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JPH0159617B2 - - Google Patents
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JPH0159617B2 - - Google Patents

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JPH0159617B2
JPH0159617B2 JP60267998A JP26799885A JPH0159617B2 JP H0159617 B2 JPH0159617 B2 JP H0159617B2 JP 60267998 A JP60267998 A JP 60267998A JP 26799885 A JP26799885 A JP 26799885A JP H0159617 B2 JPH0159617 B2 JP H0159617B2
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JP
Japan
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pattern
inspected
printed board
net list
hole
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JP60267998A
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Naoki Sano
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本発明は、デイジタル画像処理技術を用いてプ
リント板パターンを自動的に検査するプリント板
パターン検査方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a printed board pattern inspection method for automatically inspecting printed board patterns using digital image processing technology.

<従来の技術> 従来、目視によつて行なわれていたプリント板
等の配線パターンの検査を、最近は、人手に頼ら
ないように機械化するような試みがなされてい
る。
<Prior Art> Recently, attempts have been made to mechanize the inspection of wiring patterns on printed circuit boards, etc., which has conventionally been done visually, so that the inspection does not rely on manual labor.

特に、プリント板パターンの微細化傾向とプリ
ント板製品の信頼性、歩留りの向上の要求によ
り、プリント板パターンの検査品質の向上と検査
時間の短縮が望まれている。
In particular, due to the trend toward finer printed board patterns and demands for improved reliability and yield of printed board products, it is desired to improve the inspection quality and shorten the inspection time of printed board patterns.

従つて、このような要求に応えるために、プリ
ント板パターンを高速、高精度に検査することが
必要となつてくる。
Therefore, in order to meet such demands, it has become necessary to inspect printed board patterns at high speed and with high precision.

従来のプリント板パターンの検査方法として
は、第12図に示すように、(a)基準を用いて検査
する方法と(b)基準を用いないで検査する方法の2
つに分かれる。
As shown in Figure 12, there are two conventional methods for inspecting printed board patterns: (a) an inspection method using a standard, and (b) an inspection method without using a standard.
Divided into two.

(a)基準を用いて検査する方法は、正常パターン
を有するプリント板を絶対的な基準とし、正常プ
リント板パターンと被検査プリント板パターンを
入力して前処理を行なつて2値化画像信号に変換
し、位置合わせを行なつてそれぞれ対応する部分
の特徴抽出を行ない、これらを相互比較すること
によつてパターンの欠陥部分を検出するものであ
る。
(a) The method of inspection using a standard uses a printed board with a normal pattern as an absolute reference, inputs the normal printed board pattern and the printed board pattern to be inspected, performs preprocessing, and generates a binary image signal. This method detects defective portions of the pattern by converting the pattern into a pattern, performing alignment, extracting features of corresponding portions, and comparing these with each other.

一方、(b)基準を用いないでパターン検査を行な
う方法は、被検査パターンを入力して2値化処理
を行ない、この2値化画像信号と予め定義された
パターンの形状、寸法等に基づいた検査論理(測
長、特徴抽出等)と照合比較を行ない、合わない
部分をパターン欠陥部分として検出するものであ
る。
On the other hand, (b) method of performing pattern inspection without using a reference inputs the pattern to be inspected and performs binarization processing, and based on this binarized image signal and the shape, size, etc. of the pattern defined in advance. A comparison is made with the inspection logic (length measurement, feature extraction, etc.) that was created, and the portions that do not match are detected as pattern defective portions.

しかしながら、(a)基準を用いる方法は、正常プ
リント板パターンと被検査プリント板パターンの
正確な位置合わせが被検査プリント板毎に逐次必
要であるため、位置合わせ機構などの機械の高精
度が要求され高精度化に伴うコスト高を生じるこ
と、微小欠陥の検出が難しいこと、パターンのデ
ータ処理量が多く変換処理時間が大きいこと等の
問題を持つていた。
However, (a) method using standards requires high accuracy of the machine such as the alignment mechanism because accurate alignment of the normal printed board pattern and the printed board pattern to be inspected is required for each printed board to be inspected. However, there have been problems such as higher costs due to higher precision, difficulty in detecting minute defects, and a large amount of pattern data processing and long conversion processing time.

また、(b)基準を用いない方法は、例えば抜けパ
ターン等の正常パターンと類似する欠陥を検出す
ることができないこと、設計ルールの異なるプリ
ント板パターンを検査する場合にはその都度検査
論理を変更する必要があること等の問題を持つて
いた。
In addition, (b) methods that do not use standards cannot detect defects similar to normal patterns, such as missing patterns, and the inspection logic must be changed each time when inspecting printed board patterns with different design rules. Had to have a problem etc. that needed to be done.

<発明が解決しようとする問題点> 本発明が解決しようとする技術的な課題は、デ
イジタル画像処理技術を用いて正確にプリント板
パターンを検査する方法を実現することであり、
常に高速、高精度にプリント板パターンを検査す
ることができる方法を提供することを目的とす
る。
<Problems to be Solved by the Invention> A technical problem to be solved by the present invention is to realize a method for accurately inspecting printed board patterns using digital image processing technology.
The purpose of the present invention is to provide a method that can constantly inspect printed board patterns at high speed and with high precision.

<問題を解決するための手段> 以上の問題を解決した本発明のプリント板パタ
ーン検査方法は、プリント板のスルーホール領域
に付加されるランド領域を塗り潰して当該スルー
ホール領域に接続するスルーホール領域を全て検
出し、全スルーホール間ネツト・リスト情報を作
成し、同様の手順で予め作成した正常パターンの
ネツト・リスト情報と比較してプリント板パター
ンを検査するものであり、その方法は以下に述べ
る通りである。
<Means for Solving the Problems> The printed board pattern inspection method of the present invention, which solves the above problems, has a land area added to a through-hole area of a printed board, and a through-hole area connected to the through-hole area. The method is as follows: As stated.

