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JPH0230607B2 - SUISHOSHINDOSHINOHOJIHOHO - Google Patents
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JPH0230607B2 - SUISHOSHINDOSHINOHOJIHOHO - Google Patents

SUISHOSHINDOSHINOHOJIHOHO

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JPH0230607B2
JPH0230607B2 JP378483A JP378483A JPH0230607B2 JP H0230607 B2 JPH0230607 B2 JP H0230607B2 JP 378483 A JP378483 A JP 378483A JP 378483 A JP378483 A JP 378483A JP H0230607 B2 JPH0230607 B2 JP H0230607B2
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gold
fixed
solder
crystal resonator
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JP378483A
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Hozumi Nakada
Minoru Ishihara
Hideaki Matsudo
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Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
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Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/0504Holders or supports for bulk acoustic wave devices
    • H03H9/0514Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
    • H03H9/0519Holders or supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps for cantilever

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、水晶振動子の保持方法に関する。[Detailed description of the invention] The present invention relates to a method for holding a crystal resonator.

屈曲振動を行なう音叉形水晶振動子は、その小
型化に伴なつて電子式腕時計用の基準振動子とし
て広く一般に普及されてきている。このような電
子式腕時計に用いられる音叉形水晶振動子に要求
される特性としては、Q値が高いことや、小型で
あることも要求されるが、さらに、耐振性、耐衝
撃性に優れていることや、周波数経年変化が少な
いことが要求される。
Tuning fork crystal resonators that perform bending vibrations have become widely used as reference resonators for electronic wristwatches as they have become smaller. The characteristics required of the tuning fork crystal unit used in such electronic wristwatches include a high Q value and small size, but they also have excellent vibration resistance and shock resistance. It is also required that the frequency change over time is small.

第1図は、従来の音叉形水晶振動子の保持構造
を示す図であり、同図aは斜視図、同図bは同図
aをB―B面で切断した断面図、同図cは同図a
をA方向から見た図、同図dは下記する保持器リ
ード線4を示す図、同図eは下記する支持台8を
示す図である。同図aないしeにおいて1は音叉
形にカツトされた音叉形水晶板である。2,3は
ニツケルと金の合金又はクロムと金の合金よりな
る電極であり、該電極2,3はニツケルと金の合
金又はクロムと金の合金を上記音叉形水晶板1上
に真空蒸着の方法又はスパツター等の方法により
被着されている。4は保持器リード線であり、該
保持器リード線4は上記の電極3の一部を成すパ
ツド部3aと固着される。この固着の方法はまず
〔1〕同図dに示すように、保持器リード線4の、
パツド部3aと固着する固着部分4aの表面に、
コバール材からなる薄層6aを形成し、そのコバ
ール層6aの表面に銅材又はニツケル材からなる
薄層6bを形成し、さらにその銅層又はニツケル
層6bの表面に半田材からなる薄層6cを形成す
る。又は該固着部分4aに、鉄材からなる薄層6
aを形成し、その鉄層6aの表面にニツケル材か
らなる薄層6bを形成し、さらにそのニツケル層
6bの表面に半田材からなる薄層6cを形成して
もよい。6は、これらの層からなる固着部分の固
着層である。そして、〔2〕該固着層6を、電極
3のパツド部3aに接触させ、該接触部に熱エネ
ルギーを加え、固着層6の表面に形成された半田
層6cを熔融させる。熔融された半田は、その表
面張力によりパツド部3aと固着部分4aの周辺
の隙間を埋める。その後、〔3〕該半田層6cの
半田を冷却、固体化すれば保持器リード線4とパ
ツド部3aの固着は完了するのである。8は保持
器台9と一体に形成された支持台であり、該支持
台8はその上面でパツド部3aの逆の電極である
電極2のパツド部2aと固着される。その固着の
方法は、上記の保持器リード線4とパツド部3a
との固着の方法と同じである。すなわち、この固
着の方法はまず〔1〕同図eに示すように、支持
台8のパツド部2aと固着する固着部分8aの表
面に、コバール材からなる薄層6′aを形成し、
そのコバール層6′aの表面に銅材又はニツケル
材からなる薄層6′bを形成し、さらにその銅層
又はニツケル層6′bの表面に半田材からなる薄
層6′cを形成する。又は該固着部分8bに、鉄
材からなる薄層6′aを形成し、その鉄層6′aの
表面にニツケル材かなる薄層6′bを形成し、さ
らにそのニツケル層6′bの表面に半田材からな
る薄層6′cを形成してもよい。6′は、これらの
層からなる固着層を示めす。そして、〔2〕該固
着層6′を、電極2のパツド部2aに接触させ、
該接触部に熱エネルギーを加え、固着層6′の表
面に形成された半田層6′cを熔融させる。熔融
された半田は、その表面張力によりパツド部2a
と固着部分8bの周辺の隙間を埋める。その後、
〔3〕該半田層の半田を冷却、固体化すれば支持
台8とパツド部2aの固着は完了するのである。
なお上記支持台8、保持器台9の材質としては、
コバール材等の導電性材料が用いられる。5は端
子であり、その一端は上記の保持器リード線4と
通常の固着方法で固着された電気的に線続される
とともに、保持基台9に設けられた穴部7を貫通
する。該穴部7は低融点ガラス等の絶縁物質で気
密化されるとともに端子5を固定する。10は端
子であり、保持器台9に半田等の導電性固着材料
で直接固着される。端子5は電極3と導通し、端
子10は電極2と導通することとなる。
Fig. 1 is a diagram showing a holding structure of a conventional tuning fork crystal resonator, in which Fig. 1a is a perspective view, Fig. 1b is a sectional view taken along plane B--B of Fig. 1a, and Fig. 1c is a Figure a
