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JPH0237729B2 - - Google Patents
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JPH0237729B2 - - Google Patents

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JPH0237729B2
JPH0237729B2 JP54057579A JP5757979A JPH0237729B2 JP H0237729 B2 JPH0237729 B2 JP H0237729B2 JP 54057579 A JP54057579 A JP 54057579A JP 5757979 A JP5757979 A JP 5757979A JP H0237729 B2 JPH0237729 B2 JP H0237729B2
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JP
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terminal
analog
digital converter
circuit
voltage
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JP54057579A
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Yan Purinshipe Furederitsuku Re Kan Kuraude
Binsento Ueran Maurisu
Haruto Kareru
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Koninklijke Philips NV
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Koninklijke Philips Electronics NV
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Publication date
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、並列配置したn+1個(nは正の整
数)のインバータ回路を有するアナログ・デジタ
ル変換器であつて、各インバータ回路は、ゲート
電極、ソース電極およびドレイン電極を有する第
1導電型の第1電界効果トランジスタと、ゲート
電極、ソース電極およびドレイン電極を有する第
2導電型の第2電界効果トランジスタとを具えて
おり、第1電界効果トランジスタのソース電極は
第1電源端子に接続され、第2電界効果トランジ
スタのソース電極は第2電源端子に接続され、第
1および第2電界効果トランジスタのドレイン電
極は出力端子に接続され、前記のアナログ・デジ
タル変換器は更に第1端子と第2端子との間にn
個の抵抗の第1直列回路を具え、前記の第1端子
から数えてi番目の抵抗がそれぞれi番目の第1
電界効果トランジスタのゲート電極と(i+1)
番目の第1電界効果トランジスタのゲート電極と
の間に配置されているアナログ・デジタル変換器
に関するものである。
このような変換器回路は特開昭51−52775号公
報に記載されており既知である。この既知の回路
においては、各インバータ回路の第2導電型の第
2トランジスタのゲート電極が第1導電型の第1
トランジスタのゲート電極に接続されており、こ
の接続点が抵抗の第1直列回路のタツプ点に接続
されている。このようなインバータ回路では電源
電圧の大きさによつても出力電圧のダイナミツク
レンジを決定する。従つて、電源電圧は使用する
トランジスタのスレツシユホールド(しきい値)
電圧に比べて大きく、例えば1Vのスレツシユホ
ールド電圧に対して10Vとするのが望ましい。し
かし、この場合、出力電圧をある極値から他の極
値に切換えるのに必要な入力電圧のスイング(ス
テツプ状に変化する電圧の差)もスレツシユホー
ルド電圧に比べ比較的大きくなり、これらのイン
バータ回路はアナログ・デジタル変換器における
比較回路として用いるのに適さなくなる。その理
