JPH0238891B2 - ROOTARIIENKOODANOSAKUSEIHOHOOYOBISORENYORISAKUSEISARETA ROOTARIIENKOODA - Google Patents
ROOTARIIENKOODANOSAKUSEIHOHOOYOBISORENYORISAKUSEISARETA ROOTARIIENKOODAInfo
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- JPH0238891B2 JPH0238891B2 JP14576679A JP14576679A JPH0238891B2 JP H0238891 B2 JPH0238891 B2 JP H0238891B2 JP 14576679 A JP14576679 A JP 14576679A JP 14576679 A JP14576679 A JP 14576679A JP H0238891 B2 JPH0238891 B2 JP H0238891B2
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光フアイバを介してレーザのような
強力な光エネルギを適用したロータリエンコーダ
の作成方法ならびにそれにより作成されたロータ
リエンコーダに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for producing a rotary encoder in which strong optical energy such as a laser is applied via an optical fiber, and a rotary encoder produced by the method.
従来、この種の角度位置情報を検出する手段と
して複数個の微小ホログラムを円周に沿つて一列
に配列された光学円板[特開昭50−105156号公
報]があり、またレーザ光線を使用してレーザ光
線が当たつた箇所における光学的に不透明な層の
蒸発により情報を記録するもの[特公昭46−
40479号公報]もみられ、かつ基体の凹部に対向
して発光素子と受光素子を配設しその凹部を通過
する部材の情報を知る光電装置[実開昭51−
40272号公報]が知られる。
Conventionally, as means for detecting this type of angular position information, there has been an optical disk in which a plurality of micro holograms are arranged in a line along the circumference [Japanese Patent Application Laid-open No. 105156/1983], and a laser beam has also been used. A device that records information by evaporating an optically opaque layer at the location hit by a laser beam.
No. 40479], and a photoelectric device in which a light emitting element and a light receiving element are disposed opposite to a concave part of a base body, and information about a member passing through the concave part can be obtained [Utility Model No. 51-
No. 40272] is known.
ところで、従来におけるロータリエンコーダは
スリツト作成後の回転デイスクをシヤフトに取り
付けるため、シヤフトの回転中心のスリツトの中
心の差つまり取付け時の偏心が検出誤差となり、
とくに高分解能を必要とするスリツト数の多いロ
ータリエンコーダにおいては、
偏心量が検出誤差となる。
By the way, in conventional rotary encoders, the rotary disk after the slit is made is attached to the shaft, so the difference in the center of the slit from the rotation center of the shaft, that is, the eccentricity at the time of installation, causes a detection error.
Especially in rotary encoders with a large number of slits that require high resolution, the amount of eccentricity causes a detection error.
偏心量の影響を小さくするためには、スリツ
トの中心径を大きくしなければならないので、
エンコーダの外径寸法が大きくなる。 In order to reduce the influence of eccentricity, the center diameter of the slit must be made large.
The outer diameter of the encoder becomes larger.
回転デイスクの取り付け、調整に時間がかか
る。 It takes time to install and adjust the rotating disk.
偏心量に零にするのは非常に難しい。 It is very difficult to reduce the amount of eccentricity to zero.
等の欠点があつた。さらに、
ロータリエンコーダをモータシヤフトに直接
取り付ける場合、現在のロータリエンコーダは
発受光素子や波形整形回路等の電子部品が一体
となつており、使用温度範囲に限度が生じ、ま
たモータノイズ対策も行わなければならないと
いう欠点があつた。There were other drawbacks. Furthermore, when attaching a rotary encoder directly to a motor shaft, current rotary encoders have integrated electronic components such as light emitting and receiving elements and waveform shaping circuits, which limits the operating temperature range and requires measures against motor noise. There was a drawback that it did not work.
これらを例を挙げて説明すれば、6000スリツト
というような高精度のロータリエンコーダを製作
する場合、回転デイスクをシヤフトに取り付ける
には、顕微鏡と治工具により偏心量が5マイクロ
メータ(μm)以下という値になるよう調整しな
がら取り付けるため、取り付けや調整に時間がか
かるという欠点があつた。 To give an example of these, when manufacturing a high-precision rotary encoder such as a 6000-slit rotary encoder, in order to attach the rotary disk to the shaft, the eccentricity must be 5 micrometers (μm) or less using a microscope and jigs. The drawback was that it took time to install and adjust as it had to be installed while adjusting it to the correct value.
