JPH0244854B2 - Shiitojobutsunopurazumashorisochi - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、布帛やフイルムなどのシート状物の
プラズマ処理装置に関するものである。更に詳し
く述べるならば、本発明は、布帛やフイルムなど
のシート状物を、バツチ式でプラズマ処理するた
めの装置に関するものである。

〔従来の技術〕

最近、布帛やフイルムなどのシート状物に対
し、各種の特性を賦与するためのプラズマ処理技
術が飛躍的に発展し、その用途も著るしく拡大し
つつある。

例えば特開昭57−18737および58−120859号な
どには布帛やプラスチツクフイルムなどのシート
状物を連続的にプラズマ処理する装置が開示され
ている。

しかしながら、連続的プラズマ処理装置におい
ては、プラズマ処理室を真空にしたり、所望ガス
を封入したりするため、その送入口および送出口
を、シールロールで気密にシールする必要があ
る。このシールロールは、布帛などのシート状物
を強く圧縮して、それに損傷や変形を与えるおそ
れがある。また、布帛などが厚い場合、シールロ
ールによる気密の維持が困難である。更に、樹脂
加工による目ずれ防止処理を施していない編織組
織の粗な布帛の場合、シールロールによる目ずれ
を生じ、その外観や性能を悪化させて商品価値を
失うことがある。

一般に、連続プラズマ処理装置は、大量のシー
ト状物を低コストで処理し得る利点があるが、こ
れを多品種少量生産に用いる場合その生産効率が
低下し、生産コストが上昇するなどの問題点があ
る。

上記の連続プラズマ処理装置の欠点を解消する
ために、バツチ式プラズマ処理装置を用いること
ができる。しかしながら、バツチ式プラズマ処理
装置には、バツチ切換の際に、装置内が一旦大気
雰囲気に開放されるので、再度装置内を処理条件
に調整する工程と時間を要するという欠点があ
る。また、大気雰囲気に開放した際、装置内に湿
気が侵入し、装置内壁などに水分が吸着される
と、装置内を、処理条件に調整するために長時間
を要するという欠点もある。

従つて、上記欠点を解消したバツチ式プラズマ
処理装置の出現が強く希望されていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は、従来のバツチ式プラズマ処理装置の
有している欠点、すなわち、バツチ切換の際の作
業の複雑さおよび大きな時間損という問題点を解
決するものである。

〔問題点を解決するための手段および作用〕

本発明のシート状物のプラズマ処理装置は、１
個の回転可能なドラム状陰電極と、その周面に対
向して配置された複数個の陽電極とからなるプラ
ズマ発生装置を内蔵し、かつ、ガス導入口と、そ
れぞれ気密開閉装置を具備したシート状物送入口
およびシート状物送出口とを有するプラズマ処理
室と、前記プラズマ処理室の上流に配置され、シ
ート状物送出機を内蔵し、かつ、気密開閉装置を
具備したシート状物送出口を有するシート状物送
出室と、前記プラズマ処理室の下流に配置され、
シート状物巻取機を内蔵し、かつ、気密開閉装置
を具備したシート状物送入口を有するシート状物
巻取機と、およびガス排出装置とを有し、前記プ
ラズマ処理室と、前記シート状物送出室との間に
は、前記プラズマ処理室のシート状物送入口と、
前記シート状物送出室のシート状物送出口とを、
気密に包囲し、前記プラズマ処理室と前記シート
状物送出室とを着脱自在にかつ気密に連結する第
１連結室が形成されており、そして、前記プラズ
マ処理室と前記シート状物巻取室との間には、前
記プラズマ処理室のシート状物送出口と、前記シ
ート状物巻取室のシート状物送入口とを気密に包
囲し、前記プラズマ処理室と、前記シート状物巻
取室とを着脱自在に、かつ気密に連結する第２連
結室が形成されていることを特徴とするものであ
る。

以下に本発明装置を図面を参照しながら説明す
る。

第１図は、本発明のプラズマ処理装置の一実施
態様を示す断面説明図である。このプラズマ処理
装置は、互に気密に連結されているシート状物送
出室１ａ、第１連結室２ａ、プラズマ処理室５、
第２連結室２ｂ、およびシート状物巻取機１ｂと
から構成されている。