, viewed from direction A, d of the same figure is a view showing the retainer lead wire 4 described below, and e of the same figure is a view showing the support stand 8 described below. In the figures a to e, reference numeral 1 denotes a tuning fork-shaped crystal plate cut into a tuning fork shape. Reference numerals 2 and 3 denote electrodes made of a nickel-gold alloy or a chromium-gold alloy, and the electrodes 2 and 3 are made by vacuum-depositing a nickel-gold alloy or a chromium-gold alloy onto the tuning fork-shaped crystal plate 1. It is applied by a method such as a sputtering method or a sputtering method. Reference numeral 4 denotes a holder lead wire, and the holder lead wire 4 is fixed to a pad portion 3a forming a part of the electrode 3 described above. This fixing method is first [1] As shown in d of the same figure, the retainer lead wire 4 is
On the surface of the fixed part 4a that is fixed to the pad part 3a,
A thin layer 6a made of Kovar material is formed, a thin layer 6b made of a copper material or a nickel material is formed on the surface of the Kovar layer 6a, and a thin layer 6c made of a solder material is further formed on the surface of the copper layer or nickel layer 6b. form. Or a thin layer 6 made of iron material is attached to the fixed portion 4a.
a, a thin layer 6b made of nickel material may be formed on the surface of the iron layer 6a, and further a thin layer 6c made of solder material may be formed on the surface of the nickel layer 6b. Reference numeral 6 denotes a fixed layer of the fixed portion made up of these layers. [2] The adhesive layer 6 is brought into contact with the pad portion 3a of the electrode 3, and thermal energy is applied to the contact portion to melt the solder layer 6c formed on the surface of the adhesive layer 6. The molten solder fills the gap around the pad portion 3a and the fixed portion 4a due to its surface tension. After that, [3] the solder in the solder layer 6c is cooled and solidified to complete the fixation between the retainer lead wire 4 and the pad portion 3a. Reference numeral 8 denotes a support base formed integrally with the retainer base 9, and the support base 8 is fixed on its upper surface to the pad portion 2a of the electrode 2, which is the electrode opposite to the pad portion 3a. The fixing method is to connect the cage lead wire 4 and the pad portion 3a as described above.
The method of fixation is the same as that of . That is, this fixing method is as follows: [1] As shown in FIG.
A thin layer 6'b made of a copper material or a nickel material is formed on the surface of the Kovar layer 6'a, and a thin layer 6'c made of a solder material is further formed on the surface of the copper layer or nickel layer 6'b. . Alternatively, a thin layer 6'a made of iron material is formed on the fixed portion 8b, a thin layer 6'b made of nickel material is formed on the surface of the iron layer 6'a, and further the surface of the nickel layer 6'b is A thin layer 6'c of solder material may be formed on the surface. 6' indicates a fixed layer composed of these layers. [2] Bringing the fixed layer 6' into contact with the pad portion 2a of the electrode 2,
Heat energy is applied to the contact portion to melt the solder layer 6'c formed on the surface of the fixed layer 6'. The molten solder sticks to the pad part 2a due to its surface tension.
and the gap around the fixed portion 8b is filled. after that,
[3] When the solder in the solder layer is cooled and solidified, the adhesion between the support base 8 and the pad portion 2a is completed.
