JPH0212312B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0212312B2 JPH0212312B2 JP59066723A JP6672384A JPH0212312B2 JP H0212312 B2 JPH0212312 B2 JP H0212312B2 JP 59066723 A JP59066723 A JP 59066723A JP 6672384 A JP6672384 A JP 6672384A JP H0212312 B2 JPH0212312 B2 JP H0212312B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve body
- vacuum
- drive shaft
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Lift Valve (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は真空バルブに係り、特にストレート弁
およびアングル弁の双方の機能を兼備した真空バ
ルブに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a vacuum valve, and particularly to a vacuum valve that has both the functions of a straight valve and an angle valve.
（従来の技術）
従来、真空系における開閉バルブにおいて弁体
を90度回転可能とする機構としてバタフライバル
ブは公知かつ公用である。(Prior Art) Butterfly valves are conventionally known and in public use as a mechanism that allows a valve body to rotate 90 degrees in an on-off valve in a vacuum system.
（発明が解決しようとする課題）
しかるにバタフライバルブは弁体にパツキング
を周設し弁体と弁座に弁体を90度回転させる機構
を施したものであるためパツキングは弁座とのす
り合せ部において弁座と摩擦を生じ、このためパ
ツキング部分を摩耗し真空度の維持もしくは真空
度の調節上欠陥があつた。(Problem to be solved by the invention) However, since the butterfly valve is equipped with a packing around the valve body and a mechanism for rotating the valve body 90 degrees between the valve body and the valve seat, the packing does not fit well with the valve seat. This caused friction with the valve seat at the valve seat, which caused wear on the packing part and caused problems in maintaining or adjusting the vacuum level.
さらに、斯様な90度回転バルブにおけるシール
の手段として通常使用されるパツキングであるＯ
型リングはその材質として従来ゴム質材料が使用
されているが、一般に高真空を得る目的で真空系
内の器壁の吸着ガスを排除するため加熱するいわ
ゆるアウトガス処理において、斯かるＯ型リング
シールはゴム質の変質あるいは変形を生ずる欠点
があり、これは真空系におけるネツクとされてい
る。 Furthermore, O is the packing normally used as a means of sealing in such 90 degree rotary valves.
Conventionally, rubber materials have been used as the material for mold rings, but in general, such O-ring seals are This has the disadvantage of causing deterioration or deformation of the rubber, which is considered to be a problem in vacuum systems.
本発明は上記従来真空バルブの欠点を改善し、
バルブの吸引側形状位置によつてストレート弁、
あるいはアングル弁として使用可能であり、かつ
バルブの締付け力が極めて少なくてすみ、しかも
バルブの駆動において軸シールを使用することの
ない改良型真空バルブを提供することをその目的
とする。 The present invention improves the drawbacks of the conventional vacuum valves mentioned above,
Straight valve, depending on the shape position of the suction side of the valve.
Another object of the present invention is to provide an improved vacuum valve that can be used as an angle valve, requires very little tightening force, and does not require a shaft seal to drive the valve.
すなわち、本願発明の目的は、小さな力で弁を
閉めることができ、かつ弁が開いた時コンダクタ
ンスを大きく取れ、しかも容器の真空が十分保持
されうるような真空バルブを提供することであ
る。 That is, an object of the present invention is to provide a vacuum valve that can be closed with a small force, has a large conductance when the valve is opened, and can maintain a sufficient vacuum in the container.
（課題を解決するための手段）
本発明の真空バルブは弁座上に水平に載置され
た弁体が該弁座の基端に固設された回転軸を中心
として開口方向に実質的に約90度回転しうる真空
バルブであつて、該真空バルブは弁体の中心点に
ヒンジを有し、かつ該中心点において該弁体に垂
直な直線上に水平回転軸を有する駆動軸を配し、
該弁体と駆動軸とをリンクおよびアームで連結
し、該弁体とリンクおよび該リンクとアームとの
間をヒンジにて連接し、さらに駆動軸の連接した
アーム端にロツドを配し、該ロツドは真空容器の
外壁において屈伸可能なベローズに連結された構
成を有するものである。(Means for Solving the Problems) In the vacuum valve of the present invention, a valve body placed horizontally on a valve seat substantially extends in the opening direction about a rotating shaft fixed to the base end of the valve seat. A vacuum valve capable of rotating approximately 90 degrees, the vacuum valve having a hinge at the center point of the valve body, and a drive shaft having a horizontal rotation axis on a straight line perpendicular to the valve body at the center point. death,
The valve body and the drive shaft are connected by a link and an arm, the valve body and the link and the link and the arm are connected by a hinge, and a rod is arranged at the end of the arm where the drive shaft is connected, and the valve body and the drive shaft are connected by a hinge. The rod is connected to a bendable bellows on the outer wall of the vacuum vessel.