また、スリツト数が6000以上の場合にはスリツ
ト数の少いときと同じ取り付け方法をしていたの
では、取り付け精度が限界に近づいており、その
限度を超越した新規の技術的手段で行なう必要が
あつた。 In addition, when the number of slits is 6000 or more, the mounting accuracy is approaching the limit if the same method used for mounting with a small number of slits is used, and it is necessary to use new technical means to exceed that limit. It was hot.
ここにおいて、本発明は、以上のような従来例
の欠点を克服する新規なロータリーエンコーダの
作成方法方法を提供することを目的とするもので
あり、さらにはその方法により作成され従来例の
難点をすべて払拭したロータリーエンコーダを提
供することをその目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a new method for creating a rotary encoder that overcomes the drawbacks of the conventional example as described above, and furthermore, it is an object of the present invention to provide a method for creating a new rotary encoder that overcomes the drawbacks of the conventional example. The purpose is to provide a rotary encoder that eliminates all problems.
本発明は、上記目的を達成するために
モータシヤフトに装着した透明な円板の少なく
とも一方の面にレーザ光により溶解蒸発させうる
遮光薄膜をそなえた回転円板を自由に回転しうる
ように配設し、
光フアイバの中間部に直線部を形成し、
b その直線部を含めて可塑性物質でモールドし
て光フアイバ支持体を構成し、
前記直線部に対し、垂直でかつ所定幅をもつて
前記光フアイバとともに前記フアイバ支持体を切
り取つて溝を形成し、
前記回転円板の一部を前記フアイバ支持体を切
り取つて形成した前記溝に挿入し、
前記光フアイバから前記レーザ光を照射してス
リツトを前記回転円板に作成し、
このレーザ光の照射による一つ以上のスリツト
の作成が、前記回転円板を逐次回転させながら行
われる
ことを特徴とするロータリーエンコーダの作成方
法であり、
また、
中間部に直線部を形成し、その直線部を含めて
可塑性物質でモールドして構成した光フアイバ支
持体を持つ光フアイバを有し、
前記光フアイバ支持体は、それが含有する直線
部に対し、垂直でかつエンコーダの回転円板の厚
みよりやや大きい所定幅をもつて、前記光フアイ
バとともに前記フアイバ支持体を切り取り、前記
回転円板の一部が回転に連れて常に前記光フアイ
バの切り取り部分を通過できるように形成した溝
を備え、
負荷を駆動するモータのモータシヤフトに固着
配設した透明な円板の、少なくとも一方の面にレ
ーザ光により溶解蒸発できる遮光薄膜をそなえた
前記回転円板を、前記溝に挿入し、前記回転円板
を逐次回転させながら、前記光フアイバ支持体の
外部より導入される光フアイバの一端から、前記
レーザ光を照射して一つ以上のスリツトを作成し
た前記回転円板を設け、
前記光フアイバの一端および前記フアイバ支持
体を経由した前記光フアイバの他端に、レーザ光
を発射する発光素子ならびにそのレーザ光を前記
スリツトを介して受光する受光素子を具備したこ
とを特徴とするロータリーエンコーダである。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention includes a transparent disk attached to a motor shaft, and a rotating disk provided with a light-shielding thin film that can be dissolved and evaporated by laser light on at least one surface of the transparent disk, and arranged so as to be freely rotatable. (b) forming an optical fiber support body by molding the straight part including the straight part with a plastic material; cutting the fiber support together with the optical fiber to form a groove; inserting a part of the rotating disk into the groove formed by cutting the fiber support; and irradiating the laser beam from the optical fiber; A method for manufacturing a rotary encoder, characterized in that slits are created in the rotating disk, and the creation of one or more slits by irradiation with laser light is performed while sequentially rotating the rotating disk, and , an optical fiber having an optical fiber support formed by forming a straight part in the middle part and molding the straight part including the straight part with a plastic material; On the other hand, the fiber support is cut out along with the optical fiber to have a predetermined width that is perpendicular and slightly larger than the thickness of the rotary disc of the encoder, and as the part of the rotary disc rotates, the optical fiber is constantly cut off. The rotary circle is a transparent disk having a groove formed to allow passage through the part and is fixedly disposed on a motor shaft of a motor that drives a load, and a light-shielding thin film that can be dissolved