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JPH0141972B2 - - Google Patents
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JPH0141972B2 - - Google Patents

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JPH0141972B2
JPH0141972B2 JP15601582A JP15601582A JPH0141972B2 JP H0141972 B2 JPH0141972 B2 JP H0141972B2 JP 15601582 A JP15601582 A JP 15601582A JP 15601582 A JP15601582 A JP 15601582A JP H0141972 B2 JPH0141972 B2 JP H0141972B2
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iii
acid
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JP15601582A
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Purosuko Suteiibun
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EIDP Inc
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EI Du Pont de Nemours and Co
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Publication date
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/0045Photosensitive materials with organic non-macromolecular light-sensitive compounds not otherwise provided for, e.g. dissolution inhibitors
    • GPHYSICS
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    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/0275Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with dithiol or polysulfide compounds

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  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
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Description

【発明の詳现な説明】
本発明は䞍飜和重合䜓、メルカプト酞およびラ
ゞカル開始系を含有する光感受性組成物、前蚘組
成物から補造された゚レメント、および前蚘゚レ
メントの光画像圢成法に関する。 発明の技術的背景ずしおは次のものがあげられ
る。 米囜特蚱第4179531号明现曞は、モノアルケニ
ル芳銙族ゞ゚ン共重合䜓暹脂、光亀叉結合性
含有単量䜓、ポリチオヌルおよび光開始剀を包
含する硬化性組成物を開瀺しおいる。 米囜特蚱第4234676号明现曞は䞍飜和重合䜓、
単量䜓、チオヌルおよび硬化剀を含有する硬化性
組成物を開瀺しおいる。 米囜特蚱第4248960号明现曞はその䞋偎薄局組
成物が奜たしくは光硬化性重合䜓組成物であるレ
リヌフ生成性積局䜓を開瀺しおいる。 米囜特蚱第4266004号明现曞は酞玠および光増
感剀の存圚䞋におけるある皮の有機サルフアむド
含有重合䜓の光画像圢成法を開瀺しおいる。 英囜特蚱第1390711号および米囜特蚱第3767398
号明现曞は、メチルビニル゚ヌテルマレむン酞
無氎物共重合䜓のモノアリル゚ステル反埩単䜍を
有する重合䜓およびポリチオヌルよりなりそしお
光硬化速床促進剀を含有するかたたはこれを含有
しおいない硬化性組成物を開瀺しおいる。 米囜特蚱第3809633号明现曞は分子内に反応性
䞍飜和炭玠−炭玠官胜基およびたたは反応性チ
オヌル基を含有する鎖延長ポリチオ゚ヌテル含有
重合䜓組成物を開瀺しおいる。 米囜特蚱第3660088号明现曞は、ポリ゚ン、ポ
リチオヌルおよび光硬化速床促進剀よりなる光硬
化性組成物を䜿甚する金属゚ツチグ法を開瀺しお
いる。 米囜特蚱第3936530号明现曞はスチレン−アリ
ルアルコヌル共重合䜓ベヌスのポリ゚ンおよびポ
リチオヌル成分よりなる硬化性コヌテむング組成
物を開瀺しおいる。 米囜特蚱第3627529号明现曞ぱチレン性䞍飜
和ポリ゚ン、ポリチオヌルおよび光硬化性速床促
進剀の光硬化性組成物から石版印刷プレヌトを補
造する方法を開瀺しおいる。 米囜特蚱第4179295号明现曞は、分子䞭に脂肪
族䞍飜和結合を有する有機ポリシロキサンおよび
メルカプト含有有機ポリシロキサンを含有しおお
りそしおその有機ポリシロキサンが亀叉結合圢成
を行わせる玫倖線照射により硬化される光感受性
組成物を開瀺しおいる。 米囜特蚱第4130469号明现曞は、懞垂メルカプ
タン基を含有する重合䜓およびビスマレむミド亀
叉結合剀を含有する硬化性コヌテむング組成物を
開瀺しおいる。 米囜特蚱第1179252号明现曞は熱可塑性匟性䜓
組成物の補造におけるカルボキシル基を含有する
ブタゞ゚ン重合䜓の䜿甚を開瀺しおいる。 米囜特蚱第2589151号明现曞は、遊離ラゞカル
開始剀を䜿甚しお溶液䞭で補造されたブタゞ゚ン
重合䜓のチオグリコヌル酞アダクト付加物を
開瀺しおおり、そしおそのアダクトの構造は「J.
