JPH0233877B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0233877B2 JPH0233877B2 JP58214846A JP21484683A JPH0233877B2 JP H0233877 B2 JPH0233877 B2 JP H0233877B2 JP 58214846 A JP58214846 A JP 58214846A JP 21484683 A JP21484683 A JP 21484683A JP H0233877 B2 JPH0233877 B2 JP H0233877B2
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- Japan
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- cryogen
- cryo
- gas
- cryopump
- liquid
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はクライオ排気部の上部に気液分離器を
もつクライオポンプへの寒剤供給の方法に関す
る。ここではクライオポンプの場合について説明
する。クライオスタツトの場合も同じである。
もつクライオポンプへの寒剤供給の方法に関す
る。ここではクライオポンプの場合について説明
する。クライオスタツトの場合も同じである。
従来の気液分離器をもつクライオポンプへの寒
剤供給は、第１図に示す配管、弁により行われ
る。即ちクライオポンプの常温からの予冷時に
は、予冷弁５を開として定常供給弁６及び定常循
環弁７を閉としておく。冷凍機またはジユクーか
ら送られてくる液体ヘリウムや液体水素などの気
液二相の寒剤は寒剤供給部３、予冷弁５、供給配
管４、クライオ排気部１、気液分離器２、蒸発ガ
ス排出部８を通過して大気放出するか冷凍機に戻
される。このとき熱容量の大きいクライオ排気部
１が寒剤の沸点まで冷却された後、気液分離器２
に寒剤の液体がたまる。このあと予冷弁５を閉に
して定常供給弁６及び定常循環弁７を開とする。
気液二相の寒剤は、寒剤供給部３、定常供給弁６
を通つて気液分離器２に流れ、液相分は気液分離
器２に残り気相分は蒸発ガス排出部８を通つてク
ライオポンプ外に排出される。また、気液分離器
２、定常循環弁７、供給配管４、クライオ排気部
１は循環ラインを形成し、クライオ排気部１には
熱負荷がかかるのでクライオ排気部１の液体の寒
剤に気相分が生じ、この浮力により循環駆動力が
生じ、この循環ラインの中にあるクライオ排気部
に液体の寒剤が供給される。
剤供給は、第１図に示す配管、弁により行われ
る。即ちクライオポンプの常温からの予冷時に
は、予冷弁５を開として定常供給弁６及び定常循
環弁７を閉としておく。冷凍機またはジユクーか
ら送られてくる液体ヘリウムや液体水素などの気
液二相の寒剤は寒剤供給部３、予冷弁５、供給配
管４、クライオ排気部１、気液分離器２、蒸発ガ
ス排出部８を通過して大気放出するか冷凍機に戻
される。このとき熱容量の大きいクライオ排気部
１が寒剤の沸点まで冷却された後、気液分離器２
に寒剤の液体がたまる。このあと予冷弁５を閉に
して定常供給弁６及び定常循環弁７を開とする。
気液二相の寒剤は、寒剤供給部３、定常供給弁６
を通つて気液分離器２に流れ、液相分は気液分離
器２に残り気相分は蒸発ガス排出部８を通つてク
ライオポンプ外に排出される。また、気液分離器
２、定常循環弁７、供給配管４、クライオ排気部
１は循環ラインを形成し、クライオ排気部１には
熱負荷がかかるのでクライオ排気部１の液体の寒
剤に気相分が生じ、この浮力により循環駆動力が
生じ、この循環ラインの中にあるクライオ排気部
に液体の寒剤が供給される。
今回の発明は、従来の供給法では３個の弁が必
要であつたものを２個で行うことができるように
したことを目的とする。
要であつたものを２個で行うことができるように
したことを目的とする。
第２図、第３図に本発明の実施例を示す。
第２図の場合、クライオポンプの常温からの予
冷時は予冷弁５を開、定常供給弁６を閉としてお
く。冷凍機またはジユクーから送られてくる気液
二相の寒剤は寒剤供給部３、予冷弁５、予冷配管
９、クライオ排気部１、気液分離器２、蒸発ガス
排出部８を通つてクライオポンプ外に排出され
る。このとき寒剤はクライオ排気部１と並列に定
常循環配管１０を通しても予冷配管９から気液分
離器２へ流れる。一般にクライオ排気部の熱容量
は、定常循環配管１０の熱容量に比べ大きいの
で、定常循環配管１０のみが予冷されクライオ排
気部１は効率よく予冷されないように思われる。
しかしながら予冷配管９を流れる寒剤が気液二相
の場合、クライオ排気部の下部で水平方向に流れ
