JPH0217964B2 - - Google Patents
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- JPH0217964B2 JPH0217964B2 JP56014370A JP1437081A JPH0217964B2 JP H0217964 B2 JPH0217964 B2 JP H0217964B2 JP 56014370 A JP56014370 A JP 56014370A JP 1437081 A JP1437081 A JP 1437081A JP H0217964 B2 JPH0217964 B2 JP H0217964B2
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- interdigital
- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- interdigital electrode
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/1455—Transducers of particular shape or position constituted of N parallel or series transducers
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、特定の周波数で誘導性を示し、発振
素子等あるいは通常のすだれ状電極と組合わせた
弾性表面波変換器等として使用するのに適した弾
性表面波素子に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention provides a surface acoustic wave element that exhibits inductive properties at a specific frequency and is suitable for use as an oscillation element or a surface acoustic wave transducer in combination with ordinary interdigital electrodes. Regarding.
弾性表面波変換器として一般的な第1図に示す
ような圧電基板1にすだれ状電極2を設けた構成
では、入力インピーダンスが容量性であるため、
電気回路と整合させるためにインダクタンス素子
3を外部に付加することが必要であつた。しか
し、通常のコイルから成るインダクタンス素子3
を弾性表面波変換器の外部に設けるのでは、イン
ダクタンス素子の取付スペースや配線等を考慮し
なければならず、フイルタ等を構成するような場
合に、全体が大形化しかつコスト的にも不利とな
る。一方、圧電基板上にインダクタンス素子を構
成できれば、フイルタ等を構成する場合の小形
化、特性の改善や製造コストの低減を図る上で効
果が大きいことが期待できる。 In a typical surface acoustic wave transducer in which a piezoelectric substrate 1 is provided with interdigital electrodes 2 as shown in FIG. 1, the input impedance is capacitive;
It was necessary to add an inductance element 3 externally to match the electric circuit. However, the inductance element 3 consisting of a normal coil
If the inductance element is installed outside the surface acoustic wave transducer, consideration must be given to the installation space and wiring of the inductance element, and when configuring a filter, etc., the overall size becomes large and is disadvantageous in terms of cost. becomes. On the other hand, if an inductance element can be constructed on a piezoelectric substrate, it can be expected to be highly effective in reducing the size, improving characteristics, and reducing manufacturing costs when constructing a filter or the like.
本発明は、上記の点に鑑み、所定の周波数範囲
でインダクタンス素子として機能する素子を圧電
基板上に構成可能にして、主として弾性表面波フ
イルタ等を構成する場合の特性の改善に極めて有
効な弾性表面波素子を提供しようとするものであ
る。 In view of the above points, the present invention makes it possible to construct an element that functions as an inductance element in a predetermined frequency range on a piezoelectric substrate, and provides an extremely effective elastic The aim is to provide a surface wave device.
以下、本発明に係る弾性表面波素子の実施例を
図面に従つて説明する。 Embodiments of the surface acoustic wave device according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
第2図は本発明の第1実施例を示す。この図に
おいて、弾性表面波素子10は、すだれ状電極1
1と、これの両側に配置されるすだれ状電極12
A,12Bとを圧電基板上に形成した構成であ
り、すだれ状電極12A,12Bは同一形状であ
つて、相互に導線13A,13Bにより電気的に
接続されている。この場合、中央のすだれ状電極
11と両側のすだれ状電極12A,12Bとの間
の距離をL1,L2としたとき、
L1=L2+nλ/2+(0.4〜0.6)λ ……(1)
(但し、λは各すだれ状電極の電極指間隔で定ま
る弾性表面波の中心周波数における波長、nは偶
数)
が成立するように設定されている。 FIG. 2 shows a first embodiment of the invention. In this figure, a surface acoustic wave element 10 has interdigital electrodes 1
1 and interdigital electrodes 12 arranged on both sides of this
A and 12B are formed on a piezoelectric substrate, and the interdigital electrodes 12A and 12B have the same shape and are electrically connected to each other by conductive wires 13A and 13B. In this case, when the distances between the central interdigital electrode 11 and the interdigital electrodes 12A and 12B on both sides are L1 and L2 , L1 = L2 +nλ/2+(0.4~0.6)λ...( 1) (where λ is the wavelength at the center frequency of the surface acoustic wave determined by the electrode finger spacing of each interdigital electrode, and n is an even number).