由は、この場合、スレツシユホールドレベルが正
確に決まらず、切換え速度が制限される為であ
る。
本発明の目的は、正確に決定される異なるスレ
ツシユホールドレベルを有するインバータ回路を
具えるアナログ・デジタル変換器を提供せんとす
るにある。
本発明は、並列配置したn+1個(nは正の整
数)のインバータ回路を有するアナログ・デジタ
ル変換器であつて、各インバータ回路は、ゲート
電極、ソース電極およびドレイン電極を有する第
1導電型の第1電界効果トランジスタと、ゲート
電極、ソース電極およびドレイン電極を有する第
2導電型の第2電界効果トランジスタとを具えて
おり、第1電界効果トランジスタのソース電極は
第1電源端子に接続され、第2電界効果トランジ
スタのソース電極は第2電源端子に接続され、第
1および第2電界効果トランジスタのドレイン電
極は出力端子に接続され、前記のアナログ・デジ
タル変換器は更に第1端子と第2端子との間にn
個の抵抗の第1直列回路を具え、前記の第1端子
から数てi番目の抵抗がそれぞれi番目の第1電
界効果トランジスタのゲート電極と番目の第1電
界効果トランジスタのゲート電極との間に配置さ
れているアナログ・デジタル変換器において、当
該アナログ・デジタル変換器が第3端子と前記の
第1端子との間にn個の抵抗の第2直列回路をも
具えており、前記の第3端子から数えてi番目の
抵抗がそれぞれi番目の第2電界効果トランジス
タのゲート電極と(i+1)番目の第2電界効果
トランジスタのゲート電極との間に配置され、前
記のアナログ・デジタル変換器が更に前記の第1
および第2直列回路に直流電流を流す手段を具
え、前記の第2直列回路は入力信号が供給される
入力端子に結合され、かつ、前記の直流電流を流
す手段により前記の第1および第2直列回路に流
される直流電流は前記入力信号に無関係に一定で
あることを特徴とする。
i番目の第1および第2トランジスタの各対が
インバータ回路を構成する。各2つのi番目の第
1および第2トランジスタのゲート電極間に設け
る抵抗の個数は常に同じとする。これら抵抗のす
べてが同じ値を有する場合、2つのゲート電極間
の抵抗値は各対に対し同じとなり、従つてこれら
ゲート電極間の直流電圧が各対に対し同じとな
る。出力電圧を一方の極値から他方の極値に切換
えるのにインバータ回路の入力端で必要とする電
圧のスイングは、各インバータ回路の第1および
第2電極効果トランジスタのゲート電極間の前記
の直流電圧を、供給すべき電源電圧から第1およ
び第2電界効果トランジスタのスレツシユホール
ド電圧の和を減じた値と同程度とした場合に最小
となる。
2つの直列回路間の第1端子を入力端子とした
場合、この入力端子と各i番目のトランジスタ対
の第1導電型のトランジスタのゲート電極との間
の抵抗の個数はそれぞれ相違し、従つてスレツシ
ユホールド電圧値もそれぞれ相違する。前記の抵
抗の値を同じとした場合、i=1からi=n+1
までの順序列でのそれぞれ次のインバータ回路の
スレツシユホールド値は、Iをこれら抵抗を流れ
る直流電流とし、Rをこれら抵抗の各々の値とし
た場合に常に電圧IRだけ前のインバータ回路の
スレツシユホールド値よりも高くなる。前記の入
力端子における零入力電圧が最低のスレツシユホ
ールド値よりも低い場合には、入力電圧が供給さ
れた際にスレツシユホールド値を越えるインバー
タ回路の個数がこの入力電圧の目安となる。
n個の抵抵抗の2つの直列回路のいかなる他の
点、例えば第3端子を信号入力端子として選択す
る場合でも、上述したのと同様な理論が成立つ。
この実施例では、第1および第2直列回路に直
流電流を流す前記の手段を第3端子および第2端
子間の直流電圧源を以て構成することができる。
この場合、前記の第3端子と、定電圧点との間
に信号入力電流を受ける抵抗を設けるのが有利で
ある。この信号入力電流は入力抵抗の両端間に信
号電圧を生ぜしめ、この信号電圧が、前記の第1
および第2直列回路の各抵抗の両端間に直流電圧
が現れる為に、これら直列回路の各点上に得られ
る。
アナログ・デジタル変換器は更に、バイアス電
流を入力抵抗に流すバイアス電流源を具えるよう
にするのが有利である。
このバイアス電流源によれば信号入力端子の零
入力設定を制御しうる。
本発明によるアナログ・デジタル変換器を少な
くとも部分的に集積回路として形成する場合、互
いにほぼ平行な方向に延在する第1および第2抵
抗トラツクと、第1抵抗トラツクにほぼ平行な列
