JPH0242355B2

JPH0242355B2 -

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Publication number: JPH0242355B2
Application number: JP59092249A
Authority: JP
Priority date: 1984-05-08
Filing date: 1984-05-08
Publication date: 1990-09-21
Also published as: JPS60234853A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、微小開口よりインク液を噴射させ、
被記録物に文字、図形、画像等を記録するインク
ジエツトヘツドのノズル製造方法に関するもので
ある。

従来例の構成とその問題点近年、カラープリンタやコンピユータの端末機
器として、インクジエツト記録装置が利用される
ようになつてきた。

第１図は、特開昭57−131569号公報に示された
インクノズルの断面図を示す。１はインクノズル
板、２はノズル端部、３はインク吐出口である。
第１図のように、ノズル端部２にリング状の凸状
部が設けられた構成であると、ノズル端部２が一
定形状であり、鋭利な端縁を有するため、インク
液滴を噴射させた後のノズル端部２へのぬれによ
るインク液の残存は少なくなり、表面張力により
引き合う力の側方指向力は極く僅かとなり、また
すべての側方指向力は等しくなるため、インク液
滴がインク吐出口３の軸線方向に噴射されるとい
う効果があることが知られている。

この構成のインクノズルがどのようにして製造
されるかは前記公報には示されておらず不明であ
るが、感光性樹脂を使用して第１図と同様の構造
のものを使う製造方法として第２図に示す方法が
知られている。

第２図のａは、感光性樹脂１６の上に露光マス
ク１７を重ねて露光しているところである。イン
ク吐出口２０に相当するマスクパターン１８とそ
の周辺に網目状マスクパターン１９があり、パタ
ーン１８の部分は光を透過しないので、パターン
１８で覆われている領域の感光性樹脂１６は露光
されない。また網目状パターン１９によつて覆わ
れている領域の感光性樹脂１６は完全にはマスク
されていないので若干露光された状態になる。ま
た、パターン１８の周縁は、環状に露光される。
露光された部分の感光性樹脂１６は重合反応を起
して硬化し、溶剤不溶性になる。

第２図ａの状態で露光後溶剤で現像処理する
と、マスク１８で覆われていた部分は溶剤で溶解
され、第２図ｂに示すようにインク吐出口２０が
穿孔される。網目状マスクパターン１９で覆われ
ている部分は溶剤に対する溶解度が低下し、第２
図ｂに示すようにインク吐出口２０を穿孔するに
要する時間での現像処理では感光性樹脂１６の板
厚の途中までの溶解がなされる。一方マスク１８
の周辺のリング状部は露光が十分に行なわれ、そ
の部分は溶剤に不溶であるため第２図ｂに示すよ
うにインク吐出口２０の周辺に凸状部が形成され
ることになる。最後にインク吐出口２０の凸状部
が形成された面の反対側の面からインク吐出口２
０の形状を円錐形に切削することにより第１図の
ような構成のヘツドノズルが感光性樹脂を使うこ
とにより得られる。現像処理が完了後加熱または
紫外線照射により感光性樹脂は硬化される。

ところが、以上の方法ではインク吐出口２０の
直径D₂や、凸状部の端面の直径D₃等の寸法精度
は良いのであるが、インク吐出口２０の形状は、
テーパ状となり、座グリが入つた形状にはできな
いので、インク吐出口２０の管内抵抗を小さくす
ることが難かしい。そのために噴射エネルギーが
大きくなり問題となつていた。また感光性樹脂１
６は、有機物質であるために、インク特に油性イ
ンクで膨潤したり、剛性がないために第４図ｂの
ΔBの寸法が20μｍであるような微細な形状であ
ると変形してしまう問題があつた。

第３図は絶縁基板上に金属層を形成した２層構
造のノズル板を使用してリング状の凸状部が設け
られたインクノズルを形成する製造工程を示すも
ので、本出願人が先に出願した方法を示す。第３
図ａは絶縁基板１２の片面に銅層１３が接着され
ている２層構造のノズル板である。第３図のｂ
は、第３図ａのノズル板にレジストでマスキング
した後、銅層１３部を化学エツチングして凸状部
が形成されたところである。第３図のｃは、銅層
１３による凸状部にマイクロドリル加工により、
インク吐出口１４が穿孔されたところである。