即ち、プリント板パターンを読み込み2値化信
号処理を施しパターン部分を黒画素とする画像デ
ータに変換する入力部と、少なくとも1枚以上の
画像メモリ・プレーンを有し前記画像データを格
納する画像メモリ部と、プリント板パターン検査
アルゴリズム及びその検査結果を格納する主メモ
リ部と、前記検査結果を外部へ出力する出力部
と、数値演算及び前記プリント板パターン検査ア
ルコリズムを実行するプロセツサ部とを具備し、 (a) プリント板検査情報を格納する2次元マトリ
ツクス形式のテーブルを前記主メモリ部に設定
する手順、 (b) 前記入力部より被検査パターンの2値化画像
データを前記画像メモリ部の第1の画像メモ
リ・プレーンに書き込む手順、 (c) この第1の画像メモリ・プレーン上の被検査
パターンの各スルーホール領域にラベル付け処
理を行なうとともにこのスルーホール領域の画
素数及び重心座標を算出する手順、 (d) このスルーホール領域(ラベル番号I)の前
記重心座標を中心として当該スルーホール領域
を囲むランド領域を検出し、当該ランド領域と
それに接続するパターンを白画素で塗り潰して
次のラベル番号(I+1)からこのラベル番号
(I+1)のスルーホール領域のランド領域が
塗り潰されているかどうかを検出する手順、 (e) ランド領域が塗り潰されているスルーホール
領域(ラベル番号J)が検出された時は前記主
メモリ部に設定したテーブルの該当座標値
(J、I)を“1”としてこれらの動作を繰り
返すことによつて前記テーブル上に被検査パタ
ーンの全スルーホール間の接続関係を2次元的
にビツト対応で表わすネツト・リスト情報を作
成する手順、 (f) この被検査パターンのスルーホール領域のネ
ツト・リスト情報と、前記主メモリ上に予め上
記と同様の手順(a)〜(e)に従つて作成した正常パ
ターンのスルーホール間ネツト・リスト情報と
を比較する手順、 によりプリント板パターンの欠陥の有無を検出す
るプリント板パターン検査方法である。
That is, an input unit that reads a printed board pattern and performs binary signal processing to convert it into image data with black pixels in the pattern portion, and an image memory that has at least one image memory plane and stores the image data. a main memory section that stores a printed board pattern inspection algorithm and its inspection results, an output section that outputs the inspection results to the outside, and a processor section that executes numerical calculations and the printed board pattern inspection algorithm. (a) a procedure for setting a two-dimensional matrix format table for storing printed board inspection information in the main memory; (b) inputting binary image data of the pattern to be inspected from the input unit into the image memory unit; (c) Label each through-hole area of the pattern to be inspected on this first image memory plane, and record the number of pixels and centroid coordinates of this through-hole area. (d) Detect a land area surrounding this through-hole area with the center of gravity coordinates of this through-hole area (label number I) as the center, fill in the land area and the pattern connected to it with white pixels, and then calculate the following: Steps for detecting whether the land area of the through-hole area of this label number (I+1) is filled from the label number (I+1) of (e) The through-hole area (label number J) whose land area is filled is When detected, the corresponding coordinate values (J, I) of the table set in the main memory section are set to "1" and these operations are repeated to establish connections between all through holes of the pattern to be inspected on the table. (f) A procedure for creating net list information that represents the relationship two-dimensionally in bit correspondence; (f) A procedure similar to the above (a This is a printed board pattern inspection method for detecting the presence or absence of defects in a printed board pattern by the steps of comparing through-hole net list information of a normal pattern created according to steps ) to (e).

また、前記画像メモリ部の第2の画像メモリ・
プレーンに前記正常パターンの2値化画像データ
を格納するとともに第3の画像メモリ・プレーン
に前記被検査パターンの2値化画像データを格納
し、 (a) 前記主メモリ部に設定されている前記被検査
パターンのネツト・リスト情報と前記正常パタ
ーンのネツト・リスト情報とを比較して不一致
の場合は、前記被検査パターン及び前記正常パ
ターンにおいて該当するスルーホール領域を囲
むランド領域とこのランド領域に接続される全
てのパターンを抽出すべく塗り潰す手順、 (b) 手順(a)により塗り潰し処理した前記被検査パ
ターンと、前記正常パターンとの双方を出力す
る手順、 とによりパターン欠陥位置の検出を行なうように
する。
Further, a second image memory of the image memory section
storing the binarized image data of the normal pattern in a plane and storing the binarized image data of the inspected pattern in a third image memory plane; Compare the net list information of the pattern to be inspected and the net list information of the normal pattern, and if they do not match, the land area surrounding the corresponding through-hole area in the pattern to be inspected and the normal pattern, and this land area. Detection of pattern defect positions is performed by: (b) outputting both the pattern to be inspected that has been filled out according to step (a) and the normal pattern; Let's do it.

<実施例> 本発明のプリント板パターン検査方法は、第3
図に示すように、基準を用いる方式に属するもの
であり、パターンを連結するスルーホールに着目
し、正常プリント板パターンのスルーホール間ネ
ツト・リスト情報を基準とし、被検査プリント板
パターンを入力し前処理を行なつて2値化画像情
報を得、スルーホール間ネツト・リスト情報を作
成し、これら2つのネツト・リスト情報を比較す
ることによつて、パターン欠陥を検出するもので
ある。
<Example> The printed board pattern inspection method of the present invention is as follows:
As shown in the figure, this method belongs to the standard-based method, and focuses on the through holes that connect the patterns, and inputs the printed board pattern to be inspected using the through-hole net list information of the normal printed board pattern as the reference. Preprocessing is performed to obtain binary image information, through-hole net list information is created, and pattern defects are detected by comparing these two pieces of net list information.

プリント板の代表的なパターン欠陥として第1
1図に示すような、ピンホールa、ブラツク・ス
ポツトb、突起c、欠けd、断線e、短絡f等が
あり、この他にパターンの1部が描画されていな
いパターン抜けがある。本発明は、これらの欠陥
の内、実用上特に問題となる断線、短絡、パター
ン抜けを検査欠陥対象とするものである。
The first typical pattern defect on printed circuit boards
As shown in FIG. 1, there are pinholes a, black spots b, protrusions c, chips d, breaks e, shorts f, etc. In addition, there are pattern omissions where part of the pattern is not drawn. Among these defects, the present invention targets disconnections, short circuits, and pattern omissions, which are particularly problematic in practical use.

次に、第2図に本発明のプリント板パターン検
査方法を実現するためのデイジタル画像処理装置
の1例を示す。
Next, FIG. 2 shows an example of a digital image processing apparatus for realizing the printed board pattern inspection method of the present invention.

