JPH0219614B2 - - Google Patents
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- JPH0219614B2 JPH0219614B2 JP7300984A JP7300984A JPH0219614B2 JP H0219614 B2 JPH0219614 B2 JP H0219614B2 JP 7300984 A JP7300984 A JP 7300984A JP 7300984 A JP7300984 A JP 7300984A JP H0219614 B2 JPH0219614 B2 JP H0219614B2
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- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 13
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 5
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 claims description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 3
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GOJCZVPJCKEBQV-UHFFFAOYSA-N Butyl phthalyl butylglycolate Chemical compound CCCCOC(=O)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC GOJCZVPJCKEBQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 2
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000002003 electrode paste Substances 0.000 description 2
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000010835 comparative analysis Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical class OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
Description
〔発明に属する技術分野〕
本発明は電子部品として用いられる積属セラミ
ツクコンデンサ、多層基板等に使用するガイドホ
ールを有するグリーンシートの製造方法に関す
る。 〔従来の技術〕 従来、積層セラミツクコンデンサの製造に於て
は、誘電体材料を含むセラミツクグリーンシート
上に導電材料を含む内部電極ペーストを有効内部
電極が交互に平面方向に引き出せる様に印刷し、
所定の形状に目合せ、打抜き、積層して熱圧着し
ている。そして、この積層体を所定の形状に切断
後、焼成し、有効内部電極と垂直な面である、外
部電極取出し面に外部電極ペーストを塗布し、焼
付けるという方法が用いられている。 ところで、この有効内部電極を平行に取出す方
法は、有効電極と平行な同一面のみに電極を引き
出すことが出来ない。 〔発明の目的〕 本発明は、上記の如き欠点を解消するために、
高精度のガイドホールを有するグリーンシートを
容易に得ることのできる製造方法を提供すること
を目的とする。 〔発明の構成〕 本発明は、あらかじめ誘電体材料を含むスラリ
ーと、内部電極材料を含むスラリーを作成してお
き、ドクターブレイド法によりキヤリアフイルム
上に前者のグリーンシートを形成する。そして、
そのグリーンシートが未乾燥のうち、後者のスラ
リーを精密分割吐出装置を用いて定位置に定量吐
出させ、乾燥する。こうして得られたグリーンシ
ートは、グリーンシートを貫通するガイドホール
を有することになる。 本発明の方法は、具体的には無機絶縁性粉末、
導伝性粉末にそれぞれ有機成分である結合剤、可
塑剤および溶媒を所定量加え、ホモジナイザ、ボ
ールミル等の既知の混合方法でよく混合して２種
類のスラリーを作る。無機絶縁性粉末を含むスラ
リーをキヤリアフイルム上にドクターブレイド法
により一定厚みのシート状に抽出する。そして、
未乾燥中に導電性粉末を含むスラリーを精密吐出
装置により装置先端（スラリーとのぬれ性が悪い