Am.Chem.Soc.」第70巻第1804〜1808頁1948
䞭に曎に論じられおいる。 「Ind.Eng.Chem.」第45巻第2090〜2093頁
1953は極性基含有チオヌル䟋えばメルカプト
酢酞の添加によ぀おポリブタゞ゚ンを倉性せしめ
お改善された耐油性の重合䜓を生成させるこずを
開瀺しおいる。 「Research Disclosure」第143巻第24頁
1976は液䜓゚レクトログラフむヌ展開剀䞭の
成分ずしおの䞍飜和重合䜓のメルカプト酞誘導䜓
の䜿甚を開瀺しおいる。 米囜特蚱第3857822号および同第3905820号明现
曞は、−アリルマレむミド単䜍含有共重合䜓お
よび前蚘共重合䜓を含有する光感受性耇写組成物
を開瀺しおおり、前蚘共重合䜓は先駆䜓たる無氎
物含有共重合䜓ず脂肪酞アミンずの反応により補
造されおいる。 本発明は次の成分すなわち (i) 成分(i)、(ii)および(iii)の党重量の玄10〜90
の、玄1000〜25000の数平均分子量を有し、し
かも(a)ポリ゚ン100圓り玄20〜1000ミリ圓量
の反応性䞍飜和炭玠−炭玠基ず(b)箄10〜50モル
の−アルケニルマレむミド単䜍ただしそ
のアルケニル基は玄〜18個の炭玠原子を含有
するものであるずを含有するポリ゚ン、 (ii) 成分(i)、(ii)および(iii)の党重量の玄〜50
の
反応性メルカプト酞、および (iii) 成分(i)、(ii)および(iii)の党重量の玄0.1〜50

の、掻性線攟射によ぀お掻性化されおポリ゚ン
ぞのメルカプト酞の付加を開始せしめうる攟射
感受性ラゞカル生成系 を包含する光感受性組成物に関する。 本発明はたた0.1Ό〜7600Όたたはそれ以䞊
の範囲の厚さを有する光感受性組成物の局をコヌ
テむングした基質を包含する光感受性゚レメント
にも関する。奜たしい光感受性゚レメントはホト
レゞストおよびプルヌフ系に䜿甚される。その基
質は任意の倩然たたは合成支持䜓奜たしくは可撓
性たたは剛性のフむルムたたはシヌトの圢態で存
圚しうるものでありうる。 本発明はたた、画像含有透明䜓を通しお2000〜
5000Åの波長を含有する掻性線攟射に光感受性゚
レメントを像様露光させ、そしおその像を珟像凊
理するこずを包含する光画像圢成法にも関する。 「反応性」䞍飜和炭玠−炭玠基なる衚珟は、掻
性線攟射の䞋で光増感剀の存圚䞋にメルカプト酞
のチオヌル基ず反応しおチオ゚ヌテル結合、
【匏】を生成する基を意味しおおり、こ れは芳銙栞䟋えばベンれン、ピリゞン、ナフタレ
ンその他に䟋瀺される環状構造䞭に芋出される、
同䞀条件䞋にチオヌル基ず反応しおチオ゚ヌテル
結合を生成させない「非反応性」基
【匏】 に察立するものである。 「䞍飜和炭玠炭玠基」なる語は −CHCH−、−≡CH
【匏】および を意味しおいる。ポリ゚ンはそのような䞍飜和基
の䞀぀のタむプを含有しうるし、たたはそれは
皮たたはそれ以䞊のそのようなタむプを含有しう
る。 光感受性組成物の成分(i)のポリ゚ンは、玄1000
〜10000の奜たしい数平均分子量、およびポリ゚
ン100圓り玄50〜500ミリ圓量の奜たしい皋床の
反応性䞍飜和炭玠−炭玠基を含有しおいる。奜た
しいポリ゚ン量は成分(i)、(ii)および(iii)の党重量の
箄40〜80である。 反応性䞍飜和炭玠−炭玠基の実質的にすべおが
−アルケニルマレむミド単䜍䞭に含有されおい
るこずが奜たしい。奜たしくはこれらの䞍飜和基
は「末端」すなわち−アルケニル鎖の端に䜍眮
する。 奜たしいポリ゚ンは
〔方法〕
凝瞮噚および分液挏斗を備えた100mlの頚䞞
底フラスコに、無氎物共重合䜓10および氷酢酞
50mlを入れた。フラスコを窒玠でパヌゞしそしお
存圚する無氎物基に基づいお1.2圓量のアミンを