上に位置する第1導電型のn個の第1電界効果ト
ランジスタの列と、第2抵抗トラツクにほぼ平行
な列上に位置する第2相補導電型のn個の第2電
界効果トランジスタの列と、第1電界効果トラン
ジスタの列にほぼ平行に位置する第1導体トラツ
クと、第2電界効果トランジスタの列にほぼ平行
に位置する第2導体トラツクとを具え、前記の第
1電界効果トランジスタの各々を1個の前記第2
電界効果トランジスタに対向させて位置させ、前
記の第1電界効果トランジスタのゲート電極の
各々を前記の第1抵抗トラツクに接続し、前記の
第2電界効果トランジスタのゲート電極の各々を
前記の第2抵抗トラツクに接続し、前記の第1電
界効果トランジスタのソース電極の各々を前記の
第1導体トラツクに接続し、前記の第2電界効果
トランジスタのソース電極の各々を前記の第2導
体トラツクに接続し、各第1電界効果トランジス
タのドレイン電極をこの第1電界効果トランジス
タに対向して位置する第2電界効果トランジスタ
のドレイン電極に接続したことを特徴とする。
この構造の集積回路は、外部接続線や外部素子
により前述した第2の目的を達成しうるスレツシ
ユホールド回路に容易に拡張しうる。この場合、
この集積回路は第1および第2導電型のトランジ
スタの対間の接続線の数が最小となるように極め
てコンパクトであり、交差接続数も最小としう
る。
この集積回路においては、第1電界効果トラン
ジスタを、これらのチヤネルが第1抵抗トラツク
に平行となるように第1抵抗トラツクと第1導体
トラツクとの間に位置させ、第1抵抗トラツクお
よび第1導体トラツクの岐路を第1電界効果トラ
ンジスタのゲート電極およびソース電極までそれ
ぞれ導びき、第2電界効果トランジスタを、これ
らのチヤネルが第2抵抗トラツクに平行となるよ
うに第2抵抗トラツクと第2導体トラツクとの間
に位置させ、第2抵抗トラツクおよび第2導体ト
ラツクの岐路を第2電界効果トランジスタのゲー
ト電極およびソース電極までそれぞれ導びくのが
有利である。
本例によれば、2つの抵抗トラツクおよび2つ
の導体トラツクを、互いに交差接続することなく
2列のトランジスタのゲート電極およびソース電
極に接続することができる。
更に、前記の2つの抵抗トラツクを2列の電界
効果トランジスタの列間に位置させ、前記の2つ
の導体トラツクの各々を2列の電界効果トランジ
スタの各側にそれぞれ位置させるのが有利であ
る。
互いに対向して位置するトランジスタのドレイ
の電極間を接続する場合、前記の2つの抵抗トラ
ツクを絶縁層で被覆し、互いに対向する各2つの
電界効果トランジスタのドレイン電極を、前記の
絶縁層上を通過する第3導体トラツクに接続する
ようにすることができる。
前記の第3導体トラツクに接続を行ないうるよ
うにする為には、前記の第3導体トラツクを、前
記の第1および第2抵抗トラツクと同じ材料より
成る第3トラツクに隣接させ、これら第3トラツ
クをも絶縁層で被覆し、これら第3トラツクを、
前記の第1導体トラツクの延在方向に対しほぼ直
角な方向で前記の第1導体トラツクの下方を通過
するようにすることができる。
所望の目的を達成する為に集積化に適した集積
回路においては、前記の第1の抵抗トラツクの一
端を、前記の第2抵抗トラツクのうち前記の第1
抵抗トラツクの前記の一端と対向して位置する端
部とは異なる側の端部に接続する第4導体トラツ
クを設けるのが好適である。
図面につき本発明を説明する。
第1a図はpチヤネル電界効果トランジスタ
Tpおよびnチヤネル電界効果トランジスタTo
有する既知のC−MOSインバータ回路を示す。
これら2つの電界効果トランジスタTpおよびTo
のゲート電極は入力端子1に接続されており、ド
レイン電極は出力端子2に接続されている。更
に、トランジスタTpのソース電極は電源端子3
に接続され、トランジスタToのソース電極は電
源端子4に接続されている。
端子1,2,3および4における電圧がそれぞ
れVi,Vp,VddおよびVssである場合に、出力電
圧Vpと入力電圧Viとの間の関数を表わす線図を
第1b図に示す。入力電圧ViがVssに等しい場合
には、トランジスタToが非導通であり、トラン
ジスタTpが導通し、出力電圧Vp(無負荷状態で
の)がVddに等しくなる。入力電圧Viが増大し、
トランジスタToのスレツシユホールド(しきい
値)電圧Voを越えると(Vi=Vss+Vo)、トラン
ジスタToがターン・オンし、トランジスタTp