この方法は１つのノズルを形成するにはよいの
であるが、２個以上のノズルを並べたマルチノズ
ルを作成する場合には種々の問題がある。すなわ
ち、化学エツチングで加工するとサイドエツチン
グが大きいために、凸状部の端面の直径寸法D₁
にバラツキが生じたり、また端面の形状が真円と
ならずバラツキを生じる。さらに、マイクロドリ
ルで加工するとインク吐出口１４が凸状部の端面
に対して偏心ΔAを生じたり、バリ１５を生じ
る。したがつて第３図のような製造方法である
と、各ノズル相互間の寸法精度を良くすることが
困難であり、そのために２個以上並べたマルチノ
ズルの場合、各々のノズルの記録特性が揃わず問
題となつていた。

発明の目的本発明は、以上のような欠点を解消するもの
で、剛性があり、比抵抗が強く、耐インク性にす
ぐれ、かつ寸法精度が良く、容易に加工すること
ができるインクジエツト記録ヘツドのノズル製造
方法を提供することを目的としている。

発明の構成上記目的を達成するため本発明は、感光性ガラ
ス板にノズル孔を形成すべき位置の周囲部のリン
グ状のパターンを除いて露光する第１の工程と、
前記露光された感光性ガラス板を熱処理現像する
第２の工程と、前記感光性ガラス板の両面をハー
フエツチングしてリング状の凸状部を両面に形成
する第３の工程と、前記ハーフエツチングされた
片面を耐エツチング液性材料でマスキングする第
４の工程と、第４の工程でマスキングされた面と
は反対側の面の前記リング状の凸状部を障壁とし
て利用し、前記リング状の凸状部の中に液体状の
耐エツチング液性材料を入れることなく、前記リ
ング状の凸状部の周りに前記液体状の耐エツチン
グ液性材料をぬれ広がらせてマスキングする第５
の工程と、第５の工程でマスキングされた前記液
体状の耐エツチング液性材料を固体状へと変化さ
せる第６の工程と、第５の工程でマスキングした
方向から前記リング状の凸状部の中をエツチング
して前記感光性ガラス板に貫通孔を形成する第７
の工程によりインクジエツト記録ヘツドのノズル
を製造するものである。

実施例の説明以下本発明の実施例について図面とともに詳細
に説明する。

まず、本発明により製造されるインクノズル板
を使用して好適なインクジエツト記録装置の一例
を第４図に示す。第４図において、絶縁性のノズ
ル板４には空気吐出口５が穿孔されており、この
ノズル板４と平行してノズル板６が配置され、か
つノズル板６には空気吐出口５に対向してインク
吐出口７が穿孔されている。インク吐出口７には
空気吐出口５方向に延びる凸状部が設けられてい
る。ノズル板４とノズル板６により形成される空
気層８には周辺から空気流が送られ、空気吐出口
５より流出させて空気流の曲りによる急激な圧力
勾配の変化を形成させる。信号源９はノズル板４
の表面でかつ空気吐出口５の周辺に設けられた電
極１０とインク吐出口７内のインクとの間に電位
差が生じるように、電極１０およびインク吐出口
７に連通した導電性のインク供給管１１に電気的
に接続されている。インク液滴は、空気流と静電
力とにより噴射される。第４図のように、インク
吐出口７に空気吐出口５方向に延びる凸状部が設
けられた構成であると、空気流は、突出したイン
ク吐出口７の影響でより急激に曲げられ、インク
吐出口７の近傍には空気流の死水域が発生し、こ
の死水域では空気流の圧力勾配がほとんどなく、
したがつてインク吐出口７でインクメカニカスが
若干変動してもインクが噴出することがなく、イ
ンクのメカニカスの安定感が高まる。

