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JPH0215662B2 - - Google Patents
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JPH0215662B2 - - Google Patents

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JPH0215662B2
JPH0215662B2 JP58213627A JP21362783A JPH0215662B2 JP H0215662 B2 JPH0215662 B2 JP H0215662B2 JP 58213627 A JP58213627 A JP 58213627A JP 21362783 A JP21362783 A JP 21362783A JP H0215662 B2 JPH0215662 B2 JP H0215662B2
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JP
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cloth
gas
fibers
plasma
plasma gas
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JP58213627A
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Japanese (ja)
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Inventor
Katsuhide Manabe
Fujio Hayakawa
Toshinobu Suzuki
Masayuki Suzuki
Yoshibumi Nishibayashi
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Toyoda Gosei Co Ltd
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Toyoda Gosei Co Ltd
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Publication date
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  • Chemical Or Physical Treatment Of Fibers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は繊維表面の改質を行つた原繊維、糸、
布、最終繊維製品等の繊維物に関するものであ
る。
[Detailed Description of the Invention] Technical Field The present invention relates to fibrils, yarns, yarns, etc. whose fiber surfaces have been modified.
It relates to textiles such as cloth and final textile products.

従来技術 従来、繊維の染色性、風合、ぬれ性等を改良し
ようとする検討が種々行われてきた。
Prior Art Conventionally, various studies have been conducted to improve the dyeability, texture, wettability, etc. of fibers.

例えば、染色性や風合を向上させるには繊維表
面に凹凸をつけるのが効果的であるため、表面を
酸、アルカリで化学処理してエツチングしたり、
表面を細かく切削したり、起毛させたりした繊維
があつた。しかし、いずれの繊維においても表面
処理工程が多く面倒であり、適当な処理結果を得
るための制御も困難であるほか、繊維の強度が極
端に低下するという欠点があり、充分満足のいく
結果が得られていない。
For example, it is effective to create irregularities on the fiber surface to improve dyeability and texture, so the surface is chemically treated with acid or alkali and etched.
There were fibers whose surfaces were finely cut or raised. However, all types of fibers require many troublesome surface treatment steps, are difficult to control to obtain appropriate treatment results, and have the disadvantage that the strength of the fibers is extremely reduced, making it difficult to obtain fully satisfactory results. Not obtained.

又、ぬれ性を向上させるために酸、アルカリ処
理(湿式処理の一つ)等によつて表面処理を施し
た繊維もあつた。しかし、湿式処理は処理工程が
多く、水洗した繊維を乾燥するために多くのエネ
ルギを要した。又、多量の処理液を必要とし、そ
の廃液が公害問題を招来することのないよう廃液
処理を行なわねばならなかつた。更に、化学的な
処理であるため繊維の内部へも反応が進行し易
く、繊維強度が低下してしまうおそれもあつた。
In addition, some fibers were surface-treated by acid or alkali treatment (a type of wet treatment) to improve wettability. However, wet processing requires many processing steps and requires a lot of energy to dry the washed fibers. In addition, a large amount of treatment liquid is required, and the waste liquid must be treated to prevent the waste liquid from causing pollution problems. Furthermore, since it is a chemical treatment, the reaction tends to proceed inside the fibers, and there is a risk that the fiber strength will decrease.

目 的 本発明は前記のような従来の繊維物における問
題点を解消するためになされたものであつて、そ
の目的は色の深み、ぬれ性、洗濯性、吸湿性、吸
水性、洗濯性、染色性、風合等の数々の性質が向
上し、繊維物本来の性質や強度は低下することが
ないばかりでなく、表面処理を少ない工程で容易
かつ低コストに行うことができる新規な繊維物を
提供することにある。
Purpose The present invention was made to solve the problems with conventional textiles as described above, and its purpose is to improve color depth, wettability, washability, hygroscopicity, water absorption, washability, A new type of fiber with improved dyeability, texture, and other properties, without degrading the original properties and strength of the fiber, and with which surface treatment can be performed easily and at low cost with fewer steps. Our goal is to provide the following.