導通程度が減少し、Vpが減少する。入力電圧Vi
がトランジスタTpのスレツシユホールド電圧Vp
を越えると(Vi=Vdd−Vp)、トランジスタTp
ターン・オフし、出力電圧VpがVssに等しくな
る。
切換え範囲ΔVにおいては、出力電圧は正確に
決まらず、種々のパラメータに依存する。従つ
て、正確な切換え点を決めることができない。
第1c図はVdd−Vss=Vo+Vpとした場合の第
1b図と同じ特性曲線を示す。第1b図の特性曲
線においては、ΔV=Vdd−Vss−Vo−Vpである
為、第1c図の特性曲線ではΔV=0である。切
換え点はVi=Vo+Vssとして正確に決まる。しか
し、この場合出力信号Vpの、ステツプ状に変化
する電圧の差Vdd−Vss(以後スイング電圧と称す
る)が第1b図の場合のスイング電圧に比べ著る
しく減少し、例えば第1b図に10Vに対し2Vに
減少するという欠点がある。
第2a図は本発明によるスレツシユホールド回
路の一例を示す。この回路は第1a図の回路のト
ランジスタTpおよびToのゲート電極間に電圧源
5を加えて成る回路に相当し、この電圧源5は本
例の場合ΔV=Vdd−Vss−Vo−Vpなる電圧を有
するものとする。
第2b図は第1b図の特性曲線に相当する関連
の特性曲線を示すも、この場合、入力電圧Viが値
Vss+Vo+ΔVを越えない限り出力電圧Vpが値Vdd
を維持する。その理由は、Vi=VVss+Vo+ΔV
となるまでトランジスタToターン・オンしない
為である。電圧源5に対し電圧ΔV=Vdd−Vss
Vo−Vpを選択した為、Vi=Vdd−Vpとなり、こ
の電圧Vi=Vdd−VpがトランジスタTpをターン・
オフする電圧である。従つて出力電圧VpはVi
Vss+ΔV+Vo=Vdd−Vpに対しVddからVssに急
峻に切換わり、しかもこのことは出力電圧が大き
なススイング電圧を呈するということと両立す
る。
電圧源5の電圧は必ずしも値ΔVを有するよう
にする必要はない。実際には0とΔVとの間のい
かなる値によつても改善を行なうことができる。
電圧源5が電圧Vcを有する場合には、切換え幅
は第1b図の状態におけるΔVの幅に比べてΔV
−Vcとなる。
第3a図は、入力電圧Viがスレツシユホールド
回路のスレツシユホールド値を値Vss+Vo+ΔV
以外で越えうるようにした本発明回路の他の例を
示す。この目的の為に、第2a図の回路における
トランジスタTpのゲート電極と入力端子1との
間に電圧源6を接続した。この電圧源6が電圧
Vbを有する場合には、切換え点はVi=Vss+Vo
ΔV−Vbに位置する。
トランジスタTpのゲート電極に対する電圧Vb
の極性が電圧ΔVの極性と同じである場合には、
電圧源5および6を第3b図に示すように組合わ
せることができる。この第3b図においては、電
圧源51を入力端子1とトランジスタTpのゲー
ト電極との間に設け、電圧源52を入力端子1と
トランジスタToのゲート電極との間に設ける。
この場合、電圧源51が第3a図の電圧源6に相
当し、電圧源51および52の直列回路が第3a
図の電圧源5に相当する。
電圧源51が電圧mΔVを有し、電圧源52が
電圧(1−m)ΔVを有する場合には、トランジ
スタTpおよびToのゲート電極間の総計の電圧は
ΔVに等しく、パラメータmに無関係となる。こ
の場合、切換え点はVi=Vss+Vo+(1−m)ΔV
に位置し、この切換え点はパラメータmを適当に
選択することにより調整しうる。m=1、3/4、
1/2、1/4および0にした場合の関連する特性曲線
を第3c図に示す。
第3aおよび3b図の回路は、複数のスレツシ
ユホールド値を有する回路、例えばアナログ−デ
ジタル変換器を得るように組合わせるのに極めて
適している。第4図は4つのスレツシユホールド
値を有する上述した回路を示す。この回路は、回
路点14および31間における抵抗R1,Rp1
Rp2,Rp3およびR2の直列接続回路と、回路点3
1および11間における抵抗R3,Ro1,Ro2,Ro3
およびR4の直列接続回路とを有する。更に、第
4図の回路は、pチヤネルトランジスタTp1
Tp2,Tp3およびTp4と、nチヤネルトランジスタ
To1,To2,To3およびTo4とを有する。これらト
ランジスタTp1,Tp2,Tp3,Tp4,To1,To2
To3およびTo4の各別のゲート電極を抵抗R1およ
びRp1間、抵抗Rp1およびRp2間、抵抗Rp2および
Rp3間、抵抗Rp3およびR2間、抵抗R3およびRo1