を宀枩で滎加した。発熱反応が静た぀たら、反応
混合物を時間還流加熱した。重合䜓は加熱期間
の間に溶解した。溶液を宀枩たで冷华し、
−ゞ第ブチル−−メチルプノヌルmgを加
えそしお反応混合物を氎400ml䞭にゆ぀くり泚い
だ。沈殿した重合䜓を過により分離し、氎掗し
そしお颚也しした。重合䜓を玄200〜300mlのアセ
トン䞭の溶解しそしお圓りmlの塩酞を加え
お酞性にした氎䞭に再沈殿させた。埗られた重合
䜓を玙䞊で䞀倜也燥させそしお最埌に宀枩で真
空䞋に也燥させた。重合䜓はIR、NMRおよび元
玠分析によ぀お特城づけられた。 方法によ぀お補造された重合䜓を衚に瀺
す。
【衚】 䟋  −アリルマレむミド共重合䜓の補造 アリルアミン7.1を10分かけお滎加しながら、
垂販のスチレン無氎マレむン酞共重合䜓
モル比、o160025および氷酢酞250mlの混
合物を窒玠化に撹拌した。次に混合物を114℃で
時間加熱した。透明溶液を冷华し、−ゞ
第ブチル−−メチルプノヌル0.125で凊
理しそしお撹拌しながら玄2500mlの氎に加えた。
沈殿した重合䜓を過し、掗浄し、玄700mlのア
セトン䞭に再溶解しそしお圓り10mlの濃塩酞
で酞性にした過剰の氎に再び沈殿させた。埗られ
た重合䜓を真空䞋に䞀定の重量に也燥させた。
−アリルマレむミド重合䜓が重量25.4の癜色粉
末ずしお埗られた。赀倖スペクトルは1705cm-1お
よび1775cm-1でむミドの吞収を瀺しそしお特に無
氎物たたはアミドの吞収はみられなか぀た。た
た、nmrスペクトルはスチレン−アリルマレ
むミドの構造ず䞀臎した。窒玠分析およびnmrス
ペクトルは無氎物基の−アリルマレむミド基ぞ
の玄75倉換率を瀺しそしお無氎物単䜍の残りに
察しお完党な加氎分解が瀺された。実枬倀N4.38
。 光感受性組成物の補造および䜿甚 光感受性組成物の被芆液を次のようにしお調補
した。 −アリルマレむミド共重合䜓 1.00 11−メルカプトりンデカン酞 0.19 ベンゞルゞメチルケタヌル 0.15 ゚チレングリコヌルゞカプリレヌト可塑剀0.04 −ゞ第ブチル−−メチルプノヌル抑
制剀 0.004 ベンゟトリアゟヌル 0.004 C.I.゜ルベント赀色染料109 0.004 メチレンクロラむドメタノヌル9010溶剀
4.18 埗られた透明な溶液をミル200Όのド
クタヌナむフを甚いお25Όの配向ポリ゚ステル
フむルム基䜓に被芆した。被芆フむルムを55℃の
空気炉䞭で30分間也燥しお厚さ玄38Όの被芆を
䞎えた。次に、フむルムず板ずを機械駆動匏ロヌ
ルラミネヌタヌに120゜2.5f.p.m.で通しお塗膜を
新たに軜石研磚したブランク銅積局板に積局し
た。 被芆板の詊料を真空焌枠䞭の√階段くさびプ
ロセス透明画を通しお、3600Å〜4500Åのスペク
トル範囲に及ぶハロゲン化金属ランプからの照射
に、38cmの距離で22単䜍の照射線量ず透明画の露
光面に入射する190のcm2の積算光匷床に盞圓
する時間の間露光した。ポリ゚ステルカバシヌト
を陀去しそしお露光パネルを氎2700ml、−
−ブトキシ゚トキシ゚タノヌル300および炭
酞ナトリりム24から調補した溶液を甚いお
35゜45psi310kPaで噎露珟した。珟像䞭板を
噎霧ノズルから27cmの距離においた。分埌、パ
ネルの露光郚分の段階30cm2ぞの珟像
を銅衚面たで行぀た。 被芆板の第の詊料を䞊述のようにしお露光し
そしお同じ操䜜で分間珟像した。パネルを55℃
で分間也燥しそしお露光された銅を60℃の塩化
第二銅济䞭で分間フアむバヌグラスの裏材バ
ツキングから゚ツチングした。次に、゚ツチン
グされた板をプロセス透明画を通しおさらに22単
䜍の照射に再露光しそしお露光された板を再び
分間珟像した。第の露光郚分の珟像を衚面たで