この図において、1はプリント板のパターンを
読み込み、光電気変換に伴うシエージング等の前
処理及び2値化処理を施し、プリント板パターン
部分を黒画素とする画像データに変換するITV
カメラ、半導体ライン・スキヤナ等の入力部、2
は複数の画像メモリ・プレーンよりなり2値化画
像データを格納する画像メモリ部、3はプリント
板パターン検査アルゴリズム及びその結果を格納
する主メモリ部、4はプロセツサ41と複数のレ
ジスタ42よりなり、数値演算及びパターン検査
アルゴリズムを実行するプロセツサ部、5はパタ
ーン検査結果を外部に出力するCRT、プリンタ
等の出力部であり、これらはシステム・バスBに
接続され、データの授受を行なう。
In this figure, 1 is an ITV that reads the printed board pattern, performs preprocessing such as sizing associated with photoelectric conversion and binarization processing, and converts the printed board pattern portion into image data with black pixels.
Input section for camera, semiconductor line/scanner, etc., 2
3 is a main memory section that stores printed board pattern inspection algorithms and their results; 4 is a processor 41 and a plurality of registers 42; A processor section 5 executes numerical calculations and pattern inspection algorithms, and 5 is an output section such as a CRT or printer that outputs pattern inspection results to the outside.These are connected to the system bus B and exchange data.

本発明のプリント板パターン検査方法の工程は
大きく2つの工程、即ち(a)パターン欠陥の判別工
程(b)パターン欠陥位置の検出工程に分かれ、その
具体的な動作を第1図の(a)、(b)フローチヤートを
用いて詳しく説明する。
The process of the printed board pattern inspection method of the present invention is broadly divided into two steps: (a) pattern defect determination step (b) pattern defect position detection step, and the specific operation is shown in FIG. 1 (a). , (b) Explain in detail using a flowchart.

はじめに、(1)主メモリ部3内に2次元マトリツ
クス形式のテーブルAを定義し、その内容をクリ
アする。(2)次に入力部1から被検査パターンの2
値化画像データを画像メモリ部2のメモリプレー
ンAに取り込む。(3)メモリプレーンA上の画像デ
ータをラスタ・スキヤンし、被検査パターンの全
スルーホール領域に対して1からNまでの番号を
付与し、ラベル付け処理を行なう。(4)そして、ラ
ベル付けした各スルーホール領域の黒画素数とそ
の重心座標を算出し、スルーホール番号I(I=
1、2、…N)とそれに対応した画素数、重心座
標(XI、YI)、ステイタス表示用フラグFLI“0”
をスルーホール領域I情報として主メモリ部3へ
格納する。
First, (1) define a two-dimensional matrix-format table A in the main memory section 3, and clear its contents. (2) Next, from the input section 1 to the pattern 2 to be inspected.
Valued image data is taken into memory plane A of the image memory section 2. (3) Raster scan the image data on memory plane A, assign numbers from 1 to N to all through-hole areas of the pattern to be inspected, and perform labeling processing. (4) Then, calculate the number of black pixels and the coordinates of the center of gravity of each labeled through-hole area, and calculate the through-hole number I (I=
1, 2,...N) and the corresponding number of pixels, center of gravity coordinates (X I , Y I ), status display flag FLI “0”
is stored in the main memory section 3 as through-hole area I information.

(5)次に、レジスタ42内のレジスタIに初期値
「1」を設定する。
(5) Next, set the initial value "1" to register I in the register 42.

(6)ラベル番号Iに対応するスルーホール領域I
のフラグFLIを主メモリ部3より読み出し、FLI
=“0”かどうか判定する。(7)FLI=“0”であれ
ば、(8)主メモリ部3内のスルーホール領域I情報
からスルーホール領域Iの白画素数及び重心座標
(XI,YI)を読み出し、これらの情報をもとにス
ルーホール領域Iを囲むランド領域Iの有無を探
査する。この探査方法は、例えば、スルーホール
領域の重心座標を中心に水平あるいは垂直の4方
向の内いずれか1方向に、その画素数に応じて定
める一定距離lだけ離れた探査点の画素の白黒を
調べ、その画素が黒画素である場合にランド領域
Iが“有”とする。このとき、スルーホール領域
が大きい場合には探査距離lを長く、スルーホー
ル領域が小さい場合には探査距離lを短くする。
(6) Through-hole area I corresponding to label number I
Reads the flag FLI from main memory section 3, and
="0". (7) If FLI="0", (8) Read the number of white pixels and center of gravity coordinates (X I , Y I ) of the through hole area I from the through hole area I information in the main memory section 3, and Based on the information, the presence or absence of a land area I surrounding the through hole area I is investigated. This exploration method, for example, detects black and white pixels at exploration points that are located a certain distance l determined according to the number of pixels in one of four horizontal or vertical directions around the center of gravity coordinates of the through-hole area. If the pixel is a black pixel, the land area I is determined to be "present". At this time, when the through-hole area is large, the search distance l is made long, and when the through-hole area is small, the search distance l is made short.

(9)ランド領域がある場合は、(10)そのランド領域
Iの任意の1点(例えばステツプ(8)における探査
点)を種点とし、ランド領域Iとこのランド領域
に接続するパターン及び他のランド領域を黒画素
から白画素へ塗り潰し処理を行なう。
(9) If there is a land area, (10) set any one point on the land area I (for example, the exploration point in step (8)) as a seed point, and use the land area I and patterns connected to this land area and other The land area is filled from black pixels to white pixels.