間、抵抗Ro1およびRo2間、抵抗Ro2およびRo3
および抵抗Ro3およびR4間にそれぞれ接続する。
各対のトランジスタTp1およびTo1、トランジス
タTp2およびTo2、トランジスタTp3およびTo3
よびトランジスタTp4およびTo4のドレイン電極
は出力端子21,22,23および24にそれぞ
れ接続する。トランジスタTp1,Tp2,Tp3および
Tp4のソース電極は電源端子3に接続し、トラン
ジスタTo1,To2,To3およびTo4のソース電極は
電源端子4に接続する。回路点14および11間
の抵抗を流れる直流電流を得る為に、Vzのツエ
ナー電圧を有するツエナーダイオード12をこれ
らの回路点間に接続する。回路点14は抵抗Ra
を経て定電位点9に接続する。信号電流源7はこ
の抵抗Raに信号電流を流す。また回路点11は
バイアス電流源8を経て定電位点10に接続す
る。
ツエナーダイオード12の為に、回路点14お
よび11間の回路における各抵抗の両端間には一
定の電圧が現われる。抵抗Rp1,Rp2,Rp3,Ro1
Ro2およびRo3の抵抗値が互いに等しい場合には、
各対のトランジスタTp1およびTo1、トランジス
タTp2およびTo2、トランジスタTp3およびTo3
よびトランジスタTp4およびTo4のゲート電極間
に同じ直流電圧が現われる。これらの抵抗Rp1
Rp2,Rp3,Rp4,Ro1,Ro2,Ro3およびRo4が値Rp
を有し、抵抗R1,R2,R3およびR4が値1/2Rp
有する場合には、各対のトランジスタのゲート電
極間のこの直流電圧は1/2Vzに等しくなる。従つ
て、最適な状態の場合Vz=2ΔVとする必要があ
る。抵抗Rp4〜RpoおよびRo4〜Rooを追加して回
路をn対のトランジスタに拡張する場合にも、関
係Vz=2ΔVはそのまま維持される。従つて、多
数対のトランジスタを組合せて、各対のトランジ
スタのゲート電極間に同じ直流電圧が生じるよう
にすることができる。
回路点31を信号入力端子とみなす場合には、
トランジスタTo1,To2,To3およびTo4のゲート
電極は入力端子31における直流電圧に対してそ
れぞれ1/16Vz、3/16Vz、5/16Vzおよび7/16Vz
け相違した電圧を有する。従つて、第4図の回路
はパラメータmに対する値1/8、3/8、5/8および
7/8を有する第3b図による4つの組合せ回路を
具える。
回路点11或いは回路点14を信号入力端子と
みなす場合には、第4図の回路は第3a図による
4つの回路の組合せとみなすことができる。
信号電流源7が抵抗Raに信号を流すと、この
抵抗の両端間に信号電圧Viが生じる。この信号電
圧は回路点14および11間の抵抗例の各点にも
現れるがこの抵抗列の各点に現われる信号電圧の
直流レベルは偏移している。
ツエナーダイオード12に対する零入力電流を
も供給するバイアス電流源8により、信号電流が
無い場合にトランジスタTo1〜To4のすべてが導
通し、トランジスタTp1〜Tp4のすべてが非導通
となるように抵抗Raの両端間の零入力電圧を調
整する場合には、すべての出力端子21〜24に
電圧Vssが現われる。信号電流を供給すると、ト
ランジスタTp1,Tp2,Tp3およびTp4がターン・
オンし、関連するトランジスタTo1〜To4が信号
電流の増大に応じて順次にターン・オフし、電圧
Vddが出力端子21,22,23および24に順
次に現われる。出力端子における電圧Vddは論理
レベル“1”とみなすことができ、電圧Vssは論
理レベル“0”とみなすことができる。出力端子
の状態がデジタル符号に変換される場合には、ア
ナログ−デジタル変換器が得られ、零点は電流源
8により調整でき、ステツプサイド、すなわち、
1つ後の出力端子の状態を変えるのに必要な信号
電流変化は抵抗Raにより調整しうる。
第4図の回路は極めて多数の、例えば64のトラ
ンジスタToおよびTpに拡張できる。
ΔVの調整および回路駆動の点では多くの方法
がある。第4図の回路においては、ツエナーダイ
オード12を種々の型の電圧源によつて置き換え
ることができ、或いは回路点14および11間の
抵抗列に安定化電流を通す電流源を加える場合に
はこのツエナーダイオードを省略することができ
る。ツエナーダイオードを設けない場合、或いは
ツエナーダイオードに対する別個の零入力電流回
路を設ける場合には、バイアス電流源8を抵抗
Raに直接接続することもできる。ツエナーダイ