行぀た。この実隓は、珟像および゚ツチング埌に
未露光組成物がいたなお機胜を果たすので光感受
性被芆がアドオンaddon胜力を有するこずを
瀺しおいる。露光された像はすぐれた接着性ず゚
ツチング抵抗性を瀺した。 䟋  この䟋は党氎性珟像液による珟像を瀺す。 光感受性組成物の25固圢分被芆液を次のよう
にしお調補した。 䟋の−アリルマレむミド共重合䜓 1.00 11−メルカプトりンデカン酞 0.30 ベンゞルゞメチルケタヌル 0.10 ゚チレングリコヌルゞカプリレヌト 0.12 −ゞ第ブチル−−メチルプノヌル
0.004 ベンゟトリアゟヌル 0.004 C.I.゜ルベント赀色染料109 0.004 メチレンクロラむドメタノヌル9010溶剀
4.60 組成物を䟋に述べたようにしお被芆し、也燥
し、銅板に積局しそしお露光した。板を氎3000ml
および炭酞ナトリりム30から調補した溶液を甚
いお50゜310kPaで噎霧珟像した。分埌、パネ
ルの露光郚分の段階87cm2ぞの珟像を
銅衚面たで行぀た。䟋で甚いた溶液での35゜
310kPaにおける珟像は分埌に階段1311
cm2たでの珟像を䞎えたが、未露光郚分の溶剀に
よるいくらかの攻撃が認められた。 䟋  光感受性組成物の被芆液を次のようにしお調補
した。 䟋の−アリルマレむミド共重合䜓 1.00 メルカプトこはく酞 0.30 ベンゞルゞメチルケタヌル 0.10 パラプレツクス −30可塑剀 0.08 −ゞ第ブチル−−メチルプノヌル
0.004 ベンゟトリアゟヌル 0.004 C.I.゜ルベント赀色染料109 0.004 メチレンクロラむドメタノヌル9010溶剀
4.48 組成物を䟋に述べたようにしお被芆し、也燥
し、積局し、露光しそしお珟像した。分埌、階
段120cm2たでの板の露光郚分の珟像は
銅衚面たで完党であ぀た。 被芆板の第の詊料を露光し、珟像し、゚ツチ
ングしそしおプロセス透明画を通しおさらに22単
䜍の照射に再露光した。露光板は䟋に述べたよ
うにしお分間珟像されそしお第の露光郚分の
珟像は衚面たで完党であ぀た。゚ツチング埌、被
芆は端郚ががろがろになりかくしお䟋の被芆よ
り゚ツチング剀に察する抵抗が小さか぀た。 䟋  調合に゚チレングリコヌルゞカプリレヌト0.10
、ベンゟトリアゟヌル0.12および−ゞ
第ブチル−−メチルプノヌル0.012を甚
いた以倖には、䟋に述べたようにしお光感受性
組成物の25固圢分被芆液を調補した。組成物を
䟋に述べたようにしお被芆し、也燥し、積局し
そしお露光した。−−ブトキシ゚トキシ
゚タノヌル120mlず炭酞ナトリりム30および氎
2970mlから調補した溶液2880mlずを混合しお調補
した溶液を甚いお板を40゜310kPaで噎霧珟像し
た。分埌、階段87cm2たでの板の露
光郚分の珟像は銅衚面たで完党であ぀た。第の
像圢成を䟋に述べたようにしお詊隓した堎合被
芆は良奜なアドオンadd−on胜力を瀺した。 䟋  アルミニりム基䜓を次のようにしお甚いた。調
合に゚チレングリコヌルゞカプリレヌト0.10を
甚いた以倖には䟋に述べたようにしお光感受性
組成物の25固圢分被芆液を調補した。組成物を
被芆し、也燥しそしお軜石で研磚したアルミニり
ムシヌト䞊に積局した。露光および40゜310kPa
における噎霧珟像䟋述べたようにしお行぀た。
分埌、階段42cm2たでの板の露光郚
分の珟像はアルミニりム衚面たで完党であ぀た。 䟋  光感受性組成物の被芆液を次のようにしお調補
した。 䟋の−アリルマレむミド共重合䜓 1.00 11−メルカプトりンデカン酞 0.20 メルカプトこはく酞 0.10 ゚チレングリコヌルゞカプリレヌト 0.10 −ゞ第ブチル−−メチルプノヌル抑