and evaporated by laser light is provided on at least one surface of the rotating circle. A plate is inserted into the groove, and one or more slits are created by irradiating the laser beam from one end of the optical fiber introduced from the outside of the optical fiber support while sequentially rotating the rotating disk. a light emitting element that emits a laser beam and a light receiving element that receives the laser beam through the slit; This is a rotary encoder characterized by comprising:
本発明は、上記のロータリーエンコーダの作成
方法でありまたそれにより形成されたロータリー
エンコーダであるので、
可塑性物質でモールドして光フアイバ支持体を
構成し、直線部に対し、垂直でかつ所定幅をもつ
て光フアイバとともに光フアイバ支持体を切取つ
て溝を形成するから、
発光側と受光側の光フアイバの光軸を合致させ
ることができ、
光損失がきわめて少ない高精度のロータリーエ
ンコーダを作成可能となり、
また、そのような高精度のロータリーエンコー
ダがえられる。
The present invention is a method for producing the above-mentioned rotary encoder and a rotary encoder formed by the method, so an optical fiber support is formed by molding with a plastic material, and the optical fiber support is perpendicular to the straight part and has a predetermined width. Since the optical fiber support is cut out along with the optical fiber to form a groove, the optical axes of the optical fibers on the emitting side and the receiving side can be aligned, making it possible to create a high-precision rotary encoder with extremely low optical loss. , Also, such a high-precision rotary encoder can be obtained.
第1図は、本発明の一実施例を表す回路構成の
ブロツク図であつて、光フアイバとレーザ光を用
いてロータリエンコーダのスリツトを作成する装
置を示している。
FIG. 1 is a block diagram of a circuit configuration representing one embodiment of the present invention, showing an apparatus for creating a slit for a rotary encoder using an optical fiber and a laser beam.
1はビスマス薄膜、2はガラスデイスク、3は
シヤフト、4はハブ、5は固定側検出部、6,
6′は光フアイバ、7はレーザ装置、8は取り付
けモータつまりロータリエンコーダとして作動す
るための本来固有のモータでロータリエンコーダ
単体の場合はブラケツトである。 1 is a bismuth thin film, 2 is a glass disk, 3 is a shaft, 4 is a hub, 5 is a fixed side detection part, 6,
Reference numeral 6' indicates an optical fiber, 7 indicates a laser device, and 8 indicates a mounting motor, that is, an original motor for operating as a rotary encoder, and in the case of a single rotary encoder, a bracket.
9はカツプリング、10は制御回路、11は基
準角度信号発生装置(角度原器)、12は駆動回
路、13は加工のためにシヤフト3を回転させる
駆動モータ、14は駆動信号、15は角度信号、
16はレーザ制御信号である。 9 is a coupling, 10 is a control circuit, 11 is a reference angle signal generator (angle standard), 12 is a drive circuit, 13 is a drive motor that rotates the shaft 3 for processing, 14 is a drive signal, and 15 is an angle signal ,
16 is a laser control signal.
ガラスデイスク2にはビスマス蒸着されている
けれどもスリツトのないビスマス薄膜があり、制
御回路10からの駆動信号14により、駆動回路
を介して駆動モータ13が回転し、その回転角度
を角度信号15で制御回路10へ帰還し、この回
転角度を閉ループ制御している。 The glass disk 2 has a bismuth thin film deposited with bismuth but without slits, and a drive motor 13 is rotated via the drive circuit in response to a drive signal 14 from a control circuit 10, and its rotation angle is controlled by an angle signal 15. It is fed back to the circuit 10, and this rotation angle is controlled in a closed loop.
その制御された回転角度にカツプリング9を経
て追従し、ガラスデイスク2は回転される。 Following the controlled rotation angle via the coupling 9, the glass disk 2 is rotated.
一方、制御回路10からのレーザ制御信号16
は、レーザ装置7へ与えられるが、それは角度信
号15に関連するようにしてある。 On the other hand, the laser control signal 16 from the control circuit 10
is applied to the laser device 7 in such a way that it is related to the angle signal 15.