(11)レジスタIの内容を1だけインクリメント
し、結果をレジスタJに格納し、番号Iの次のラ
ベル番号のスルーホール領域のランド領域の塗り
潰し状況を調べる。(12)番号Jに対応するスルーホ
ール領域のフラグFLJを主メモリ部3から読み出
し、(13)フラグFLJ=“0”の場合は、(14)ス
テツプ(8)と同様にランド領域Jの有無を探査す
る。(15)ランド領域Jがない場合は、スルーホ
ールIとスルーホールJが接続されていると判断
し、スルーホール領域JのフラグFLJを“1”と
し、主メモリ部3に格納する。そして、(17)主
メモリ部3内に定義したテーブルAのXY座標
(J、I)に対応するビツト位置TA(J、I)に
ビツト“1”を立てる。そして、(18)レジスタ
Jの値を1インクリメントし、(19)J>Nでな
ければ、(12)のステツプから操作をスルーホール領
域(J+1)のランド領域を調べる操作を繰り返
す。
(11) Increment the contents of register I by 1, store the result in register J, and check the filling status of the land area of the through-hole area of the label number next to number I. (12) Read the flag FLJ of the through-hole area corresponding to the number J from the main memory section 3, (13) If the flag FLJ="0", (14) The presence or absence of the land area J as in step (8). explore. (15) If there is no land area J, it is determined that through-hole I and through-hole J are connected, and the flag FLJ of through-hole area J is set to "1" and stored in the main memory section 3. (17) Set bit "1" at bit position TA (J, I) corresponding to XY coordinates (J, I) of table A defined in main memory section 3. Then, (18) increment the value of register J by 1, and (19) if J>N, repeat the operation from step (12) to check the land area of the through-hole area (J+1).

ここで、ステツプ(13)においてスルーホール
領域JのフラグFLJが“1”の場合、またはステ
ツプ(15)においてスルーホール領域Jにランド
領域がある場合は、ステツプ(18)の操作を実行
する。
Here, if the flag FLJ of the through-hole area J is "1" in step (13), or if there is a land area in the through-hole area J in step (15), the operation in step (18) is executed.

そして、(19)J>Nの場合即ち、スルーホー
ル領域Iに接続するスルーホール領域及びパター
ンの検出動作が終了したら、レジスタIの内容を
1インクリメントし、(21)I>Nでない場合は、
ステツプ(6)からスルーホール領域(I+1)につ
いて上述と同様の動作を行なう。
Then, (19) if J>N, that is, when the detection operation of the through-hole area and pattern connected to the through-hole area I is completed, the contents of register I are incremented by 1, and (21) if I>N,
From step (6), the same operation as described above is performed for the through hole area (I+1).

ここで、ステツプ(7)でスルーホール領域Iのフ
ラグが“0”でない場合、またはステツプ(9)でス
ルーホール領域Iのランド領域がない場合は、ス
テツプ(20)の操作を実行する。
Here, if the flag of the through-hole area I is not "0" in step (7), or if there is no land area of the through-hole area I in step (9), the operation of step (20) is executed.

このようにしてステツプ(21)まで操作を行な
つてきたならば、主メモリ部3内におけるテーブ
ルAの座標の数箇所に“1”が立ち、被検査パタ
ーンのスルーホール領域の接続関係を表わすネツ
ト・リスト・テーブル(情報)Aが作成される。
そして、ステツプ(22)において、予め主メモリ
部3上に定めた正常パターンのネツト・リスト・
テーブルBと作成されたネツト・リスト・テーブ
ルAとを比較する。(23)比較結果が一致してい
れば、(24)“パターン欠陥無し”であり、(23)
比較結果が一致していなければ、(25)“パターン
欠陥有り”を、(26)検査結果として出力する。
If the operation has been performed up to step (21) in this way, "1" will be set at several coordinates of table A in the main memory section 3, indicating the connection relationship of the through-hole areas of the pattern to be inspected. A net list table (information) A is created.
Then, in step (22), a net list of normal patterns predetermined on the main memory section 3 is created.
Compare table B with the created net list table A. (23) If the comparison results match, (24) there is “no pattern defect”, and (23)
If the comparison results do not match, (25) "Pattern defect present" is output as (26) inspection result.

ここまでの操作により、被検査パターンに欠陥
部分があるかどうかの判別処理が終了する。
The operations up to this point complete the process of determining whether or not there is a defective portion in the pattern to be inspected.

次に、被検査パターンの欠陥部分の位置の検出
工程について説明を行なう。
Next, the process of detecting the position of the defective portion of the pattern to be inspected will be explained.

(27)入力部1から、予め、画像メモリ部2の
メモリプレーンBに正常パターンの2値化画像デ
ータを格納し、メモリプレーンCに被検査パター
ンの2値化画像データを格納する。次に、(28)
上述のパターン欠陥の判別処理において求めた被
検査パターンのネツト・リスト・テーブルAと予
め設定された正常パターンのネツト・リスト・テ
ーブルBの内容のエクスクルーシブ・オア
(EOR)を演算(ネツト・リスト・テーブルA
ネツト・リスト・テーブルB)し、新たにネツ
ト・リスト・テーブルCを主メモリ部3内に設定
する。
(27) From the input unit 1, store the binary image data of the normal pattern in the memory plane B of the image memory unit 2 in advance, and store the binary image data of the pattern to be inspected in the memory plane C. Then (28)
Calculate the exclusive OR (EOR) of the contents of the net list table A of the inspected pattern obtained in the pattern defect discrimination process described above and the net list table B of the normal pattern set in advance. table A
net list table B), and a new net list table C is set in the main memory section 3.

このとき、ネツト・リスト・テーブルCの座標
値には正常パターン(ネツト・リスト・テーブル
B)と被検査パターン(ネツト・リスト・テーブ
ルA)との相違箇所にビツト“1”が立つてい
る。
At this time, in the coordinate values of the net list table C, a bit "1" is set at the location where the normal pattern (net list table B) and the pattern to be inspected (net list table A) differ.

(29)レジスタI,Jに初期値1を設定する。 (29) Set the initial value 1 to registers I and J.

(30)レジスタIの内容を1インクリメント
し、レジスタJに格納する。
(30) Increment the contents of register I by 1 and store it in register J.

そして、(31)ネツト・リスト・テーブルCの
XY座標(J、I)に対応するビツトTC(J、
I)を順次読み出す。
and (31) of net list table C.
Bit TC (J,
I) are read out sequentially.