制剀 0.004 ベンゟトリアゟヌル 0.004 C.I.゜ルベント赀色染料109 0.004 メチレンクロラむドメタノヌル9010溶剀
4.54 䟋に述べたようにしお組成物を被芆し、也燥
し、積局し、露光しそしお珟像した。分埌、階
段57cm2たでの板の露光郚分の珟像は
銅衚面たで完党であ぀た。第の像圢成を䟋に
述べたようにしお詊隓した堎合、被芆はかなりの
アド−オン胜力を瀺した。 䟋  調合にベンゞルゞメチルケタヌル0.15および
゚チレングリコヌルゞカプリレヌト0.10を甚い
た以倖には、䟋に述べたようにしお光感受性組
成物の25固圢分被芆液を調補した。䟋に述べ
たようにしお組成物を被芆し、也燥し、積局し、
露光しそしお珟像した。分埌、階段87
cm2たでの板の露光郚分の珟像は銅衚面たで
完党であ぀た。 第の未露光板を珟像液で分間、40゜
310kPaにおいお噎霧珟像し、60℃の塩化第二銅
゚ツチング济䞭ぞ分間浞挬し次に√階段くさ
びを通しお䟋に述べたようにしお露光した。配
向ポリ゚ステルフむルムカバヌシヌトを露光の間
被芆ず階段くさびずの間に挿入した。次に、板を
噎霧珟像しお組成物の感光速床を決定した。分
埌、階段577cm2たでの板の露光郚分の
珟像は銅衚面たで完党であ぀た。これは組成物の
アド−オン感光速床が最初のプリント−゚ツチ像
を䜜成するために甚いられた凊理段階によ぀お実
質的に倉曎されないこずを瀺しおいる。 第のパネルを解像タヌゲツトを通しお10単䜍
87cm2の照射に露光しそしお䞊述したよ
うにしお珟像した。ミル51Όの線および
間隔の解像力が達成された。続いお被芆のアンダ
ヌカツテむングたたは接着損倱を䌎わずに、露光
された銅を60゜の塩化第二銅济䞭でパネルから゚
ツチングした。 䟋  −アリルマレむミド共重合䜓の補造 垂販のスチレン無氎マレむン酞共重合䜓
モル比、o170025、氷酢酞250mlお
よびアリルアミン4.65の混合物を調補しそしお
䟋で共重合䜓に぀いお述べた方法によ぀お凊理
した。党䜓で23.4の也燥−アリルマレむミド
共重合䜓が埗られた。赀倖スペクトルは無氎物た
たはアミドの痕跡量の吞収を瀺した。窒玠分析お
よびnmrスペクトルは無氎物基のむミド基ぞの玄
85倉換率を瀺しそしお無氎物単䜍の残りに察し
お完党な加氎分解が瀺された。実枬倀N3.34 光感受性組成物の補造および䜿甚 光感受性組成物の25固圢分被芆液を次のよう
にしお補造した。 −アリルマレむミド共重合䜓 1.00 11−メルカプトりンデカン酞 0.30 ベンゞルゞメチルケタヌル 0.15 ゚チレングリコヌルゞカプリレヌト 0.10 −ゞ第ブチル−−メチルプノヌル
0.004 ベンゟトリアゟヌル 0.004 C.I.゜ルベント赀色染料109 0.004 メチレンクロラむドメタノヌル9010溶剀
4.60 組成物を䟋に述べたようにしお被芆し、也燥
し、積局し、露光しそしお珟像した。分埌、パ
ネルの露光郚分の階段57cm2たでの珟
像は銅衚面たで完党であ぀た。 第の未露光パネルを䟋に述べたようにしお
予珟像し、゚ツチングし、露光しそしお珟像し
た。分埌、パネルの露光郚分の階段42
cm2たでの珟像は銅衚面たで完党であ぀た。
珟像時間分埌、段階損倱のない郚分珟像だけが
認められた。 第のパネルを䞊述したようにしお解像タヌゲ
ツトを通じお10単䜍187cm2の照射に露
光しそしお珟像した。珟像分埌、ミル51ÎŒ
の線および間隔が認められた。被芆の゚ツチ
ング抵抗性および接着性は䟋に述べた被芆ず同
様であ぀た。 䟋 〜14 光感受性組成物の被芆液を次のようにしお調補
した。 衚に蚘茉した衚瀺の共重合䜓 1.00 11−メルカプトりンデカン酞 0.30 ベンゞルゞメチルケタヌル 0.15 ゚チレングリコヌルゞカプリレヌト 0.10 −ゞ第ブチル−−メチルプノヌル