このようにして、レーザ装置7から発生した光
レーザは、光フアイバ6を経由して、固定側検出
部5において、ガラスデイスク2の上に蒸着され
たビスマス薄膜1を光レーザのエネルギで、スポ
ツト状に溶解蒸発させてスリツトを作成する。こ
の場合、光フアイバ6′は必要としない。 In this way, the optical laser generated from the laser device 7 passes through the optical fiber 6 and spots the bismuth thin film 1 deposited on the glass disk 2 at the fixed detection unit 5 with the energy of the optical laser. Create a slit by melting and evaporating it. In this case, the optical fiber 6' is not required.
ここで、ビスマス蒸着されたガラスデイスク2
は蒸着により形成された金属薄膜以外に、光エネ
ルギにより物理的性質が変化し、この変化が何ら
かの手段で検出できる材質であればよく、たとえ
ば光で感光し、その後熱を加えることにより現像
されるようなフイルム等でよい。 Here, the bismuth-deposited glass disk 2
In addition to metal thin films formed by vapor deposition, it may be any material whose physical properties change with light energy and this change can be detected by some means, such as by exposing it to light and then developing it by applying heat. Any film such as this may be used.
ところで、光フアイバ6,6′および固定側検
出部5は次のようにして作成する。 By the way, the optical fibers 6, 6' and the fixed side detection section 5 are manufactured as follows.
すなわち、光フアイバの中間部に直線部を形成
し、その直線部を含めて可塑性物質でモールドし
て光フアイバ支持体[固体側検出部5]を構成
し、前記直線部に対し、垂直でかつ所定幅をもつ
て光フアイバ6,6′とともにフアイバ支持体
[固定側検出部5]を切り取つて溝を形成し、回
転円板[ガラスデイスク2]の一部をフアイバ支
持体[固体側検出部5]を切り取つて形成した溝
に挿入し、光フアイバ6,6′からレーザ光を照
射してスリツトを設け、このレーザ光の照射によ
る一つ以上のスリツトの作成が、回転円板[ガラ
スデイスク2]を逐次回転させながら行われる。 That is, a straight part is formed in the middle part of the optical fiber, and the straight part is molded with a plastic material to constitute the optical fiber support [solid-side detection part 5]. A groove is formed by cutting out the fiber support [fixed side detection section 5] along with the optical fibers 6, 6' with a predetermined width, and a part of the rotating disk [glass disk 2] is cut out from the fiber support [solid side detection section]. 5] is cut and inserted into the groove formed, and slits are created by irradiating laser light from the optical fibers 6, 6'.The creation of one or more slits by the irradiation of this laser light is achieved by inserting the rotating disc [glass disk 2] is performed while sequentially rotating.
そうして、形成された光フアイバ6,6′とと
もにフアイバ支持体[固定側検出部5]の状態は
そのまま、ロータリエンコーダを構成するもので
あり、光フアイバ6,6′の一方にレーザ光の発
光素子を他方に受光素子を配設し、かつ光フアイ
バ6,6′は一つ以上必要に応じて平行して配設
される。 The state of the fiber support body [fixed side detection unit 5] together with the formed optical fibers 6, 6' constitutes a rotary encoder as it is, and a laser beam is applied to one of the optical fibers 6, 6'. A light emitting element is disposed on the other side and a light receiving element is disposed on the other side, and one or more optical fibers 6, 6' are disposed in parallel as required.
第2図は、第1図の装置の動作説明図である。 FIG. 2 is an explanatory diagram of the operation of the apparatus shown in FIG. 1.
例えば、6000スリツトを作成する場合には、駆
動モータ13により(360゜/2×6000)を回転させる
。 For example, when creating 6000 slits, the drive motor 13 rotates (360°/2×6000).
その間に、レーザ発生装置7から発生した光レ
ーザは、光フアイバ6を通り、ガラスデイスク2
の上のビスマス薄膜1を溶解蒸発させて、スリツ
ト20をつくる。 In the meantime, the optical laser generated from the laser generator 7 passes through the optical fiber 6 and passes through the glass disk 2.
A slit 20 is formed by melting and evaporating the bismuth thin film 1 on top.