ノズル）がキヤリアフイルム面に接触するように
して定量分吐出、注入した後、乾燥して用途に応
じ0.01〜0.2μｍの一定厚みのセラミツク生シート
を作成する。このようにして外径が0.05〜0.4mm
の導電性ガイドホールを有するセラミツクシート
を得ることができる。 このグリーンシートを用いて、例えば積層コン
デンサをつくる場合、このグリーンシート上に対
向電極を各々導通する様に印刷する。印刷後、キ
ヤリアフイルムよりグリーンシートを剥離し、位
置決めを行つて打抜き、積層、圧着する。更に、
所定位置より切断し、焼成する。更に、同一面内
に形成されている対向電極が各々取り出せる様
に、外部電極を形成する。こうして得られるコン
デンサは、有効電極と平行な同一面に対向電極を
有するコンデンサになり、従来のチツプ端面を利
用したコンデンサより、リード付け、実装の際の
耐熱性の優れた、つまりクラツクの入りにくい高
信頼性のコンデンサを製造することができる。 本発明の方法に用にる、無機絶縁性素材は、セ
ラミツク基板の場合は、アルミナ、マグネシア、
ステアタイトなど、圧電体、誘電体素材として
は、チタバリ、PZTなど、更に、磁性材料の場
合は各種フエライト材料等いずれでもよい。導電
性材料としては、銀、金、白金、パラジウム等が
ありいずれでもよい。また、有機結合剤として
は、ポリビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル、ポ
リビニルブチラール、エチルセルロース等がある
が、接着性の観点から、ポリビニルブチラール、
エチルセルロース等が好ましい。その他、可塑剤
としては、結合剤に応じて選択されるが、フタル
酸エステル系、グリコール系等が用いられる。結
合剤、可塑剤の量は、材料の収縮率によつて異る
が、成形性、加工性及び高密度化焼成を考慮して
１〜10wt％が好ましい。溶媒は結合剤に応じて
選択する。導電性のスラリー吐出にはステンレス
又はテフロンノズルの精密分割吐出装置が好まし
い。 本発明により得られたガイドホールを有するセ
ラミツクグリーンシートはガイドホール周辺部で
多少平滑さに欠けるが、導電材料で完全に充填さ
れた高信頼度なものになる。なお、グリーンシー
ト作成中にガイドホールを作成するのは、グリー
ンシート作成後にスルーホール作成する場合のよ
うに、抜きくず、バリ等の為に貫通孔が得難く、
信頼性を欠くのを防ぐ為であり、スルーホール作
成後の導電材料の塗布の際に再度問題になる上記
の欠陥を生じさせない方法として有効である。 〔実施例〕 セラミツク素材として、 Pb〔（Nb1/2、Fe1/2）0.67（W1/3、Fe2/3）0.33〕O3
の
組成を有する複合ペロブスカイト系誘電材料で
750℃予焼後、ボールミル粉砕したものを使用し
た。導電姓素材としては、（銀／パラジウム）＝
（80％／20％）比のものを使用した。この素材を
各々高速回転する撹拌羽根を有するホモジナイザ
で、前者は35wt％のエチルセロソルブ中に分散
させ、その後4wt％のポリビニルブチラール、
1wt％のブチルフタリルブチルグリコレートを加
え、よく混合してスラリーを作成する。同じく後
者は、30wt％のエチルセロソルブ、6wt％のポリ
ビニルブチラール1wt％のブチルフタリルブチル
グリコレートでスラリーを作成した。前者のスラ
リーをポリエステルフイルム上にドクターブレイ
ド法により40μｍ厚のグリーンシートを形成す
る。そのドクターブレイド流出直後、後者のスラ
リーを分割定量吐出装置にてグリーンシートに
0.002c.c.注入する。その後、100℃乾燥を行う。こ
のグリーンシートにキヤリアフイルム付着のまま
スクリーンでの電極、目合せ位置の印刷を行う。
（印刷は有効電極部、保護膜部の２ケ所分）印刷
後、グリーンシートからキヤリアフイルムを剥離
し、所定の大きさ（100mm×120mm）に打抜き、金
型内に積層し、250Kg／cm2、110℃で熱プレスし
た。 これを切断し、個別の積層セラミツクコンデン
サの生チツプを得た。これを所定の条件で脱バイ
ンダー後、焼成した。その積層セラミツクコンデ
ンサの外部電極取出し部に外部電極塗布、焼付け
して得られたコンデンサにリード付けを行い、ク
ラツク状態の観察、寿命試験により、従来方法と
の比較評価を行つた。その結果第１表に示す。
ツクコンデンサ、多層基板等に使用するガイドホ
ールを有するグリーンシートの製造方法に関す
る。 〔従来の技術〕 従来、積層セラミツクコンデンサの製造に於て
は、誘電体材料を含むセラミツクグリーンシート
上に導電材料を含む内部電極ペーストを有効内部