第５図は第４図に示したノズル板６にインク吐
出口７を形成したインクノズルの製造工程を示
す。第５図ａにおいて、２１は感光性ガラスでた
とえばCeO₂およびAg₂Oを含むSiO₂−Al₂O₃−
Li₂O系ガラスであり、その上に露光マスク２２
を配置して、波長280〜350nｍの紫外光をあてて
露光を行なう。露光マスク２２において、リング
状の部分２２ａは光を遮断し、２２ｂの部分は光
を透過する。第５図ｂは第５図ａの光の照射後の
様子を示し光があたつた部分２１ｂは Ce³⁺＋Ag⁺＋紫外光→Ce⁴⁺＋Ag⁰ なる反応がおこり、これに第１次熱処理を施し、
Agの金属コロイドを発生させ、さらに第２次熱
処理により、この金属コロイドが核になつて
Li₂O−SiO₂結晶が発生する。このような熱処理
現像により得られるLi₂O−SiO₂結晶はきわめて
酸に溶解しやすい。したがつて光が当つた部分２
１ｂは、弗酸水溶液によつて容易にエツチングす
ることができる。光があたらなかつた２１ａの部
分は結晶化していない部分で弗酸水溶液には腐食
されにくい。次に第５図ｃにおいて、感光性ガラ
ス２１の両面を弗酸水溶液により所定の深さにハ
ーフエツチングする。例えば、結晶化している部
分２１ｂを30μｍの深さにハーフエツチングする
には、弗酸濃度５％の弗酸水溶液、液温20℃、浸
漬エツチングにより約５分でできる。感光性ガラ
ス２１の結晶化している部分２１ｂと結晶化して
いない部分２１ａのエツチング速度の比は約30：
１と差があるので、結晶化している部分２１ｂの
方が速くエツチングされるため、図の中で２３と
２４で示した部分が速くエツチングされて、両面
にほぼ同じリング状の凸状部２５と２６が形成さ
れる。結晶化していない部分２１ａも少しエツチ
ングされるため、リング状の凸状部２５と２６は
テーパ状となる。次に第５図ｄに示すように感光
性ガラス２１の片面全体を、耐エツチング液性材
料たとえば耐弗酸性材料としてパラフイン系のエ
レクトロンワツクス（宗電子工業(株)製）２８でマ
スキングする。エレクトロンワツクス２８は、温
度の高低により液相と固相の生じるパラフイン系
の接着剤で約48℃以上の温度では液状となるた
め、感光性ガラス２１を例えば58℃に上げて、エ
レクトロンワツクス２８を塗つてマスキングし、
取り扱いを良くするためにガラス基板２９を、エ
レクトロンワツクス２８に貼りつける。そして、
エレクトロンワツクス２８でマスキングした面と
反対の面を、前記と同材料のエレクトロンワツク
ス２７でマスキングする。感光性ガラス２１を例
えば58℃に上げて、エレクトロンワツクス２７の
塗る量を塗る面積に合わせ適量とし、所定の時間
保持すれば、リング状の凸状部２６の近傍に塗ら
れたエレクトロンワツクス２７は、除々にぬれて
広がり、リング状の凸状部２６の中にエレクトロ
ンワツクス２７が入ることなくマスキングするこ
とができる。ここでは、エレクトロンワツクス２
７の膜厚を5μｍ以上としている。弗酸濃度５％
の弗酸水溶液、液温20℃、浸漬エツチングにより
約５分エツチングを行なつた場合、結晶化してい
る部分２１ｂのハーフエツチングされた表面２４
ａは、中心線平均粗さが0.1μｍであり、結晶化し
ていない部分２１ａのハーフエツチングされたリ
ング状の凸状部２６の端面２６ａと側面２６ｂ
は、中心線平均粗さが0.01μｍと0.05μｍで、端面
２６ａは、他の表面に比べ表面粗さが小さいため
に、エレクトロンワツクス２７のぬれ性が悪い。
したがつて端面２６ａのぬれ性が悪いために、リ
ング状の凸状部２６の周縁２６ｃでエレクトロン
ワツクス２７をくいとめることが可能である。ま
た、リング状の凸状部２６は、凸状に高くなつて
いるためにエレクトロンワツクス２７を溜めるこ
とができるので、エレクトロンワツクス２７を厚
く塗ることができる。これらの理由により、リン
グ状の凸状部２６は、エレクトロンワツクス２７
のぬれの速さを遅らせてくいとめる障壁の働きが
あるが、寸法が小さすぎるとエレクトロンワツク
ス２７がリング状の凸状部２６の中に入るのを、
くいとめることが難かしくなるので適当な大きさ
に設定する必要がある。ここでは、図の中でΔC
＝30μｍ、ΔD＝20μｍとしている。次にエレクト
ロンワツクス２７の温度を低くして液体状から固
体状へと変化させる。更に第５図ｅにおいて、エ
レクトロンワツクス２７でマスキングした方か
ら、感光性ガラス２１の２度目のエツチングをリ
ング状の凸状部２６の中から、反対側のリング状
の凸状部２５の中に穴が貫通するまで行なう。エ
レクトロンワツクス２７は、約34℃の温度で軟化
しはじめるので、34℃より低い温度の弗酸水溶液
でエツチングした方が良く、また機械的強度が小
さいので、エツチング方法を浸漬方法とすると良
い。例えば、２度目のエツチング深さが170μｍ、
穴径が約50μｍのときには、弗酸濃度５％の弗酸
水溶液、液温20℃、浸漬方法により35分ででき
る。エツチング部３０は貫通した部分で、感光性
ガラス２１の結晶化している部分２１ｂが多くエ
ツチングされ、かつ結晶化していない部分２１ａ
も少しエツチングされてテーパ状となる。エツチ
ング部３１は、弗酸水溶液によるエレクトロンワ
ツクス２７の僅かの溶け出しや、結晶化していな
い部分２１ａのエツチングのために生じたサイド
エツチング部であり、結晶化している部分２１ｂ
も少しサイドエツチングされている。次に第５図
ｆに示すように前記のエツチング後、水洗いをし
てからトリクロルエチレンの超音波洗浄により、
エレクトロンワツクス２７と２８を剥離し、同時
にガラス基板２９も除去して、図のようなリング
状の凸状部２５を有するノズルを形成できた。な
おリング状の凸状部２５の反対面が凹凸であるた
めに不都合が生じる場合には、第５図ｇのように
研磨をして図のように平らにするとよい。また感
光性ガラス２１の剛性、耐酸性、耐熱性等をさら
に良くしたい場合には、全体に再び紫外線をあて
て、第３次熱処理を施すことによりLi₂O・2SiO₂
結晶を発生させるとよい。