この動作を(360゜/2×6000)の1回おきに行なえ ば、6000スリツトのデイスクが完成する。 Do this operation every other time (360°/2×6000) In this case, a 6000-slit disk will be completed.
しかして、光フアイバ6は1本に限るものでは
なく、第3図、第4図のように、細い光フアイバ
6を複数本束ねれば、スリツト20の形状・寸法
を任意に変化させることができる。 However, the number of optical fibers 6 is not limited to one; if a plurality of thin optical fibers 6 are bundled together as shown in FIGS. 3 and 4, the shape and dimensions of the slit 20 can be changed arbitrarily. can.
第5図は、本発明になるロータリエンコーダの
構成概要図である。 FIG. 5 is a schematic diagram of the configuration of a rotary encoder according to the present invention.
これは、第1図の実施例で作成されたロータリ
エンコーダを、回転角度検出器として用いる場合
を表わしている。 This represents the case where the rotary encoder produced in the embodiment of FIG. 1 is used as a rotation angle detector.
すなわち、第5図のように、ガラスデイスク2
の下方よりビスマス薄膜1を溶解蒸発させない程
度の低エネルギ光を照射し、スリツト20の製作
時に使用した光フアイバ6をそのまま利用して、
スリツト部よりの透過光の強弱を制御回路21で
電気信号に変換するもので、17は発光素子、1
8は受光素子、19は出力信号を示しており、光
フアイバ6によりモータ8と離れた場所で制御で
きるので温度ノイズ等の問題がなくなる。 That is, as shown in FIG.
A low-energy light that does not melt and evaporate the bismuth thin film 1 is irradiated from below, and the optical fiber 6 used when manufacturing the slit 20 is used as it is.
The control circuit 21 converts the strength of the transmitted light from the slit portion into an electric signal, and 17 is a light emitting element;
Reference numeral 8 indicates a light receiving element, and reference numeral 19 indicates an output signal.Since the motor 8 can be controlled at a location distant from the motor 8 through the optical fiber 6, problems such as temperature noise are eliminated.
第6図は、本発明の他の実施例のブロツクダイ
アグラムである。 FIG. 6 is a block diagram of another embodiment of the invention.
これは、光レーザによるスリツト20の作成方
法として、駆動モータ13をPLL(Phase
Lockcd Loop)方式のような定速回転駆動手段
で回転させるものである。 This is a method for creating slits 20 using an optical laser, in which the drive motor 13 is
It is rotated by a constant speed rotation drive means such as the Lockcd Loop system.
パルスを50%のデユーテイサイクルとしたと
き、
レーザ制御用パルス周波数F〔ヘルツ・Hz〕
=駆動モータ13の回転数(rps〕
×スリツト20の数
で示されるような周波数のパルス信号27をレー
ザ制御用パルス周波数発生装置26から発生さ
せ、レーザ装置28の制御信号として加えればよ
い。22はPLL制御回路、23はPLL用検出器、
24はその検出信号、25はモータ回転数信号で
ある。 When the pulse has a duty cycle of 50%, the pulse signal 27 with the frequency shown by the laser control pulse frequency F [hertz/Hz] = rotational speed of the drive motor 13 (rps) × number of slits 20 is used. It is sufficient to generate the pulse frequency from the laser control pulse frequency generator 26 and add it as a control signal to the laser device 28. 22 is a PLL control circuit, 23 is a PLL detector,
24 is its detection signal, and 25 is a motor rotation speed signal.
この実施例は、基準角度信号発生装置11を使
用しないスリツト作成手段であり、高速回転で行
なえば短時間でスリツト作成が可能となる。 This embodiment is a slit making means that does not use the reference angle signal generating device 11, and if the rotation is performed at high speed, the slit can be made in a short time.
第7図〜第11図は、本発明の別の実施例とし
ての光フアイバの固定手段の説明図である。 7 to 11 are explanatory views of optical fiber fixing means as another embodiment of the present invention.
光フアイバ6を使用する場合、発光側の光フア
イバと受光側の光フアイバの光軸が合致していな
いと光の出力損失が生じる。 When using the optical fiber 6, if the optical axes of the light-emitting side optical fiber and the light-receiving side optical fiber do not match, a light output loss will occur.