構 成 この発明の繊維物は、繊維表面部を1×10-4
ら8×10-2Torrのガス雰囲気中においてスパツ
タエツチング法によりエツチングした後、低温プ
ラズマガス処理してなることをその構成とするも
のである。
Structure: The fiber material of the present invention is obtained by etching the surface of the fiber by a sputter etching method in a gas atmosphere of 1×10 -4 to 8×10 -2 Torr, and then treating it with low-temperature plasma gas. That is.

実施例 以下、本発明を布に具体化した一実施例につい
て第1図に従い説明すると、1はエツチング装置
であつて、本実施例では高周波スパツタリング装
置が用いられている。2は平板状の電極であつ
て、この電極2には高周波電源3より高周波電圧
が印加されるようになつている。
EXAMPLE Hereinafter, an example in which the present invention is embodied in a cloth will be described with reference to FIG. 1. Reference numeral 1 denotes an etching device, and in this example, a high frequency sputtering device is used. Reference numeral 2 denotes a flat electrode, to which a high frequency voltage is applied from a high frequency power source 3.

4はバルブ4aを介してエツチング装置1に連
結された真空ポンプであつて、スパツタエツチン
グ前に同装置1内を減圧するためのものである。
5はバルブ5aを介してエツチング装置1に連結
されたアルゴンガスのボンベである。6はエツチ
ング装置1のリークバルブである。
Reference numeral 4 denotes a vacuum pump connected to the etching apparatus 1 via a valve 4a, and is used to reduce the pressure inside the apparatus 1 before sputter etching.
5 is an argon gas cylinder connected to the etching apparatus 1 via a valve 5a. Reference numeral 6 indicates a leak valve of the etching apparatus 1.

7は展張部分において電極2に接するようにセ
ツトされた布であつて、黒の染色を施したポリエ
ステル織布をロール状に巻いたものである。この
布7はエツチング装置1内にセツトされる前に、
帯電の程度に応じて適宜静電除去が行われる。
A cloth 7 is set so as to be in contact with the electrode 2 at the stretched portion, and is a polyester woven cloth dyed black and wound into a roll. Before this cloth 7 is set in the etching device 1,
Static electricity is removed as appropriate depending on the degree of charging.

8はロール状の布7を巻送りするための送り機
構を示し、回動可能に設けられて外周に布7がセ
ツトされる送出し軸9及び巻取り軸10と、同巻
取り軸10を回動させるためのモータ11と、歯
車よりなる減速伝動部12とより構成されてい
る。布7の一定面積当たりのスパツタリング時間
は、送り機構8の送り速度を調節することによつ
て任意に変えることができる。13は布7のシー
ルド板であつて、布7のうち電極2にほぼ接する
展張部分のみがスパツタエツチングされるよう、
布7のロール部分をシールドしている。
Reference numeral 8 denotes a feeding mechanism for winding and feeding the roll-shaped cloth 7, which includes a feeding shaft 9 and a winding shaft 10, which are rotatably provided and on which the cloth 7 is set on the outer periphery, and the winding shaft 10. It is composed of a motor 11 for rotation and a deceleration transmission section 12 made of gears. The sputtering time per fixed area of the cloth 7 can be arbitrarily changed by adjusting the feed speed of the feed mechanism 8. Reference numeral 13 is a shield plate of the cloth 7, and the cloth 7 is designed so that only the stretched portion of the cloth 7 that is almost in contact with the electrode 2 is sputter etched.
The rolled portion of the cloth 7 is shielded.

