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JPH0249403B2 - - Google Patents
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JPH0249403B2 - - Google Patents

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JPH0249403B2
JPH0249403B2 JP59107150A JP10715084A JPH0249403B2 JP H0249403 B2 JPH0249403 B2 JP H0249403B2 JP 59107150 A JP59107150 A JP 59107150A JP 10715084 A JP10715084 A JP 10715084A JP H0249403 B2 JPH0249403 B2 JP H0249403B2
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JP
Japan
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actuator
working chamber
pressure
source pressure
target position
Prior art date
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JP59107150A
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Japanese (ja)
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JPS60249705A (en
Inventor
Katsumi Sasaki
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TOKYO SEIMITSU SOKUKI KK
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は空気アクチユエータの位置決め制御方
法、特にオン・オフ制御弁からアクチユエータの
左右作動室に圧力空気を供給して迅速かつ正確に
アクチユエータを位置決めする改良された方法に
関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a positioning control method for an air actuator, and in particular to a method for quickly and accurately positioning an actuator by supplying pressurized air from an on/off control valve to the left and right working chambers of the actuator. This invention relates to an improved method for

[従来の技術] 空圧を用いて各種装置の駆動あるいは位置決め
を行う装置が周知であり、空気アクチユエータと
して各種産業分野において用いられている。これ
らの空気アクチユエータは従来主として産業機械
において利用されてきたが、近年において、広範
囲の分野で特にロボツトの制御として利用され、
この結果、従来より苛酷な条件下において迅速か
つ正確な位置決めを行うアクチユエータが要望さ
れている。
[Prior Art] Devices that drive or position various devices using air pressure are well known and are used as pneumatic actuators in various industrial fields. These pneumatic actuators have traditionally been used mainly in industrial machinery, but in recent years they have been used in a wide range of fields, especially for controlling robots.
As a result, there is a demand for actuators that can perform quick and accurate positioning under more severe conditions than ever before.

一般的な空気アクチユエータはオン・オフ制御
弁によつて左右作動室へ所定の圧力空気を送り込
み、この圧力空気の供給量により所望の位置決め
を行う構造からなるが、前記制御弁の開閉制御の
みによつて100μm以下の位置決め精度を達成し、
かつ与えられた移動範囲内での迅速な位置決め作
用を行うためには、従来の比較的ラフな空気アク
チユエータでは到底所望の制御作用を得ることは
不可能であつた。
A typical pneumatic actuator has a structure in which a predetermined pressure air is sent to the left and right working chambers using an on/off control valve, and the desired position is determined by the supply amount of this pressure air. Therefore, we achieved a positioning accuracy of less than 100μm,
Moreover, in order to perform a quick positioning action within a given movement range, it has been impossible to obtain the desired control action using a conventional relatively rough pneumatic actuator.

従来においても、このような空気アクチユエー
タを改良して高精度停止位置制御を行うことので
きるいくつかの改良がなされており、例えば特開
昭58−174701においては、電磁弁の応答遅れを予
め予測し、所定の演算結果に従つて油圧シリンダ
を停止制御する装置が提案されており、特にこの
ような空気アクチユエータで起こり易いハンチン
グのない位置決め作用を期待した装置として提案
されている。
In the past, several improvements have been made to such pneumatic actuators to enable high-precision stop position control. For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 174701/1983, a method was developed to predict the response delay of a solenoid valve in advance. However, a device has been proposed that controls the stopping of a hydraulic cylinder in accordance with a predetermined calculation result, and has been proposed in particular as a device that is expected to provide a positioning action without hunting, which is likely to occur with such a pneumatic actuator.

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、このような従来装置において
も、依然として要望される高精度の位置決めを達
成することはできず、特にいつたん定められた位
置から新たな指定位置への変位を迅速に高い応答
性で実現することができないという課題があつ
た。
[Problems to be Solved by the Invention] However, even with such conventional devices, it is still not possible to achieve the desired high-precision positioning, and in particular, it is difficult to achieve the desired high-precision positioning. The problem was that it was not possible to achieve this quickly and with high responsiveness.

本発明は上記従来の課題に鑑みなされたもので
あり、その目的は、簡単な構成によつて従来得ら
れなかつた高精度の位置決め及び迅速な駆動作用
を両立させ得る改良された位置決め制御方法を提
供することにある。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and its purpose is to provide an improved positioning control method that can achieve both high-precision positioning and rapid drive action that were previously unobtainable with a simple configuration. It is about providing.

[課題を解決するための手段] 上記目的を達成するために本発明の第1発明
は、アクチユエータの移動を高速域と低速域とに
分離し、領域制御を行い所望の目標位置近傍に達
するまでは十分に大きな初期駆動力を与えて高速
度で移動を行い、かつ目標位置近傍に予め設定さ
れた低速域ではアクチユエータの左右作動室の圧
力を増加させ両作動室の圧力をほぼ供給源圧力に
保持しながら低速送りを行い、これによつて高精
度の位置決めを達成したことを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the first invention of the present invention separates the movement of the actuator into a high speed range and a low speed range, and performs area control until it reaches the vicinity of a desired target position. provides a sufficiently large initial driving force to move at high speed, and in a preset low speed range near the target position, the pressure in the left and right working chambers of the actuator is increased to bring the pressure in both working chambers almost to the source pressure. It is characterized by low-speed feeding while being held, thereby achieving highly accurate positioning.