電極が交互に平面方向に引き出せる様に印刷し、
所定の形状に目合せ、打抜き、積層して熱圧着し
ている。そして、この積層体を所定の形状に切断
後、焼成し、有効内部電極と垂直な面である、外
部電極取出し面に外部電極ペーストを塗布し、焼
付けるという方法が用いられている。 ところで、この有効内部電極を平行に取出す方
法は、有効電極と平行な同一面のみに電極を引き
出すことが出来ない。 〔発明の目的〕 本発明は、上記の如き欠点を解消するために、
高精度のガイドホールを有するグリーンシートを
容易に得ることのできる製造方法を提供すること
を目的とする。 〔発明の構成〕 本発明は、あらかじめ誘電体材料を含むスラリ
ーと、内部電極材料を含むスラリーを作成してお
き、ドクターブレイド法によりキヤリアフイルム
上に前者のグリーンシートを形成する。そして、
そのグリーンシートが未乾燥のうち、後者のスラ
リーを精密分割吐出装置を用いて定位置に定量吐
出させ、乾燥する。こうして得られたグリーンシ
ートは、グリーンシートを貫通するガイドホール
を有することになる。 本発明の方法は、具体的には無機絶縁性粉末、
導伝性粉末にそれぞれ有機成分である結合剤、可
塑剤および溶媒を所定量加え、ホモジナイザ、ボ
ールミル等の既知の混合方法でよく混合して２種
類のスラリーを作る。無機絶縁性粉末を含むスラ
リーをキヤリアフイルム上にドクターブレイド法
により一定厚みのシート状に抽出する。そして、
未乾燥中に導電性粉末を含むスラリーを精密吐出
装置により装置先端（スラリーとのぬれ性が悪い
ノズル）がキヤリアフイルム面に接触するように
して定量分吐出、注入した後、乾燥して用途に応
じ0.01〜0.2μｍの一定厚みのセラミツク生シート
を作成する。このようにして外径が0.05〜0.4mm
の導電性ガイドホールを有するセラミツクシート
を得ることができる。 このグリーンシートを用いて、例えば積層コン
デンサをつくる場合、このグリーンシート上に対
向電極を各々導通する様に印刷する。印刷後、キ
ヤリアフイルムよりグリーンシートを剥離し、位
置決めを行つて打抜き、積層、圧着する。更に、
所定位置より切断し、焼成する。更に、同一面内
に形成されている対向電極が各々取り出せる様
に、外部電極を形成する。こうして得られるコン
デンサは、有効電極と平行な同一面に対向電極を
有するコンデンサになり、従来のチツプ端面を利
用したコンデンサより、リード付け、実装の際の
耐熱性の優れた、つまりクラツクの入りにくい高
信頼性のコンデンサを製造することができる。 本発明の方法に用にる、無機絶縁性素材は、セ
ラミツク基板の場合は、アルミナ、マグネシア、
ステアタイトなど、圧電体、誘電体素材として
は、チタバリ、PZTなど、更に、磁性材料の場
合は各種フエライト材料等いずれでもよい。導電
性材料としては、銀、金、白金、パラジウム等が
ありいずれでもよい。また、有機結合剤として
は、ポリビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル、ポ
リビニルブチラール、エチルセルロース等がある
が、接着性の観点から、ポリビニルブチラール、
エチルセルロース等が好ましい。その他、可塑剤
としては、結合剤に応じて選択されるが、フタル
酸エステル系、グリコール系等が用いられる。結
合剤、可塑剤の量は、材料の収縮率によつて異る
が、成形性、加工性及び高密度化焼成を考慮して
１〜10wt％が好ましい。溶媒は結合剤に応じて
選択する。導電性のスラリー吐出にはステンレス
又はテフロンノズルの精密分割吐出装置が好まし
い。 本発明により得られたガイドホールを有するセ
ラミツクグリーンシートはガイドホール周辺部で
多少平滑さに欠けるが、導電材料で完全に充填さ
れた高信頼度なものになる。なお、グリーンシー
ト作成中にガイドホールを作成するのは、グリー
ンシート作成後にスルーホール作成する場合のよ
うに、抜きくず、バリ等の為に貫通孔が得難く、
信頼性を欠くのを防ぐ為であり、スルーホール作
成後の導電材料の塗布の際に再度問題になる上記
の欠陥を生じさせない方法として有効である。 〔実施例〕 セラミツク素材として、 Pb〔（Nb1/2、Fe1/2）0.67（W1/3、Fe2/3）0.33〕O3
の
組成を有する複合ペロブスカイト系誘電材料で
750℃予焼後、ボールミル粉砕したものを使用し
た。導電姓素材としては、（銀／パラジウム）＝
（80％／20％）比のものを使用した。この素材を
各々高速回転する撹拌羽根を有するホモジナイザ
で、前者は35wt％のエチルセロソルブ中に分散
させ、その後4wt％のポリビニルブチラール、
1wt％のブチルフタリルブチルグリコレートを加