以上述べたエツチング装置1によつて布7の表
面をスパツタエツチングするには、まずエツチン
グ装置1内を真空ポンプ4により5×10-4Torr
程度の真空度にまで減圧した後、ボンベ5から装
置1内にアルゴンガスを流入して同装置1内を5
×10-3Torrアルゴンガス雰囲気にした。次に、
電極2に高周波電圧を印加して100Wの高周波電
力を加えると放電が起こり、アルゴン分子が励起
してイオン化し、プラズマ状態が形成された。励
起したアルゴンイオンは布7の繊維表面に衝突し
て、同布7を構成する繊維1本1本に微小な凹凸
をエツチングした。
In order to sputter-etch the surface of the cloth 7 using the etching apparatus 1 described above, first, the inside of the etching apparatus 1 is heated to 5×10 -4 Torr using the vacuum pump 4.
After reducing the pressure to a certain degree of vacuum, argon gas is introduced into the device 1 from the cylinder 5, and the inside of the device 1 is
×10 -3 Torr argon gas atmosphere was created. next,
When a high-frequency voltage was applied to electrode 2 and a high-frequency power of 100 W was applied, a discharge occurred, and argon molecules were excited and ionized, forming a plasma state. The excited argon ions collided with the surface of the fibers of the cloth 7, etching minute irregularities in each fiber constituting the cloth 7.

このエツチングの機構を説明すると、繊維を構
成するポリエステル高分子の炭素分子等に対して
アルゴンイオンが高エネルギで衝突し、分子結合
を壊して炭素分子等を分子オーダあるいはマクロ
的集合として叩き出すものと考えられる。
The mechanism of this etching is that argon ions collide with high energy against the carbon molecules of the polyester polymer that makes up the fibers, breaking molecular bonds and ejecting the carbon molecules as molecular order or macroscopic aggregates. it is conceivable that.

布7は上記エツチング処理時に送り機構8によ
つて序々に送られ、連続的に処理されるが、本実
施例では布7の一定面積当りのエツチング時間が
20秒となるように送り機構8の速度を調節した。
The cloth 7 is gradually fed by the feeding mechanism 8 during the etching process and is continuously processed, but in this embodiment, the etching time per fixed area of the cloth 7 is
The speed of the feed mechanism 8 was adjusted so that the time was 20 seconds.

ところで、通常のスパツタリングにおいては電
極(ターゲツトとされる)表面の金属分子を高エ
ネルギイオンによつて叩き出し、同金属分子を被
着物(従来は合成樹脂製品等)に付着させる。一
方、本実施例ではスパツタリング装置を用いて布
7表面の分子を削り取る。そこで、本発明ではこ
の実施例のように次の各要件を満たすエツチング
方法をスパツタエツチングということにする。
By the way, in normal sputtering, metal molecules on the surface of an electrode (target) are ejected by high-energy ions, and the metal molecules are attached to an adherend (conventionally, a synthetic resin product, etc.). On the other hand, in this embodiment, molecules on the surface of the cloth 7 are scraped off using a sputtering device. Therefore, in the present invention, an etching method that satisfies the following requirements as in this embodiment is referred to as sputter etching.

低圧の所定ガス雰囲気であること。 Must be in a low-pressure specified gas atmosphere.

所定の電圧が電極に印加されて放電が起こ
り、上記ガスが励起してイオン化すること。
When a predetermined voltage is applied to the electrodes, a discharge occurs, and the gas is excited and ionized.

上記ガスイオンが電極以外の被処理物(本発
明では繊維物)に衝突し、同被処理物の構成分
子を叩き出すこと。
The gas ions collide with the object to be treated (in the present invention, a fibrous material) other than the electrode, and knock out the constituent molecules of the object.

そして、上記スパツタエツチングの条件は後述
するように、本実施例の条件に限定されないもの
とする。
As will be described later, the conditions for the sputter etching are not limited to those of this embodiment.

以上の通りスパツタエツチング法によつてエツ
チング処理の行われた布7は、適宜静電除去され
た後にプラズマガス処理される。そこで次に同プ
ラズマガス処理について第2図に従い説明する
と、21は処理ガスが充填されたボンベであつ
て、本実施例では処理ガスとして酸素ガスが用い
られている。22はガス流量計23を経てボンベ
21に連結されたプラズマ発生装置であつて、高
周波電源24が接続されている。同高周波電源2
4は2450MHzのマイクロ波を発生し、同マイクロ
波はプラズマ発生装置22内に出力される。プラ
ズマ発生装置22内では処理ガスが前記マイクロ
波によつて励起されてプラズマガス状態に解離
し、低温のプラズマガスが連続的に流出されるよ
うになつている。
As described above, the cloth 7 that has been etched by the sputter etching method is subjected to a plasma gas treatment after the static electricity is appropriately removed. Next, the plasma gas processing will be explained with reference to FIG. 2. Reference numeral 21 is a cylinder filled with a processing gas, and in this embodiment, oxygen gas is used as the processing gas. 22 is a plasma generator connected to the cylinder 21 via a gas flow meter 23, and a high frequency power source 24 is connected thereto. High frequency power supply 2
4 generates microwaves of 2450 MHz, and the microwaves are output into the plasma generator 22. Inside the plasma generator 22, the processing gas is excited by the microwaves and dissociated into a plasma gas state, and the low temperature plasma gas is continuously flowed out.