The materials of the support stand 8 and retainer stand 9 are as follows:
A conductive material such as Kovar material is used. Reference numeral 5 denotes a terminal, one end of which is electrically connected to the above-mentioned retainer lead wire 4 by a conventional fixing method, and passes through a hole 7 provided in the holding base 9. The hole 7 is made airtight with an insulating material such as low melting point glass, and the terminal 5 is fixed therein. Reference numeral 10 denotes a terminal, which is directly fixed to the retainer base 9 with a conductive fixing material such as solder. The terminal 5 will be electrically connected to the electrode 3, and the terminal 10 will be electrically connected to the electrode 2.

しかし上記した保持器リード線4とパツド部3
aとの固着の方法及び支持台8とパツド部2aと
の固着の方法では経年変化により電極材料に使用
した金が他の金属によつて、いわゆる金喰はれ
や、金の拡散の現象を起こし、これによつて、周
波数が変化してしまうばかりか、該固着部分の固
着力が弱くなることにより落下や振動等の衝撃に
弱くなるという欠点を有していた。この金喰はれ
や、金の拡散の現象は特に高温(たとえば+85
℃)で顕著に現われる。
However, the cage lead wire 4 and pad portion 3 described above
a and the method of fixing the support base 8 and the pad part 2a, due to aging, the gold used for the electrode material may be affected by other metals, causing phenomena such as so-called gold flaking and gold diffusion. This not only changes the frequency but also weakens the adhesion force of the adhering portion, making it vulnerable to shocks such as drops and vibrations. This phenomenon of gold erosion and gold diffusion occurs especially at high temperatures (e.g. +85
℃).

本発明の目的は、経年変化によつて、水晶振動
子の周波数が変化したりせず、また保持器リード
線と水晶振動子の電極のパツド部の固着部分及び
支持台とパツド部の固着部分の固着力が弱くなつ
たりしない水晶振動子の保持器への保持方法を提
供することにある。
The purpose of the present invention is to prevent the frequency of the crystal resonator from changing due to aging, and to prevent the fixed portions of the cage lead wire and the pad portion of the electrode of the crystal resonator, and the fixed portions between the support base and the pad portion. It is an object of the present invention to provide a method for holding a crystal resonator in a holder in which the fixing force of the crystal oscillator is not weakened or sagged.

次に本発明の一実施例を、図面を用いて詳細に
説明する。尚、上記従来例と同一部分には同一符
号を付し、その詳細な説明は省略する。
Next, one embodiment of the present invention will be described in detail using the drawings. Incidentally, the same parts as in the above conventional example are given the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted.

第2図aないしeは本発明に係る水晶振動子の
保持方法の一実施例を示すものである。ここにお
いて、1は音叉形水晶板、2,3は電極、3a及
び2aはパツド部、4は保持器リード線、4a及
び8aは固着部分、5及び10は端子、6及び
6′は固着層、7は穴部、8は支持台、9は保持
器台である点は上記従来例と同様である。20a
は金より成る金層であり、電極のパツド部3aの
表面に電気メツキによつて厚く形成される。20
bも金より成る金層であり、電極のパツド部2a
の表面に電気メツキによつて厚く形成される。こ
こにおいて、保持器リード線4の固着部分4aと
パツド部3a上の金層20aの固着は次のように
行なわれる。即ち、〔1〕保持器リード線4の、
パツド部3aと固着する固着部分4aの表面に、
コバール材からなる薄層6aを形成し、そのコバ
ール層6aの表面に銅材又はニツケル材からなる
薄層6bを形成し、さらにその銅層又はニツケル
層6bの表面に半田材からなる薄層6cを形成す
る。又は該固着部分4aに、鉄材からなる薄層6
aを形成し、その鉄層6aの表面にニツケル材か
らなる薄層6bを形成し、さらにそのニツケル層
6bの表面に半田材からなる薄層6cを形成して