(32)TC(J、I)=1の場合は、(33)正常パ
ターンのスルーホール領域Iの画素数及び重心座
標を主メモリ部3から読み出し、画像メモリプレ
ーンBにおいて、スルーホール領域Iのランド領
域と接続するパターン及び他のランド領域に対す
る塗り潰し処理を行ない、(34)塗り潰し処理に
よつて得られた、正常パターンにおけるスルーホ
ール領域Iに接続するスルーホールのラベル番号
等の抽出結果を出力Bとして出力部5に出力す
る。
(32) When TC (J, I) = 1, (33) Read the number of pixels and centroid coordinates of the through-hole area I of the normal pattern from the main memory section 3, and in the image memory plane B, Performs fill-in processing for the pattern connected to the land area and other land areas, and (34) outputs the extraction results, such as the label number of the through-hole connected to the through-hole area I in the normal pattern, obtained by the fill-out process. It is output to the output unit 5 as B.

次に、同様にして(35)被検査パターンのスル
ーホール領域Iの画素数及び重心座標を主メモリ
部3から読み出し、画像メモリプレーンCにおい
て、スルーホール領域Iのランド領域と接続する
パターン及び他のランド領域に対する塗り潰し処
理を行ない、(36)塗り潰し処理によつて得られ
た、被検査パターンにおけるスルーホール領域I
に接続するスルーホールのラベル番号等の抽出結
果を出力Cとして出力部5に出力する。
Next, in the same manner (35), the number of pixels and the barycentric coordinates of the through-hole area I of the pattern to be inspected are read from the main memory unit 3, and in the image memory plane C, the pattern connecting to the land area of the through-hole area I and other patterns are read out. (36) Through-hole area I in the pattern to be inspected obtained by the filling process.
The extraction result, such as the label number of the through hole connected to the , is outputted to the output section 5 as output C.

(37)出力部5は、抽出結果B,CをCRTま
たはプリンタ等に出力を行ない、出力された正常
パターンと被検査パターンとの抽出結果を目視照
合を行なうことによりパターンの位置の確認を行
ない、最終的に実際の被検査パターンの該当部分
と正常パターンと比較でき、パターン欠陥位置の
検出を行なうことができる。
(37) The output unit 5 outputs the extraction results B and C to a CRT or printer, and confirms the position of the pattern by visually comparing the extraction results between the output normal pattern and the pattern to be inspected. Finally, the corresponding portion of the actual pattern to be inspected can be compared with the normal pattern, and the position of the pattern defect can be detected.

尚、(38)レジスタIの内容を1インクリメン
トし、(39)I>Nでなければステツプ(30)に
戻つて上述の手順を繰り返す。
Note that (38) the contents of register I are incremented by 1, and (39) if I>N, the process returns to step (30) and repeats the above procedure.

また、ステツプ(32)において、ネツト・リス
ト・テーブルCの座標TC(J,I)=1でない場
合は、(40)レジスタJの値を1インクリメント
し、(41)J>Nでなければ、ステツプ(31)に
戻つてネツト・リスト・テーブルCのXY座標
(J,I)のビツト読み出し操作を開始する。
(41)J>Nであれば、ステツプ(38)レジスタ
Iの内容を1インクリメントする。
Also, in step (32), if the coordinates TC (J, I) of net list table C is not 1, (40) the value of register J is incremented by 1, and (41) if J>N is not Returning to step (31), the bit reading operation of the XY coordinates (J, I) of the net list table C is started.
(41) If J>N, step (38) increment the contents of register I by 1.

以上のようにして、プリント板パターンの欠陥
の有無を判別し、その欠陥位置の検出を行なうこ
とができる。
In the manner described above, it is possible to determine whether there is a defect in the printed board pattern and to detect the position of the defect.

次に、上述の手順に従つて具体的な動作の説明
を行なう。
Next, specific operations will be explained according to the above-mentioned procedure.

はじめに、主メモリ部3内に第4図に示すよう
な、縦軸Y(Y=1、2、…、I、…、N)、横軸
X(X=1、2、…、J、…N)とし、座標値
TA(J、I)で表わす2次元マトリツクス形式
のテーブルAを定義する。このテーブルAには、
被検査プリント板のスルーホールの接続関係が入
力される。
First, in the main memory unit 3, as shown in FIG. 4, the vertical axis Y (Y=1, 2, . . . , I, . N) and coordinate values
A two-dimensional matrix format table A represented by TA (J, I) is defined. In this table A,
The connection relationship of the through holes of the printed board to be inspected is input.

そして、被検査プリント板パターンの2値化画
像データを第5図に示す画像メモリ部2のメモリ
プレーンAに格納する。このとき、メモリプレー
ンAに格納された被検査パターンにおけるN個の
スルーホール領域に(1、2、…、I、I+1、
…、N)までのラベル付け処理を行なう。同時
に、各々のスルーホール領域の重心座標及び画素
数を算出し、更にステイタス表示用フラグFLを
“0”に設定し、これらの情報を主メモリ部3に
第6図のようなスルーホール領域情報として記憶
する。
Then, the binary image data of the printed board pattern to be inspected is stored in the memory plane A of the image memory unit 2 shown in FIG. At this time, N through-hole areas in the pattern to be inspected stored in memory plane A are (1, 2, ..., I, I+1,
..., N). At the same time, the center of gravity coordinates and number of pixels of each through-hole area are calculated, and the status display flag FL is set to "0", and these information are stored in the main memory section 3 as through-hole area information as shown in Figure 6. be memorized as .

次に、番号1のスルーホール領域からこのスル
ーホール領域に付加されるランド領域があるかど
うかを探査し、ランド領域がある場合は、そのラ
ンド領域とこのランド領域に接続されるパターン
及びスルーホール領域に対して塗り潰し処理を行
なう。ランド探査操作は第7図に示すように、例
えば、スルーホール領域Iに対して、既に算出さ
れた重心座標(XI,YI)とスルーホール領域I
の画素数(白画素領域)により、重心から水平方
向あるいは垂直方向に一定距離lだけ離れた場所
の画素の白黒を判別する。そして、黒画素領域が
検出されればランド領域有りと判断して、黒画素
から白画素へ塗り潰し処理を行なう。一定距離l
の値は、各種の大きさのスルーホール領域に対応
できるようにスルーホール領域Iの画素数に応じ
て予め設定されている。
Next, it is searched from the through-hole area number 1 to see if there is a land area to be added to this through-hole area, and if there is a land area, the land area, the pattern connected to this land area, and the through-hole Performs filling processing on the area. As shown in FIG. 7, the land exploration operation is performed using, for example, the already calculated barycenter coordinates (X I , Y I ) and the through hole area I for the through hole area I.
Based on the number of pixels (white pixel area), it is determined whether a pixel located at a certain distance l in the horizontal or vertical direction from the center of gravity is black or white. If a black pixel area is detected, it is determined that a land area exists, and a filling process is performed from black pixels to white pixels. fixed distance l
The value of is set in advance according to the number of pixels in the through-hole area I so that it can accommodate through-hole areas of various sizes.