25はプラズマ発生装置22の流出側に設けら
れた処理槽であつて、エツチング処理済の布7が
ロール状にセツトされている。26は処理槽25
内に設けられプラズマ発生装置22に連結された
プラズマガスの噴射部材であつて、複数個並設さ
れた噴射孔27から低温のプラズマガスを吐出す
るようになつている。
Reference numeral 25 denotes a processing tank provided on the outflow side of the plasma generator 22, in which the etched cloth 7 is set in the form of a roll. 26 is a processing tank 25
It is a plasma gas injection member provided inside and connected to the plasma generator 22, and is configured to eject low-temperature plasma gas from a plurality of injection holes 27 arranged in parallel.

28はロール状の布7を巻送りするための送り
機構であつて、前記エツチング装置1における送
り機構8と同様に、送出し軸29、巻取り軸3
0、モータ31、減速伝動部32とより構成され
ている。同送り機構28により送られる布7の展
張部分の表面付近に前記各噴射孔27が開口し、
布7の巾全体にわたつてプラズマガスが噴射され
るようになつている。33は布7のシールド板で
あつて、布7のうち前記展張部分のみがプラズマ
ガス処理されるよう、布7のロール部分をシール
ドしている。
Reference numeral 28 denotes a feeding mechanism for winding and feeding the roll-shaped cloth 7, which, like the feeding mechanism 8 in the etching device 1, has a feeding shaft 29 and a winding shaft 3.
0, a motor 31, and a deceleration transmission section 32. Each of the injection holes 27 opens near the surface of the stretched portion of the cloth 7 fed by the feeding mechanism 28,
Plasma gas is sprayed over the entire width of the cloth 7. 33 is a shield plate for the cloth 7, which shields the rolled portion of the cloth 7 so that only the stretched portion of the cloth 7 is subjected to the plasma gas treatment.

34は処理槽25に設けられたリークバルブで
ある。35はバルブ36を介して処理槽25に連
結された真空ポンプであつて、プラズマガス処理
前に同処理槽25内を減圧するためのものであ
る。
34 is a leak valve provided in the processing tank 25. A vacuum pump 35 is connected to the processing tank 25 via a valve 36, and is used to reduce the pressure inside the processing tank 25 before plasma gas processing.

前記布7表面をプラズマガス処理するには、ま
ず空気の入つた処理槽25内を真空ポンプにより
0.1Torr程に減圧する。次に、ボンベ21から処
理ガスとしての酸素ガスをプラズマ発生装置22
に送るとともに、高周波電源を投入して、周波数
2450MHz及び出力600Wのマイクロ波をプラズマ
発生装置22に加える。酸素ガスは同マイクロ波
により容易にプラズマ状態に励起されて酸素プラ
ズマガスとなり、低温状態かつ10/minの流量
で処理槽25内に送られる。
In order to treat the surface of the cloth 7 with plasma gas, first, the inside of the treatment tank 25 containing air is pumped with a vacuum pump.
Reduce the pressure to about 0.1Torr. Next, oxygen gas as a processing gas is supplied from the cylinder 21 to the plasma generator 22.
At the same time, the high frequency power is turned on and the frequency is
Microwaves of 2450 MHz and output of 600 W are applied to the plasma generator 22. The oxygen gas is easily excited into a plasma state by the microwave, becomes oxygen plasma gas, and is sent into the processing tank 25 at a low temperature and at a flow rate of 10/min.