もよい。6が、これらの層からなる固着材を示め
すことは上記の従来例と同じである。そして、
〔2〕該固着層6と、パツド部3a上の金層20
aとの間に固着材として金ゲルマニウム
(AuGe)または金シリコン(AuSi)の所定量の
小片を介して該固着層6と、パツド部3a上の金
層20aとを押圧する。そして、〔3〕該固着層
6と、該固着材としての金ゲルマニウムまたは金
シリコンと、パツド部3a上の金層20aとに熱
エネルギーを加えると、固着層6の表面に形成さ
れた半田材及び固着材としての金ゲルマニウムま
たは金シリコンが熔融し、その表面張力により金
層20aの上面と固着部分4aの周辺との隙間が
埋まる。その後、〔4〕該半田材及び固着材とし
ての金ゲルマニウムまたは金シリコンを冷却、固
体化すれば保持器リード線4と金層20aとの固
着は完了するのである。
FIGS. 2a to 2e show an embodiment of a method for holding a crystal resonator according to the present invention. Here, 1 is a tuning fork-shaped crystal plate, 2 and 3 are electrodes, 3a and 2a are pad parts, 4 is a retainer lead wire, 4a and 8a are fixed parts, 5 and 10 are terminals, and 6 and 6' are fixed layers. , 7 is a hole, 8 is a support stand, and 9 is a retainer stand, which are similar to the above conventional example. 20a
is a gold layer made of gold, and is thickly formed on the surface of the pad portion 3a of the electrode by electroplating. 20
b is also a gold layer made of gold, and the pad part 2a of the electrode
The surface is thickly formed by electroplating. Here, the fixing portion 4a of the retainer lead wire 4 and the gold layer 20a on the pad portion 3a are fixed as follows. That is, [1] of the cage lead wire 4,
On the surface of the fixed part 4a that is fixed to the pad part 3a,
A thin layer 6a made of Kovar material is formed, a thin layer 6b made of a copper material or a nickel material is formed on the surface of the Kovar layer 6a, and a thin layer 6c made of a solder material is further formed on the surface of the copper layer or nickel layer 6b. form. Or a thin layer 6 made of iron material is attached to the fixed portion 4a.
a, a thin layer 6b made of nickel material may be formed on the surface of the iron layer 6a, and further a thin layer 6c made of solder material may be formed on the surface of the nickel layer 6b. The reference numeral 6 indicates a fixing material made of these layers, which is the same as the above-mentioned conventional example. and,
[2] The fixed layer 6 and the gold layer 20 on the pad portion 3a
The fixing layer 6 and the gold layer 20a on the pad portion 3a are pressed through a predetermined amount of small pieces of gold germanium (AuGe) or gold silicon (AuSi) as a fixing material between the bonding layer 6 and the pad portion 3a. [3] When thermal energy is applied to the fixed layer 6, the gold germanium or gold silicon as the fixed material, and the gold layer 20a on the pad portion 3a, the solder material formed on the surface of the fixed layer 6 is Gold germanium or gold silicon serving as a bonding material is melted, and the gap between the upper surface of the gold layer 20a and the periphery of the bonded portion 4a is filled by its surface tension. After that, [4] the solder material and the gold germanium or gold silicon as the fixing material are cooled and solidified to complete the fixing between the retainer lead wire 4 and the gold layer 20a.