シート状物送出室１ａには、シート状物送出機
１ｃが内蔵されており、かつ、シート状物送出口
１ｄを有している。このシート状物送出口１ｄに
は、それを気密に閉鎖し、かつ開口することので
きる第１気密開閉装置４ａが具備されている。ま
たシート状物送出室１ａの底部には、車輪１４が
取りつけられていて、シート状物送出室１ａの移
動を可能にしている。

シート状物巻取機１ｂには、シート状物巻取機
１ｅが内蔵されており、かつ、シート状物送入口
１ｆを有している。このシート状物送入口１ｆに
は、それを気密に閉鎖し、かつ開口することので
きる第４気密開閉装置４ｂが具備されている。ま
た、シート状物巻取室１ｂの底部には車輪１４が
取りつけられていて、シート状物巻取室１ｂの移
動を可能にしている。

プラズマ処理室５は、回転可能な１個のドラム
状陰電極７と、その周面に対向して配置されてい
る複数個の陽電極６とを内蔵し、不活性ガス供給
管１５に連通する不活性ガス導入口１６と、排気
管１７に連通している排気口１８とを有してい
る。プラズマ処理室５には、また、シート状物送
出室１ａのシート状物送出口１ｄに対向して設け
られたシート状物送入口５ａと、シート状物巻取
室１ｂのシート状物送入口１ｆに対向して設けら
れたシート状物送出口５ｂが設けられている。

シート状物送入口５ａには、それを気密に閉鎖
し、かつ開口することのできる第２気密開閉装置
４ｃが設けられ、また、シート状物送出口５ｂに
は、それを気密に閉鎖し、かつ開口することので
きる第３気密開閉装置４ｄが設けられているシー
ト状物送出室１ａと、プラズマ処理室５との間に
は第１連結室２ａが設けられている。この第１連
結室２ａにおいて、シート状物送出室１ａのシー
ト状物送出側の側面からそのシート状物送出口１
ｄを気密に包囲して第１半胴体２０が伸び出てお
り、また、プラズマ処理室５のシート状物送入側
の側面からそのシート状物送入口を気密に包囲し
て第２半胴体２１が伸び出ている。第１および第
２半胴体は、それぞれの先端面において、パツキ
ング３を介して、気密に、かつ着脱自在に連結さ
れ、それによつて、気密な第１連結室２ａを形成
する。

プラズマ室５と、シート状物巻取室１ｂとの間
には、第２連結室２ｂが設けられている。この第
２連結室において、プラズマ処理室のシート状物
送出側の側面から、そのシート状物送出口を気密
に包囲して第３半胴体２２が伸び出ており、ま
た、シート状物巻取室１ｂのシート状物送入側の
側面から、そのシート状物送入口を気密に包囲し
て第４半胴体２３が伸び出ている。これら第３お
よび第４半胴体は、それぞれの先端面においてパ
ツキング３を介して気密に、かつ、着脱自在に連
結され、第２連結室２ｂを形成する。

第１および第２連結室はそれぞれ１体の胴体か
らなるものであつてもよい。この場合、第１連結
室においては、胴体の１端がシート状物送出室又
は、プラズマ処理室の側面に、気密に固着されて
おり、他の１端がプラズマ処理室、又はシート状
物送出室の側面に、気密に、かつ着脱自在に連結
されるものであつてもよい。また、第２連結室に
おいても第１連結室と同様である。

第１〜４気密開閉装置の構造については、それ
らが、それぞれ対応送出口又は送入口を気密に閉
鎖し、かつ、開口することのできるものであれば
格別の限定はないが、操作が容易でその機能が確
実なものが好ましい。

第２〜４図により本発明に使用することのでき
る気密開閉装置の一例を説明する。

例えば、プラズマ処理室の気密開閉装置の場
合、そのシート状物送入口５ａが形成されている
側面には、送入口５ａを取り囲んで平滑な表面を
有する弾性体（ゴム又は弾性合成樹脂）パツキン
グ１１が取りつけられている。このパツキング１
１に対向して傾斜した案内支持板８が配置され、
パツキング１１と、案内支持板８との間で、上下
に変位可能なシール板９が配置されている。案内
支持板８の、シール板９に接する面には、表面平
滑な、弾性合成樹脂又はゴム製の弾性パツキング
８ａが貼着されている。シール板９は、シート状
物の送入口よりは大きな巾を有し、パツキング１
１に接する垂直面９ａと案内支持板８に接する傾
斜面９ｂとを有し、その支持棒１０により上下に
変位可能である。また、シール板９の下端には、
弾性合成樹脂又はゴム製の先端パツキング９ｃが
取りつけられている。

