JPH0158021B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0158021B2 JPH0158021B2 JP17838984A JP17838984A JPH0158021B2 JP H0158021 B2 JPH0158021 B2 JP H0158021B2 JP 17838984 A JP17838984 A JP 17838984A JP 17838984 A JP17838984 A JP 17838984A JP H0158021 B2 JPH0158021 B2 JP H0158021B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- station
- track
- transport
- loop
- empty
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 30
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q7/00—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting
- B23Q7/14—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting co-ordinated in production lines
- B23Q7/1426—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting co-ordinated in production lines with work holders not rigidly fixed to the transport devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- Discharge Of Articles From Conveyors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、搬送システムに係り、特に搬送要求
に対する待ち時間を少なくし、かつ渋滞なく搬送
する搬送方法に関する。
に対する待ち時間を少なくし、かつ渋滞なく搬送
する搬送方法に関する。
例えば半導体プロセスにおいては、第３図に示
すように、シリコンウエーハなどの搬送物をステ
ーシヨンＡ乃至Ｆの相互間を移送させる場合、搬
送車１ａ乃至１ｅがループ状軌道２に沿つてたと
えば矢印で示す方向に移動することによつて行
う。なお、各ステーシヨンＡ乃至Ｆはループ状軌
道２からそれぞれ分岐した引込み軌道２ａを有し
ている。一例として、ステーシヨンＥからステー
シヨンＢに搬送する場合、まず、待機ゾーン３に
ある搬送車１ｅはステーシヨンＥの搬送要求によ
つてステーシヨンＥに行つて搬送物を積みこみ、
ステーシヨンＢに行つて搬送物をおろした後、空
車になると再び待機ゾーンに戻つて次の搬送要求
を待つ。また、ステーシヨンＡからステーシヨン
Ｆへ搬送する場合は、同様に、搬送車が待機ゾー
ンからステーシヨンＡで搬送物を積みこみ矢印の
方向に移動しながらループ状軌道２を通つてステ
ーシヨンＦへ行き搬送物をおろした後、再び待機
ゾーンへ戻る。このような動作を常にくりかえし
ながら各ステーシヨン間の搬送を行う。
すように、シリコンウエーハなどの搬送物をステ
ーシヨンＡ乃至Ｆの相互間を移送させる場合、搬
送車１ａ乃至１ｅがループ状軌道２に沿つてたと
えば矢印で示す方向に移動することによつて行
う。なお、各ステーシヨンＡ乃至Ｆはループ状軌
道２からそれぞれ分岐した引込み軌道２ａを有し
ている。一例として、ステーシヨンＥからステー
シヨンＢに搬送する場合、まず、待機ゾーン３に
ある搬送車１ｅはステーシヨンＥの搬送要求によ
つてステーシヨンＥに行つて搬送物を積みこみ、
ステーシヨンＢに行つて搬送物をおろした後、空
車になると再び待機ゾーンに戻つて次の搬送要求
を待つ。また、ステーシヨンＡからステーシヨン
Ｆへ搬送する場合は、同様に、搬送車が待機ゾー
ンからステーシヨンＡで搬送物を積みこみ矢印の
方向に移動しながらループ状軌道２を通つてステ
ーシヨンＦへ行き搬送物をおろした後、再び待機
ゾーンへ戻る。このような動作を常にくりかえし
ながら各ステーシヨン間の搬送を行う。
従来技術においては、空車になると必ず待機ゾ
ーンに戻つて搬送要求を待つために、軌道上を空
車が移動する回数が増え、軌道を専有する時間が
長くなる。したがつて、軌道上の渋滞を生じ、搬
送要求が発生してから実際に搬送が完了するまで
の時間が長く搬送能力に限界があつた。
ーンに戻つて搬送要求を待つために、軌道上を空
車が移動する回数が増え、軌道を専有する時間が
長くなる。したがつて、軌道上の渋滞を生じ、搬
送要求が発生してから実際に搬送が完了するまで
の時間が長く搬送能力に限界があつた。
よつて、このような問題点を解決できる、スペ