同酸素プラズマガスは噴射部材26の噴射孔2
7から吹出され、布7に噴射される。布7を構成
するポリエステル繊維は酸素プラズマと接触する
と、酸素プラズマの高い活性によつて表面にカル
ボニル基やカルボキシル基などの官能基が生ずる
が、本実施例においては前記繊維表面にスパツタ
エツチングによつて微小な凹凸が形成されている
ため、同表面の実質的な表面積が増え、この表面
積の増えた分だけ前記官能基が多く生じる。従つ
て、スパツタエツチングを行なわないでプラズマ
ガス処理をしたものに比べ前記官能基が遥かに多
く生じることとなる。噴射後の酸素プラズマガス
は処理槽25内を回つてから、リークバルブ34
により連続的に排出される(流量は前記流入量と
同じく10/minである)。従つて、本実施例で
は処理槽25内の気圧が0.3Torrに保たれた。
The oxygen plasma gas is supplied to the injection hole 2 of the injection member 26.
7 and is sprayed onto the cloth 7. When the polyester fibers constituting the cloth 7 come into contact with oxygen plasma, functional groups such as carbonyl groups and carboxyl groups are generated on the surface due to the high activity of the oxygen plasma. Since minute irregularities are thus formed, the substantial surface area of the same surface increases, and the number of the functional groups increases by the increased surface area. Therefore, much more of the above-mentioned functional groups are produced than in the case where plasma gas treatment is performed without sputter etching. After being injected, the oxygen plasma gas flows through the processing tank 25 and then passes through the leak valve 34.
is continuously discharged (the flow rate is 10/min, the same as the inflow rate). Therefore, in this example, the atmospheric pressure inside the processing tank 25 was maintained at 0.3 Torr.

布7は上記プラズマガス処理中に送り機構28
によつて序々に巻送られ、連続的に処理が行われ
るが、本実施例では酸素プラズマガスによつて処
理される時間が布7の一定面積当たり100秒とな
るように送り機構28の速度を調節した。
The cloth 7 is moved by the feeding mechanism 28 during the plasma gas treatment.
In this embodiment, the speed of the feeding mechanism 28 is adjusted so that the time required for treatment with oxygen plasma gas is 100 seconds per certain area of the cloth 7. adjusted.

以上のようにしてスパツタエツチング及びプラ
ズマガス処理を施した布7の性質変化につき、い
ずれも非処理の布との比較において述べると、ま
ず色相を示すb〓値が約10%減少して色が濃くな
つた。これを染料使用量に換算すると、染色時の
染料の濃度を15%程度増加したことに相当し、染
料使用量を低減し得ることがわかる。目視上も色
相が深みのある黒に変化している。これはスパツ
タエツチングにより繊維表面に形成された微小な
凹凸によつて光が散乱するとともに、微小凹部に
光の一部が閉じ込められて、光の反射量が減少す
るためと考えられる。従来の、例えば苛性ソーダ
でエツチングした繊維においては、凹凸が粗いた
め、光の閉じ込め効果がなく色相もほとんど変わ
らないのである。
Regarding the changes in the properties of the cloth 7 that has been subjected to the sputter etching and plasma gas treatment as described above, in comparison with the untreated cloth, firstly, the b value, which indicates the hue, has decreased by about 10%, and the color has changed. became darker. When converted into the amount of dye used, this corresponds to increasing the concentration of dye during dyeing by about 15%, indicating that the amount of dye used can be reduced. Visually, the hue has changed to a deep black. This is thought to be because light is scattered by the minute irregularities formed on the fiber surface by sputter etching, and a portion of the light is trapped in the minute concave portions, reducing the amount of light reflected. Conventional fibers etched with caustic soda, for example, have rough irregularities, so there is no light trapping effect and the hue remains almost the same.