第３，４図において、シール板９を支持棒１０
により上方に引き上げ、例えば第１図に示されて
いるような係止装置１０ａによりプラズマ処理室
側面に係止（フツク係止、或はねじ係止など）し
ておけば、シート状物送入口５ａが開口し、シー
ト状物は、その進行通路１３に沿つて、送入口５
ａを通過することができる。

シール板９を、支持棒１０の係止装置を外し、
シール板垂直面９ａをパツキング１１に沿わせな
がらシール板９を下降させると、その先端パツキ
ング９ｃが第１連結室２ａの床（底）面に達して
密着し、かつ、その傾斜面９ｂは、案内支持板８
のパツキング８ａに達して密着し、この位置にお
いて、シール板９は、案内支持板８により支持さ
れる。このとき、シート状物送入口５ａは、シー
ル板９により気密に閉鎖される。

本発明装置によりシート状物にプラズマ処理を
施す工程は、下記のようにして行われる。

シート状物送出室1aのシート状物送出機1cに
シート状物２４を装着し、その先端に導出入シー
トを連結し、その先端部を、開口しているシート
状物送出口１ｄを通して大気内に出し、次に気密
開閉装置を閉じる。すると、シール板８はその先
端パツキングが導出入シートを、床面に圧着しな
がら、シート状物送入口１ｄを気密閉鎖する。

プラズマ処理室５内には、そのシート状物進行
通路に沿つて、導出入シートを配置し、その先端
をシート状物送入口５ａおよび送出口５ｂから外
に出した状態で、シート状物送入口５ａおよび送
出口５ｂを気密閉鎖する。

シート状物巻取室１ｂのシート状物巻取機１ｅ
に導出入シートの一端部を装着し、他端部をシー
ト状物送入口１ｆを通して大気中に出した状態
で、この送入口１ｆを気密閉鎖する。

シート状物送出室１ａ、プラズマ処理室５、お
よびシート状物巻取室１ｂの密閉された各々の排
気口１８から、排気管１７を介して真空ポンプ
（図示されていない）により各室内を排気し所定
の真空度にする。次に各室から大気中に出ている
導出入シートの先端を連結（縫合）し、シート状
物送出室１ａをプラズマ処理室５に、およびプラ
ズマ処理室５をシート状物巻取室１ｂに、それぞ
れ、半胴体２０を２１に、２２を２３に連結して
第１連結室２ａおよび第２連結室２ｂを形成する
ことにより連結する。この連結操作と、前記排操
作は併行して行われてもよい。

次に第１および第２連結室２ａ，２ｂ内を排気
する。或は、上記連結操作を行つた後、各室の排
気操作を行つてもよい。

各室内の気圧が所定真空度に達したならば、各
気密開閉装置により各送入又は送出口を開き、不
活性ガス供給源（図示されていない）から不活性
ガス導入管１５および導入口１６を通して、不活
性ガスをプラズマ処理室に導入し、シート状物送
出機１ｃおよび巻取機１ｅを駆動し、陰陽極６，
７の間に電圧を印加してプラズマを発生させ、シ
ート状物２４を進行させながら、これにプラズマ
処理を施す。

シート状物２４のプラズマ処理が完了したなら
ば、前述のように、導出入シートを各室に残した
まま、装置の運転を停止し、各シート状物送入口
および送出口を気密に閉鎖し、各室に大気を導入
し、シート状物巻取室１ｂから処理されたシート
状物を取り出して、一ロツト（バツチ）の処理を
完了する。バツチ切換の間、密閉されたプラズマ
処理室を大気から隔離したまま所望の状態に保持
することができる。