特に、第1発明においては、前記高速域におけ
る初期駆動力は左右作動室の一方に供給源圧力を
印加しながら他方の作動室を解放状態にして最大
高速を得、また目標位置近傍の低速域では一方の
作動室に供給源圧力を印加し続けるとともに他方
の作動室を徐々に閉状態とし、これによつて低速
域ではアクチユエータの移動速度を低下させると
ともにアクチユエータを両側から高い圧力で押え
つけながら任意位置に停止させること特徴とし、
これによつて、所望の目標位置ではアクチユエー
タが外乱に対して大きな抗力にて位置決めされる
こととなる。
In particular, in the first invention, the initial driving force in the high speed range is obtained by applying source pressure to one of the left and right working chambers while leaving the other working chamber in an open state to obtain the maximum high speed, and in the low speed range near the target position. In this case, the source pressure is continued to be applied to one working chamber while the other working chamber is gradually closed, thereby reducing the moving speed of the actuator in the low speed range and pressing the actuator from both sides with high pressure. It is characterized by being able to stop at any position,
As a result, the actuator is positioned at the desired target position with a large resistance against external disturbances.

更に、上記目的を達成するために、本発明の第
2発明は、前述した第1発明の構成に加えて、前
記低速域の前段に制動域を設定し、この制動域に
おいて、他方の作動室の逃がし弁を閉じて、アク
チユエータに制動作用を与えることを特徴とす
る。
Furthermore, in order to achieve the above object, the second invention of the present invention, in addition to the configuration of the first invention described above, sets a braking region before the low speed region, and in this braking region, the other working chamber The relief valve of the actuator is closed to apply a braking action to the actuator.

[作用] 従つて、本発明の第1発明によれば、アクチユ
エータの移動は、高速域と低速域とに分離した領
域制御にて行われ、高速域では作動室の他方が開
放状態とされて作動室の一方に供給源圧力を印加
するので十分に大きな初期駆動力を与えて高速度
の移動が行われ、また目標位置近傍に至ると、そ
れまで開放されていた作動室側も徐々にその圧力
が高められ、前述したごとき、所定位置まで低速
度でアクチユエータが移動制御される。
[Function] Therefore, according to the first aspect of the present invention, the movement of the actuator is performed under separate region control into a high-speed range and a low-speed range, and in the high-speed range, the other working chamber is kept open. By applying source pressure to one side of the working chamber, a sufficiently large initial driving force is applied to achieve high-speed movement, and when the target position is reached, the working chamber side, which had been open until then, gradually opens up. The pressure is increased and the actuator is controlled to move at a slow speed to a predetermined position as described above.

そして、第1発明によれば、所定の位置が得ら
れたときには、両作動室には高い圧力印加状態が
与えられており、この状態で新たな変位が望まれ
るときには迅速に現在位置からの移動が開始され
る。
According to the first invention, when a predetermined position is obtained, a high pressure is applied to both working chambers, and when a new displacement is desired in this state, the movement from the current position is quickly performed. is started.

また、本発明の第2発明によれば、前記低速域
の前段に制動域が設定されており、それまで高速
移動されていたアクチユエータは制動域にてそれ
までの高速移動が減速されて低速域の領域制御へ
受け渡される。
Further, according to the second aspect of the present invention, a braking region is set before the low speed region, and the actuator, which had been moving at a high speed until then, is decelerated in the braking region, and the actuator is moved at a low speed. is passed to the area control.

従つて、第2発明によれば、オーバーシユート
のない滑らかな速度制御を達成することが可能と
なる。
Therefore, according to the second invention, it is possible to achieve smooth speed control without overshoot.

[実施例] 以下図面に基づいて本発明の好適な実施例を説
明する。
[Embodiments] Preferred embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.

空気アクチユエータの構成 第1図には本発明に係る空気アクチユエータを
バタフライ弁の回転角制御に用いた実施例が示さ
れており、本発明が適用される空気アクチユエー
タ10は空気圧を駆動源とする。アクチユエータ
10の往復移動は基台12に軸支された駆動軸1
4によつてバタフライ弁16に伝達され、アクチ
ユエータ10内部でのピストン往復移動にてバタ
フライ弁16の開度θが目標値に合致される。
Configuration of Air Actuator FIG. 1 shows an embodiment in which an air actuator according to the present invention is used to control the rotation angle of a butterfly valve, and the air actuator 10 to which the present invention is applied uses air pressure as a driving source. The reciprocating movement of the actuator 10 is achieved by a drive shaft 1 pivotally supported on a base 12.
4 to the butterfly valve 16, and the opening degree θ of the butterfly valve 16 is made to match the target value by reciprocating piston movement inside the actuator 10.

空気アクチユエータ10の内部には後述するオ
ン・オフ制御弁を含む空圧切換回路が設けられて
おり、前記オン・オフ制御弁は制御回路ブロツク
18からの電気的指令信号によつてオン・オフ制
御されている。
A pneumatic switching circuit including an on/off control valve to be described later is provided inside the air actuator 10, and the on/off control valve is controlled on/off by an electrical command signal from a control circuit block 18. has been done.

更に、本実施例の装置は前記アクチユエータ1
0の往復動と連動するポテンシヨメータ20を含
み、その制御量が電気的信号として検出されてい
る。
Furthermore, the device of this embodiment has the actuator 1
It includes a potentiometer 20 that is linked to the reciprocating motion of 0, and its controlled amount is detected as an electrical signal.

第2図には本実施例におけるアクチユエータ1
0及びその空圧切換回路22の概略図が示されて
おり、空圧アクチユエータ10はシリンダ24内
を往復移動するピストン26を含み、該ピストン
26の往復動がレバー28を介して前述した駆動
軸14の回転に変換されている。
Figure 2 shows the actuator 1 in this embodiment.
0 and its pneumatic switching circuit 22, the pneumatic actuator 10 includes a piston 26 that reciprocates within a cylinder 24, and the reciprocating movement of the piston 26 is coupled to the aforementioned drive shaft via a lever 28. It has been converted into 14 rotations.