え、よく混合してスラリーを作成する。同じく後
者は、30wt％のエチルセロソルブ、6wt％のポリ
ビニルブチラール1wt％のブチルフタリルブチル
グリコレートでスラリーを作成した。前者のスラ
リーをポリエステルフイルム上にドクターブレイ
ド法により40μｍ厚のグリーンシートを形成す
る。そのドクターブレイド流出直後、後者のスラ
リーを分割定量吐出装置にてグリーンシートに
0.002c.c.注入する。その後、100℃乾燥を行う。こ
のグリーンシートにキヤリアフイルム付着のまま
スクリーンでの電極、目合せ位置の印刷を行う。
（印刷は有効電極部、保護膜部の２ケ所分）印刷
後、グリーンシートからキヤリアフイルムを剥離
し、所定の大きさ（100mm×120mm）に打抜き、金
型内に積層し、250Kg／cm2、110℃で熱プレスし
た。 これを切断し、個別の積層セラミツクコンデン
サの生チツプを得た。これを所定の条件で脱バイ
ンダー後、焼成した。その積層セラミツクコンデ
ンサの外部電極取出し部に外部電極塗布、焼付け
して得られたコンデンサにリード付けを行い、ク
ラツク状態の観察、寿命試験により、従来方法と
の比較評価を行つた。その結果第１表に示す。
【表】
本発明では、以上説明してきたようにガイドホ
ールを良好に形成することができるために、従来
の方法では生産性が低く、信頼性に問題があつた
ところを大幅に改善できる。
ールを良好に形成することができるために、従来
の方法では生産性が低く、信頼性に問題があつた
ところを大幅に改善できる。
第１図は本発明により得られた積層セラミツク
コンデンサの断面図、第２図は本発明により得ら
れた積層チツプインダクタの分解図。 図中、１はグリーンシート、２は有効電極膜、
３は外部電極、４はガイドホール。
コンデンサの断面図、第２図は本発明により得ら
れた積層チツプインダクタの分解図。 図中、１はグリーンシート、２は有効電極膜、
３は外部電極、４はガイドホール。
Claims (1)
- １ 無機絶縁性粉末と有機結合剤及び可塑剤等を
含むスラリーをドクターブレイド法によりキヤリ
アシート上に成膜、乾燥して10〜200μｍ厚のグ
リーンシートを得、該シートが未乾燥のうちに導
電性無機材料を含むペーストを該グリーンシート
中に注入し、所定の乾燥を行なうことにより、導
通用のガイドホールを形成したことを特徴とする
セラミツクグリーンシートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7300984A JPS60217621A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | セラミツクグリ−ンシ−トの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7300984A JPS60217621A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | セラミツクグリ−ンシ−トの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60217621A JPS60217621A (ja) | 1985-10-31 |
| JPH0219614B2 true JPH0219614B2 (ja) | 1990-05-02 |
Family
ID=13505909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7300984A Granted JPS60217621A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | セラミツクグリ−ンシ−トの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60217621A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1906715B (zh) * | 2004-12-20 | 2010-06-16 | 株式会社村田制作所 | 层压陶瓷电子元件及其制造方法 |
-
1984
- 1984-04-13 JP JP7300984A patent/JPS60217621A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60217621A (ja) | 1985-10-31 |
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