上記のように弁体を実質的に約90度開口方向に
回転しうるための要件として駆動軸の中心が弁体
の中心点上にこれに垂直な直線上にあり、かつ該
弁体との距離は弁体が正方形の場合にはその一辺
の長さ、円形の場合にはその直径の長さの√３／
２よりも小ならざる範囲に存在し、しかもリンク
およびアームの長さの和は弁体の一辺もしくは直
径の√３／２よりも大であり、なおアームの長さ
は弁体の一辺もしくは直径の1/2を超えない関係
にあることを特徴とする。 As mentioned above, in order to be able to rotate the valve body substantially by about 90 degrees in the opening direction, the center of the drive shaft must be on a straight line perpendicular to the center point of the valve body, and the center of the drive shaft must be on a straight line perpendicular to the center point of the valve body. If the valve body is square, the distance is the length of one side of the valve body, and if it is circular, the distance is √3/the length of its diameter.
2, and the sum of the lengths of the link and arm is greater than √3/2 of one side or diameter of the valve body, and the length of the arm is one side or diameter of the valve body. It is characterized by a relationship that does not exceed 1/2 of
実施例
本発明に係る一実施例を図面について説明する
と次の通りである。第１図は本発明に係る真空バ
ルブの断面図を示す。Embodiment An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a sectional view of a vacuum valve according to the invention.
同図において、弁座１は弁体２によつて開閉駆
動され、弁体２は開閉の際、弁座と摩擦を生じな
いように回転軸３によつて構成される。 In the figure, a valve seat 1 is driven to open and close by a valve body 2, and the valve body 2 is constructed by a rotating shaft 3 so as not to cause friction with the valve seat when opening and closing.
弁の開閉は駆動軸４に連結されたアーム５およ
びリンク６により軸４の回転トルクを締付け力に
変える。この際、トルク線図を示す第２図で明ら
かな通り、トルクF1を弁締付け力F2に変える。
リンク６が垂直に位置するときトルクF1は小さ
な力ですむ。すなわちトルクF2は理論的に無限
大になる。したがつて軸を回転する場合、弁の外
部大気中から空気シリンダのピストン力をリンク
モーシヨンによつて行う場合には空気シリンダの
径が小さくてすみ、弁全体をコンパクトに設計し
うる利点がある。 The valve is opened and closed by converting rotational torque of the shaft 4 into tightening force by an arm 5 and a link 6 connected to the drive shaft 4. At this time, as is clear from FIG. 2 showing the torque diagram, the torque F 1 is changed to the valve tightening force F 2 .
When the link 6 is in a vertical position, the torque F 1 is a small force. In other words, torque F 2 becomes theoretically infinite. Therefore, when rotating the shaft, if the piston force of the air cylinder is applied from the atmosphere outside the valve by means of a link motion, the diameter of the air cylinder can be small, which has the advantage that the entire valve can be designed compactly. be.
弁は弁座に対して実質的に約90度、すなわちほ
ぼ垂直となるので排気抵抗の少ないストレート弁
として使用することができる。 Since the valve is substantially perpendicular to the valve seat at approximately 90 degrees, it can be used as a straight valve with low exhaust resistance.
また第１図において点線で示す位置に排気口を
有するいわゆるアングルバルブとしても使用可能
である。 It can also be used as a so-called angle valve having an exhaust port at the position indicated by the dotted line in FIG.
次に本発明におけるアーム５、リンク６および
弁体の一辺の長さ（もしくは直径）との要件につ
いて説明する。 Next, the requirements for the arm 5, the link 6, and the length (or diameter) of one side of the valve body in the present invention will be explained.
駆動軸４は弁体２の中心点において該弁体に垂
直は直線上にあるがこれは真空バルブ製造におけ
る製造容易性に依るものであり、なおかつ、弁を
開閉する際における力学的エネルギーを最少にす
るためである。 The drive shaft 4 is on a straight line perpendicular to the valve body at the center point of the valve body 2, but this is due to the ease of manufacturing in vacuum valve manufacturing, and also to minimize the mechanical energy when opening and closing the valve. This is to make it happen.