前記空圧切換回路22は4個のオン・オフ制御
弁V1,V2,V3,V4を含み、各弁Vはそれぞれ弁
座に対して閉止状態にスプリング付勢されたボー
ル弁を含み、また励磁コイルへの電気的な励磁信
号の印加によつて前記スプリングに抗して各ボー
ル弁を開口することができる。
The pneumatic switching circuit 22 includes four on/off control valves V 1 , V 2 , V 3 , V 4 , each valve V having a ball valve that is spring-biased in a closed state relative to its valve seat. Each ball valve can be opened against the spring by applying an electrical excitation signal to the excitation coil.

前記オン・オフ制御弁V1,V2は供給源PSと連
通しており、またオン・オフ制御弁V3,V4は外
部Eに開放している。
The on/off control valves V 1 , V 2 are in communication with the supply source PS , and the on/off control valves V 3 , V 4 are open to the outside E.

そして、制御弁V1,V3の出側C1は前記アクチ
ユエータ10の左作動室Lに連通し、また制御
V2,V4の出側C2はアクチユエータ10の右作動
室Rと連通している。
The outlet side C 1 of the control valves V 1 and V 3 communicates with the left working chamber L of the actuator 10, and also controls the
Outlet sides C 2 of V 2 and V 4 communicate with the right working chamber R of the actuator 10 .

従つて、図示した各弁V1,V2,V3,V4の閉塞
状態からV1が開けば供給源圧力PSが左作動室L
に供給されてピストン26は右方向へ移動し、一
方制御弁V2が開けば供給源圧力PSがアクチユエ
ータ10の右作動室Rに供給されてピストン26
が左へ移動することとなる。更に、制御弁V3
開放は左作動室Lを大気に開放し、また制御便
V4の開放は右作動室Rを大気へ開放する。
Therefore, if each valve V 1 , V 2 , V 3 , V 4 shown in the figure is opened from the closed state, the supply source pressure P S will be increased to the left working chamber L.
is supplied to the right working chamber R of the actuator 10, and the piston 26 moves to the right. On the other hand, when the control valve V2 is opened, the source pressure P S is supplied to the right working chamber R of the actuator 10, and the piston 26 moves to the right.
will move to the left. Furthermore, opening the control valve V3 opens the left working chamber L to the atmosphere, and also opens the control valve V3 to the atmosphere.
Opening V4 opens the right working chamber R to the atmosphere.

第3図には前述したアクチユエータ10の電気
的な制御回路が示されており、制御回路ブロツク
18からの信号が前記空圧切換回路22の各バル
ブVに供給され、この結果空圧アクチユエータ1
0のピストン26が移動する。そして、ピストン
26の移動量はポテンシヨメータ20にて電気的
な信号として検出されて前記制御回路ブロツク1
8にフイードバツクされる。
FIG. 3 shows an electrical control circuit for the actuator 10 described above, in which a signal from the control circuit block 18 is supplied to each valve V of the pneumatic switching circuit 22, so that the pneumatic actuator 1
0 piston 26 moves. The amount of movement of the piston 26 is detected as an electrical signal by the potentiometer 20, and the amount of movement of the piston 26 is detected as an electrical signal by the potentiometer 20.
Feedback is given to 8.

制御回路ブロツク18は各種演算及び制御を行
うCPU30を含み、該CPU30には各種の制御
データが供給され、この制御データは前記ポテン
シヨメータ20からの現在位置信号θ及び目標位
置信号θAを含む。前記目標位置信号θAは電流電圧
変換器32によつて電圧信号に変換され、更に後
A/D変換器34によりデジタル信号に変換され
た並列直列変換器(以下並直変換器という)36
からCPU30へ供給される。
The control circuit block 18 includes a CPU 30 that performs various calculations and controls, and the CPU 30 is supplied with various control data, and this control data includes a current position signal θ and a target position signal θ A from the potentiometer 20. . The target position signal θ A is converted into a voltage signal by a current-voltage converter 32, and then converted into a digital signal by an A/D converter 34, which is a parallel-to-serial converter (hereinafter referred to as a parallel-to-serial converter) 36.
The signal is supplied from the CPU 30 to the CPU 30.

同様に前記ポテンシヨメータ20からの現在位
置信号θもA/D変換器34及び並直変換器36
を介してCPU30に供給される。CPU30には
設定器38から各種の演算設定値が供給されてお
り、これらの設定値及び前記現在位置信号θ、目
標位置信号をθA所定の演算式に基づいて演算し、
これをバツフア回路40から駆動回路42に供給
し、駆動回路42からの電気的なオン・オフ制御
信号が空圧切換回路22の各バルブVに供給され
る。
Similarly, the current position signal θ from the potentiometer 20 is also sent to the A/D converter 34 and the parallel-to-serial converter 36.
is supplied to the CPU 30 via. The CPU 30 is supplied with various calculation setting values from the setting device 38, and calculates these settings, the current position signal θ, and the target position signal based on a predetermined calculation formula θA ,
This is supplied from the buffer circuit 40 to a drive circuit 42, and an electrical on/off control signal from the drive circuit 42 is supplied to each valve V of the pneumatic switching circuit 22.

アクチユエータ制御方法 本発明が適用される空気アクチユエータは概略
前述した構成からなり、以下に第2図におけるア
クチユエータ26を右方向へ移動してバタフライ
弁16の駆動軸14を現在位置θiから目標位置θA
まで迅速かつ正確に移動する制御作用を説明す
る。
Actuator Control Method The pneumatic actuator to which the present invention is applied has the configuration roughly described above.The actuator 26 in FIG. 2 is moved rightward to move the drive shaft 14 of the butterfly valve 16 from the current position θ i to the target position θ A
We will explain the control action that moves quickly and accurately.