8は保持器台9と一体に形成された支持台であ
り、該支持台8の固着部分8aとパツド部2a上
の金層20bとは固着される。その固着の方法
は、上記の保持器リード線4の固着部分4aとパ
ツド部3a上の金層20aとの固着の方法と同じ
である。すなわち、この固着の方法はまず〔1〕
支持台8の、パツド部2aと固着する固着部分8
aの表面に、第2図eに示すようにコバール材か
らなる薄層6′aを形成し、そのコバール層6′a
の表面に銅材又はニツケル材からなる薄層6′b
を形成し、さらにその銅層又はニツケル層6′b
の表面に半田材からなる薄層6′cを形成する。
又は該固着部分8aに、鉄材からなる薄層6′a
を形成し、その鉄層6′aの表面にニツケル材か
らなる薄層6′bを形成し、さらにそのニツケル
層6′bの表面に半田材からなる薄層6′cを形成
してもよい。6′は、これらの層からなる固着層
を示めす。そして、〔2〕該固着層6′と、パツド
部2a上の金層20bとの間に固着材とて金ゲル
マニウム(AuGe)または金シリコン(AuSi)の
所定量の小片を介して該固着層6′と、パツド部
2a上の金層20bとを押圧する。そして、〔3〕
該固着層6′と、該固着材としての金ゲルマニウ
ムまたは金シリコンと、パツド部2a上の金層2
0bとに熱エネルギーを加えると、固着層6′の
表面に形成された半田材及び固着材としての金ゲ
ルマニウムまたは金シリコンが熔融し、その表面
張力により金層20bの上面と固着部分8aの周
辺との隙間が埋まる。その後、〔4〕該半田材及
び固着材としての金ゲルマニウムまたは金シリコ
ンを冷却、固体化すれば支持台8と金層20bと
の固着は完了するのである。
Reference numeral 8 denotes a support base formed integrally with the cage base 9, and the fixed portion 8a of the support base 8 and the gold layer 20b on the pad portion 2a are fixed. The method of fixing is the same as the method of fixing the fixed portion 4a of the retainer lead wire 4 and the gold layer 20a on the pad portion 3a described above. In other words, this fixing method is first [1]
A fixed part 8 of the support base 8 that is fixed to the pad part 2a
A thin layer 6'a made of Kovar material is formed on the surface of the layer 6'a as shown in FIG.
A thin layer 6'b made of copper material or nickel material on the surface of
and further the copper layer or nickel layer 6'b
A thin layer 6'c of solder material is formed on the surface of the solder material.
Or a thin layer 6'a made of iron material is attached to the fixed portion 8a.
, a thin layer 6'b made of nickel material is formed on the surface of the iron layer 6'a, and a thin layer 6'c made of solder material is further formed on the surface of the nickel layer 6'b. good. 6' indicates a fixed layer composed of these layers. [2] A predetermined amount of small pieces of gold germanium (AuGe) or gold silicon (AuSi) is interposed between the fixed layer 6' and the gold layer 20b on the pad portion 2a as a fixed layer. 6' and the gold layer 20b on the pad portion 2a. And [3]
The fixing layer 6', gold germanium or gold silicon as the fixing material, and the gold layer 2 on the pad portion 2a.
When thermal energy is applied to the bonding layer 20b, the solder material formed on the surface of the bonding layer 6' and the gold germanium or gold silicon serving as the bonding material melts, and the surface tension causes the top surface of the gold layer 20b and the periphery of the bonding portion 8a to melt. The gap between the two will be filled. After that, [4] the solder material and the gold germanium or gold silicon as the fixing material are cooled and solidified, thereby completing the fixation between the support base 8 and the gold layer 20b.

以上のように、コバール層、銅層、半田層等を
形成した保持器リード線4、支持台8と、電極
3,2の表面に形成された金層を金ゲルマニウム
または金シリコンからなる固着材を介して固着す
れば、金ゲルマニウムまたは金シリコンが温度に
対して安定しているから、たとえ高温(たとえば
+85℃)であつたとしても経年変化により電極材
料に使用した金が他の金属によつて、いわゆる金
喰はれや、金の拡散の現象を起こすことはなく、
したがつて、周波数が変化することもなく、また
固着部分の固着力が弱くなることもない。
As described above, the cage lead wire 4 and the support base 8 on which the Kovar layer, copper layer, solder layer, etc. Gold-germanium or gold-silicon is stable against temperature, so even if the temperature is high (e.g. +85°C), the gold used for the electrode material will not be absorbed by other metals due to aging. Therefore, there is no phenomenon of so-called gold-eating swelling or gold diffusion.
Therefore, the frequency does not change, and the adhesion force of the adhering portion does not become weaker.