0.004 ベンゟトリアゟヌル 0.004 C.I.゜ルベント赀色染料109 0.004 メチレンクロラむドメタノヌル9010溶剀
4.60 組成物を䟋に述べたようにしお被芆し、也燥
し、銅板に積局しそしお露光した。珟像埌、远加
アド・オン像の解像力、゚ツチング抵抗性お
よび感光速床を䟋に述べたようにしお枬定し
た。解像力および耐゚ツチング性の枬定のために
露光された被芆パネル第のパネルを䟋、
䟋10、䟋11および䟋14における130cm2の光
匷床および䟋12および䟋13に察する87cm2の
匷床に盞圓する時間露光した。これらの結果を衚
およびに瀺す。
【衚】
【衚】 䟋 15 光感受性組成物の被芆を次のようにしお調補し
た。 共重合䜓 1.00 11−メルカプトりンデカン酞 0.30 ベンゞルゞメチルケタヌル 0.15 ゚チレングリコヌルゞカプリレヌト 0.12 −ゞ第ブチル−−メチルプノヌル
0.004 ベンゟトリアゟヌル 0.004 C.I.゜ルベント赀色染料109 0.004 メチレンクロラむドメタノヌル9010溶剀
3.7 組成物を䟋に述べたようにしお被芆し、也燥
し、銅板に積局しそしお200cm2の積算光匷
床に盞圓する照射線量に露光した。−−ブ
トキシ゚トキシ゚タノヌル120mlず炭酞ナトリ
りム30および氎2970mlから調補した溶液2880ml
ずを混合しお調敎された溶液を甚いお板を宀枩
310kPaで噎霧珟像した。50秒埌、階段たでの
パネルの露光郚分の珟像が認められた。 䟋 16 光感受性組成物の被芆を次のようにしお調補し
た。 共重合䜓 1.00 11−メルカプトりンデカン酞 0.22 ベンゟプノン 0.18 ミヒラヌのケトン 0.02 −メチル−−トリクロロメチル−−シ
クロヘキサゞ゚ノン 0.02 ゚チレングリコヌルゞカプリレヌト 0.12 −ゞ第ブチル−−メチルプノヌル
0.004 ベンゟトリアゟヌル 0.004 C.I.゜ルベント赀色染料109 0.004 メチレンクロラむドメタノヌル9010溶剀
3.6 組成物を䟋に述べたようにしお被芆し、也燥
し、銅板に積局しそしお200cm2の積算光匷
床に盞圓する照射線量に露光した。−−ブ
トキシ゚トキシ゚タノヌル120mlず炭酞ナトリ
りム30および氎2970mlから調補した溶液2880ml
ずを混合しお調補した溶液を甚いお板を35゜
310kpaで噎霧珟像した。分埌、この珟像は基
板たで完成に掗去されないレリヌフ像を生じた。 䟋 17 光感受性組成物の被芆を次のようにしお調補し
た。 共重合䜓 1.00 11−メルカプトりンデカン酞 0.20 ベンゞルゞメチルケタヌル 0.15 −ゞ第ブチル−−メチルプノヌル
0.004 ベンゟトリアゟヌル 0.004 C.I.゜ルベント赀色染料109 0.004 アセトン溶剀 2.77 組成物を䟋に述べたようにしお被芆し、也燥
し、銅板に積局し、露光しそしお珟像した。35゜
で30秒間珟像埌、可芖像が認められたが、倧郚分
の段階が掗去されおいた。

Claims (1)

  1. 【特蚱請求の範囲】  次の成分すなわち (i) 成分(i)、(ii)および(iii)の党重量の玄10〜90
    の、玄1000〜25000の数平均分子量を有し、し
    かも (a)ポリ゚ン100圓り玄20〜1000ミリ圓量の
    反応性䞍飜和炭玠−炭玠基ず(b)箄10〜50モル
    の−アルケニルマレむミド単䜍ただしアル
    ケニル基は玄〜18個の炭玠原子を含有するも
    のであるずを含有するポリ゚ン、 (ii) 成分(i)、(ii)および(iii)の党重量の玄〜50
    の