第3図は第1実施例の構成において、各すだれ
状電極11,12A,12Bの電極指の対数Nを
50対、交叉幅Wを100λ(λ:中心周波数34.5MHz
の弾性表面波の波長)、圧電基板をYカツトZ伝
搬のLiNbO3基板、L1=1.0λとしたとき、L2を変
えた場合におけるすだれ状電極11の端子14
A,14B間のリアクタンスXとQの値を夫々示
す。この図から、L2=0.44λ近傍にてリアクタン
スXが約50ΩでQとして約100位の結果が得られ
ることが判る。 FIG. 3 shows the logarithm N of the electrode fingers of each interdigital electrode 11, 12A, 12B in the configuration of the first embodiment.
50 pairs, crossover width W is 100λ (λ: center frequency 34.5MHz
(wavelength of surface acoustic wave), the piezoelectric substrate is a Y-cut Z-propagation LiNbO 3 substrate, L 1 = 1.0λ, and the terminal 14 of the interdigital electrode 11 when L 2 is changed.
The values of reactances X and Q between A and 14B are shown, respectively. From this figure, it can be seen that when L 2 =0.44λ, the reactance X is about 50Ω and the Q is about 100.
第4図は第1実施例の構成において、各すだれ
状電極11,12A,12Bの電極指の対数N、
交叉幅W及び圧電基板の条件を第3図の場合と同
じとし、L1=1.0λ、L2=0.44λとしたときのリア
クタンスX及びQの周波数特性を示す。この図か
ら判るように、リアクタンスXが誘導性となる周
波数帯域は中心周波数近傍の狭い範囲であるが、
弾性表面波フイルタの容量性インピーダンスを補
償するような使用目的の場合にはかえつて好都合
である。すなわち、フイルタの中心周波数近傍で
誘導性となるようにすれば、それ以外の周波数で
は弾性表面波にエネルギを変換するので、挿入損
失の低減のみならずフイルタ特性のサイドローブ
の抑圧を図ることができる。 FIG. 4 shows the logarithm N of electrode fingers of each interdigital electrode 11, 12A, 12B in the configuration of the first embodiment,
The frequency characteristics of the reactances X and Q are shown when the intersection width W and the piezoelectric substrate conditions are the same as in FIG. 3, and L 1 =1.0λ and L 2 =0.44λ. As can be seen from this figure, the frequency band in which the reactance X becomes inductive is a narrow range near the center frequency, but
This is even more advantageous when the purpose of use is to compensate for the capacitive impedance of a surface acoustic wave filter. In other words, if the filter is made inductive near the center frequency, energy is converted to surface acoustic waves at other frequencies, which not only reduces insertion loss but also suppresses side lobes of the filter characteristics. can.
第5図は第1実施例の構成において、各すだれ
状電極11,12A,12Bの電極指の対数Nを
同数とし、交叉幅Wを100λ、L1=1.0λ、L2=
0.44λに設定したとき、対数NとリアクタンスX
及びQとの関係を示す。なお、圧電基板は第3図
と同じものとする。この図から、弾性表面波の結
合を利用しているためにある程度対数(約20対以
上)が多くなければ誘導性とはならないことが判
る。また、Qは対数Nの増加につれて値が大きく
なつている。 FIG. 5 shows the configuration of the first embodiment, in which the number of logarithms N of electrode fingers of each interdigital electrode 11, 12A, and 12B is the same, the crossing width W is 100λ, L 1 =1.0λ, L 2 =
When set to 0.44λ, logarithm N and reactance X
and the relationship with Q is shown. Note that the piezoelectric substrate is the same as that shown in FIG. 3. From this figure, it can be seen that since the coupling of surface acoustic waves is used, there is no inductive property unless there are a certain number of logarithms (approximately 20 or more pairs). Furthermore, the value of Q increases as the logarithm N increases.
なお、第3図乃至第5図では全て交叉幅Wが
100λの場合を示したが、Wに対してはリアクタ
ンスXは逆比例し、Qは値及び周波数特性は変わ
らない。従つて必要なインダクタンスを得るため
には、Wを適当に決めればよい。 In addition, in all figures 3 to 5, the intersection width W is
Although the case of 100λ is shown, the reactance X is inversely proportional to W, and the value and frequency characteristics of Q remain unchanged. Therefore, in order to obtain the necessary inductance, W may be determined appropriately.