第６図は、前記の製造方法により形成したノズ
ルの断面図である。インク吐出口は、エツチング
部２３ａとエツチング部３０ａとから成つてい
る。１度目のエツチングで、リング状の凸状部２
５ａとインク吐出口のエツチング部２３ａがΔE
の深さに、２度目のエツチングで、インク吐出口
のエツチング部３０ａがΔFの深さに形成されて
いる。２度目のエツチングでは、エツチング部２
３ａの中にエレクトロンワツクスを入れてマスキ
ングしてからエツチングを行ない、貫通した時点
から少しオーバエツチングさせて、エツチング部
３０ａの穴径を大きくし、図のように座グリがつ
いたインク吐出口を形成することができるので、
本実施例によれば、管内抵抗の小さいインク吐出
口を形成することができる。本実施例によれば、
エツチングを２回することによりノズルを形成す
るが、１度目のエツチング時間が短かくてサイド
エツチングが少ないため、寸法精度を出しやす
く、また１度目のエツチング後マスキングを行な
い、１度目のエツチング面を保護してから２度目
のエツチングを行なつているので、特に重要な寸
法であるインク吐出口の直径D₄とD₅およびリン
グ状の凸状部２５ａの周縁２６ｃの直径D₆のバ
ラツキの寸法精度を、±2μｍにおさえることがで
きる。これはノズルが複数個並んだマルチノズル
構造でも同様である。本発明の具体的な寸法は、
D₄＝45μｍ、D₅＝50μｍ、D₆＝90μｍ、ΔE＝30μ
ｍ、ΔF＝170μｍである。本実施例によれば、リ
ング状の凸状部を利用することにより、弗酸濃度
５％の弗酸水溶液、液温25℃、浸漬方法による30
分以上のエツチングにも耐えられるように、耐弗
酸性材料のエレクトロンワツクスを5μｍ以上と
厚くマスキングすることができ、さらにノズルが
４個／mmに並んでいるような、高密度なパターン
もマスキングすることができるので、高密度のノ
ズルを高精度に形成することができる。そして、
ΔGの寸法は20μｍと小さいのであるが、感光性
ガラスに剛性があるので、変形しないノズルがで
きる。感光性ガラスは耐インク性にも優れており
膨潤等のおそれもなく、また比抵抗が高く絶縁物
であるので、前記説明した空気流と静電力を用い
たインクジエツト記録ヘツドにこのノズル板を用
いた場合、静電力がインクに集中するために良好
な吐出特性が得られた。そしてまた露光マスクの
リング状パターンがそのまま感光性ガラス板に露
光、現像により転写され、エツチング加工される
感光性ガラス自体にエツチングされ易い部分とさ
れ難い部分の色分けが成されるために、インク吐
出口とリング状の凸状部の周縁の同心度及びイン
ク吐出口の真直度の良いノズル板が製造できた。