次に、水を50μ落下させてぬれ性試験を行つ
たところ、処理後の布では水が瞬時にして布に浸
透し、直径約1cmの円形に広がつた。一方、非処
理の布では水玉が生じ、水玉がなくなる程度に水
が蒸発したときに直径約2mmの円形のしみ(水)
がみられた。従つて、ぬれ性、ひいては吸水性、
染色性が向上されたことがわかる。これはプラズ
マガス処理により導入されたカルボニル基、カル
ボキシル基等の官能基の作用によつて繊維表面の
親水性が高まるとともに、スパツタエツチングに
より導入された微小な凹凸で繊維の表面積が実質
的に増加し、吸水性が高まつたことによる相乗的
な効果である。
Next, a wettability test was conducted by dropping 50 μm of water, and the water instantly permeated the treated cloth and spread into a circle with a diameter of about 1 cm. On the other hand, water beads appear on untreated cloth, and when the water evaporates to the extent that the water beads disappear, a circular stain (water) with a diameter of about 2 mm appears.
was seen. Therefore, wettability and water absorption,
It can be seen that the stainability was improved. This is because the hydrophilicity of the fiber surface increases due to the action of functional groups such as carbonyl groups and carboxyl groups introduced by plasma gas treatment, and the surface area of the fiber is substantially reduced by the minute irregularities introduced by sputter etching. This is a synergistic effect due to increased water absorption.

又、同様にして繊維のもつ乾燥性は維持されつ
つ吸湿性が向上する。これらの効果は本実施例の
ポリエステル繊維のようなスエ繊維において特に
顕著である。
Similarly, the drying properties of the fibers are maintained while the hygroscopicity is improved. These effects are particularly remarkable in suede fibers such as the polyester fibers of this example.

又、染色を前記スパツタエツチング及びプラズ
マガス処理の後に行う場合には染色性が格段に高
まり、色相、耐退色性等が向上する。これは繊維
表面積の実質的増加、微小凹凸の物理的作用、前
記官能基の親和性等により染料の繊維に対する付
着力が高まるとともに、付着量が多くなつたため
であり、やはり前記両処理による相乗効果といえ
る。
Furthermore, when dyeing is performed after the sputter etching and plasma gas treatment, the dyeing property is greatly improved, and the hue, fading resistance, etc. are improved. This is because the adhesion of the dye to the fiber increases due to the substantial increase in the fiber surface area, the physical effect of micro-irregularities, the affinity of the functional groups, etc., and the amount of adhesion increases.It is also the synergistic effect of the above two treatments. It can be said.

又、微小な凹凸及び官能基の作用によつて繊維
の風合いが改善され、柔らかくしなやかな手触り
等が得られる。この効果は本実施例のように表面
がミクロ的に平滑な人工繊維において顕著であ
り、綿や羊毛のような天然繊維に近い風合とな
る。
Furthermore, the texture of the fibers is improved by the effects of minute irregularities and functional groups, resulting in a soft and supple feel. This effect is remarkable in artificial fibers with microscopically smooth surfaces as in this example, resulting in a texture similar to that of natural fibers such as cotton and wool.

又、官能基の作用により処理後の布は油汚れに
対する防止効果がみられ、油に汚れた場合でも洗
濯性が大巾に改善された。
In addition, due to the action of the functional groups, the treated cloth had an effect of preventing oil stains, and even when it was stained with oil, the washability was greatly improved.

更に、両処理とも乾式であるため、処理作業を
容易、かつ低コストに行うことができ、その処理
条件(スパツタエツチングガスやプラズマ処理ガ
スの種類、圧力、印加電圧、処理時間等)の制御
も容易であるため、これらを調節することによつ
て任意の処理結果を得ることができる。又、処理
液を要しないので、公害を招来することもない。
Furthermore, since both processes are dry processes, the processing work can be performed easily and at low cost, and the processing conditions (type of sputter etching gas or plasma processing gas, pressure, applied voltage, processing time, etc.) can be controlled. Since these are also easy to adjust, arbitrary processing results can be obtained by adjusting these. Furthermore, since no treatment liquid is required, no pollution is caused.