第3図は、本発明に係る水晶振動子の保持方法
の他の実施例を示す斜視図である。31は音叉形
水晶板、32,33は電極、33aはパツド部、
34,35は保持器リード線、34aは固着部
分、36は固着層、37は金層であり、それぞれ
第2図の音叉形水晶振動板1、電極2,3、パツ
ド部3a、保持器リード線4、固着部分4a、固
着層6、金層20aに相当する。そして、保持器
リード線34の金層37への固着方法は、上記の
第2図における保持器リード線4と金層20aと
の固着方法と同じである。即ち、〔1〕保持器リ
ード線34の、パツド部33aと固着する固着部
分34aの表面に、コバール材からなる薄層を形
成し、そのコバール層の表面に銅材又はニツケル
材からなる薄層を形成し、さらにその銅層又はニ
ツケル層の表面に半田材からなる薄層を形成す
る。又は該固着部分34aの表面に、鉄材からな
る薄層を形成し、その鉄層の表面にニツケル材か
らなる薄層を形成し、さらにそのニツケル層の表
面に半田材からなる薄層を形成してもよい。36
は、これらの層からなる固着層を示めす。そし
て、〔2〕該固着層36と、パツド部33a上の
金層37との間に固着材として金ゲルマニウム
(AuGe)または金シリコン(AuSi)の所定量の
小片を介して該固着層36と、パツド部33a上
の金層37とを押圧する。そして、〔3〕該固着
層36と、該固着材としての金ゲルマニウムまた
は金シリコンと、該パツド部33a上の金層37
とに熱エネルギーを加えると、固着層36の表面
に形成された半田材及び固着材としての金ゲルマ
ニウムまたは金シリコンが熔融し、その表面張力
により金層37の上面及び固着部分34aの周辺
の隙間が埋まる。その後、〔4〕該半田材及び固
着材としての金ゲルマニウムまたは金シリコンを
冷却、固体化すれば保持器リード線34と金層3
7との固着は完了するのである。
FIG. 3 is a perspective view showing another embodiment of the method for holding a crystal resonator according to the present invention. 31 is a tuning fork-shaped crystal plate, 32 and 33 are electrodes, 33a is a pad part,
34 and 35 are cage lead wires, 34a is a fixed portion, 36 is a fixed layer, and 37 is a gold layer, which respectively correspond to the tuning fork-shaped crystal diaphragm 1, electrodes 2, 3, pad portion 3a, and cage lead in FIG. This corresponds to the wire 4, the fixed portion 4a, the fixed layer 6, and the gold layer 20a. The method of fixing the cage lead wire 34 to the gold layer 37 is the same as the method of fixing the cage lead wire 4 and the gold layer 20a in FIG. 2 above. That is, [1] A thin layer made of Kovar material is formed on the surface of the fixed part 34a of the retainer lead wire 34 that is fixed to the pad part 33a, and a thin layer made of copper material or nickel material is formed on the surface of the Kovar layer. A thin layer of solder material is further formed on the surface of the copper layer or nickel layer. Alternatively, a thin layer made of iron material is formed on the surface of the fixed portion 34a, a thin layer made of nickel material is formed on the surface of the iron layer, and a thin layer made of solder material is further formed on the surface of the nickel layer. It's okay. 36
indicates a fixed layer consisting of these layers. [2] A predetermined amount of small pieces of gold germanium (AuGe) or gold silicon (AuSi) is interposed between the fixing layer 36 and the gold layer 37 on the pad portion 33a as a fixing material. , and the gold layer 37 on the pad portion 33a. [3] The fixing layer 36, gold germanium or gold silicon as the fixing material, and the gold layer 37 on the pad portion 33a.
When heat energy is applied to the solder material and the gold germanium or gold silicon as the adhesive material formed on the surface of the adhesive layer 36, the solder material and the gold germanium or gold silicon as the adhesive material are melted, and due to the surface tension, the gap around the upper surface of the gold layer 37 and the adhesive part 34a is is filled. [4] After cooling and solidifying the solder material and the gold germanium or gold silicon as the fixing material, the cage lead wire 34 and the gold layer 3
The fixation with 7 is completed.

なお以上の実施例においては水晶板として音叉
形にカツトしたものを用いたが、本発明は音叉形
にカツトした水晶板に限定されることはなく、他
のカツトを施した水晶板たとえばATカツト等を
施した水晶板を用いても良いことは言うまでもな
い。
In the above embodiments, a crystal plate cut into a tuning fork shape was used as the crystal plate, but the present invention is not limited to a crystal plate cut into a tuning fork shape. Needless to say, a crystal plate treated with the above-mentioned methods may also be used.