第７図は、本発明の他の実施例におけるノズル
の製造方法を説明するための断面図である。第７
図ａにおいて、感光性ガラス３２の両面にほぼ同
じリング状の凸状部３４と３７が、第５図の実施
例の工程ａ〜ｃと同じ工程により形成される。３
２ａは結晶化していない部分で、３２ｂは結晶化
している部分である。感光性ガラス３２の片面を
耐エツチング液性材料たとえば耐弗酸性材料のエ
ピコート（シエル、ケミカル社製のエポキシ樹脂
の接着剤）３３でマスキングする。ここでは、常
温で液状の主剤がエピコート828、硬化剤として
エピキユアＺを用いている。感光性ガラス３２を
例えば40℃に上げて、エピコート３３の塗る量を
塗る面積に合わせ適量とし、所定の時間保持すれ
ば、第５図の実施例と同じ理由により、リング状
の凸状部３４の中にエピコート３３が入ることな
くマスキングすることができる。ここでは、エピ
コート３３の膜厚を5μｍ以上としている。次に、
エピコート３３を常温で50時間仮硬化させた後、
70℃の温度で60分本硬化させる。この仮硬化を除
くと、温度を上げた時にリング状の凸状部３４の
中に、エピコート３３が粘度が低くなつて入つて
しまうので注意を要する。そして、感光性ガラス
３２を58℃の温度に上げて、エピコート３３でマ
スキングした反対の面全体を、耐エツチング液性
材料のエレクトロンワツクス３５でマスキング
し、その後取り扱いを良くするためにエレクトロ
ンワツクス３５に、ガラス基板３６を貼りつけ
る。次に第７図ｂにおいて、エピコート３３でマ
スキングした方から、感光性ガラス３２の２度目
のエツチングをリング状の凸状部３４の中から、
反対側のリング状の凸状部３７の中に穴が貫通す
るまで行なう。エツチング部３８は、貫通した部
分である。エツチング部３９は、結晶化していな
い部分３２ａのエツチングのために生じたサイド
エツチング部であり、結晶化している部分３２ｂ
も少しエツチングされている。次に第７図ｃにお
いて、前記の弗酸水溶液によるエツチング後、水
洗いをしてからトリクロルエチレンの超音波洗浄
によりエレクトロンワツクス３５を剥離し、同時
にガラス基板３６も除去する。その後、酸素のプ
ラズマ灰化によりエピコート３３を剥離して、図
のようなリング状の凸状部３７を有するノズルを
形成できた。第７図ｄは感光性ガラス３２の他方
の面を研磨して平らにした状態を示す。また感光
性ガラス３２に紫外線をあてて、第３次熱処理を
施している。

本実施例によれば、第５図の実施例のエレクト
ロンワツクスに比べ、エピコート３３の感光性ガ
ラス３２との接着性が良く、機械的強度が大きい
ために、エツチング部３９の大きさを小さくする
ことができ、また弗酸水溶液によるエツチング方
法を、浸漬方法だけでなく吹かけ方法とすること
もできる。本実施例では、マスキングの材料に、
エピコート３３とエレクトロンワツクス３５を用
いたが、エレクトロンワツクス３５のかわりにエ
ピコートを用いれば、エツチング時の弗酸水溶液
の温度を上げることができエツチング速度を速く
することができる。

なお、以上の説明では、マスキングの材料をエ
レクトロンワツクスおよびエピコートとした場合
について説明したが、マスキングの材料は、その
他のパラフイン、その他の接着剤あるいはレジス
トなどを使用してもよい。また、凸状部の形状は
円とは限らず、四角、三角等何れの形状でも形成
可能である。さらに感光性ガラスの両面を別々に
ハーフエツチングし、リング状の凸状部の大きさ
を、異なる大きさにしてもよい。

