例を示す要部構成図、第
2図は走査速度歪補正部の信号を示す波形図、第
3図はバイアス電流とレーザ光の出力との関係を
示す線図、第4図は要部の構成図である。
1……2ビーム半導体レーザ、2……コリメー
タレンズ、3……ガルバノミラー、4……集速レ
ンズ、5……感光体、6……反射ミラー、7……
遮光縞反射板、8……レーザ光検出器、9……周
波数電圧変換器(FVC)、10……電圧制御発振
器(VCO)、11……レーザ変調駆動回路。
Fig. 1 is a main part configuration diagram showing an embodiment of an image recording device to which the laser scanning deflection device of the present invention is applied, Fig. 2 is a waveform diagram showing signals of the scanning speed distortion correction section, and Fig. 3 is a bias current diagram. FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the output of the laser beam and the output of the laser beam, and FIG. 4 is a configuration diagram of the main part. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... 2-beam semiconductor laser, 2... Collimator lens, 3... Galvano mirror, 4... Concentrating lens, 5... Photoreceptor, 6... Reflection mirror, 7...
Light-shielding striped reflector, 8... Laser photodetector, 9... Frequency voltage converter (FVC), 10... Voltage controlled oscillator (VCO), 11... Laser modulation drive circuit.
Claims (1)
体レーザ光源と、前記半導体レーザ光源からの制
御用と読み取りまたは記録用の2本のレーザ光を
偏向する偏向手段と、偏向された読み取りまたは
記録用のレーザ光が結像され画像の読み取りまた
は記録が行なわれる走査面と、偏向された制御用
のレーザ光のみを分離しこのレーザ光の走査速度
を検出する検出手段と、前記検出手段の出力によ
り読み取りまたは記録用のレーザ光の変調速度を
制御する第1の制御手段と、制御用のレーザ光の
走査速度に応じて前記半導体レーザ光源の駆動バ
イアス電流を変化させ読み取りまたは記録用のレ
ーザ光の出力レベルを制御する第2の制御手段と
を備えたことを特徴とするレーザ走査偏向装置。1. A two-beam semiconductor laser light source having two laser emitting parts, a deflection means for deflecting two laser beams for control and reading or recording from the semiconductor laser light source, and a deflected laser beam for reading or recording. a scanning surface on which the laser beam is focused and an image is read or recorded; a detection means for separating only the deflected control laser beam and detecting the scanning speed of the laser beam; and a detection means for detecting the scanning speed of the laser beam; a first control means for controlling the modulation speed of the laser beam for reading or recording; and a first control means for controlling the modulation speed of the laser beam for reading or recording; A laser scanning deflection device comprising: second control means for controlling an output level.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5060280A JPS56146359A (en) | 1980-04-16 | 1980-04-16 | Deflecting device of laser scan |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5060280A JPS56146359A (en) | 1980-04-16 | 1980-04-16 | Deflecting device of laser scan |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56146359A JPS56146359A (en) | 1981-11-13 |
| JPH0132700B2 true JPH0132700B2 (en) | 1989-07-10 |
Family
ID=12863507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5060280A Granted JPS56146359A (en) | 1980-04-16 | 1980-04-16 | Deflecting device of laser scan |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56146359A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9254083B2 (en) | 2013-12-06 | 2016-02-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Light source modulation for a scanning microscope |
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| JPS60120658A (en) * | 1983-12-03 | 1985-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Picture magnification varying method of semiconductor laser |
| JPS6166465A (en) * | 1984-09-10 | 1986-04-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | variable magnification laser printer |
| JPS6166467A (en) * | 1984-09-10 | 1986-04-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | variable magnification laser printer |
| JPS6166466A (en) * | 1984-09-10 | 1986-04-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | variable magnification laser printer |
| JPH0681227B2 (en) * | 1987-06-18 | 1994-10-12 | 富士写真フイルム株式会社 | Optical beam scanning recorder |
| US5193013A (en) * | 1990-05-29 | 1993-03-09 | Olive Tree Technology, Inc. | Scanner with non-linearity compensating pixel clock |
-
1980
- 1980-04-16 JP JP5060280A patent/JPS56146359A/en active Granted
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| US9254083B2 (en) | 2013-12-06 | 2016-02-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Light source modulation for a scanning microscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56146359A (en) | 1981-11-13 |
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