目標位置θAは制御回路ブロツク18に外部から
の設定信号として入力され、前述したようにこの
設定信号は電圧信号に変換された後A/D変換器
34及び並直変換器36からCPU30へ読込ま
れる。
The target position θ A is input to the control circuit block 18 as an external setting signal, and as described above, this setting signal is converted into a voltage signal and then read from the A/D converter 34 and parallel-to-serial converter 36 to the CPU 30. will be included.

本発明の第1発明において特徴的なことは、ア
クチユエータ制御が少なくとも2段階に分離され
て行われることであり、第1段階は高速初期駆動
力を得るための高速域であり、また第2段階は目
標位置近傍においてアクチユエータを低速駆動し
て正しい位置に位置決め制御するための低速域で
ある。
A characteristic feature of the first aspect of the present invention is that the actuator control is performed in at least two stages, the first stage being a high-speed range to obtain a high-speed initial driving force, and the second stage being a high-speed range to obtain a high-speed initial driving force. is a low speed range in which the actuator is driven at low speed in the vicinity of the target position to control positioning at the correct position.

前記低速域は目標位置近傍に予め設定され、実
施例においては固定領域として設定されており、
第4図の作用説明図から明らかなように、低速域
は目標位置θAの両側にそれぞれ角度θ1分設定され
ている。この設定角度θ1は第3図から明らかなよ
うに、設定器38よりCPU30へデジタル角度
信号として供給され、例えば1〜8度程度の間に
設定することが好適である。
The low speed range is set in advance near the target position, and in the embodiment is set as a fixed range,
As is clear from the action explanatory diagram of FIG. 4, the low speed range is set at an angle θ 1 minute on each side of the target position θ A. As is clear from FIG. 3, this set angle θ 1 is supplied from the setter 38 to the CPU 30 as a digital angle signal, and is preferably set, for example, between about 1 and 8 degrees.

本発明においては、以上のように低速域が設定
されると、空気アクチユエータ10にはその現在
位置から低速域に達するまで高速送りが行われ、
この高速送りは本発明においてアクチユエータ1
0の一方の作動室に供給源圧力PSを印加しながら
他方の作動室を開放状態にすることにより最大初
期駆動力を得る構成からなる。そして、アクチユ
エータが低速域に達すると、一方の作動室に供給
源圧力を印加しながら他方の作動室の逃し弁を一
部閉制御し、徐々に左右作動室の圧力バランスを
近付けながら所望の目標位置θAへの正確な位置決
めを行わせることができる。
In the present invention, when the low speed range is set as described above, the air actuator 10 is fed at high speed from its current position until reaching the low speed range,
In the present invention, this high-speed feeding is performed by the actuator 1.
The maximum initial driving force is obtained by applying supply source pressure P S to one working chamber of 0 and keeping the other working chamber open. When the actuator reaches a low speed range, the supply pressure is applied to one working chamber while the relief valve of the other working chamber is partially closed, gradually bringing the pressure balance between the left and right working chambers closer to the desired target. Accurate positioning to position θ A can be performed.

更に、本発明の第2発明においては、最短時間
で停止できるよう前記高速域と低速域との間に制
動域を設けてある。
Furthermore, in the second aspect of the present invention, a braking area is provided between the high speed area and the low speed area so that the vehicle can be stopped in the shortest possible time.

すなわち、実施例の制動域では、一方の作動室
に供給源圧力を供給するとともに他方の作動室の
逃し弁を全閉して制動作用を行わせ、あるいは同
時に他方の作動室へも供給源圧力PSを印加するこ
とにより急速な制動作用を可能としている。
That is, in the braking region of the embodiment, supply source pressure is supplied to one working chamber and the relief valve of the other working chamber is fully closed to perform braking, or at the same time supply source pressure is supplied to the other working chamber. By applying PS , rapid braking is possible.

以下第4図及び第5図の作用説明図を用いて本
実施例の詳細な制御作用を説明する。
The detailed control action of this embodiment will be explained below using the action explanatory diagrams of FIGS. 4 and 5.

時刻0において、制御回路ブロツク18に目標
位置信号θAが入力されると、第2図に示されるよ
うに、アクチユエータ10はバタフライ弁16の
駆動軸14を時計方向へ回転する作用を行い、こ
のために、時刻0〜t1位置までの高速域では、第
5図のごとく、オン・オフ制御弁V1,V4が開か
れ、また制御弁V2,V3が閉じられる。
At time 0, when the target position signal θ A is input to the control circuit block 18, the actuator 10 acts to rotate the drive shaft 14 of the butterfly valve 16 clockwise, as shown in FIG. Therefore, in the high speed range from time 0 to t1 position, on/off control valves V1 and V4 are opened and control valves V2 and V3 are closed, as shown in FIG.

従つて、この高速域では、供給源圧力PSは制御
弁V1からアクチユエータ10の左作動室Lに印
加され、また同時に制御弁V4の開放によつて右
作動室Rは大気に開放されるので、アクチユエー
タ10のピストン26には右方向への最大駆動力
が供給されることとなる。
Therefore, in this high speed range, the supply source pressure P S is applied from the control valve V 1 to the left working chamber L of the actuator 10, and at the same time, the right working chamber R is opened to the atmosphere by opening the control valve V 4 . Therefore, the maximum driving force in the rightward direction is supplied to the piston 26 of the actuator 10.

前記アクチユエータ10の移動行程において、
アクチユエータ10内のピストン26の移動速度
はCPU30によつて常時監視されており、実施
例のバタフライ弁駆動状態では、駆動軸14の回
転角速度が常時CPU30によつて演算される。
In the movement stroke of the actuator 10,
The moving speed of the piston 26 within the actuator 10 is constantly monitored by the CPU 30, and the rotational angular velocity of the drive shaft 14 is constantly calculated by the CPU 30 in the butterfly valve drive state of the embodiment.