塗り潰し処理が終了すると、I+1番目のスル
ーホール領域から順次スルーホール領域Nまでを
対象として、フラグの値及びランド領域の有無を
探査し、J番目のスルーホール領域においてフラ
グが“0”でランド領域が“無”の場合は、この
スルーホール領域はスルーホール領域Iと接続し
ていると判断し、このスルーホール領域のラベル
Iとこれに接続するスルーホールJを第4図に示
した主メモリ部3のテーブルA上の座標TA(J、
I)にビツト“1”を立てる。
When the filling process is completed, the flag value and the presence or absence of a land area are searched sequentially from the I+1th through-hole area to the through-hole area N, and if the flag is "0" in the J-th through-hole area, the land area is detected. If is "None", it is determined that this through-hole area is connected to through-hole area I, and the label I of this through-hole area and the through-hole J connected to it are displayed in the main memory as shown in FIG. Coordinates TA(J,
Set bit “1” in I).

このとき、J番目のスルーホール領域のフラグ
が“0”でランド領域が“有”の場合は、このス
ルーホール領域Jはスルーホール領域Iとは接続
されていないとみなし、フラグが“1”の場合
は、このスルーホール領域Jは既に他のスルーホ
ール領域と接続されているとみなし、テーブルA
の該当箇所のビツトは“0”のままとする。
At this time, if the flag of the J-th through-hole area is "0" and the land area is "present", this through-hole area J is considered not to be connected to the through-hole area I, and the flag is set to "1". In this case, it is assumed that this through-hole area J is already connected to another through-hole area, and table A is
The bit at the corresponding location remains “0”.

このようにして作成したネツト・リスト・テー
ブルを第8図a,bに示す。
The net list table created in this way is shown in FIGS. 8a and 8b.

第8図aは被検査パターンとそのネツト・リス
ト・テーブルを表わしたものであり、bは正常パ
ターンとそのネツト・リスト・テーブルを表わし
たものである。この被検査パターンは、正常パタ
ーンbと比較して、スルーホール2と3とが断線
し、スルーホール4,5およびスルーホール6,
7とが短絡している。
FIG. 8a shows a pattern to be inspected and its net list table, and FIG. 8b shows a normal pattern and its net list table. In this pattern to be inspected, compared to normal pattern b, through holes 2 and 3 are disconnected, through holes 4 and 5 and through holes 6 and 3 are disconnected.
7 is shorted.

(b)正常パターンのネツト・リスト・テーブルB
は、予め主メモリ部3に設定しておき(このネツ
ト・リスト・テーブルBを作成する工程は上述の
ネツト・リスト・テーブルAを作成する操作と同
一で良い)、その内容に注目すると、座標(2、
1)、(3、1)、(5、4)、(7、6)にビツト
“1”が立つており、スルーホール1とスルーホ
ール2及びスルーホール3、スルーホール4とス
ルーホール5、スルーホール6とスルーホール7
が接続されていることが分かる。
(b) Normal pattern net list table B
is set in the main memory section 3 in advance (the process for creating this net list table B can be the same as the operation for creating the above net list table A), and looking at its contents, the coordinates are (2,
1), (3, 1), (5, 4), (7, 6) are set to bit "1", through hole 1, through hole 2 and through hole 3, through hole 4 and through hole 5, Through hole 6 and through hole 7
You can see that it is connected.

一方、被検査パターンのネツト・リスト・テー
ブルAは座標値(3、1)、(5、4)、(6、4)、
(7、4)にビツト“1”が立つており、スルー
ホール1と3とが接続、スルーホール4と5,
6,7とが接続されていることが表わされる。そ
して、プロセツサ部4はネツト・リスト・テーブ
ルAとネツト・リスト・テーブルBとを比較し、
プロセツサ部4は両者を異なつていると判断し、
被検査パターンに欠陥部分があることを判別する
ことができる。
On the other hand, the net list table A of the pattern to be inspected has coordinate values (3, 1), (5, 4), (6, 4),
Bit “1” is set in (7, 4), through holes 1 and 3 are connected, through holes 4 and 5,
6 and 7 are connected. Then, the processor section 4 compares the net list table A and the net list table B,
The processor unit 4 determines that the two are different,
It can be determined that there is a defective portion in the pattern to be inspected.

次に、パターン欠陥位置の検出工程を説明す
る。
Next, a process of detecting a pattern defect position will be explained.

はじめに、メモリプレーンBに正常パターンの
2値化画像データを格納し、メモリプレーンCに
被検査パターンの2値化画像データを格納する。
First, binary image data of a normal pattern is stored in memory plane B, and binary image data of a pattern to be inspected is stored in memory plane C.

プロセツサ部4の演算により、以上の工程で作
成した被検査パターンのネツト・リスト・テーブ
ルAと予め設定したネツト・リスト・テーブルB
のエクスクルーシブ・オアを演算し、ネツト・リ
スト・テーブルCを作成する。このネツト・リス
ト・テーブルCを第9図に示す。このネツト・リ
スト・テーブルCの座標値において、ビツト
“1”が立つている箇所は、ネツト・リスト・テ
ーブルAとネツト・リスト・テーブルBのビツト
値が異なつている部分である。
Through the calculations of the processor section 4, the net list table A of the pattern to be inspected created in the above steps and the preset net list table B
The exclusive OR of is calculated and a net list table C is created. This net list table C is shown in FIG. In the coordinate values of this net list table C, the locations where the bit "1" is set are the portions where the bit values of the net list table A and the net list table B are different.

そして、更に、はじめに設定したメモリプレー
ンB上の正常パターン及びメモリプレーンC上の
被検査パターンにおいて、ネツト・リスト・テー
ブルC上のビツト“1”の座標(J、I)におけ
るJ番目のスルーホール領域のランド領域につい
て塗り潰し処理を行なう。
Furthermore, in the initially set normal pattern on memory plane B and the pattern to be inspected on memory plane C, the J-th through hole at the coordinates (J, I) of bit "1" on net list table C is Performs filling processing on the land area of the area.