駆動軸４と弁体２との垂直距離については、ア
ーム５、リンク６の長さをそれぞれl1およびl2と
し、弁体２が正方形の場合にはその一辺の長さ、
また円形の場合にはその直径をａとすれば、弁体
２が実質的に約90度回転しうるためには該弁の回
転軸３と反対の縁端は上記駆動軸４の固定位置を
通過してなお真空容器の器壁方向に引き寄せなけ
ればならない（第１図、点線で示す）。そのため
には回転軸３を原点とする直角座標系において駆
動軸４の座標（Ｘ、Ｙ）は次の関係を満足しなけ
ればならない。すなわち
Ｘ＝ａ／２、X2＋Y2＞a2
上記関係式からＹ＞（√３／２）・ａが得られ
る。すなわち駆動軸４の中心は弁体の上面との垂
直距離（√３／２）・ａよりも大でなければなら
ない。 Regarding the vertical distance between the drive shaft 4 and the valve body 2, let the lengths of the arm 5 and the link 6 be l1 and l2 , respectively, and if the valve body 2 is square, the length of one side of it,
Further, in the case of a circular shape, if its diameter is a, then in order for the valve body 2 to be able to rotate substantially by about 90 degrees, the edge of the valve opposite to the rotation axis 3 must be at the fixed position of the drive shaft 4. After passing through, it must still be drawn toward the wall of the vacuum container (as shown by the dotted line in Figure 1). For this purpose, the coordinates (X, Y) of the drive shaft 4 must satisfy the following relationship in the orthogonal coordinate system with the rotation shaft 3 as the origin. That is, X=a/2, X 2 +Y 2 >a 2 From the above relational expression, Y>(√3/2)·a is obtained. That is, the center of the drive shaft 4 must be larger than the vertical distance (√3/2)·a from the upper surface of the valve body.
またアーム５の長さl1はアーム５が水平位置を
とる極限において真空容器の器謀に突き当たらな
いことを要するためl1＜ａ／２でなければならな
いことは当然である。 Furthermore, it is natural that the length l 1 of the arm 5 must satisfy l 1 <a/2 since it is required that the arm 5 does not collide with the device of the vacuum container at the limit when the arm 5 assumes a horizontal position.
さらに駆動軸４が外力を受けて弁体２を開く場
合の駆動を円滑、容易にするためにはアーム５、
リンク６のそれぞれの長さl1およびl2の和は駆動
軸４と弁体上面との距離（√３／２）・ａより若
干大にとる必要がある。すなわち幾何学的には
（√３／２）・ａに等しくとも弁の開閉は不可能で
はないが、弁開閉時の始動力を軽減するためには
上記の要件がなければならない。 Furthermore, in order to make the drive smooth and easy when the drive shaft 4 receives external force and opens the valve body 2, the arm 5,
The sum of the lengths l 1 and l 2 of the links 6 must be slightly larger than the distance (√3/2)·a between the drive shaft 4 and the upper surface of the valve body. That is, although geometrically it is not impossible to open and close the valve even if it is equal to (√3/2)·a, the above requirements must be met in order to reduce the starting force when opening and closing the valve.
弁の駆動に関して、軸シールのない方式は、特
に高真空を必要とする場合、軸シールからの漏
洩、シール材からのガス放出がないため有利であ
る。 Regarding the actuation of the valve, a system without a shaft seal is advantageous, especially when high vacuum is required, since there is no leakage from the shaft seal or gas release from the sealing material.
本発明はこのため第１図に示すようなベローズ
を使用するものである。本発明においては弁１を
駆動する場合、実質的に約90度の回転は第１図に
おける真空容器外のＸ点に支点を有するロツド７
の挺子の上下作用によつて実施される。軸４の先
端において該軸を金属ベローズ９を連結する軸の
軸孔Ｙは長孔を穿孔しておき支点ＸはＹの長孔の
長さ分だけ移動可能にしておく。 The invention therefore uses a bellows as shown in FIG. In the present invention, when driving the valve 1, the rotation of substantially about 90 degrees is performed by the rod 7 having its fulcrum at point X outside the vacuum vessel in FIG.
It is carried out by the up and down action of the screw. An elongated shaft hole Y is bored at the tip of the shaft 4 to connect the shaft to the metal bellows 9, and the fulcrum X is movable by the length of the elongated hole Y.
ロツド７はベローズ９を介してフランジ８によ
り真空遮断してある。このような構造により、ベ
ローズ９のストロークは、わづかな曲げと長孔Ｙ
の孔長分の伸びですむためピツチ数の少いベロー
ズで十分であり、したがつてコンパクトな構造体
を可能にする利点を有する。 The rod 7 is vacuum isolated by a flange 8 via a bellows 9. Due to this structure, the stroke of the bellows 9 is slightly bent and has a long hole Y.
Since the bellows only needs to be elongated by the length of the hole, a bellows with a small number of pitches is sufficient, and therefore has the advantage of making a compact structure possible.