そこで、その光軸が合致した固定側検出(セン
サ)部5の形成方策として次に示すものが考えら
れる。 Therefore, the following can be considered as a method for forming the fixed side detection (sensor) section 5 whose optical axes coincide.
第7図のように1本または複数の光フアイバ6
の途中を樹脂等の可塑性物質でモールドし、第8
図・第9図のようにこのモールドの間を光フアイ
バの直線部に垂直でかつ円板がその中で回転しう
る十分狭い幅をもつた空〓29でフアイバととも
にカツトし、カツトした両面30と31を研磨す
れば、光軸のズレが零の検出部5を作成でき、人
力光32と出力光33の光軸は合致する。本発明
の特徴はまさにこの点にある。 One or more optical fibers 6 as shown in FIG.
The middle part is molded with a plastic material such as resin, and the eighth
As shown in Figure 9, an air hole 29 perpendicular to the straight part of the optical fiber and narrow enough to allow the disc to rotate therein is cut between the molds together with the fiber, and the cut surfaces 30 By polishing and 31, it is possible to create a detection unit 5 with zero deviation of the optical axis, and the optical axes of the human-powered light 32 and the output light 33 match. This is precisely the feature of the present invention.
第10図、第11図は、本発明の実施例おける
光フアイバ6の形状を変化させた断面形状図であ
る。 FIGS. 10 and 11 are cross-sectional diagrams showing different shapes of the optical fiber 6 in the embodiment of the present invention.
第10図は直径の異なる光フアイバ6で三角形
状の断面を構成したものであり、第11図は光フ
アイバ6の間にスペーサ36,37を挿入してそ
れをモールドしたものであり、光の密度を高めた
り、光フアイバ6を正確な寸法で配列可能とな
る。 Fig. 10 shows a triangular cross-section made up of optical fibers 6 with different diameters, and Fig. 11 shows one in which spacers 36 and 37 are inserted between the optical fibers 6 and molded. It becomes possible to increase the density and arrange the optical fibers 6 with accurate dimensions.
かくして本発明によれば、
(a) 可塑性物質でモールドして光フアイバ支持体
を構成し、直線部に対し、垂直でかつ所定幅を
もつて光フアイバとともに光フアイバ支持体を
切取つて溝を形成するので、発光側と受光側の
光フアイバの光軸を合致させることができ、光
損失がきわめて少ない高精度のロータリーエン
コーダを作成可能となり、ガラスデイスクをシ
ヤフトに取り付けた後に、シヤフトを回転させ
ながら、スリツトを作成するため、デイスクの
取付時に生ずる偏心による検出誤差がなくな
る。
Thus, according to the present invention, (a) an optical fiber support is formed by molding with a plastic material, and a groove is formed by cutting the optical fiber support together with the optical fiber perpendicular to the straight portion and having a predetermined width; This makes it possible to match the optical axes of the optical fibers on the emitting side and the receiving side, making it possible to create a highly accurate rotary encoder with extremely low optical loss. Since a slit is created, detection errors due to eccentricity that occur when mounting the disk are eliminated.
(b) 偏心量を零にするための調整時間が不要であ
る。(b) No adjustment time is required to make the amount of eccentricity zero.
(c) 偏心がないため回転するデイスクのスリツト
の中心径を小さくできるので、従来より小型の
ロータリエンコーダが製作可能である。(c) Since there is no eccentricity, the center diameter of the slit in the rotating disk can be made small, making it possible to manufacture a rotary encoder smaller than conventional ones.
(d) スリツト作成時に使用した光フアイバを使用
することから、発・受光素子および回路部品た
とえば制御回路をエンコーダと一体にする必要
がないため、モータの温度上昇による素子等へ
の影響がなく、この点からも小型化ができ、か
つモータの発生ノイズの干渉もない。(d) Since the same optical fiber used when making the slit is used, there is no need to integrate the emitting/light receiving elements and circuit components, such as the control circuit, with the encoder, so there is no effect on the elements due to the temperature rise of the motor. From this point of view as well, it can be made smaller and there is no interference from noise generated by the motor.
(e) 光フアイバをその断面を三角形状に束ねるこ
とから、光量を増加でき、処理し易く、S/N
が改善され、誤差の平均化が図れて精度が向上
するなどの効果がある。(e) By bundling the optical fibers in a triangular cross section, the amount of light can be increased, it is easy to process, and the S/N is low.