そして、この塗り潰し結果を出力部5によつて
CRTまたはプリンタ等によつて外部へ出力する。
Then, this filling result is outputted by the output unit 5.
Output externally using CRT or printer, etc.

この出力状態を第10図に表わす。 This output state is shown in FIG.

第10図は被検査パターンと正常パターンとの
接続状態をCRT等に表示したものであり、aは
スルーホール2とスルーホール3との断線状態を
表わし、b,cはスルーホール4,5、スルーホ
ール6,7の短絡状態を表わしている。
Fig. 10 shows the connection state between the pattern to be inspected and the normal pattern displayed on a CRT or the like, where a represents the disconnection state between through hole 2 and through hole 3, b and c represent the through hole 4, 5, This shows a short-circuited state of through holes 6 and 7.

これらの出力状態によりプリント板パターンを
目視照合することにより、欠陥部分の位置を検出
することができる。
By visually comparing the printed board pattern based on these output states, the position of the defective portion can be detected.

以上のようにして、プリント板パターンの欠陥
部分の有無とその欠陥部分の位置を検出すること
ができる。
In the manner described above, the presence or absence of a defective portion of a printed board pattern and the position of the defective portion can be detected.

本発明によるプリント板パターン検査方法は、
基準を用いる方法であるが、従来の基準を用いる
方法と異なる部分は、本発明の方法では正常パタ
ーンと被検査パターンの正確な位置合わせが不必
要である点と、正常パターンのスルーホール間ネ
ツト・リスト・テーブルを被検査パターンの検査
毎に毎回作成することなく、最初に1回作成して
おけば良い点である。
The printed board pattern inspection method according to the present invention includes:
This method uses a standard, but the difference from the conventional method using a standard is that the method of the present invention does not require accurate alignment of the normal pattern and the pattern to be inspected, and that the method of the present invention does not require accurate alignment between the normal pattern and the pattern to be inspected. - The advantage is that the list table does not need to be created every time the pattern to be inspected, but only needs to be created once at the beginning.

<発明の効果> 以上述べたように、本発明のプリント板検査方
法によれば次の効果が得られる。
<Effects of the Invention> As described above, the printed board inspection method of the present invention provides the following effects.

正常パターンと被検査パターンのスルーホール
間ネツト・リスト・テーブルが正しく作成できる
程度の位置合わせ精度があれば良いので、正常パ
ターンと被検査パターンの正確な位置合わせは不
要となり、前後左右の相対的な位置ずれは問題に
ならず、ある程度の回転ずれも許容でき、位置合
わせ時間の短縮と機構系の低コスト化を図ること
ができる。
As long as the alignment accuracy is sufficient to correctly create a net list table between the through-holes of the normal pattern and the pattern to be inspected, there is no need for accurate alignment of the normal pattern and the pattern to be inspected. A slight positional deviation does not pose a problem, and a certain degree of rotational deviation can be tolerated, thereby making it possible to shorten the alignment time and reduce the cost of the mechanical system.

ラベル付け処理及び塗り潰し処理を行なうこと
によつて得られる正常パターンのスルーホール間
ネツト情報を基準とし、被検査パターンのスルー
ホール間ネツト・リスト情報とを相互比較するの
で、プリント板パターンの断線、短絡、抜けパタ
ーンと類似の欠陥の有無を高速、高精度に検出す
ることができる。
Since the through-hole net list information of the pattern to be inspected is compared with the through-hole net list information of the inspected pattern based on the through-hole net information of the normal pattern obtained by performing the labeling process and the filling process, disconnections of the printed board pattern, The presence or absence of defects similar to short circuits and missing patterns can be detected at high speed and with high precision.

正常パターンのスルーホール間ネツト・リスト
情報は、最初に1回作成するだけで良く、被検査
パターンの検査毎に作成する必要はなく、検査時
間の短縮が可能である。
The through-hole net list information of the normal pattern only needs to be created once at the beginning, and does not need to be created every time the pattern to be inspected is inspected, thereby making it possible to shorten the inspection time.

スルーホール間ネツト情報は、ビツト対応の2
次元マトリツクス形式によるテーブルで作成する
ので、コード情報形式によるものと比べてメモリ
の容量を削減することができる。
The net information between through holes is 2 bits compatible.
Since the table is created in the dimensional matrix format, the memory capacity can be reduced compared to the table in the code information format.