（発明の効果）
本発明は、以上のように構成されているので、
以下のような効果を奏する。(Effect of the invention) Since the present invention is configured as described above,
It has the following effects.
小さな力で弁を確実に閉めることができる。 The valve can be closed reliably with a small amount of force.
弁開閉機構各部からのガス放出や弁開閉機構
と真空容器との取付け部からのガス流入が無
く、容器内の真空が確実に保たれる。 There is no gas discharge from various parts of the valve opening/closing mechanism or gas inflow from the attachment part between the valve opening/closing mechanism and the vacuum container, and the vacuum inside the container is reliably maintained.
弁がほぼ90度まで開くので大きなコンダクタ
ンスを確保することができる。 Since the valve opens to almost 90 degrees, a large conductance can be ensured.
リンクやアームが移動時に弁の回転軸のある
側の端より内側に留まるので、真空容器を大き
くすることなく弁開閉機構を取付けることがで
き、かつ保守も容易である。 Since the link and arm remain inside the end of the valve's rotating shaft during movement, the valve opening/closing mechanism can be installed without enlarging the vacuum container, and maintenance is also easy.
第１図は本発明に係る一実施例の真空バルブの
断面図、第２図はトルク線図を示す。
１……弁座、２……弁体、３……回転軸、４…
…駆動軸、５……アーム、６……リンク、７……
ロツド、８……フランジ、９……ベローズ、１０
……真空容器、１１，１２……ヒンジ。
FIG. 1 is a sectional view of a vacuum valve according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a torque diagram. 1... Valve seat, 2... Valve body, 3... Rotating shaft, 4...
...Drive shaft, 5...Arm, 6...Link, 7...
Rod, 8...Flange, 9...Bellows, 10
...Vacuum container, 11,12...Hinge.
Claims (1)
かつ弁座１上に水平に載置された弁体２の中心点
にヒンジ１１を有し、該中心点において該弁体２
に垂直な直線上に水平回転軸を有する駆動軸４を
配し、該弁体２と駆動軸４とをリンク６およびア
ーム５で連結し該弁体２とリンク６、および該リ
ンク６とアーム５との間をヒンジ１２にて連接
し、駆動軸４と該弁体２上面との距離が弁体２の
一辺もしくはその直径の√３／２よりも大なる範
囲に存在し、リンク６およびアーム５の長さの和
は弁体２の一辺もしくはその直径の√３／２より
も大、かつアーム５の長さは弁体２の一辺もしく
はその直径の1/2を超えないようにし、該駆動軸
４に連接したアーム５端にロツド７を配し、該ロ
ツド７は真空容器１０の外壁において屈伸可能な
ベローズ９に連結し、該弁体２が該弁座１の基端
に固設された回転軸３を中心として開口方向に実
質的に約90度回転しうることを特徴とする真空バ
ルブ。1. The valve body 2 has one end rotatably attached to the vacuum vessel 10 and is placed horizontally on the valve seat 1. The valve body 2 has a hinge 11 at the center point.
A drive shaft 4 having a horizontal rotation axis is arranged on a straight line perpendicular to The links 6 and 5 are connected by a hinge 12, and the distance between the drive shaft 4 and the upper surface of the valve body 2 is greater than one side of the valve body 2 or √3/2 of its diameter. The sum of the lengths of the arms 5 is greater than one side of the valve body 2 or √3/2 of its diameter, and the length of the arms 5 does not exceed one side of the valve body 2 or 1/2 of its diameter, A rod 7 is arranged at the end of the arm 5 connected to the drive shaft 4, and the rod 7 is connected to a bendable bellows 9 on the outer wall of the vacuum vessel 10, and the valve body 2 is fixed to the base end of the valve seat 1. A vacuum valve characterized in that it can rotate substantially 90 degrees in an opening direction about a rotary shaft 3 provided therein.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6672384A JPS60211179A (en) | 1984-04-05 | 1984-04-05 | Vacuum valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6672384A JPS60211179A (en) | 1984-04-05 | 1984-04-05 | Vacuum valve |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60211179A JPS60211179A (en) | 1985-10-23 |
| JPH0212312B2 true JPH0212312B2 (en) | 1990-03-19 |
Family
ID=13324102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6672384A Granted JPS60211179A (en) | 1984-04-05 | 1984-04-05 | Vacuum valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60211179A (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05302677A (en) * | 1992-04-27 | 1993-11-16 | Kureha Chem Ind Co Ltd | Damper device |
-
1984
- 1984-04-05 JP JP6672384A patent/JPS60211179A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60211179A (en) | 1985-10-23 |
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