たあと上方に行く立ち上がり配管が並列になると
き、気液二相内の気相分による浮力により流れが
最初に出合う立ち上がり配管に多く流れる。この
ため第２図のような実施例では予冷用配管９が水
平になつたあと最初に出合う立ち上がり配管にク
ライオ排気部につながつているのでクライオ排気
部１は熱容量が大きくても効率よく予冷され寒剤
の沸点まで冷却されたあと気液分離器２に寒剤の
液体がたまるようになる。このあとの定常状態で
の寒剤供給法は従来の場合と同様である。即ち予
冷弁５を閉とし、定常供給弁６を開とする。気液
二相の寒剤は寒剤供給部３、定常供給弁６を通つ
て気液分離器２に流れ、液相分は気液分離器２に
残り、気相分は蒸発ガス排出部からクライオポン
プ外に排出される。また、気液分離器２、定常循
環配管１０、クライオ排気部１が循環ラインを形
成し、クライオ排気部には熱負荷がかかるので、
液体の寒剤に気相分が生じて浮力による循環駆動
力が生じ、この循環ラインの中にあるクライオ排
気部１に液体の寒剤が効率よく供給される。
冷時は予冷弁５を開、定常供給弁６を閉としてお
く。冷凍機またはジユクーから送られてくる気液
二相の寒剤は寒剤供給部３、予冷弁５、予冷配管
９、クライオ排気部１、気液分離器２、蒸発ガス
排出部８を通つてクライオポンプ外に排出され
る。このとき寒剤はクライオ排気部１と並列に定
常循環配管１０を通しても予冷配管９から気液分
離器２へ流れる。一般にクライオ排気部の熱容量
は、定常循環配管１０の熱容量に比べ大きいの
で、定常循環配管１０のみが予冷されクライオ排
気部１は効率よく予冷されないように思われる。
しかしながら予冷配管９を流れる寒剤が気液二相
の場合、クライオ排気部の下部で水平方向に流れ
たあと上方に行く立ち上がり配管が並列になると
き、気液二相内の気相分による浮力により流れが
最初に出合う立ち上がり配管に多く流れる。この
ため第２図のような実施例では予冷用配管９が水
平になつたあと最初に出合う立ち上がり配管にク
ライオ排気部につながつているのでクライオ排気
部１は熱容量が大きくても効率よく予冷され寒剤
の沸点まで冷却されたあと気液分離器２に寒剤の
液体がたまるようになる。このあとの定常状態で
の寒剤供給法は従来の場合と同様である。即ち予
冷弁５を閉とし、定常供給弁６を開とする。気液
二相の寒剤は寒剤供給部３、定常供給弁６を通つ
て気液分離器２に流れ、液相分は気液分離器２に
残り、気相分は蒸発ガス排出部からクライオポン
プ外に排出される。また、気液分離器２、定常循
環配管１０、クライオ排気部１が循環ラインを形
成し、クライオ排気部には熱負荷がかかるので、
液体の寒剤に気相分が生じて浮力による循環駆動
力が生じ、この循環ラインの中にあるクライオ排
気部１に液体の寒剤が効率よく供給される。
第３図の実施例ではクライオ排気部が２個以上
の場合である。予冷時、定常時の弁の開閉は第２
図の実施例の場合と同じである。予冷時予冷配管
９を流れる気液二相の寒剤が水平方向に流れ、最
初に出合う立ち上がり配管はクライオ排気部１に
つながつており、最も遅く出合う立ち上がり配管
が定常循環配管１０となつているので、熱容量の
大きいクライオ排気部１が効率よく予冷される。
定常状態での寒剤の流れで第２図の実施例と異な
るのは、クライオ排気部１への寒剤の供給が並列
になることである。このとき定常循環配管１０を
流れる寒剤は気液分離器２で気液分離された液相
分だけであり、水平部から最初に出合う立ち上が
り配管に寒剤が特別に多く流れるようなことはな
くほぼ均等に流れることが期待される。
の場合である。予冷時、定常時の弁の開閉は第２
図の実施例の場合と同じである。予冷時予冷配管
９を流れる気液二相の寒剤が水平方向に流れ、最
初に出合う立ち上がり配管はクライオ排気部１に
つながつており、最も遅く出合う立ち上がり配管
が定常循環配管１０となつているので、熱容量の
大きいクライオ排気部１が効率よく予冷される。
定常状態での寒剤の流れで第２図の実施例と異な
るのは、クライオ排気部１への寒剤の供給が並列
になることである。このとき定常循環配管１０を
流れる寒剤は気液分離器２で気液分離された液相
分だけであり、水平部から最初に出合う立ち上が
り配管に寒剤が特別に多く流れるようなことはな
くほぼ均等に流れることが期待される。
なお、上記の説明では寒剤は寒剤供給部３で気
液二相として説明したが、ここで液相のみであつ
ても予冷弁５または定常供給弁６の通過後圧力が
降下して気液二相になる場合でも本発明は有効で
ある。
液二相として説明したが、ここで液相のみであつ
ても予冷弁５または定常供給弁６の通過後圧力が
降下して気液二相になる場合でも本発明は有効で
ある。
以上のようにクライオ排気部１への寒剤の供給
が従来法では予冷、定常時の切替のため３ケの弁
が必要であつたが本発明による２ケの弁で行うこ