    反応性メルカプト酞、および (iii) 成分(i)、(ii)および(iii)の党重量の玄0.1〜50
    
    の、掻性線攟射によ぀お掻性化されおポリ゚ン
    ぞのメルカプト酞の付加を開始せしめうる攟射
    感受性ラゞカル生成系 を包含する光感受性組成物。  ポリ゚ンが−‐CH2および−CHCH2よ
    り遞ばれた少くずも個の基を含有しおいる、前
    蚘特蚱請求の範囲第項蚘茉の組成物。  ポリ゚ンが、実質的にスチレン、α−メチル
    スチレン、−クロロスチレン、−メチルスチ
    レン、−ブロモスチレン、メチルアクリレヌ
    ト、゚チルアクリレヌト、メチルメタクリレヌ
    ト、アリルメタクリレヌトおよびブチルメタクリ
    レヌトからなる矀の少くずも䞀員、ブタゞ゚ン、
    ゚チレン、メチルビニル゚ヌテル、゚チルビニル
    ゚ヌテル、む゜プロピルビニル゚ヌテル、−゚
    チルヘキシルビニル゚ヌテルおよびブチルビニル
    ゚ヌテルずマレむン酞無氎物ずの共重合䜓から誘
    導されたものである、前蚘特蚱請求の範囲第項
    蚘茉の組成物。  ポリ゚ンが実質的にスチレンずマレむン酞無
    氎物ずの共重合䜓の−アルケニルマレむミド誘
    導䜓からなる前蚘特蚱請求の範囲第項蚘茉の組
    成物。  ポリ゚ンの分子量が玄1000〜10000でありそ
    しおポリ゚ン100圓り玄50〜500ミリ圓量の反応
    性䞍飜和炭玠−炭玠基が存圚しおいる、前蚘特蚱
    請求の範囲第項蚘茉の組成物。  メルカプト酞がメルカプトカルボン酞であ
    る、前蚘特蚱請求の範囲第項蚘茉の組成物。  メルカプト酞がHS−−CO2Hただし、
    は未眮換のたたはカルボキシルないしアルコキシ
    カルボニル基で眮換された〜18個の炭玠原子を
    有するアルキレンであるの構造をもちそしおラ
    ゞカル生成系がベンゟむン゚ヌテルを包含しおい
    る、前蚘特蚱請求の範囲第項蚘茉の組成物。  メルカプト酞が11−メルカプトりンデカン酞
    でありそしおラゞカル生成系がベンゞルゞメチル
    ケタヌル化合物である、前蚘特蚱請求の範囲第
    項蚘茉の組成物。  ラゞカル生成系が−メチル−−トリクロ
    ロメチル−−シクロヘキサゞ゚ノン、ベン
    ゟプノンおよびミヒラヌのケトンを包含する、
    前蚘特蚱請求の範囲第項蚘茉の組成物。  次の成分すなわち (i) 成分(i)、(ii)および(iii)の党重量の玄10〜90
    の、玄1000〜25000の数平均分子量を有し、し
    かも (a)ポリ゚ン100圓り玄20〜1000ミリ圓量の
    反応性䞍飜和炭玠−炭玠基ず(b)箄10〜50モル
    の−アルケニルマレむミド単䜍ただしアル
    ケニル基は玄〜18個の炭玠原子を含有するも
    のであるずを含有するポリ゚ン、 (ii) 成分(i)、(ii)および(iii)の党重量の玄〜50
    の
    反応性メルカプト酞、および (iii) 成分(i)、(ii)および(iii)の党重量の玄0.1〜50
    
    の、掻性線攟射によ぀お掻性化されおポリ゚ン
    ぞのメルカプト酞の付加を開始させうる攟射感
    受性ラゞカル生成系 からなる光感受性組成物でコヌテむングされた光
    感受性゚レメントを掻性線攟射に像様露光させそ
    しお像を珟像させるこずからなる、光画像圢成方
    法。
JP15601582A 1982-07-27 1982-09-09 光重合䜓組成物 Granted JPS5924844A (ja)

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