ース効率がよくかつ搬送能力の高い搬送システム
が要求されている。
ース効率がよくかつ搬送能力の高い搬送システム
が要求されている。
ループ状軌道に接続された複数の引込み軌道の
各々に設けられた複数のステーシヨンへ上記ルー
プ状軌道を一定方向に走行する複数の搬送車によ
り搬送物を搬送する搬送方法において上記搬送物
は搬送後空車状態になつた搬送車を搬送回数の多
い特定ステーシヨンに対して上記一定の走行方向
の手前側に位置しかつ搬送回数の少ないステーシ
ヨンの引込み軌道内に待機させ、またはループ状
軌道内に分岐軌道を設けこの分岐軌道および引込
み軌道の両方もしくはいずれか一方で待機させ、
この待機した搬送車を上記特定ステーシヨンから
の搬送要求で走行させるようにしたものである。
各々に設けられた複数のステーシヨンへ上記ルー
プ状軌道を一定方向に走行する複数の搬送車によ
り搬送物を搬送する搬送方法において上記搬送物
は搬送後空車状態になつた搬送車を搬送回数の多
い特定ステーシヨンに対して上記一定の走行方向
の手前側に位置しかつ搬送回数の少ないステーシ
ヨンの引込み軌道内に待機させ、またはループ状
軌道内に分岐軌道を設けこの分岐軌道および引込
み軌道の両方もしくはいずれか一方で待機させ、
この待機した搬送車を上記特定ステーシヨンから
の搬送要求で走行させるようにしたものである。
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述
する。なお、従来技術の説明に用いた第３図と同
一部分には同一記号を付して、詳細な説明を省略
する。
する。なお、従来技術の説明に用いた第３図と同
一部分には同一記号を付して、詳細な説明を省略
する。
第１図に示すように、ステーシヨンＡ乃至Ｆの
中で特に搬送回数が多いステーシヨンを特定ステ
ーシヨンＢとし、逆に搬送回数の少ないステーシ
ヨンをＡ，Ｆとすると、ステーシヨンＢに対し
て、ループ状軌道２に沿つて矢印方向に移動する
搬送車１ａ乃至１ｅの移動方向が手前側に相当す
るステーシヨンＡ，Ｆの引込み軌道２ａには空車
になつた搬送車１ａ，１ｂが常に待機するように
する。そして、搬送回数が多いステーシヨンＢか
らの搬送要求に対しては、より近いステーシヨン
Ａの空車たとえば搬送車１ａがステーシヨンＢに
行つて搬送物を積みこんでその行先のステーシヨ
ンへ行つて積みおろす。空車がなくなつたステー
シヨンＡには、ステーシヨンＦの空車である搬送
車１ｂが行くか、あるいは他のステーシヨンで空
車になつた搬送車の中で近くにあるものが行つて
次の搬送要求を待つ。なお待機しているたとえば
ステーシヨンＡあるいはステーシヨンＦに搬送物
を運んで搬送車が到着した時は、空車がステーシ
ヨンＦから出たあと再び空車がステーシヨンＦの
引込み軌道２ａに入つて待機するようにして運用
をくりかえす。
中で特に搬送回数が多いステーシヨンを特定ステ
ーシヨンＢとし、逆に搬送回数の少ないステーシ
ヨンをＡ，Ｆとすると、ステーシヨンＢに対し
て、ループ状軌道２に沿つて矢印方向に移動する
搬送車１ａ乃至１ｅの移動方向が手前側に相当す
るステーシヨンＡ，Ｆの引込み軌道２ａには空車
になつた搬送車１ａ，１ｂが常に待機するように
する。そして、搬送回数が多いステーシヨンＢか
らの搬送要求に対しては、より近いステーシヨン
Ａの空車たとえば搬送車１ａがステーシヨンＢに
行つて搬送物を積みこんでその行先のステーシヨ
ンへ行つて積みおろす。空車がなくなつたステー
シヨンＡには、ステーシヨンＦの空車である搬送
車１ｂが行くか、あるいは他のステーシヨンで空
車になつた搬送車の中で近くにあるものが行つて
次の搬送要求を待つ。なお待機しているたとえば
ステーシヨンＡあるいはステーシヨンＦに搬送物
を運んで搬送車が到着した時は、空車がステーシ
ヨンＦから出たあと再び空車がステーシヨンＦの
引込み軌道２ａに入つて待機するようにして運用
をくりかえす。
実施例の搬送方法によると、従来技術において
生じた空車による軌道上の渋滞がなくなり、さら
に搬送回数の多いステーシヨンの搬送要求に対し
てロスタイムを少なくすることができるため、搬
送システム全体の能力を向上させることができ、
非常に高い搬送能力を達成することができる。ま
た、待機ゾーンを少なくすることができるため、
スペースを有効に活用できる。
生じた空車による軌道上の渋滞がなくなり、さら
に搬送回数の多いステーシヨンの搬送要求に対し
てロスタイムを少なくすることができるため、搬
送システム全体の能力を向上させることができ、
非常に高い搬送能力を達成することができる。ま
た、待機ゾーンを少なくすることができるため、
スペースを有効に活用できる。
なお、空車が待機する場所として、ステーシヨ
ンだけに限らず第２図に示すようにループ状軌道
内にもうけられている分岐軌道２ｂの部分にも空
車を待機させるか、または分岐軌道２ｂと引込み
軌道２ａのどちらか一方に待機させて運用しても
同様の効果を得ることができる。また、空車の待
機場所としては、ステーシヨンとバイパスの両方