オードは信号電流に対する短絡回路を構成する
為、このダイオードを回路点11に接続すること
ができる。更に、信号は電圧として回路点14お
よび11間の抵抗列の適当な点に直接供給するこ
ともできる。
第5図は第4図の回路を駆動する他の方法を示
す。図面を簡単とする為に、第5図にはトランジ
スタTo1〜To4およびTp1〜Tp4を示さない。
第4図の回路に比べた場合、ツエナーダイオー
ド12を直列の2つのツエナーダイオード13お
よび14で置き換え、各ツエナーダイオードが1/
2Vzに等しいツエナー電圧を有するようにしてい
る。これら2つのツエナーダイオード間の回路点
は回路点31に接続し、信号電流源7も回路点3
1に接続する。
第4図に示すような回路は一般に集積回路の形
態をとる。第4図の回路のツエナーダイオード1
2、可変抵抗Ra、信号電流源7およびバイアス
電流源8は、多方面に使用しうるようにする為に
このような集積回路に含めない。しかし、回路点
14および11間の抵抗列やすべてのトランジス
タTpおよびToはこの集積回路内に設ける。
第4図の回路における抵抗回路網や電界効果ト
ランジスタは極めてコンパクトな形態で集積化し
うるということを確かめた。第6図はこのような
集積回路の表面上のレイアウトを線図的に示す。
第6図の集積回路は点121および131間に
抵抗材料、実際例ではn型のドープを行なつた多
結晶珪素のトラツク100を有し、このトラツク
が第4図の回路点14および31間の抵抗列を構
成する。同様に、点132および111間の抵抗
トラツク101は第4図の回路点31および11
間の抵抗列を構成する。点131および132
(これらの点は第4図の回路点31に相当する)
は第6図に示す様に金属トラツク103により相
互接続することができる。点131および132
を集積回路の端子に接続することが望ましい場合
には、この接続を集積回路の外部で行なうことも
できる。
トラツク100のそばにはトランジスタTp
すべてを形成し、トラツク101のそばにはトラ
ンジスタToのすべてを形成する(これらのトラ
ンジスタは第7図に示す)。抵抗トラツク100
および101の岐路104および105はトラン
ジスタTpのすべておよびトランジスタToのすべ
てのゲート電極を接続部をそれぞれ構成する。ま
た、トラツク101に平行に金属トラツク106
を延在させ、この金属トラツク106の岐路をト
ランジスタToのすべてのソース電極に接続する。
この金属トラツク106は第4図による端子4ま
で延在させ、供給電圧Vssを印加しうるようにす
る。同様に、トラツク100に平行に金属トラツ
ク107を延在させ、この金属トラツク107の
岐路109をトランジスタTpのすべてのソース
電極に接続する。この金属トラツク107は供給
電圧Vddを印加する為の端子3まで延在させる。
対を成すトランジスタTpおよびToのドレイン電
極は金属トラツク110により相互接続し、これ
ら金属トラツク110の各々は多結晶トラツク1
12を介して他の回路に或いは第4図の回路にお
けるように出力端子21,22,23…まで導び
く(多結晶トラツク112を介する理由は金属ト
ラツク106との交差を容易に行ないうるように
する為である)。
破線で囲んだ第6図の集積回路の部分Aを第7
図に詳細に示す。この第7図において、破線で囲
んだ矩形部113はトランジスタToを示し、こ
れらトランジスタのソース電極、ゲート電極およ
びドレイン電極は岐路108,105およびトラ
ツク110にそれぞれ接続する。同様に、破線で
囲んで示す矩形部114はトランジスタTpを示
し、これらトランジスタのソース電極、ゲート電
極およびドレイン電極は岐路109,104およ
びトラツク110にそれぞれ接続する。
第6図の集積回路の構造を説明する為に、第7
図における4つの断面を第8,9,10および1
1図にそれぞれ示す。第8図はpチヤネルトラン
ジスタTpの断面図であり、第9図はnチヤネル
トランジスタToの断面図であり、第10図は2
つの隣接するトランジスタTpおよびToのドレイ
ン電極を通る断面図であり、第11図はこれら2
つのトランジスタのソース電極を通る断面図であ
る。
本例では、n型基板115上に回路を形成し、
その上に比較的肉厚な酸化珪素層116を形成
し、この酸化珪素層に孔を形成する(これらの孔
は第7図においては破線113および114で示
す)。実際には、この孔形成は上記の酸化珪素層
が必要とする位置で基板115を酸化することに