以上詳細に説明したように、本発明は水晶振動
子上のパツド部を、水晶振動子の保持器に保持す
る保持方法において、パツド部の表面に金層を形
成するとともに、水晶振動子の保持器の固着部分
の表面にコバール材よりなるコバール層を、該コ
バール層の表面に銅材よりなる銅層またはニツケ
ル材よりなるニツケル層を、該銅層または該ニツ
ケル層の表面に半田材よりなる半田層を形成し、
パツド部の金層と固着部分の半田層を、温度に対
して安定している金と半導体の合金からなる固着
材を介して固着することとするか、または水晶振
動子上のパツド部を、水晶振動子の保持器に保持
する保持方法において、パツド部の表面に金層を
形成するとともに、水晶振動子の保持器の固着部
分の表面に鉄材よりなる鉄層を、該鉄層の表面に
ニツケル材よりなるニツケル層を、該ニツケル層
の表面に半田材よりなる半田層を形成し、パツド
部の金層と固着部分の半田層を、温度に対して安
定している金と半導体の合金からなる固着材を介
して固着することとしたので、たとえ高温(たと
えば+85℃)であつたとしても経年変化により電
極材料に使用した金が他の金属によつて、いわゆ
る金喰はれや、金の拡散の現象を起こすことはな
く、したがつて、周波数が変化することもなく、
また固着部分の固着力が弱くなることもないとい
う効果を有する。
As explained in detail above, the present invention provides a holding method for holding a pad portion on a crystal resonator in a holder for the crystal resonator, in which a gold layer is formed on the surface of the pad portion, and a gold layer is formed on the surface of the pad portion. A Kovar layer made of a Kovar material is placed on the surface of the fixed part of the device, a copper layer made of a copper material or a nickel layer made of a nickel material is placed on the surface of the Kovar layer, and a solder material is placed on the surface of the copper layer or the nickel layer. form a solder layer,
Either the gold layer on the pad part and the solder layer on the fixed part are fixed via a bonding material made of an alloy of gold and semiconductor that is stable against temperature, or the pad part on the crystal resonator is fixed to the solder layer on the fixed part. In a holding method for holding a crystal resonator in a holder, a gold layer is formed on the surface of the pad part, and an iron layer made of iron material is placed on the surface of the fixed part of the holder of the crystal oscillator. A nickel layer made of a nickel material is formed, a solder layer made of a solder material is formed on the surface of the nickel layer, and the gold layer on the pad part and the solder layer on the fixed part are made of an alloy of gold and semiconductor that is stable against temperature. Since we decided to use a bonding material made of , even at high temperatures (e.g. +85°C), the gold used for the electrode material may deteriorate over time due to other metals, causing so-called gold erosion. It does not cause the phenomenon of gold diffusion and therefore the frequency does not change.
Further, it has the effect that the adhesion force of the adhesion portion does not become weak.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、従来の音叉形水晶振動子の保持構造
を示す図であり、同図aは斜視図、同図bは同図
aをB―B面で切断した断面図、同図cは同図a
をA方向から見た図、同図dは保持器リード線4
を示す図、同図eは支持台8を示す図である。第
2図aないしeは本発明に係る水晶振動子の保持
方法の実施例を示す図であり、同図aは斜視図、
同図bは同図aをB―B面で切断した断面図、同
図cは同図aをA方向から見た図、同図dは保持
器リード線4を示す図、同図eは支持台8を示す
図である。第3図は、本発明に係る水晶振動子の
保持方法の他の実施例を示す斜視図である。 1……音叉形水晶板、2……電極、2a……パ
ツド部、3……電極、3a……パツド部、4……
保持器リード線、4a……固着部分、5……端
子、6……固着層、6a〜6c……薄層、6′…
…固着層、6′a〜6′c……薄層、7……穴部、
8……支持台、8a……固着部分、9……保持器
台、10……端子、20a……金層、20b……
金層、31……音叉形水晶板、32……電極、3
3……電極、33a……パツド部、34……保持
器リード線、34a……固着部分、35……保持
器リード線、36……固着層、37……金層。
Fig. 1 is a diagram showing a holding structure of a conventional tuning fork crystal resonator, in which Fig. 1a is a perspective view, Fig. 1b is a sectional view taken along plane B--B of Fig. 1a, and Fig. 1c is a Figure a
is seen from direction A, and d in the same figure shows the cage lead wire 4.