発明の効果以上のように本発明は、感光性ガラス板にノズ
ル孔を形成すべき位置の周囲部のリング状のパタ
ーンを除いて露光する第１の工程と、前記露光さ
れた感光性ガラス板を熱処理現像する第２の工程
と、前記感光性ガラス板の両面をハーフエツチン
グしてリング状の凸状部を両面に形成する第３の
工程と、前記ハーフエツチングされた片面を耐エ
ツチング液性材料でマスキングする第４の工程
と、第４の工程でマスキングされた面とは反対側
の面の前記リング状の凸状部を障壁として利用
し、前記リング状の凸状部の中に液体状の耐エツ
チング液性材料を入れることなく、前記リング状
の凸状部の周りに前記液体状の耐エツチング液性
材料をぬれ広がらせてマスキングする第５の工程
と、第５の工程でマスキングされた前記液体状の
耐エツチング液性材料を固体状へと変化させる第
６の工程と、第５の工程でマスキングした方向か
ら前記リング状の凸状部の中をエツチングして前
記感光性ガラス板に貫通孔を形成する第７の工程
により、インクジエツト記録ヘツドのリング状の
凸状部を有するノズルを形成したものであり、次
のような効果が得られる。

(1) ノズルの寸法精度が良くなり、インクの吐出
量、インクの吐出方向および記録特性を揃える
ことができる。

(2) インク吐出口は、座グリがついた形状にな
り、管内抵抗が小さくなるので、インクジエツ
トヘツドにおける駆動電圧を低くできる。

(3) 弗酸濃度５％の弗酸水溶液によるエツチング
を、25℃で30分以上行なつても耐えられるよう
に、耐弗酸性材料を5μｍ以上に厚くマスキン
グすることができ、ノズル孔を高精度エツチン
グ加工できる。

(4) 高密度高精度のマルチノズルを形成すること
ができる。

(5) 剛性があり、比抵抗が高く、耐インク性にす
ぐれた感光性ガラスを、容易に加工することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のインクジエツト記録ヘツドのノ
ズル部の一例を示す断面図、第２図は従来のイン
クノズルの製造方法を説明するための工程図、第
３図は本出願人の先行出願に係るインクノズルの
製造方法を説明するための工程図、第４図は本発
明の適用されるインクジエツト記録装置の一例を
示す断面図、第５図は本発明によるノズル製造方
法の実施例を示す工程図、第６図は本発明により
得られたインクジエツト記録ヘツドノズルの拡大
断面図、第７図は本発明によるノズル製造方法の
他の実施例を示す工程図である。２１，３２……感光性ガラス、２２……露光マ
スク、２３ａ，３０ａ……エツチング部、２５，
２５ａ，２６，３４，３７……凸状部、２７，２
８，３３，３５……耐エツチング液性材料、２
９，３６……ガラス基板。

Claims

【特許請求の範囲】１感光性ガラス板にノズル孔を形成すべき位置
の周囲部のリング状のパターンを除いて露光する
第１の工程と、前記露光された感光性ガラス板を
熱処理現像する第２の工程と、前記感光性ガラス
板の両面をハーフエツチングしてリング状の凸状
部を両面に形成する第３の工程と、前記ハーフエ
ツチングされた片面を耐エツチング液性材料でマ
スキングする第４の工程と、第４の工程でマスキ
ングされた面とは反対側の面の前記リング状の凸
状部を障壁として利用し、前記リング状の凸状部
の中に液体状の耐エツチング液性材料を入れるこ
となく、前記リング状の凸状部の周りに前記液体
状の耐エツチング液性材料をぬれ広がらせてマス
キングする第５の工程と、第５の工程でマスキン
グされた前記液体状の耐エツチング液性材料を固
体状へと変化させる第６の工程と、第５の工程で
マスキングした方向から前記リング状の凸状部の
中をエツチングして前記感光性ガラス板に貫通孔
を形成する第７の工程を含むことを特徴とするイ
ンクジエツト記録ヘツドのノズル製造方法。２第５の工程において、耐エツチング液性材料
が温度の高低により液相と固相の相変化の生じる
パラフインであることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のインクジエツト記録ヘツドのノズ
ル製造方法。３第５の工程において、耐エツチング液性材料
が化学反応により固体化する接着剤であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のインクジ
エツト記録ヘツドのノズル製造方法。