又、前記プラズマガス処理では処理槽25外の
プラズマ発生装置22によつて酸素プラズマガス
を生成し、処理槽25では低温のプラズマガスを
流入するだけなので、布7がプラズマガスの熱に
よつて性能劣化することもない。
In addition, in the plasma gas treatment, oxygen plasma gas is generated by the plasma generator 22 outside the treatment tank 25, and only low-temperature plasma gas is introduced into the treatment tank 25, so that the cloth 7 is not affected by the heat of the plasma gas. There is no performance deterioration.

更に、プラズマ発生装置22ではマイクロ波を
用いるため、処理ガスの励起が極めて容易、かつ
効率良く行われ、プラズマガスが過熱されること
もない。
Furthermore, since the plasma generator 22 uses microwaves, the processing gas can be excited extremely easily and efficiently, and the plasma gas will not be overheated.

なお、この発明は前記実施例の構成に限定され
るものではなく、例えば次のようにして具体化す
ることも可能である。
It should be noted that the present invention is not limited to the configuration of the above-mentioned embodiment, and can be embodied as follows, for example.

(1) 繊維物として布以外に原繊維、糸、最終繊維
製品等の各種段階におけるものを用いることが
できる。又、布についても単に織つたり、編ん
だり、不織布にしたりしたものに限定されず、
起毛、植毛等によつて高級感を付与したり、リ
ン化合物の付着により難燃化処理した布等も対
象に入る。
(1) In addition to cloth, fibers in various stages such as raw fibers, threads, and final fiber products can be used. Furthermore, cloth is not limited to simply woven, knitted, or non-woven fabrics.
This also includes fabrics that have been given a luxurious feel by brushing or flocking, or have been made flame retardant by attaching phosphorus compounds.

(2) 本発明の繊維とは、ポリエステル、ポリアク
リル、ポリアミド、レーヨン、綿等の各種天然
繊維や合成繊維、その他ガラス繊維、カーボン
繊維等の特殊繊維あるいはこれらの組合わせ
等、あらゆる繊維を含む。
(2) The fibers of the present invention include all kinds of fibers such as various natural fibers and synthetic fibers such as polyester, polyacrylic, polyamide, rayon, and cotton, other special fibers such as glass fibers and carbon fibers, and combinations thereof. .

(3) 本発明のスパツタエツチング条件は次の通り
である。スパツタエツチング雰囲気を形成する
ガスにはアルゴンガス以外にネオン、キセノン
等の不活性ガスあるいは窒素ガスのように繊維
と反応を起こさない各種ガスを使用し得る。同
ガスの圧力は1×10-4〜8×10-2Torrの間で
選択し得る。ガス圧力がこの範囲外であると放
電が起こり難くなつてプラズマ状態が形成され
ず、スパツタエツチングができないからであ
る。印加電力はスパツタエツチング可能な範囲
であれば特に限定されないが、通常50W〜
10KWである。
(3) The sputter etching conditions of the present invention are as follows. In addition to argon gas, various gases that do not react with the fibers, such as inert gas such as neon and xenon, or nitrogen gas, may be used as the gas for forming the sputter etching atmosphere. The pressure of the gas can be selected between 1×10 −4 and 8×10 −2 Torr. This is because if the gas pressure is outside this range, it will be difficult for discharge to occur, a plasma state will not be formed, and sputter etching will not be possible. The applied power is not particularly limited as long as sputter etching is possible, but it is usually 50W or more.
It is 10KW.

又、エツチング装置1として前記高周波スパ
ツタリング装置に代えて直流スパツタリング装
置を用い、直流電圧を印加してスパツタエツチ
ングを行つてもよい。
Furthermore, a DC sputtering apparatus may be used as the etching apparatus 1 instead of the high frequency sputtering apparatus, and sputter etching may be performed by applying a DC voltage.

(4) プラズマガス処理用のガスとして、前記酸素
ガス以外に窒素、アンモニア、亜硫酸ガス、メ
タン、四フツ化炭素、エタン、プロパン、塩
素、臭素、ヘリウム、アルゴンその他の各種ガ
スを用いることができる。
(4) As a gas for plasma gas treatment, various gases such as nitrogen, ammonia, sulfur dioxide, methane, carbon tetrafluoride, ethane, propane, chlorine, bromine, helium, argon, and others can be used in addition to the above oxygen gas. .