This has the effect of improving accuracy by averaging errors and improving accuracy.
とくに、本発明はその方法によりスリツトを作
成した回転デイスクを用いているから、発光側と
受光側の光軸を全く簡単に合致させられるので、
光損失の特段に少ない高精度のロータリエンコー
ダが得られるという効果を奏することができる。 In particular, since the present invention uses a rotating disk with slits created by this method, the optical axes of the light emitting side and the light receiving side can be aligned quite easily.
It is possible to obtain a highly accurate rotary encoder with particularly low optical loss.
第1図は本発明の一実施例の回路構成を表すブ
ロツク図、第2図は第1図の装置の動作説明図、
第3図・第4図はその一実施例における光フアイ
バの形成図、第5図は本発明のその一実施例にお
けるロータリエンコーダの構成概要図、第6図は
本発明の他の実施例の回路構成を示すブロツク
図、第7図〜第11図は本発明の別の実施例おけ
る光フアイバの固定手段の説明図である。
1……ビスマス薄膜、2……ガラスデイスク、
3……シヤフト、4……ハブ、5……固定側検出
部、6,6′……光フアイバ、7,28……レー
ザ装置、8……取り付けモータ、9……カツプリ
ング、10……制御回路、11……基準角度信号
発生装置(角度原器)、12……駆動回路、13
……駆動モータ、14……駆動信号、15……角
度信号、16……レーザ制御信号、17……発光
素子、18……受光素子、19……出力信号、2
0……スリツト、21……制御回路、22……
PLL(Phase Locked Loop)制御回路、23…
…PLL用検出器、24……検出信号、25……
モータ回転数信号、26……レーザ制御用パルス
周波数発生装置、27……パルス信号、29……
空〓、30,31……カツトし研磨された面、3
2……入力光、33……出力光、36,37……
スペーサ。
FIG. 1 is a block diagram showing the circuit configuration of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram of the operation of the device shown in FIG. 1,
3 and 4 are diagrams of the formation of an optical fiber in one embodiment of the present invention, FIG. 5 is a schematic diagram of the configuration of a rotary encoder in one embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a diagram of another embodiment of the present invention. The block diagrams showing the circuit configuration and FIGS. 7 to 11 are explanatory diagrams of the optical fiber fixing means in another embodiment of the present invention. 1...Bismuth thin film, 2...Glass disk,
3... Shaft, 4... Hub, 5... Fixed side detection unit, 6, 6'... Optical fiber, 7, 28... Laser device, 8... Mounting motor, 9... Coupling, 10... Control Circuit, 11... Reference angle signal generator (angle standard), 12... Drive circuit, 13
... Drive motor, 14 ... Drive signal, 15 ... Angle signal, 16 ... Laser control signal, 17 ... Light emitting element, 18 ... Light receiving element, 19 ... Output signal, 2
0...Slit, 21...Control circuit, 22...
PLL (Phase Locked Loop) control circuit, 23...
...PLL detector, 24...detection signal, 25...
Motor rotation speed signal, 26...Pulse frequency generator for laser control, 27...Pulse signal, 29...
Sky = 30, 31...Cut and polished surface, 3
2...Input light, 33...Output light, 36, 37...
Spacer.
Claims (1)
くとも一方の面にレーザ光により溶解蒸発させう
る遮光薄膜をそなえた回転円板を自由に回転しう
るように配設し、 光フアイバの中間部に直線部を形成し、 その直線部を含めて可塑性物質でモールドして
光フアイバ支持体を構成し、 前記直線部に対し、垂直でかつ所定幅をもつて
前記光フアイバとともに前記フアイバ支持体を切
り取つて溝を形成し、 前記回転円板の一部を前記フアイバ支持体を切
り取つて形成した前記溝に挿入し、 前記光フアイバから前記レーザ光を照射してス
リツトを前記回転円板に作成し、 このレーザ光の照射による一つ以上のスリツト
の作成が、前記回転円板を逐次回転させながら行
われる ことを特徴とするロータリーエンコーダの作成方
法。 2 中間部に直線部を形成し、その直線部を含め
て可塑性物質でモールドして構成した光フアイバ
支持体を持つ光フアイバを有し、 前記光フアイバ支持体は、それが含有する直線
部に対し、垂直でかつエンコーダの回転円板の厚
みよりやや大きい所定幅をもつて、前記光フアイ
バとともに前記フアイバ支持体を切り取り、前記
回転円板の一部が回転に連れて常に前記光フアイ
バの切り取り部分を通過できるように形成した溝
を備え、 前記回転円板は、負荷を駆動するモータのモー
タシヤフトに固着配設した透明な円板の少なくと
も一方の面にレーザ光により溶解蒸発できる遮光
薄膜をそなえ、かつ前記回転円板を前記溝に挿入
して前記回転円板を逐次回転させながら前記光フ
アイバ支持体の外部より導入される光フアイバの
一端から前記レーザ光を照射して作成した一つ以
上のスリツトを備え、 前記光フアイバの一端および前記フアイバ支持
体を経由した前記光フアイバの他端に、レーザ光
を発射する発光素子ならびにそのレーザ光を前記
スリツトを介して受光する受光素子を具備したこ
とを特徴とするロータリーエンコーダ。[Scope of Claims] 1. A rotary disk is provided with a light-shielding thin film that can be dissolved and evaporated by laser light on at least one surface of a transparent disk attached to a motor shaft, and is arranged so as to be freely rotatable. A straight part is formed in the middle part of the fiber, and the straight part is molded with a plastic material to constitute an optical fiber support, and the straight part is perpendicular to the straight part and has a predetermined width. cutting out the fiber support to form a groove; inserting a portion of the rotary disk into the groove formed by cutting out the fiber support; and irradiating the laser beam from the optical fiber to cut the slit into the rotation circle; 1. A method for producing a rotary encoder, comprising: forming one or more slits on a plate, and forming one or more slits by irradiating the laser beam while sequentially rotating the rotating disk. 2. An optical fiber having an optical fiber support formed by forming a straight part in the middle part and molding the straight part including the straight part with a plastic material, wherein the optical fiber support has a straight part contained in the optical fiber support. On the other hand, the fiber support is cut out along with the optical fiber to have a predetermined width that is perpendicular and slightly larger than the thickness of the rotary disc of the encoder, and as the part of the rotary disc rotates, the optical fiber is constantly cut away. The rotary disk is provided with a light-shielding thin film that can be dissolved and evaporated by laser light on at least one surface of a transparent disk that is fixedly disposed on a motor shaft of a motor that drives a load. The one prepared by inserting the rotating disk into the groove and sequentially rotating the rotating disk while irradiating the laser beam from one end of the optical fiber introduced from the outside of the optical fiber support. The above slit is provided, and a light emitting element that emits a laser beam and a light receiving element that receives the laser beam through the slit are provided at one end of the optical fiber and the other end of the optical fiber that passes through the fiber support. A rotary encoder characterized by:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14576679A JPH0238891B2 (en) | 1979-11-10 | 1979-11-10 | ROOTARIIENKOODANOSAKUSEIHOHOOYOBISORENYORISAKUSEISARETA ROOTARIIENKOODA |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14576679A JPH0238891B2 (en) | 1979-11-10 | 1979-11-10 | ROOTARIIENKOODANOSAKUSEIHOHOOYOBISORENYORISAKUSEISARETA ROOTARIIENKOODA |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5669513A JPS5669513A (en) | 1981-06-10 |
| JPH0238891B2 true JPH0238891B2 (en) | 1990-09-03 |
Family
ID=15392658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14576679A Expired - Lifetime JPH0238891B2 (en) | 1979-11-10 | 1979-11-10 | ROOTARIIENKOODANOSAKUSEIHOHOOYOBISORENYORISAKUSEISARETA ROOTARIIENKOODA |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0238891B2 (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5819507A (en) * | 1981-07-28 | 1983-02-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Manufacture of optical sensor |
| JP3040359B2 (en) * | 1997-06-12 | 2000-05-15 | ファナック株式会社 | Circumferential circulation type article and its processing method, and rotary encoder and its processing method |
| KR20030014764A (en) * | 2001-08-13 | 2003-02-20 | 주식회사 만도 | Turning angle sensing device |
-
1979
- 1979-11-10 JP JP14576679A patent/JPH0238891B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5669513A (en) | 1981-06-10 |
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