正常パターンと被検査パターンのスルーホール
間ネツト・リスト情報が不一致の場合に正常パタ
ーンと被検査パターンの不一致部分を含む画像デ
ータを抽出することができるので、これらの情報
と該当部分を目視照合することによつて欠陥位置
の検出を容易に行なうことができる。
If the through-hole net list information between the normal pattern and the tested pattern does not match, it is possible to extract image data that includes the mismatched part between the normal pattern and the tested pattern, and visually compare this information with the corresponding part. This makes it possible to easily detect the defect position.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図a,bは本発明によるプリント板パター
ン検査方法を説明するためのフローチヤート、第
2図は本発明のプリント板検査方法を実現するた
めの回路構成ブロツク図、第3図は本発明のプリ
ント板パターン検査方法の概要を表わす図、第4
図は主メモリ部3に設定するテーブルAを表わす
図、第5図は画像メモリ部2の画像メモリプレー
ン上の被検査パターンの状態を表わす図、第6図
は主メモリ部3内のスルーホール領域情報を表わ
す図、第7図はスルーホール領域Iの重心座標
(XI,YI)からこのスルーホール領域Iに付加す
るランド領域を探査する様子を表わす図、第8図
a,bは被検査パターンと正常パターン及びその
ネツト・リスト・テーブルA,Bを表わす図、第
9図はネツト・リスト・テーブルA,Bより作成
したネツト・リスト・テーブルCを表わす図、第
10図a,b,cは出力部5から出力された正常
パターンと被検査パターンの例を表わす図、第1
1図は本発明が対象とするパターン欠陥の種類を
表わす図、第12図は従来のプリント板検査方法
を概要を表わす図である。 1……入力部、2……画像メモリプレーン、3
……主メモリ部、4……プロセツサ部、41……
プロセツサ、42……レジスタ、5……出力部。
1A and 1B are flowcharts for explaining the printed board pattern inspection method according to the present invention, FIG. 2 is a circuit configuration block diagram for realizing the printed board inspection method according to the present invention, and FIG. 3 is a flowchart for explaining the printed board pattern inspection method according to the present invention. Figure 4 showing an overview of the printed board pattern inspection method of
The figure shows table A set in the main memory section 3, FIG. 5 shows the state of the pattern to be inspected on the image memory plane of the image memory section 2, and FIG. 6 shows the through hole in the main memory section A diagram showing area information, Figure 7 is a diagram showing how to search for a land area to be added to through-hole area I from the center of gravity coordinates (X I , Y I ) of through-hole area I, and Figures 8 a and b are views Figure 9 shows the tested pattern, normal pattern, and their net list tables A and B; Figure 9 shows the net list table C created from the net list tables A and B; Figure 10 a, b and c are diagrams showing examples of a normal pattern and a pattern to be inspected output from the output unit 5;
FIG. 1 is a diagram showing the types of pattern defects targeted by the present invention, and FIG. 12 is a diagram showing an outline of a conventional printed board inspection method. 1...Input section, 2...Image memory plane, 3
...Main memory section, 4...Processor section, 41...
Processor, 42...Register, 5...Output section.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 プリント板パターンを読み込み2値化信号処
理を施しパターン部分を黒画素とする画像データ
に変換する入力部と、少なくとも1枚以上の画像
メモリ・プレーンを有し前記画像データを格納す
る画像メモリ部と、プリント板パターン検査アル
ゴリズム及びその検査結果を格納する主メモリ部
と、前記検査結果を外部へ出力する出力部と、数
値演算及び前記プリント板パターン検査アルコリ
ズムを実行するプロセツサ部とを具備し、 (a) プリント板検査情報を格納する2次元マトリ
ツクス形式のテーブルを前記主メモリ部に設定
する手順、 (b) 前記入力部より被検査パターンの2値化画像
データを前記画像メモリ部の第1の画像メモ
リ・プレーンに書き込む手順、 (c) この第1の画像メモリ・プレーン上の被検査
パターンの各スルーホール領域にラベル付け処
理を行なうとともにこのスルーホール領域の画
素数及び重心座標を算出する手順、 (d) このスルーホール領域(ラベル番号I)の前
記重心座標を中心として当該スルーホール領域
を囲むランド領域を検出し、当該ランド領域と
それに接続するパターンを白画素で塗り潰して
次のラベル番号(I+1)からこのラベル番号
(I+1)のスルーホール領域のランド領域が
塗り潰されているかどうかを検出する手順、 (e) ランド領域が塗り潰されているスルーホール
領域(ラベル番号J)が検出された時は前記主
メモリ部に設定したテーブルの該当座標値
(J、I)を“1”としてこれらの動作を繰り
返すことによつて前記テーブル上に被検査パタ
ーンの全スルーホール間の接続関係を2次元的
にビツト対応で表わすネツト・リスト情報を作
成する手順、 (f) この被検査パターンのスルーホール領域のネ
ツト・リスト情報と、前記主メモリ上に予め上
記と同様の手順(a)〜(e)に従つて作成した正常パ
ターンのスルーホール間ネツト・リスト情報と
を比較する手順、 によりプリント板パターンの欠陥の有無を検出す
るプリント板パターン検査方法。 2 前記画像メモリ部の第2の画像メモリ・プレ
ーンに前記正常パターンの2値化画像データを格
納するとともに第3の画像メモリ・プレーンに前
記被検査パターンの2値化画像データを格納し、 (a) 前記主メモリ部に設定されている前記被検査
パターンのネツト・リスト情報と前記正常パタ
ーンのネツト・リスト情報とを比較して不一致
の場合は、前記被検査パターン及び前記正常パ
ターンにおいて該当するスルーホール領域を囲
むランド領域とこのランド領域に接続される全
てのパターンを抽出すべく塗り潰す手順、 (b) 手順(a)により塗り潰し処理した前記被検査パ
ターンと、前記正常パターンとの双方を出力す
る手順、 とによりパターン欠陥位置の検出を行なう特許請
求の範囲第1項記載のプリント板パターン検査方
法。
[Scope of Claims] 1. An input unit that reads a printed board pattern, performs binarized signal processing, and converts the pattern portion into image data with black pixels; and at least one image memory plane; an image memory section that stores a printed board pattern inspection algorithm and its inspection results; an output section that outputs the inspection results to the outside; and an output section that executes numerical calculations and the printed board pattern inspection algorithm. (a) a procedure for setting a two-dimensional matrix format table for storing printed board inspection information in the main memory section; (b) a procedure for inputting binary image data of a pattern to be inspected from the input section; (c) performing a labeling process on each through-hole area of the pattern to be inspected on this first image memory plane, and labeling the pixels of this through-hole area; (d) Detect a land area surrounding this through-hole area with the center of gravity coordinates of this through-hole area (label number I) as the center, and mark the land area and the pattern connected to it as white. Steps for detecting whether the land area of the through-hole area of this label number (I+1) is filled with pixels and from the next label number (I+1), (e) The through-hole area where the land area is filled ( When label number J) is detected, the corresponding coordinate values (J, I) of the table set in the main memory section are set to "1" and these operations are repeated to write all of the pattern to be inspected on the table. Steps for creating net list information that represents the connection relationships between through holes two-dimensionally in bit correspondence; A printed board pattern inspection method for detecting the presence or absence of a defect in a printed board pattern by a step of comparing with through-hole net list information of a normal pattern created according to similar steps (a) to (e). 2 storing the binarized image data of the normal pattern in a second image memory plane of the image memory unit, and storing the binarized image data of the inspected pattern in a third image memory plane; a) Compare the net list information of the pattern to be inspected and the net list information of the normal pattern set in the main memory section, and if there is a mismatch, compare the net list information of the pattern to be inspected and the net list information of the normal pattern. a step of filling out the land area surrounding the through-hole area and all patterns connected to this land area; (b) filling out both the pattern to be inspected that has been filled out in step (a) and the normal pattern; The printed board pattern inspection method according to claim 1, wherein a pattern defect position is detected by the step of outputting.
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