すなわち、駆動軸14の角速度voは vo=(θo−θo-1)/ΔT として求められる。ここで、ΔTは設定器38か
らCPU30に供給されるサンプリング周期であ
り、例えば100ミリ秒程度に定めることが好適で
ある。従つて、本実施例におけるバタフライ弁制
御は100ミリ秒ごとにその角速度が監視され、以
降の各制御もこのサンプリング周期ΔTによつて
同期制御されることとなる。
That is, the angular velocity vo of the drive shaft 14 is determined as vo =o −θ o-1 )/ΔT. Here, ΔT is the sampling period supplied from the setter 38 to the CPU 30, and is preferably set to about 100 milliseconds, for example. Therefore, in the butterfly valve control in this embodiment, its angular velocity is monitored every 100 milliseconds, and subsequent controls are also synchronously controlled by this sampling period ΔT.

以上のようにして、高速域では、空気アクチユ
エータ10の一方の作動室に最大供給源圧力PS
印加されるとともに、他方の作動室Rを開放する
ので、極めて高速度の移動を行うことが可能とな
り、その角速度も順次増加傾向にあるが、このよ
うな高速度の移動と本発明における特徴的な低速
域との調和を図るために、第2発明においては、
高速域と低速域との間に制動域が設けられてお
り、この制動域は前述した低速域の設定と同様に
固定値とすることもできるが、本実施例において
は、この制動域θpをアクチユエータの移動速度に
応じて可変することを特徴としている。
As described above, in the high speed range, the maximum source pressure P S is applied to one working chamber of the air actuator 10, and the other working chamber R is opened, so extremely high speed movement can be performed. This has become possible, and its angular velocity is gradually increasing, but in order to harmonize such high-speed movement with the characteristic low-speed range of the present invention, in the second invention,
A braking range is provided between the high speed range and the low speed range, and this braking range can be set to a fixed value similarly to the setting of the low speed range described above, but in this embodiment, this braking range θ p It is characterized by being variable according to the movement speed of the actuator.

すなわち、この制動域は前述した低速域の前段
あるいは手前側に設けられるが、この制動域値θp
は θp=θA−θ1−α・vo・|vo| で求められる。すなわち、第4図から明らかなよ
うに、この制動域値θpは低速域値より更にα・
vo・|vo|だけ高速域側に定められることが理解
される。従つて、前式から明らかなように、この
制動域値θpはアクチユエータ10の速度が増加す
る程低速域より高速域側に移動し、高速域と低速
域との速度差が大きいほど制動域が長くなるよう
に定められる。
In other words, this braking area is provided before or on the near side of the low speed area mentioned above, and this braking area value θ p
is obtained by θ p = θ A −θ 1 −α・vo・| vo |. In other words, as is clear from Fig. 4, this braking range value θ p is further α・
It is understood that only v o |v o | is determined on the high speed region side. Therefore, as is clear from the above equation, as the speed of the actuator 10 increases, the braking range value θ p moves from the low speed range to the high speed range, and as the speed difference between the high speed range and the low speed range increases, the braking range value θ p moves closer to the high speed range as the speed of the actuator 10 increases. is set so that it becomes longer.

前記定数αは設定器38からCPU30へ供給
されている。
The constant α is supplied from the setting device 38 to the CPU 30.

第4図の実施例において、時刻t1においてアク
チユエータ10の移動曲線は制動域値と一致し、
この時刻t1から移動曲線が低速域値と一致する時
刻t2までが制動域として作用する。
In the embodiment of FIG. 4, the movement curve of the actuator 10 coincides with the braking range value at time t1 ,
The period from time t 1 to time t 2 at which the movement curve coincides with the low speed range acts as a braking range.

実施例における制動作用は基本的に一方の作動
室Lに供給源圧力PSを供給しながら他方の作動室
Rを閉塞密閉することにあり、このために、時刻
t1においてオン・オフ制御バルブV4が閉止され、
作動室Rの大気への開放が遮断される。従つて、
ピストン26は作動室Lからの供給源圧力PSによ
つて右方向へ移動されるが、他方の作動室Rが密
封されているので、徐々にその速度が低下するこ
とが理解される。
The braking action in the embodiment is basically to supply source pressure P S to one working chamber L while closing and sealing the other working chamber R.
At t 1 the on-off control valve V 4 is closed,
Opening of the working chamber R to the atmosphere is blocked. Therefore,
It will be understood that the piston 26 is moved to the right by the source pressure P S from the working chamber L, but its speed gradually decreases because the other working chamber R is sealed.

更に、実施例においては、前記制動作用を効果
的に行うために、オン・オフ制御弁V2を開放し、
これによつて、供給源圧力PSを直接前記大気への
開放を遮断された他方の作動室Rへも印加するこ
とを特徴とし、これによつて、ピストン26の両
作動室L,Rには共に供給源圧力が印加されるこ
ととなり、その制動作用は著しく高まる。
Furthermore, in the embodiment, in order to effectively perform the braking operation, the on/off control valve V2 is opened,
As a result, the supply source pressure P S is directly applied to the other working chamber R that is blocked from being exposed to the atmosphere, thereby applying the supply source pressure P S directly to both the working chambers L and R of the piston 26. Source pressure will be applied to both, and the braking effect will be significantly increased.