〔効果〕

本発明装置によりバツチ切換操作が容易にな
り、それに要する時間も大巾に短縮される、特に
各室内の排気に要する時間が短くなり、作業効率
が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のプラズマ処理装置の一実施
態様の断面説明図であり、第２図は本発明のプラ
ズマ処理装置に用いられる密閉開閉装置の一例の
部分切欠正面説明図であり、第３図は、第２図に
示された密閉開閉装置の開口位置を示す側断面説
明図であり、第４図は、第２および３図に示され
た密閉開閉装置の気密閉鎖位置を示す側断面説明
図である。 １ａ……シート状物送出室、１ｂ……シート状
物巻取室、１ｃ……シート状物送出機、１ｄ……
シート状物送出口、１ｅ……シート状物巻取機、
１ｆ……シート状物送入口、２ａ……第１連結
室、２ｂ……第２連結室、３……パツキング、４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ……気密開閉装置、５……
プラズマ処理室、５ａ……シート状物送入口、５
ｂ……シート状物送出口、６……陽電極、７……
陰電極、８……案内支持板、８ａ……パツキン
グ、９……シール板、９ａ……垂直面、９ｂ……
傾斜面、９ｃ……先端パツキング、１０……支持
棒、１０ａ……支持棒係止装置、１１……パツキ
ング、１３……シート状物進行通路、１４……車
輪、１５……ガス導入管、１６……ガス導入口、
１７……排気管、１８……排気口、２０，２１，
２２，２３……半胴体、２４……シート状物。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ １個の回転可能なドラム状陰電極と、その周
   面に対向して配置された複数個の陽電極とからな
   るプラズマ発生装置を内蔵し、かつ不活性ガス導
   入口と、それぞれ気密開閉装置を具備したシート
   状物送入口およびシート状物送出口とを有するプ
   ラズマ処理室と、 前記プラズマ処理室の上流に配置され、シート
   状物送出機を内蔵し、かつ、気密開閉装置を具備
   したシート状物送出口を有するシート状物送出室
   と、 前記プラズマ処理室の下流に配置され、シート
   状物巻取機を内蔵し、かつ、気密開閉装置を具備
   したシート状物送入口を有するシート状物巻取室
   と、およびガス排出装置とを有し、 前記プラズマ処理室と、前記シート状物送出室
   との間には、前記プラズマ処理室のシート状物送
   入口と、前記シート状物送出室のシート状物送出
   口とを、気密に包囲し、前記プラズマ処理室と前
   記シート状物送出室とを着脱自在に、かつ気密に
   連結する第１連結室が形成されており、そして、 前記プラズマ処理室と前記シート状物巻取室と
   の間には、前記プラズマ処理室のシート状物送出
   口と、前記シート状物巻取室のシート状物送入口
   とを気密に包囲し、前記プラズマ処理室と、前記
   シート状物巻取室とをを着脱自在に、かつ、気密
   に連結する第２連結室が形成されている、 ことを特徴とする、シート状物のプラズマ処理装
   置。 ２ 前記第１連結室が、前記シート状物送出室の
   シート状物送出側側面から、そのシート状物送出
   口を包囲して伸び出ている第１半胴体と、前記プ
   ラズマ処理室のシート状物送入側側面からそのシ
   ート状物送入口を包囲して伸び出ている第２半胴
   体とがそれらの先端面において着脱自在に、かつ
   気密に連結することにより形成されている。特許
   請求の範囲第１項記載の装置。 ３ 前記第２連結室が、前記プラズマ処理室のシ
   ート状物送出側側面から、そのシート状物送出口
   を包囲して伸び出ている第３半胴体と、前記シー
   ト状物巻取室のシート状物送入側側面から、その
   シート状物送入口を包囲して伸び出ている第３半
   胴体とが、それらの先端面において、着脱自在
   に、かつ気密に連結することにより形成されてい
   る、特許請求の範囲第１項記載の装置。 ４ 前記ガス排出装置が、前記シート状物送出
   室、第１連結室、プラズマ処理室、第２連結室お
   よび、シート状物巻取室の各々に独立に連結され
   た排気ポンプわらなる、特許請求の範囲第１項記
   載の装置。 ５ 前記プラズマ処理室のシート状物送入口およ
   びシート状物送出口、前記シート状物送出室のシ
   ート状物送出口、並びに前記シート状物巻取室の
   シート状物送入口のそれぞれに設けられた気密開
   閉装置が、各開口部周囲の壁面に沿つて上下に変
   位し得るシール板と、このシール板を、当該開口
   部を気密に閉鎖する位置に案内し、かつ、その位
   置に保持し、並びに、当該開口部を開口する位置
   に案内するための案内保持板とを有する、特許請
   求の範囲第１項記載の方法。