より達成しうる。これらの孔内には、トランジス
タを形成し、これらトランジスタを酸化珪素層1
16によつて互いに絶縁させる。すなわち、他の
工程において、nチヤネルトランジスタに対する
島内に例えばイオン注入によりp型領域117を
形成する。次の工程において、pチヤネルトラン
ジスタに対してはp型領域上に、nチヤネルトラ
ンジスタに対してはn型基板115上に肉薄の酸
化珪素層118を堆積させ、これら酸化珪素層1
18により、形成すべきゲート電極をその下方に
位置する半導体材料から絶縁させる。本例では、
n型多結晶トラツク100および101と、ゲー
ト絶縁層118上に配置するこれらトラツクの岐
路104および105と、多結晶出力トラツク1
12とを次の工程で形成し、形成すべきpチヤネ
ルトランジスタTpのソース電極およびドレイン
電極をそれぞれ構成するn型層119aおよび1
19bと、形成すべきnチヤネルトランジスタ
Toのソース電極およびドレイン電極をそれぞれ
構成するp型層120aおよび120bとを酸化
珪素層116および118間の区域内に例えば拡
散により順次に形成する。また、同じ工程におい
て、p型領域117をpチヤネルトランジスタ
Tpのソース電極金属化部に接続する為のp型接
点122aと、n型基板をnチヤネルトランジス
タToのソース電極金属化部に接続する為のn型
接点122bを形成する。次の工程において、ソ
ースおよびドレイン電極119aおよび119bi
120aおよび120b上に接点孔を画成する為
に、また多結晶トラツクを絶縁して金属トラツク
と交差を行ないうるようにする為に酸化珪素12
3を堆積し、多結晶トラツク112の端部には酸
化珪素を堆積せずこれら多結晶トラツク112の
端部を、形成すべき金属トラツク110と接触せ
しめうるようにする。最後に、岐路108および
109を含む金属トラツク106,107および
110を例えばアルミニウムの真空堆積により形
成する。
抵抗回路網とトランジスタTpおよびToとを有
する集積回路の基本構造は極めてコンパクトとな
る。2つの副回路網を2つのアンチパラレル
(anti−parallel)トラツクとして構成することに
より、第3図により電圧源のないスレツシユホー
ルド回路を構成するトランジスタ対の一方のトラ
ンジスタTpがこれに関連するトランジスタTo
隣接して位置し、従つてこれらトランジスタのド
レイン電極間の極めて短かい非交差接続が可能と
なる。更に、トランジスタTpのすべてのソース
電極やトランジスタToのすべてのソース電極を
それぞれ、岐路を有する1つのトラツクを経て電
源端子に接続することができる。
第7〜11図につき説明したような詳細構造に
関しては種々の変形が可能であり、これらの変形
は主として集積回路を製造する処理に依存する。
例えば、酸化珪素の代りに他の種々の絶縁材料、
例えば窒化珪素を用いることができる。また、多
結晶抵抗材料の代りに他の材料、例えばチタンを
選択することもできる。また、抵抗トラツクは堆
積する代りに基板中へのp或いはn型拡散により
形成することもできる。
第6図による基本的な構造の点では、例えば、
電源トラツク106および107を2列のトラン
ジスタの間に配置し、抵抗トラツク100および
101の各々をこれら2列のトランジスタの各側
にそれぞれ配置することもできる。
【図面の簡単な説明】
第1a図は既知のCMOSインバータ回路を示
す線図、第1bおよび1c図は第1a図の回路の
特性曲線を示す線図、第2a図は本発明によるア
ナログ・デジタル変換器に用いるインバータ回路
の一実施例を示す回路図、第2b図は第2a図の
回路の特性曲線を示す線図、第3a図は本発明に
よるアナログ・デジタル変換器に用いるインバー
タ回路の他の実施例を示す回路図、第3b図は第
3a図の改善例を示す回路図、第3c図は第3b
図の回路の特性曲線図、第4図は複数のスレツシ
ユホールド値を有する本発明によるアナログ・デ
ジタル変換器の一実施例を示す回路図、第5図は
第4図の回路の一部の変形例を示す回路図、第6
図は第4図の回路の抵抗およびトランジスタを極
めてコンパクトに設けうるようにした集積回路の
基本的なレイアウトを示す平面図、第7図は第6
図の一部を詳細に示す線図、第8図は第7図の
−線上を断面とし矢の方向に見たpチヤネルト
ランジスタの断面図、第9図は第7図の−線
上を断面とし矢の方向に見たnチヤネルトランジ