FIG. 3E is a diagram showing the support base 8. Figures 2a to 2e are views showing an embodiment of the method for holding a crystal resonator according to the present invention, and Figure 2a is a perspective view;
Figure b is a cross-sectional view of figure a taken along plane B-B, figure c is a view of figure a seen from direction A, figure d is a figure showing the cage lead wire 4, figure e is 3 is a diagram showing a support stand 8. FIG. FIG. 3 is a perspective view showing another embodiment of the method for holding a crystal resonator according to the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Tuning fork-shaped crystal plate, 2... Electrode, 2a... Pad part, 3... Electrode, 3a... Pad part, 4...
Cage lead wire, 4a...Fixed portion, 5...Terminal, 6...Fixed layer, 6a to 6c...Thin layer, 6'...
... Fixed layer, 6'a to 6'c... Thin layer, 7... Hole,
8...Support stand, 8a...Fixed portion, 9...Cage base, 10...Terminal, 20a...Gold layer, 20b...
Gold layer, 31... Tuning fork-shaped crystal plate, 32... Electrode, 3
3... Electrode, 33a... Pad portion, 34... Cage lead wire, 34a... Fixed portion, 35... Cage lead wire, 36... Fixed layer, 37... Gold layer.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 水晶振動子上のパツド部を、水晶振動子の保
持器に保持する保持方法において、パツド部の表
面に金層を形成するとともに、水晶振動子の保持
器の固着部分の表面にコバール材よりなるコバー
ル層を、該コバール層の表面に銅材よりなる銅層
を、該銅層の表面に半田材よりなる半田層を形成
し、パツド部の金属と固着部分の半田層を、金と
半導体の合金からなる固着材を介して固着するこ
とを特徴とする水晶振動子の保持方法。 2 水晶振動子上のパツド部を、水晶振動子の保
持器に保持する保持方法において、パツド部の表
面に金層を形成するとともに、水晶振動子の保持
器の固着部分の表面にコバール材よりなるコバー
ル層を、該コバール層の表面にニツケル材よりな
るニツケル層を、該ニツケル層の表面に半田材よ
りなる半田層を形成し、パツド部の金層と固着部
分の半田層を、金と半導体の合金からなる固着材
を介して固着することを特徴とする水晶振動子の
保持方法。 3 水晶振動子上のパツド部を、水晶振動子の保
持器に保持する保持方法において、パツド部の表
面に金層を形成するとともに、水晶振動子の保持
器の固着部分の表面に鉄材よりなる鉄層を、該鉄
層の表面にニツケル材よりなるニツケル層を、該
ニツケル層の表面に半田材よりなる半田層を形成
し、パツド部の金層と固着部分の半田層を、金と
半導体の合金からなる固着材を介して固着するこ
とを特徴とする水晶振動子の保持方法。
[Claims] 1. In a holding method for holding a pad portion on a crystal resonator in a holder of the crystal resonator, a gold layer is formed on the surface of the pad portion, and a fixed portion of the holder of the crystal resonator is A Kovar layer made of a Kovar material is formed on the surface of the pad, a copper layer made of a copper material is formed on the surface of the Kovar layer, a solder layer made of a solder material is formed on the surface of the copper layer, and the metal of the pad part and the solder of the fixed part are formed. A method for holding a crystal resonator, characterized in that the layers are fixed via a fixing material made of an alloy of gold and a semiconductor. 2. In a holding method in which the pad portion on the crystal resonator is held in the holder of the crystal resonator, a gold layer is formed on the surface of the pad portion, and a Kovar material is applied to the surface of the fixed part of the holder of the crystal resonator. A nickel layer made of a nickel material is formed on the surface of the kovar layer, a solder layer made of a solder material is formed on the surface of the nickel layer, and the gold layer on the pad part and the solder layer on the fixed part are made of gold. A method for holding a crystal resonator, characterized by fixing it through a fixing material made of a semiconductor alloy. 3. In the holding method of holding the pad part on the crystal resonator in the crystal resonator holder, a gold layer is formed on the surface of the pad part, and the surface of the fixed part of the crystal resonator holder is made of iron material. A nickel layer made of a nickel material is formed on the surface of the iron layer, a solder layer made of a solder material is formed on the surface of the nickel layer, and the gold layer of the pad part and the solder layer of the fixed part are made of gold and semiconductor. A method for holding a crystal resonator, characterized by fixing it through a fixing material made of an alloy of.
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