しかしながら、ピストン26には既に所定の初
速が与えられているため、制動域においてピスト
ン26が停止に至ることはなく、また実施例にお
いては制動域値は常時アクチユエータの速度を検
出しながら変化しているため、仮に制動域内でシ
リンダ26が停止した状態においても、この段階
で制動域値は低速域値と一致してしまい、空気ア
クチユエータ10には再び高速域に復帰して所定
の駆動作用を繰続することが可能となる。
However, since the piston 26 has already been given a predetermined initial velocity, the piston 26 does not come to a stop in the braking range, and in the embodiment, the braking range value is constantly changed while detecting the speed of the actuator. Therefore, even if the cylinder 26 is stopped within the braking range, the braking range value will match the low speed range value at this stage, and the air actuator 10 will be forced to return to the high speed range and repeat the predetermined driving action. It becomes possible to continue.

時刻t2においてアクチユエータ10の移動曲線
が低速域値に一致すると、この状態から目標位置
に達する時刻t3まで低速送りが達成される。
When the movement curve of the actuator 10 matches the low-speed threshold at time t2 , low-speed feed is achieved from this state until time t3 , when the target position is reached.

本発明における低速制御作用は一方の作動室、
すなわ作動室Lに供給源圧力PSを印加しながら他
方の作動室Rを前記高速域における開放状態から
一部閉止状態に切換えることで行われる。
In the present invention, the low speed control action is performed in one of the working chambers,
That is, this is carried out by applying the supply source pressure P S to the working chamber L while switching the other working chamber R from the open state in the high speed range to the partially closed state.

更に、本実施例においては、前記一部閉制御は
パルス幅制御からなることを特徴とし、移動速度
に応じたタイミングで制御弁V4の閉塞が間欠的
に行われる。この間欠制御は前述したサンプリン
グ周期ΔTによつて行われており、各サンプリン
グ周期ΔTの中で所定の演算された時間Δtだけ制
御バルブV4が開かれ残りの(ΔT−Δt)時間は閉
塞状態が維持される。
Further, in this embodiment, the partial closing control is characterized by pulse width control, and the control valve V4 is intermittently closed at a timing corresponding to the moving speed. This intermittent control is performed according to the sampling period ΔT mentioned above, and the control valve V4 is opened for a predetermined calculated time Δt in each sampling period ΔT, and is closed for the remaining (ΔT−Δt) time. is maintained.

そして、前記制御時間Δtの演算は Δt=β1(β2−|vo|) なる演算式に基づいて行われる。 The control time Δt is calculated based on the following formula: Δt=β 12 −| vo |).

すなわち、この演算式から明らかなように、ア
クチユエータの移動速度が早い場合には制御時間
Δtは短時間となり、他方の作動室Rの閉塞時間
が長くなるために大きな制動作用が得られ、速度
を迅速に低下させ、一方アクチユエータ10の移
動速度が小さくなると制御時間Δtが増加し、作
動室Rの開放時間が長くなるために移動速度を早
めるための方向への制御が行われる。
That is, as is clear from this equation, when the moving speed of the actuator is fast, the control time Δt becomes short, and the closing time of the other working chamber R becomes long, so a large braking action is obtained, and the speed is reduced. On the other hand, when the moving speed of the actuator 10 becomes smaller, the control time Δt increases, and the opening time of the working chamber R becomes longer, so that control is performed in the direction of increasing the moving speed.

前記定数β1及びβ2も設定器38からCPU30
に供給されることは明らかである。
The constants β 1 and β 2 are also sent from the setting device 38 to the CPU 30.
It is clear that it is supplied to

そして、本実施例においては、更に前記低速域
での効果を増大するために、他方の作動室Rはそ
の大気への開放が前述した制御時間Δtによつて
開閉制御されるばかりでなく積極的に他方の作動
室Rへ供給源圧力PSの印加が前記大気への開放と
逆極性で与えられることを特徴とする。
In this embodiment, in order to further increase the effect in the low-speed range, the opening and closing of the other working chamber R to the atmosphere is not only controlled by the control time Δt described above but also actively. It is characterized in that the supply source pressure P S is applied to the other working chamber R with a polarity opposite to that of the opening to the atmosphere.

第5図から明らかなように、前述した作動室R
の大気への開放を開閉制御するオン・オフ制御弁
V4に対して作動室Rへの供給源圧力PSの印加を
制御するオン・オフ制御弁V2は互いに逆極性で
開閉制御され、この結果、制御室Rが大気へ開放
されるときには制御弁V2からの供給源圧力PS
供給は遮断され、作動室Rが大気から遮断された
状態で供給源圧力PSが印加されることとなり、こ
れによつて、作動室Rは順次その内圧が供給源圧
力PSに近付くことが理解される。
As is clear from Fig. 5, the above-mentioned working chamber R
On/off control valve that controls the opening and closing of the air to the atmosphere.
The on/off control valve V 2 that controls the application of the supply source pressure P S to the working chamber R with respect to V 4 is controlled to open and close with mutually opposite polarity, and as a result, when the control chamber R is opened to the atmosphere, the control valve V 2 is controlled to open and close with opposite polarity. The supply of the source pressure P S from the valve V 2 is cut off, and the source pressure P S is applied while the working chamber R is isolated from the atmosphere. It is understood that the internal pressure approaches the source pressure P S.

実際上、移動曲線が目標位置θAに達する時刻t3
では、アクチユエータ10の両作動室L及びRは
供給源圧力PSにて充填されるよう各種の定数が定
められる。
Actually, the time t 3 when the movement curve reaches the target position θ A
In this case, various constants are determined so that both working chambers L and R of the actuator 10 are filled with the source pressure P S .

そして、時刻t3において空圧切換回路22の全
部の制御弁V1,V2,V3,V4は全てオフ状態で閉
止され、前記両作動室L及びRへの供給源圧力PS
が密封保持されることとなり、この状態で空気ア
クチユエータ10のピストン26は位置決め固定
され、前記高圧が両作動室L及びRに印加されて
いる結果、そのスチフネスは著しく高くなり、外
乱によつても容易に移動しない固定状態を得るこ
とが可能となる。
Then, at time t3 , all the control valves V1 , V2 , V3 , and V4 of the pneumatic switching circuit 22 are closed in the OFF state, and the supply source pressure P S to both the working chambers L and R is
In this state, the piston 26 of the air actuator 10 is positioned and fixed, and as a result of the high pressure being applied to both working chambers L and R, its stiffness becomes extremely high, and even when disturbed, It becomes possible to obtain a fixed state that does not move easily.

本実施例においては、第4図から明らかなよう
に、前記目標位置θAの両側にθHだけのヒステリシ
ス域が設けられ、この間でのピストン26の移動
に対しては制御不感帯が設定される。
In this embodiment, as is clear from FIG. 4, a hysteresis region of θ H is provided on both sides of the target position θ A , and a control dead zone is set for the movement of the piston 26 during this period. .

第4図から明らかなように、実施例として示し
た移動曲線は位置決め後に時刻t4にて前記ヒステ
リシス域を越えてピストン26が移動する状態を
示すが、このような位置決め不良が生じた特殊な
場合においても、本実施例によれば、目標位置θA
の反対側にも低速域が設けられており、前述した
低速域と逆極性での戻り制御が行われ、詳細には
説明しないが第5図と同様に再び移動曲線を目標
位置θAに戻し、迅速に安定位置を得ることが可能
となる。
As is clear from FIG. 4, the movement curve shown as an example shows a state in which the piston 26 moves beyond the hysteresis area at time t4 after positioning, but there is a special case where such positioning failure occurs. According to this embodiment, even if the target position θ A
A low-speed region is also provided on the opposite side of , and return control is performed with the opposite polarity to the low-speed region described above, and although it will not be explained in detail, the movement curve is returned to the target position θ A again as in Fig. 5. , it becomes possible to quickly obtain a stable position.

前記ヒステリシス域の設定値θHも設定器38か
らCPU30に供給されている。
The set value θ H of the hysteresis range is also supplied to the CPU 30 from the setter 38 .

以上説明したように、本発明においては、最大
の初期駆動力を必要とする高速域においては、最
大加速度での移動を行わせ、次に目標域近傍の予
め設定された低速域では両作動室の圧力を高めな
がら低速制御を行うことができ、目標位置にてス
チフネスの高い極めて安定した停止作用を行うこ
とが可能となる。
As explained above, in the present invention, in the high speed range that requires the maximum initial driving force, movement is performed at the maximum acceleration, and then in the preset low speed range near the target range, both working chambers are moved. It is possible to perform low speed control while increasing the pressure, and it is possible to perform extremely stable stopping action with high stiffness at the target position.

なお、前述した各オン・オフ制御弁Vの作動を
行うための励磁コイル印加電流は周知のごとくそ
の初期値のみ大きくし制御弁が開放した後におい
てはその状態を保持するための小さな保持電流を
供給する回路構成からなる。なお、前述した実施
例においては、低速域での他方の作動室の逃し弁
一部閉制御は制御弁を間欠的に開閉制御するパル
ス幅制御で行われているが、各制御弁が複数の弁
集合体から形成し、この複数の制御弁から選択さ
れた所定数の逃し弁を閉制御することによつて、
所望の低速送り制御を行うことも可能である。
As is well known, only the initial value of the current applied to the excitation coil for operating each on/off control valve V mentioned above is increased, and after the control valve is opened, a small holding current is applied to maintain that state. Consists of the circuit configuration to supply the In the above-mentioned embodiment, the partial closing control of the relief valve in the other working chamber in the low speed range is performed by pulse width control that intermittently controls the opening and closing of the control valve. By controlling a predetermined number of relief valves formed from a valve assembly and selected from the plurality of control valves to close,
It is also possible to perform desired low-speed feed control.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明の第1発明によれ
ば、空気アクチユエータの移動制御を高速域と低
速域とに分離し、高速初期駆動を行うとともに停
止時においては密封圧力を充分に高めた状態で正
確な停止制御を行うことのできる改良された制御
方法を提供可能であり、これによつて、各種の産
業機器特にロボツトの腕制御等に極めて良好な制
御方法を提供可能である。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the first aspect of the present invention, the movement control of the pneumatic actuator is separated into a high speed range and a low speed range, high speed initial drive is performed, and sealing pressure is applied when stopped. It is possible to provide an improved control method that can perform accurate stop control in a sufficiently elevated state, and by this, it is possible to provide an extremely good control method for various industrial equipment, especially robot arm control, etc. It is.

従つて、本第1発明によれば、所望の停止位置
へ迅速に移動できると共に、この位置決め状態に
おいてその後の変位指令に高い応答性で追従でき
るという利点がある。
Therefore, according to the first aspect of the present invention, there is an advantage that it is possible to quickly move to a desired stop position, and that subsequent displacement commands can be followed with high responsiveness in this positioning state.

また、本発明の第2発明によれば、前記低速域
の前段に制動域が設けられており、これによつ
て、高速駆動されているアクチユエータをオーバ
ーシユート等が生じること無く制動させて低速領
域に滑らかに接続することが可能となる。
Further, according to the second aspect of the present invention, a braking region is provided before the low speed region, whereby the actuator that is being driven at high speed is braked without overshooting or the like. It becomes possible to connect to the area smoothly.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る空気アクチユエータの位
置決め制御方法が適用されるバタフライ弁回転角
制御装置を示す概略斜視図、第2図は第1図の空
気アクチユエータ及び空圧切換回路を示す概略説
明図、第3図は第1図の制御回路を示すブロツク
図、第4図は本発明の好適な実施例を示す作用説
明図、第5図は第4図において用いられる空圧切
換回路のタイミングチヤート図である。 10…アクチユエータ、18…制御回路ブロツ
ク、20…ポテンシヨメータ、22…空圧切換回
路、30…CPU(中央処理装置)、38…設定器、
V1,V2,V3,V4…制御弁。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing a butterfly valve rotation angle control device to which the pneumatic actuator positioning control method according to the present invention is applied, and FIG. 2 is a schematic explanatory diagram showing the pneumatic actuator and pneumatic switching circuit of FIG. 1. , FIG. 3 is a block diagram showing the control circuit of FIG. 1, FIG. 4 is an operational explanatory diagram showing a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a timing chart of the pneumatic switching circuit used in FIG. 4. It is a diagram. 10... Actuator, 18... Control circuit block, 20... Potentiometer, 22... Pneumatic switching circuit, 30... CPU (central processing unit), 38... Setting device,
V1, V2, V3, V4...control valves.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 アクチユエータの左右作動室にオン・オフ制
御弁から圧力空気を供給し左右作動室の圧力バラ
ンスによりアクチユエータを位置決めする空気ア
クチユエータの位置決め制御方法において、初期
駆動力を得るため一方の作動室に供給源圧力を印
加しながら他方の作動室を大気に開いて高速移動
を行い、目標位置近傍では一方の作動室に供給源
圧力を印加しながら他方の作動室の逃し弁を間欠
的にパルス幅開閉制御して両作動室をほぼ供給源
圧力に近い圧力に保持しながら低速移動を行い、
アクチユエータが目標位置に到達した後両作動室
にほぼ供給源圧力と等しい圧力を印加した状態で
オン・オフ制御弁をオフ状態で密閉保持し、アク
チユエータを目標位置に正確に位置決めすること
を特徴とする空気アクチユエータの位置決め制御
方法。 2 特許請求の範囲1記載の方法において、低速
域での他方の作動室の逃し側へは間欠的に供給源
圧力を印加することを特徴とする空気アクチユエ
ータの位置決め制御方法。 3 アクチユエータの左右作動室にオン・オフ制
御弁から圧力空気を供給し左右作動室の圧力バラ
ンスによりアクチユエータを位置決めする空気ア
クチユエータの位置決め制御方法において、初期
駆動力を得るため一方の作動室に供給源圧力を印
加しながら他方の作動室を大気に開いて高速移動
を行い、目標位置近傍では一方の作動室に供給源
圧力を印加しながら他方の作動室の逃し弁を間欠
的にパルス幅開閉制御して両作動室をほぼ供給源
圧力に近い圧力に保持しながら低速移動を行い、
アクチユエータが目標位置に到達した後両作動室
にほぼ供給源圧力と等しい圧力を印加した状態で
オン・オフ制御弁を密閉保持し、アクチユエータ
を目標位置に正確に位置決めするとともに前記低
速域の前段に制動域が設定され、該制動域におい
ては他方の作動室の逃し弁を閉じてアクチユエー
タに制動作用を与えることを特徴とする空気アク
チユエータの位置決め制御方法。 4 特許請求の範囲3記載の方法において、制動
域では他方の作動室に供給源圧力を印加すること
を特徴とする空気アクチユエータの位置決め制御
方法。 5 特許請求の範囲3,4のいずれかに記載の方
法において、制動域は低速域の手前に設けられた
固定領域からなることを特徴とする空気アクチユ
エータの位置決め方法。 6 特許請求の範囲3,4のいずれかに記載の方
法において、制動域はアクチユエータの移動速度
に応じて演算された可変領域からなることを特徴
とする空気アクチユエータの位置決め制御方法。
[Claims] 1. In an air actuator positioning control method in which pressurized air is supplied from an on/off control valve to the left and right working chambers of an actuator and the actuator is positioned by the pressure balance between the left and right working chambers, one While applying source pressure to one working chamber, the other working chamber is opened to the atmosphere to perform high-speed movement, and near the target position, while applying source pressure to one working chamber, the relief valve of the other working chamber is intermittently closed. It moves at low speed while maintaining both working chambers at a pressure close to the supply source pressure by controlling the pulse width opening and closing.
After the actuator reaches the target position, the on/off control valve is kept sealed in the OFF state with a pressure approximately equal to the supply source pressure applied to both working chambers, thereby accurately positioning the actuator at the target position. Positioning control method for pneumatic actuator. 2. A positioning control method for an air actuator according to claim 1, characterized in that a source pressure is intermittently applied to the relief side of the other working chamber in a low speed range. 3 In an air actuator positioning control method in which pressurized air is supplied from an on/off control valve to the left and right working chambers of the actuator and the actuator is positioned based on the pressure balance between the left and right working chambers, a supply source is supplied to one of the working chambers in order to obtain the initial driving force. While applying pressure, the other working chamber is opened to the atmosphere to perform high-speed movement, and near the target position, while applying source pressure to one working chamber, the relief valve of the other working chamber is intermittently controlled to open and close in pulse width. and moves at low speed while maintaining both working chambers at a pressure close to the source pressure.
After the actuator reaches the target position, the on/off control valve is kept sealed with a pressure approximately equal to the supply source pressure applied to both working chambers, and the actuator is accurately positioned at the target position and the actuator is moved to the front stage of the low speed range. A method for controlling the positioning of an air actuator, characterized in that a braking region is set, and in the braking region, a relief valve in the other working chamber is closed to provide a braking action to the actuator. 4. A positioning control method for a pneumatic actuator according to claim 3, characterized in that in the braking region, a source pressure is applied to the other working chamber. 5. A method for positioning an air actuator according to any one of claims 3 and 4, characterized in that the braking area consists of a fixed area provided before the low speed area. 6. A positioning control method for a pneumatic actuator according to claim 3, wherein the braking range is comprised of a variable range calculated according to the moving speed of the actuator.
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