スタの断面図、第10図は第7図のX−X線上を
断面とし矢の方向に見た断面図、第11図は第7
図のXI−XI線上を断面とし矢の方向に見た断面図
である。 1……入力端子、2,21〜24……出力端
子、3,4……電源端子、5,6,51,52…
…電圧源、7……信号電流源、8……バイアス電
流源、9,10……定電位点、12……ツエナー
ダイオード、100,101……抵抗トラツク、
103,106,107,110……金属トラツ
ク、113,114……トランジスタ、115…
…n型基板、116……酸化珪素層、117……
p型領域、118……酸化珪素層(ゲート絶縁
層)、119a,120a……ソース電極、11
9b,120b……ドレイン電極、122a……
p型接点、122b……n型接点、123……酸
化珪素。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 並列配置したn+1個(nは正の整数)のイ
    ンバータ回路を有するアナログ・デジタル変換器
    であつて、各インバータ回路は、ゲート電極、ソ
    ース電極およびドレイン電極を有する第1導電型
    の第1電界効果トランジスタTo1〜To4とゲート
    電極、ソース電極およびドレイン電極を有する第
    2導電型の第2電界効果トランジスタTp1〜Tp4
    とを具えており、第1電界効果トランジスタのソ
    ース電極は第1電源端子4に接続され、第2電界
    効果トランジスタのソース電極は第2電源端子3
    に接続され、第1および第2電界効果トランジス
    タのドレイン電極は出力端子21〜24に接続さ
    れ、前記のアナログ・デジタル変換器は更に第1
    端子31と第2端子11との間にn個の抵抗Ro1
    〜Ro3の第1直列回路を具え、前記の第1端子3
    1から数えてi番目の抵抗がそれぞれi番目の第
    1電界効果トランジスタのゲート電極と(i+
    1)番目の第1電界効果トランジスタのゲート電
    極との間に配置されているアナログ・デジタル変
    換器において、当該アナログ・デジタル変換器が
    第3端子14と前記の第1端子31との間にn個
    の抵抗Rp1〜Rp3の第2直列回路をも具えており、
    前記の第3端子から数えてi番目の抵抗がそれぞ
    れi番目の第2電界効果トランジスタのゲート電
    極と(i+1)番目の第2電界効果トランジスタ
    のゲート電極との間に配置され、前記のアナロ
    グ・デジタル変換器が更に前記の第1および第2
    直列回路に直流電流を流す手段を具え、前記の第
    2直列回路は入力信号が供給される入力端子に結
    合され、かつ、前記の直流電流を流す手段により
    前記の第1および第2直列回路に流される直流電
    流は前記入力信号に無関係に一定であることを特
    徴とするアナログ・デジタル変換器。 2 特許請求の範囲第1項に記載のアナログ・デ
    ジタル変換器において、前記の第3端子14が前
    記の入力端子を構成していることを特徴とするア
    ナログ・デジタル変換器。 3 特許請求の範囲第2項に記載のアナログ・デ
    ジタル変換器において、第3端子14が抵抗R1
    を経て前記の第2直列回路Rp1〜Rp3に接続され
    ていることを特徴とするアナログ・デジタル変換
    器。 4 特許請求の範囲第1項に記載のアナログ・デ
    ジタル変換器において、前記の第1端子31が前
    記の入力端子を構成していることを特徴とするア
    ナログ・デジタル変換器。 5 特許請求の範囲第4項に記載のアナログ・デ
    ジタル変換器において、前記の第1端子31が第
    1抵抗R3を経て前記の第1直列回路Ro1〜Ro3
    接続され、第2抵抗R2を経て前記の第2直列回
    路Rp1〜Rp3に接続されていることを特徴とする
    アナログ・デジタル変換器。 6 特許請求の範囲第1〜5項のいずれか1項に
    記載のアナログ・デジタル変換器において、前記
    の第1および第2直列回路に直流電流を流す前記
    の手段が第3端子14と第2端子11との間の直
    流電圧源12を以て構成されていることを特徴と
    するアナログ・デジタル変換器。
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