例えば、四フツ化炭素ガスを用いると、繊維
の表面に前記官能基に加えてフツ素処理が施さ
れるので、撥水性が非常に高くなり、耐久性も
向上する。
For example, when carbon tetrafluoride gas is used, the surface of the fiber is treated with fluorine in addition to the above-mentioned functional groups, resulting in extremely high water repellency and improved durability.

又、アンモニアガスあるいは窒素ガスを用い
ると、繊維表面に前記官能基に加えてアミノ基
も導入されるので水に対するぬれ性が大巾に高
まり、染色性も著しく向上する。
Further, when ammonia gas or nitrogen gas is used, amino groups are introduced into the fiber surface in addition to the above-mentioned functional groups, so the wettability to water is greatly increased and the dyeability is also significantly improved.

その他、亜硫酸ガス、メタン、エタン、プロ
パン、塩素、臭素等のガスを用いることによ
り、防災性、気密性、滑り性等の性質が改善さ
れる。
In addition, by using gases such as sulfur dioxide, methane, ethane, propane, chlorine, and bromine, properties such as disaster prevention, airtightness, and slipperiness are improved.

(5) プラズマガスの発生条件は、プラズマ化を容
易かつ高効率に行い得るマイクロ波を用いるも
のでさえあれば特に限定されず、マイクロ波の
周波数、出力、処理ガスの流量等を任意に変更
し得る。
(5) The plasma gas generation conditions are not particularly limited as long as they use microwaves that can easily and efficiently generate plasma, and the microwave frequency, output, processing gas flow rate, etc. can be changed arbitrarily. It is possible.

又、プラズマガスの流量、処理槽内の圧力、
プラズマ処理時間等も任意に変更し得る。
In addition, the flow rate of plasma gas, the pressure inside the processing tank,
The plasma treatment time and the like can also be changed arbitrarily.

効 果 以上詳述したようにこの発明は、繊維表面部を
スパツタエツチング法によりエツチングした後、
低温プラズマガス処理してなることにより色の深
み、ぬれ性、洗濯性、吸湿性、吸水性、洗濯性、
染色性、風合等の数々の性質が向上し、繊維物本
来の性質や強度は低下することがないばかりでな
く、表面処理を少ない工程で容易、かつ低コスト
に行うことができる優れた効果を奏する。
Effects As detailed above, the present invention etches the fiber surface portion by the sputter etching method, and then
Low-temperature plasma gas treatment improves color depth, wettability, washability, hygroscopicity, water absorption, washability,
Many properties such as dyeability and texture are improved, and the original properties and strength of the fibers are not deteriorated. In addition, surface treatment can be performed easily and at low cost with fewer steps. play.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明を具体化した一実施例における
スパツタエツチング方法を示す概略図、第2図は
同じくプラズマガス処理方法を示す概略図、第3
図は第2図における要部斜視図である。 エツチング装置…1、布…7、プラズマ発生装
置…22、高周波電源…24、処理槽…25。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a sputter etching method in an embodiment embodying the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram also showing a plasma gas processing method, and FIG.
This figure is a perspective view of the main part in FIG. 2. Etching device...1, cloth...7, plasma generator...22, high frequency power source...24, processing tank...25.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 繊維表面部を1×10-4Torr〜8×10-2Torr
のガス雰囲気中においてスパツタエツチング法に
よりエツチングした後、低温プラズマガス処理し
てなることを特徴とする繊維物。 2 低温プラズマガスはマイクロ波によつて励
起、生成したものであることを特徴とする特許請
求の範囲第1項記載の繊維物。
[Claims] 1. The surface area of the fiber is 1×10 -4 Torr to 8×10 -2 Torr.
A fibrous material characterized in that it is etched by a sputter etching method in a gas atmosphere and then treated with a low-temperature plasma gas. 2. The fibrous material according to claim 1, wherein the low-temperature plasma gas is excited and generated by microwaves.
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