とができる。これによりクライオポンプへの熱負
荷を小さくすることができると同時にクライオポ
ンプの運転の制御も容易となる。
が従来法では予冷、定常時の切替のため３ケの弁
が必要であつたが本発明による２ケの弁で行うこ
とができる。これによりクライオポンプへの熱負
荷を小さくすることができると同時にクライオポ
ンプの運転の制御も容易となる。
第１図は従来のクライオポンプの寒剤供給方式
を示す系統図、第２図は本発明の一実施例を示す
クライオポンプの寒剤供給方式の系統図、第３図
はクライオ排気部が複数個ある場合の本発明の他
の実施例を示すクライオポンプの寒剤供給方式の
系統図である。 １…クライオ排気部、２…気液分離器、３…寒
剤供給部、４…供給配管、５…予冷弁、６…定常
供給弁、７…定常循環弁、８…蒸発ガス排出部、
９…予冷配管、１０…定常循環配管。
を示す系統図、第２図は本発明の一実施例を示す
クライオポンプの寒剤供給方式の系統図、第３図
はクライオ排気部が複数個ある場合の本発明の他
の実施例を示すクライオポンプの寒剤供給方式の
系統図である。 １…クライオ排気部、２…気液分離器、３…寒
剤供給部、４…供給配管、５…予冷弁、６…定常
供給弁、７…定常循環弁、８…蒸発ガス排出部、
９…予冷配管、１０…定常循環配管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 上部に気液分離器もつクライオポンプにおい
て予冷、及び定常状態での寒剤の供給のため予冷
弁を有する予冷配管と気液分離器とクライオ排気
部を結ぶ定常循環配管をもち、クライオポンプ予
冷時前記予冷配管を通してクライオ排気部の下部
から寒剤が供給されるとき、水平配管からの最初
の立ち上がり部が前記クライオ排気部に接続さ
れ、定常循環配管に弁を必要としないことを特徴
とするクライオポンプの寒剤供給方式。 ２ 前記クライオポンプの代りにクライオスタツ
ト、前記クライオ排気部の代りにクライオ受熱部
とする特許請求の範囲第１項記載のクライオポン
プの寒剤供給方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58214846A JPS60108573A (ja) | 1983-11-15 | 1983-11-15 | クライオポンプの寒剤供給方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58214846A JPS60108573A (ja) | 1983-11-15 | 1983-11-15 | クライオポンプの寒剤供給方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60108573A JPS60108573A (ja) | 1985-06-14 |
| JPH0233877B2 true JPH0233877B2 (ja) | 1990-07-31 |
Family
ID=16662510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58214846A Granted JPS60108573A (ja) | 1983-11-15 | 1983-11-15 | クライオポンプの寒剤供給方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60108573A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5431546A (en) * | 1993-08-23 | 1995-07-11 | Liquid Carbonic Corporation | Apparatus for intermittent transfer of fluid having vapor trap seal and vapor escape means |
| FR2731647B1 (fr) * | 1995-03-15 | 1997-04-30 | Corning Inc | Procede de fabrication d'un moule constitue d'un reseau d'alveoles pour la fabrication de reseaux de microlentilles optiques |
-
1983
- 1983-11-15 JP JP58214846A patent/JPS60108573A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60108573A (ja) | 1985-06-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |