JPH0239295B2 - Gasunoseiseihoho - Google Patents
GasunoseiseihohoInfo
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- JPH0239295B2 JPH0239295B2 JP57069307A JP6930782A JPH0239295B2 JP H0239295 B2 JPH0239295 B2 JP H0239295B2 JP 57069307 A JP57069307 A JP 57069307A JP 6930782 A JP6930782 A JP 6930782A JP H0239295 B2 JPH0239295 B2 JP H0239295B2
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Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ガスの精製方法に関し、もつと詳し
くは、計測機器の零点を調整するための標準ガス
いわゆる零ガスを製造するためのガスの精製方法
に関する。
くは、計測機器の零点を調整するための標準ガス
いわゆる零ガスを製造するためのガスの精製方法
に関する。
従来から、大気汚染などの測定において用いら
れる一酸化窒素ガスの零ガス、すなわち高純度な
窒素ガスであつて一酸化窒素ガスを含まない窒素
ガス、を製造することは、極めて困難であつた。
市販の零ガス窒素ボンベと称する高純度窒素ガス
ボンベには、10ppb以下の一酸化窒素ガスを含む
ことが推定される。したがつて、環境基準に定め
られたたとえば20ppb前後の窒素酸化物の測定時
に、このような高純度窒素ガスボンベに充填され
た窒素ガスを校正用の零ガスとして用いること
は、窒素酸化物濃度の測定の正確さを欠くもので
ある。
れる一酸化窒素ガスの零ガス、すなわち高純度な
窒素ガスであつて一酸化窒素ガスを含まない窒素
ガス、を製造することは、極めて困難であつた。
市販の零ガス窒素ボンベと称する高純度窒素ガス
ボンベには、10ppb以下の一酸化窒素ガスを含む
ことが推定される。したがつて、環境基準に定め
られたたとえば20ppb前後の窒素酸化物の測定時
に、このような高純度窒素ガスボンベに充填され
た窒素ガスを校正用の零ガスとして用いること
は、窒素酸化物濃度の測定の正確さを欠くもので
ある。
本発明の目的は、このような従来技術の問題点
を解決して、不純物ガスの含有量が極めて少ない
ガスの精製方法を提供することである。
を解決して、不純物ガスの含有量が極めて少ない
ガスの精製方法を提供することである。
本発明は、不純物ガスとして一酸化窒素ガスを
含む精製されるべき窒素ガスを、高純度炭素から
形成された平均細径10Å〜20Åのモレキユラシー
ブが充填され、かつこのモレキユラシーブが一酸
化窒素の融点以下に冷却された分離管内に流過さ
せることを特徴とするガスの精製方法である。
含む精製されるべき窒素ガスを、高純度炭素から
形成された平均細径10Å〜20Åのモレキユラシー
ブが充填され、かつこのモレキユラシーブが一酸
化窒素の融点以下に冷却された分離管内に流過さ
せることを特徴とするガスの精製方法である。
第１図は、本発明に従うガスの精製装置１の簡
略化した系統図である。ガスの精製装置１は、一
定流量の精製すべきガスを供給するガス供給手段
２と、供給されたガス中の不純物ガスをトラツプ
する不純物除去手段３と、除去手段３を冷却する
冷却部４とを含む。ガス供給手段２は、一酸化窒
素ガスを1.5〜2.5ppb含む高純度窒素ガスボンベ
５と、１次減圧弁６と、２次減圧弁７と管路８と
から成る。ガス供給手段２は、ガスボンベ５の窒
素ガスを、減圧弁６，７によつて減圧して、一定
流量たとえば800ml／minの流量で管路８を介し
て不純物除去手段３に供給する。
略化した系統図である。ガスの精製装置１は、一
定流量の精製すべきガスを供給するガス供給手段
２と、供給されたガス中の不純物ガスをトラツプ
する不純物除去手段３と、除去手段３を冷却する
冷却部４とを含む。ガス供給手段２は、一酸化窒
素ガスを1.5〜2.5ppb含む高純度窒素ガスボンベ
５と、１次減圧弁６と、２次減圧弁７と管路８と
から成る。ガス供給手段２は、ガスボンベ５の窒
素ガスを、減圧弁６，７によつて減圧して、一定
流量たとえば800ml／minの流量で管路８を介し
て不純物除去手段３に供給する。
第２図は、不純物除去手段３の一部を示す縦断
面図である。不純物除去手段３は、たとえば内径
４mmのステンレス鋼製の分離管９に後述のモレキ
ユラシーブ１０がたとえば10ml充填されて成る。
この不純物除去手段３は、冷却部４によつて冷却
される。冷却部４には、容器１１に冷却剤１２が
満たされ、前記分離管９が浸漬される。これによ
つて、ガス供給手段２から供給された不純物ガス
として一酸化窒素ガスを含む窒素ガスは、矢符１
３で示すようにモレキユラシーブ１０が充填され
た分離管９内を流過する際に、モレキユラシーブ
１０によつて一酸化窒素ガスだけがトラツプさ
れ、精製される。精製された窒素ガスは管路１４
から外部に供給される。
面図である。不純物除去手段３は、たとえば内径
４mmのステンレス鋼製の分離管９に後述のモレキ
ユラシーブ１０がたとえば10ml充填されて成る。
この不純物除去手段３は、冷却部４によつて冷却
される。冷却部４には、容器１１に冷却剤１２が
満たされ、前記分離管９が浸漬される。これによ
つて、ガス供給手段２から供給された不純物ガス
として一酸化窒素ガスを含む窒素ガスは、矢符１
３で示すようにモレキユラシーブ１０が充填され
た分離管９内を流過する際に、モレキユラシーブ
１０によつて一酸化窒素ガスだけがトラツプさ
れ、精製される。精製された窒素ガスは管路１４
から外部に供給される。
前記モレキユラシーブ１０は、特殊な表面構造
をもつた高純度炭素から成り、60〜120メツシユ
の粒状に形成され、平均細径10〜20Å、表面積
1000〜1200m2／ｇを有する可逆捕集吸着剤であ
り、好ましくは、60〜80メツシユの粒状とされ
る。このモレキユラシーブ１０には、たとえば商
品名カーボシーブＢ（米国、スペルコ社製）が選
ばれる。60〜80メツシユとされたカーボシーブＢ
をたとえば内径3.2mm、管長91.5cmのカラムに充
填する。このカラム温度を30℃／minの速度で
175℃から225℃まで昇温して窒素ガスをキヤリヤ
ガスとしたとき、炭素数１〜３の炭化水素ガスを
フレームイオン化検出器を用いて分析した結果を
第３図に示す。第３図に示すピーク３１，３２，
３３，３４，３５，３６，３７，３８は、それぞ
れメタン、アセチレン、エチレン、エタン、メチ
ルアセチレン、アレン、プロピレン、プロパンの
存在を表す。このように、モレキユラシーブ１０
は、本来無機または有機ガスの分離に用いられる
ものである。本件発明者は、このモレキユラシー
ブ１０を一酸化窒素の融点（−163.7℃）以下に
冷却することによつて、モレキユラシーブ１０間
を流過される極めて微量の一酸化窒素が選択的に
トラツプされることを見つけ出した。
をもつた高純度炭素から成り、60〜120メツシユ
の粒状に形成され、平均細径10〜20Å、表面積
1000〜1200m2／ｇを有する可逆捕集吸着剤であ
り、好ましくは、60〜80メツシユの粒状とされ
る。このモレキユラシーブ１０には、たとえば商
品名カーボシーブＢ（米国、スペルコ社製）が選
ばれる。60〜80メツシユとされたカーボシーブＢ
をたとえば内径3.2mm、管長91.5cmのカラムに充
填する。このカラム温度を30℃／minの速度で
175℃から225℃まで昇温して窒素ガスをキヤリヤ
ガスとしたとき、炭素数１〜３の炭化水素ガスを
フレームイオン化検出器を用いて分析した結果を
第３図に示す。第３図に示すピーク３１，３２，
３３，３４，３５，３６，３７，３８は、それぞ
れメタン、アセチレン、エチレン、エタン、メチ
ルアセチレン、アレン、プロピレン、プロパンの
存在を表す。このように、モレキユラシーブ１０
は、本来無機または有機ガスの分離に用いられる
ものである。本件発明者は、このモレキユラシー
ブ１０を一酸化窒素の融点（−163.7℃）以下に
冷却することによつて、モレキユラシーブ１０間
を流過される極めて微量の一酸化窒素が選択的に
トラツプされることを見つけ出した。
冷却剤１２としては、たとえば液体酸素が選ば
れる。液体酸素の沸点は−183.0℃であるので、
一酸化窒素の融点以下である。このように、モレ
キユラシーブ１０にカーボシーブＢを用いて冷却
剤１２に液体酸素を用いた場合において、本発明
に従えば、高純度窒素ガスボンベ５に含まれた
1.5〜2.5ppbの一酸化窒素ガスは、管路１４から
外部に供給されるとき、0.1ppb以下となる。
れる。液体酸素の沸点は−183.0℃であるので、
一酸化窒素の融点以下である。このように、モレ
キユラシーブ１０にカーボシーブＢを用いて冷却
剤１２に液体酸素を用いた場合において、本発明
に従えば、高純度窒素ガスボンベ５に含まれた
1.5〜2.5ppbの一酸化窒素ガスは、管路１４から
外部に供給されるとき、0.1ppb以下となる。
上述の実施例では、冷却剤１２として液体酸素
が用いられたけれども、本発明の他の実施例とし
ては、液体酸素に代えて、液体空気が用いられて
もよい。
が用いられたけれども、本発明の他の実施例とし
ては、液体酸素に代えて、液体空気が用いられて
もよい。
なお参考のために、モレキユラシーブ１０に代
えて活性炭およびシリカ系のモレキユラシーブが
用いられても、一酸化窒素ガスは、殆んどトラツ
プされない。また冷却剤１２として液体酸素が用
いられたけれども、液体酸素に代えてドライアイ
ス−エタノール系（−80℃）の冷却剤が用いられ
たとき、1.5〜2.5ppb含まれた一酸化窒素ガスは
0.3ppb程まで除去されるにすぎない。
えて活性炭およびシリカ系のモレキユラシーブが
用いられても、一酸化窒素ガスは、殆んどトラツ
プされない。また冷却剤１２として液体酸素が用
いられたけれども、液体酸素に代えてドライアイ
ス−エタノール系（−80℃）の冷却剤が用いられ
たとき、1.5〜2.5ppb含まれた一酸化窒素ガスは
0.3ppb程まで除去されるにすぎない。
以上のように本発明によれば不純物ガスの含有
量が極めて少ないガスを精製するとができるの
で、計測機器の零点を調整するための標準ガスを
容易に得ることができる。
量が極めて少ないガスを精製するとができるの
で、計測機器の零点を調整するための標準ガスを
容易に得ることができる。
第１図は、本発明に従うガスの精製装置１の簡
略化した系統図、第２図は不純物除去手段３の一
部を示す縦断面図、第３図は本発明に用いるモレ
キユラシーブ１０によつて炭化水素ガスを分離し
たグラフである。 １…ガスの精製装置、２…ガス供給手段、３…
不純物除去手段、４…冷却部、５…ガスボンベ、
６，７…減圧弁、８，１４…管路、９…分離管、
１０…モレキユラシーブ、１１…容器、１２…冷
却剤。
略化した系統図、第２図は不純物除去手段３の一
部を示す縦断面図、第３図は本発明に用いるモレ
キユラシーブ１０によつて炭化水素ガスを分離し
たグラフである。 １…ガスの精製装置、２…ガス供給手段、３…
不純物除去手段、４…冷却部、５…ガスボンベ、
６，７…減圧弁、８，１４…管路、９…分離管、
１０…モレキユラシーブ、１１…容器、１２…冷
却剤。
Claims (1)
- １ 不純物ガスとして一酸化窒素ガスを含む精製
されるべき窒素ガスを、高純度炭素から形成され
た平均細径10Å〜20Åのモレキユラシーブが充填
され、かつこのモレキユラシーブが一酸化窒素の
融点以下に冷却された分離管内に流過させること
を特徴とするガスの精製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57069307A JPH0239295B2 (ja) | 1982-04-23 | 1982-04-23 | Gasunoseiseihoho |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57069307A JPH0239295B2 (ja) | 1982-04-23 | 1982-04-23 | Gasunoseiseihoho |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58186416A JPS58186416A (ja) | 1983-10-31 |
| JPH0239295B2 true JPH0239295B2 (ja) | 1990-09-05 |
Family
ID=13398768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57069307A Expired - Lifetime JPH0239295B2 (ja) | 1982-04-23 | 1982-04-23 | Gasunoseiseihoho |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0239295B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2571176B2 (ja) * | 1992-06-09 | 1997-01-16 | 株式会社荏原製作所 | Ｃｖｄ法排ガスの除害方法 |
| US7314506B2 (en) * | 2004-10-25 | 2008-01-01 | Matheson Tri-Gas, Inc. | Fluid purification system with low temperature purifier |
| KR101221088B1 (ko) | 2012-03-30 | 2013-01-11 | (주)제니스텍 | 광범위 정제용 초저온 냉각 트랩장치 |
| JP6680611B2 (ja) * | 2016-04-28 | 2020-04-15 | 大旺新洋株式会社 | ガスの分離方法 |
-
1982
- 1982-04-23 JP JP57069307A patent/JPH0239295B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58186416A (ja) | 1983-10-31 |
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