以上説明したように、上記第1実施例によれ
ば、ある特定の周波数帯域でインダクタンス素子
として働く弾性表面波素子を簡単に構成でき、弾
性表面波フイルタの整合用にあるいは発振用素子
等に使用すれば効果が大きい。 As explained above, according to the first embodiment, it is possible to easily configure a surface acoustic wave element that works as an inductance element in a certain frequency band, and it can be used for matching a surface acoustic wave filter or as an oscillation element. If you do, the effect will be great.
なお、両側に配置されるすだれ状電極12A,
12Bを対称形にしてもよく、このときのL1,
L2の関係は前記(1)式でnが奇数の場合で示され
る。 Note that the interdigital electrodes 12A arranged on both sides,
12B may be made symmetrical, and in this case L 1 ,
The relationship of L 2 is shown in the above equation (1) when n is an odd number.
第6図は本発明の第2実施例を示す。この図に
おいて、弾性表面波素子20は、第2図に示した
すだれ状電極11,12A,12Bに加えてすだ
れ状電極11に電気的に直列に接続される励振用
すだれ状電極21を同一圧電基板上に設けた弾性
表面波変換器としての構成を示す。この場合、励
振用すだれ状電極21は容量性であるが、すだれ
状電極11,12A,12Bの部分を前述したよ
うに中心周波数にて整合する如く誘導性となるよ
うに設定すれば、結局端子22A,22B間の入
力インピーダンスを実質的に抵抗分のみとして電
気回路との間の整合を良好に行うことができる。
また、中心周波数から外れた周波数においてはイ
ンダクタンス素子としては働かず、すだれ状電極
11からエネルギを放射してしまい、励振用すだ
れ状電極21に達するエネルギが少なくなる。こ
のことはフイルタ特性のサイドローブの抑圧を意
味する。そして、このような弾性表面波素子20
を同一圧電基板上に二つ設ければ、弾性表面波フ
イルタを構成でき、この場合に挿入損失の低減、
フイルタ特性のサイドロープの抑圧が可能であ
る。 FIG. 6 shows a second embodiment of the invention. In this figure, the surface acoustic wave element 20 includes an excitation interdigital electrode 21 electrically connected in series to the interdigital electrode 11 in addition to the interdigital interdigital electrodes 11, 12A, and 12B shown in FIG. The configuration of a surface acoustic wave transducer provided on a substrate is shown. In this case, the excitation interdigital electrode 21 is capacitive, but if the interdigital electrodes 11, 12A, and 12B are set to be inductive so as to match at the center frequency as described above, the terminal Since the input impedance between 22A and 22B is substantially only a resistance component, good matching with the electric circuit can be achieved.
Furthermore, at frequencies outside the center frequency, it does not function as an inductance element, and energy is radiated from the interdigital electrode 11, resulting in less energy reaching the excitation interdigital electrode 21. This means suppression of side lobes of the filter characteristics. Then, such a surface acoustic wave element 20
By providing two on the same piezoelectric substrate, a surface acoustic wave filter can be constructed. In this case, insertion loss can be reduced,
It is possible to suppress side ropes of filter characteristics.
叙上のように、本発明によれば、所定の周波数
範囲でインダクタンス素子として機能する素子を
圧電基板上に構成可能であり、弾性表面波フイル
タ等に適用すれば特性の改善に極めて効果が大き
い。 As described above, according to the present invention, an element that functions as an inductance element in a predetermined frequency range can be constructed on a piezoelectric substrate, and when applied to a surface acoustic wave filter, etc., it is extremely effective in improving characteristics. .
第1図は従来の弾性表面波素子を整合する場合
を示す構成図、第2図は本発明に係る弾性表面波
素子の第1実施例を示す平面図、第3図はリアク
タンス及びQと距離L2との関係を示すグラフ、
第4図はリアクタンス及びQの周波数特性を示す
グラフ、第5図はリアクタンス及びQの対数Nに
対する変化を示すグラフ、第6図は本発明の第2
実施例を示す平面図である。
1……圧電基板、2,11,12A,12B,
21……すだれ状電極、10,20……弾性表面
波素子、13A,13B……導線。
Fig. 1 is a configuration diagram showing a case where conventional surface acoustic wave elements are matched, Fig. 2 is a plan view showing a first embodiment of the surface acoustic wave element according to the present invention, and Fig. 3 is a diagram showing reactance, Q, and distance. A graph showing the relationship with L 2 ,
FIG. 4 is a graph showing the frequency characteristics of reactance and Q, FIG. 5 is a graph showing changes in reactance and Q with respect to logarithm N, and FIG. 6 is a graph showing the frequency characteristics of reactance and Q.