を用いるようにしてもよい。
ンだけに限らず第２図に示すようにループ状軌道
内にもうけられている分岐軌道２ｂの部分にも空
車を待機させるか、または分岐軌道２ｂと引込み
軌道２ａのどちらか一方に待機させて運用しても
同様の効果を得ることができる。また、空車の待
機場所としては、ステーシヨンとバイパスの両方
を用いるようにしてもよい。
本発明によれば、空車による軌道上の渋滞がな
くなり、さらに搬送回数の多いステーシヨンの搬
送要求に対してロスタイムを少なくすることがで
きるため、搬送システム全体の能力を向上させる
ことができ、非常に高い搬送能力を達成すること
ができる。また、待機ゾーンを少なくすることが
できるため、スペースを有効に活用できる。
くなり、さらに搬送回数の多いステーシヨンの搬
送要求に対してロスタイムを少なくすることがで
きるため、搬送システム全体の能力を向上させる
ことができ、非常に高い搬送能力を達成すること
ができる。また、待機ゾーンを少なくすることが
できるため、スペースを有効に活用できる。
第１図は本発明の一実施例の搬送方法の説明
図、第２図は本発明の他の実施例の搬送方法の説
明図、第３図は従来の搬送方法の説明図である。 Ａ乃至Ｆ：ステーシヨン、１ａ乃至１ｅ：搬送
車、２：ループ状軌道、２ａ：引込み軌道、２
ｂ：分岐軌道。
図、第２図は本発明の他の実施例の搬送方法の説
明図、第３図は従来の搬送方法の説明図である。 Ａ乃至Ｆ：ステーシヨン、１ａ乃至１ｅ：搬送
車、２：ループ状軌道、２ａ：引込み軌道、２
ｂ：分岐軌道。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ループ状軌道に接続された複数の引込み軌道
の各々に設けられた複数のステーシヨンへ上記ル
ープ状軌道を一定方向に走行する複数の搬送車に
より搬送物を搬送する搬送方法において、上記搬
送物搬送後空車状態になつた上記搬送車を搬送回
数の多い特定ステーシヨンに対して上記一定の走
行方向の手前側に位置しかつ搬送回数の少ないス
テーシヨンに接続された上記引込み軌道内に待機
させこの待機した上記搬送車を上記特定ステーシ
ヨンからの搬送要求に応じて走行させることを特
徴とする搬送方法。 ２ 上記ループ状軌道内に分岐軌道を設け、空車
状態の上記搬送車を上記分岐軌道および上記引込
み軌道の両方もしくはいずれか一方で待機させる
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の搬
送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17838984A JPS6156859A (ja) | 1984-08-29 | 1984-08-29 | 搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17838984A JPS6156859A (ja) | 1984-08-29 | 1984-08-29 | 搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6156859A JPS6156859A (ja) | 1986-03-22 |
| JPH0158021B2 true JPH0158021B2 (ja) | 1989-12-08 |
Family
ID=16047636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17838984A Granted JPS6156859A (ja) | 1984-08-29 | 1984-08-29 | 搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6156859A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0810723B2 (ja) * | 1986-07-24 | 1996-01-31 | 株式会社ニコン | ウエハ又はウエハキヤリヤの搬送装置 |
| KR970003907B1 (ko) * | 1988-02-12 | 1997-03-22 | 도오교오 에레구토론 가부시끼 가이샤 | 기판처리 장치 및 기판처리 방법 |
| JP2519096B2 (ja) * | 1988-02-12 | 1996-07-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置及びレジスト処理装置及び処理方法及びレジスト処理方法 |
-
1984
- 1984-08-29 JP JP17838984A patent/JPS6156859A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6156859A (ja) | 1986-03-22 |
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