FIG. 2 is a plan view showing an example. 1...Piezoelectric substrate, 2, 11, 12A, 12B,
21... Interdigital electrode, 10, 20... Surface acoustic wave element, 13A, 13B... Conducting wire.
Claims (1)
極の両側に配置されかつ相互に電気的に接続され
た第2、第3のすだれ状電極とを圧電基板上に設
け、前記第2、第3のすだれ状電極を同一形状又
は対称形状とし、前記第1のすだれ状電極と第
2、第3のすだれ状電極との距離を夫々L1,L2
としたとき、 L1=L2+nλ/2+(0.4〜0.6)λ (但し、同一形状のときはnは偶数、対称形状の
ときはnは奇数、λは波長) に設定し、かつ各すだれ状電極の電極指の対数を
20対以上に設定して、前記第1のすだれ状電極端
子間のインピーダンスが誘導性を示す如く構成し
たことを特徴とする弾性表面波素子。 2 第1のすだれ状電極と、該第1のすだれ状電
極の両側に配置されかつ相互に電気的に接続され
た第2、第3のすだれ状電極とを圧電基板上に設
け、前記第2、第3のすだれ状電極を同一形状又
は対称形状とし、前記第1のすだれ状電極と第
2、第3のすだれ状電極との距離を夫々L1,L2
としたとき、 L1=L2+nλ/2+(0.4〜0.6)λ (但し、同一形状のときはnは偶数、対称形状の
ときはnは奇数、λは波長) に設定し、かつ各すだれ状電極の電極指の対数を
20対以上に設定して、前記第1のすだれ状電極端
子間のインピーダンスが誘導性を示す如く構成す
るとともに、前記第1のすだれ状電極に電気的に
直列接続される励振用すだれ状電極を前記圧電基
板上に設けたことを特徴とする弾性表面波素子。[Claims] 1. A first interdigital electrode and second and third interdigital electrodes arranged on both sides of the first interdigital electrode and electrically connected to each other on a piezoelectric substrate. , the second and third interdigital electrodes have the same or symmetrical shape, and the distances between the first interdigital electrode and the second and third interdigital electrodes are L 1 and L 2 , respectively.
When the The logarithm of the electrode fingers of the shaped electrode is
2. A surface acoustic wave element, characterized in that the number of pairs is set at 20 or more so that the impedance between the first interdigital electrode terminals exhibits inductive properties. 2. A first interdigital electrode and second and third interdigital electrodes arranged on both sides of the first interdigital electrode and electrically connected to each other are provided on a piezoelectric substrate, , the third interdigital electrode has the same or symmetrical shape, and the distances between the first interdigital electrode and the second and third interdigital electrodes are L 1 and L 2 , respectively.
When the The logarithm of the electrode fingers of the shaped electrode is
The number of pairs is set to 20 or more so that the impedance between the first interdigital electrode terminals exhibits inductive properties, and the excitation interdigital electrode is electrically connected in series to the first interdigital electrode. A surface acoustic wave element provided on the piezoelectric substrate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1437081A JPS57129512A (en) | 1981-02-04 | 1981-02-04 | Surface acoustic wave element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1437081A JPS57129512A (en) | 1981-02-04 | 1981-02-04 | Surface acoustic wave element |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57129512A JPS57129512A (en) | 1982-08-11 |
| JPH0217964B2 true JPH0217964B2 (en) | 1990-04-24 |
Family
ID=11859154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1437081A Granted JPS57129512A (en) | 1981-02-04 | 1981-02-04 | Surface acoustic wave element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57129512A (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3181475B2 (en) * | 1994-08-12 | 2001-07-03 | ティーディーケイ株式会社 | Surface acoustic wave device |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53132246A (en) * | 1977-04-22 | 1978-11-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Elastic surface wave filter |
-
1981
- 1981-02-04 JP JP1437081A patent/JPS57129512A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57129512A (en) | 1982-08-11 |
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